KR970023972A - 기판처리장치의 제어방법 및 장치(method and apparatus for controlling substrate processing apparatus) - Google Patents

기판처리장치의 제어방법 및 장치(method and apparatus for controlling substrate processing apparatus) Download PDF

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Abstract

복수의 처리유닛 중 하나의 처리유닛이 이상발생을 나타내는 경보를 발생할 때, 경보발생 처리유닛 또는 소정의 스킵모드 대상유닛 이후의 반송경로에 존재하는 각각의 기판에 대한 처리 및 반송이 미리 설정된 반송경로가 끝날 때까지 계속된다. 한편, 경보발생 처리유닛 또는 소정의 스킵모드 대상유닛 이전의 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 반송은 중지된다. 다른 실시예에 있어서, 반송 대기시간이 발생할 때 제1스킵모드가 실행되어 최장 처리시간 유닛 이후의 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 처리 및 반송을 반송경로가 끝날 때까지 계속한다. 한편, 최장 처리시간 유닛 이전의 상기 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대해서는 반송이 중지된다. 제1스킵모드가 실행되는 동안 복수의 처리장치중 하나의 처리장치가 이상발생을 나타내는 경보를 발생하는 경우, 제2스킵모드가 실행되어 경보발생 처리유닛 이후의 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 처리 및 반송을 반송경로가 끝날 때까지 계속한다. 한편, 경보발생 처리유닛 이전의 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대해서는 반송이 중지된다.

Description

기판처리장치의 제어방법 및 장치(METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명을 구체화한 반도체 웨이퍼 처리장치를 나타내는 사시도,
제 2 도는 반도체 웨이퍼 처리장치의 전기적인 구성을 나타내는 블록도,
제 3 도는 본 발명의 제1실시예인 반도체 웨이퍼 처리장치에서 반도체 웨이퍼(W)의 반송경로의 일예를 나타내는 도면,
제 4 도는 경보에 의해 개시된 제어루틴을 나타내는 플로우챠트,
제 5 도는 스킵모드에서의 상세 절차를 나타내는 도면,
제 6 도는 경보발생에 의해 처리모드에서 스킵모드로 전환한 경우의 웨이퍼의 흐름을 나타내는 테이블,
제 7 도는 본 발명의 제2실시예인 반도체 웨이퍼 처리장치에서 반도체 웨이퍼(W)의 반송경로의 일예를 나타내는 도면,
제 8 도는 본 발명의 제2실시예에서 실행되는 제어루틴을 나타내는 플로우챠트,
제 9 도는 반송대기시간의 존재에 의해 제1스킵모드가 활성화된 경우의 웨이퍼의 흐름을 나타내는 테이블,
제 10 도는 본 발명의 제3실시예에서 실행되는 제어루틴을 나타내는 플로우챠트,
제 11A 도 및 제 11B 도는 제3실시예에서 다중 스킵모드에서의 상세 절차를 나타내는 도면이다.

Claims (16)

