KR970017961A - 반도체 집적회로장치 및 그의 제조방법 - Google Patents

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Inventor
가즈사토 하라
요시미 도리이
요시카즈 오히라
츠요시 마츠이
다카시 하야카와
미노루 오츠카
미치오 니시무라
미치오 다나카
Original Assignee