  1. 미리 설정된 반송경로를 통해서 기판을 복수의 처리유닛으로 순차적으로 반송하고, 이렇게 반송된 기판을 처리하는 기판처리장치의 제어방법에 있어서, 상기 복수의 처리유닛중 하나의 처리유닛이 이상발생을 나타내는 경보를 탄생할 때 스킵모드로 제어를 실행하는 스텝을 구비하고, 상기 스킵모드 제어는, 상기 경보발생 처리유닛 이후의 상기 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 처리 및 반송을 상기 미리 선정된 반송경로가 끝날 때까지 계속하지만, 상기 경보발생 처리유닛 이전의 상기 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 반송을 중지하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 제어방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 스킵모드와, 상기 기판처리장치의 동작을 중지하기 전에 상기 반송경로 상에 위치되어 처리중이던 각각의 기판에 대한 처리 및 반송을 상기 반송경로가 끝날 때까지 계속하는 처리완료모드 중 하나를 선택하는 스텝과, 경보가 발생할 때 상기 선택된 모드를 실행하는 스텝을 더 구비하는 깃을 특징으로하는 기판처리장치의 제어방법.
  3. 미리 설정된 반송경로를 통해서 기판을 복수의 처리유닛으로 순차적으로 반송하고, 이렇게 반송된 기판을 처리하는 기판처리장치의 제어방법에 있어서, 스킵모드 대상유닛으로서 상기 복수의 처리유닛중 적어도 하나의 처리유닛을 선택하는 스텝과, 상기 복수의 처리유닛중 하나의 처리유닛이 이상발생을 나타내는 경보를 발생할때 스킵모드로 제어를 실행하는 스텝을 구비하고, 상기 스킵모드는, 상기 스킵모드 대상유닛 이후의 반송경로상에 존재하는 각각의 기판에 대한 처리 및 반송을 상기 미리 설정된 반송경로가 끝날 때까지 계속하지만, 상기 스킵모드 대상유닛 이전의 상기 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 반송은 중지하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 제어방법.
  4. 제 3 항에 있어서 상기 스킵모드와, 상기 기판처리장치의 동작을 중지하기 전에 상기 반송경로 상에 위치되어 처리중인 각각의 기판에 대한 처리 및 반송을 상기 반송경로가 끝날 때까지 계속하는 처리 완료모드 중 하나를 선택하는 스텝과, 경보가 발생할 때 상기 선택된 모드를 실행하는 스텝을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 제어방법.
  5. 제 3 항에 있어서, 상기 스킵모드 대상유닛은 기판상에 화학재료의 층을 도포하는 도포장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 제어방법.
  6. 미리 설정된 반송경로를 통해서 기판을 복수의 처리유닛으로 순차적으로 반송하고, 이렇게 반송된 기판을 처리하는 기판처리장치의 제어방법에 있어서, 상기 복수의 처리유닛 중 가장 긴 처리시간을 가지는 최장 처리시간 유닛으로 기판을 이송하기 전에 대기시간이 발생할 때 제1스킵모드로 제어를 실행하는 스텝을 구비하고, 상기 제1스킵모드는, 상기 최장 처리시간 유닛 이후의 상기 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 처리 및 반송을 상기 미리 설정된 반송경로가 끝날 때까지 계속하지만, 최장 처리시간 유닛 이전의 상기 반송경로상에 존재하는 각각의 기판에 대한 반송은 중지하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 제어방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 제1스킵모드가 실행되는 동안 상기 복수의 처리유닛중 하나의 처리유닛이 이상발생을 나타내는 경보를 발생할 때 제2스킵모드로 제어를 실행하는 스텝을 더 구비하고, 상기 제2스킵모드는, 상기 경보발생 처리유닛 이후의 상기 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 처리 및 반송을 상기 미리 설정된 반송경로가 끝날 때까지 계속하지만, 상기 경보발생 처리유닛 이전의 상기 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 처리 및 반송은 중지하는 것을 특징으로 하는 기판처리방치의 제어방법.
  8. 제 6 항에 있어서, 스킵모드 대상유닛으로서 상기 복수의 처리유닛 중 적어도 하나의 처리유닛을 선택하는 스텝과, 상기 제1스킵모드가 실행되는 동안 상기 복수의 처리유닛 중 하나의 처리유닛이 이상발생을 나타내는 경보를 발생할 때 제2스킵모드로 제어를 실행하는 스텝을 더 구비하고, 상기 제2스킵모드는, 상기 스킵모드 대상유닛 이후의 상기 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 처리 및 반송을 상기 미리 설정된 반송경로가끝날 때까지 계속하지만, 상기 스킵모드 대상유닛 이전의 상기 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 반송은 중지하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 제어방법.
  9. 미리 설정된 반송통로를 통해서 기판을 순차적으로 반송하고, 이렇게 반송된 기판을 처리하는 기판처리장치의 제어장치에 있어서, 복수의 처리유닛과, 상기 복수의 처리유닛중 하나의 처리유닛에서 이상발생을 나타내는 경보를 발생할 때 스킵모드로 제어를 실행하는 수단을 구비하고, 상기 스킵모드는, 상기 경보발생 처리유닛 이후의 상기 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 처리 및 반송을 상기 미리 설정된 반송경로가 끝날때까지 계속하지만, 상기 경보발생 처리유닛 이전의 상기 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 반송은 중지하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 제어장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 스킵모드와, 상기 기판처리장치의 동작을 중지하기 전에 상기 반송경로 상에 위치되어 처리중인 각각의 기판에 대한 처리 및 반송을 상기 반송경로가 끝날 때까지 계속하는 처리 완료모드 중 하나를 선택하는 수단과, 경보가 발생할 때 상기 선택된 모드를 실행하는 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 제어장치.
  11. 미리 설정된 반송경로를 통해서 기판을 복수의 처리유닛으로 순차적으로 반송하고, 이렇게 반송된 기판을 처리하는 기판처리장치의 제어장치에 있어서, 스킵모드 대상유닛으로서 상기 복수의 처리유닛중 적어도 하나의 처리유닛을 선택하는 수단과, 상기 복수의 처리유닛 중 하나의 처리유닛이 이상발생을 나타내는 경보를 발생할 때 스킵모드로 제어를 실행하는 수단을 구비하고, 상기 스킵모드는, 상기 스킵모드 대상유닛 이후의 상기 반송 경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 처리 및 반송을 상기 미리 설정된 반송경로가 끝날 때까지 계속하지반, 상기 스킵모드 대상유닛 이전의 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 반송은 중지하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 제어장치.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 스킵모드와, 상기 기판처리장치의 동작을 중지하기 전에 상기 반송경로 상에 위치되어 처리중인 각각의 기판에 대한 처리 및 반송을 상기 반송경로가 끝날 때까지 계속하는 처리 완료모드 중 하나를 선택하는 수단과, 경보가 발생할 때 상기 선택된 모드를 실행하는 스텝을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 제어장치.
  13. 제 11 항에 있어서, 상기 스킵모드 대상유닛은, 기판상에 화학재료의 충을 도포하는 도포장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 제어장치.
  14. 미리 설정된 반송경로를 통해서 기판을 복수의 처리유닛으로 순차적으로 반송하고, 이렇게 반송된 기판을 처리하는 기판처리장치의 제어장치에 있어서, 상기 복수의 처리유닛 중 가장 긴 처리시간을 가지는 최장 처리시간 유닛으로 기판을 이송하기 전에 대기시간이 발생할 때 제1스킵모드로 제어를 실행하는 수단을 구비하고, 상기 제1스킵모드는, 상기 최장 처리시간 유닛 이후의 상기 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 처리 및 반송을 상기 미리 설정된 반송경로가 끝날 때까지 계속하지만, 상기 최장 처리시간 유닛 이전의 상기 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 반송은 중지하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 제어장치.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 제1스킵모드가 실행되는 동안 복수의 처리유닛 중 하나의 처리유닛이 이상발생을 나타내는 경보를 발생할 때 제2스킵모드로 제어를 실행하는 수단을 더 구비하고, 상기 제2스킵모드는, 상기 경보발생 처리유닛 이후의 상기 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 처리 및 반송을 상기 미리 설정된 반송경로가 끝날 때까지 계속하지만, 상기 경보발생 처리유닛 이전의 상기 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 처리 및 반송은 중지하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 제어장치.
  16. 제 14 항에 있어서, 스킵모드 대상유닛으로서 상기 복수의 처리유닛 중 적어도 하나의 처리유닛을 선택하는 수단과, 상기 제1스킵모드가 실행되는 동안 상기 복수의 처리유닛 중 하나의 처리유닛이 이상발생을 나타내는 경보를 발생할 떼 제2스킵모드로 제어를 실행하는 수단을 더 구비하고, 상기 제2스킵모드는, 상기 스킵모드 대상유닛 이후의 상기 반송경로 상에 존재하는 각각의 기판에 대한 처리 및 반송을 상기 미리 설정된 반송경로가 끝날 때까지 계속하지만, 상기 스킵모드 대상유닛 이전의 상기 반송경로 상에 존재하는 각자의 기판에 대한 반송은 중지하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 제어장치.
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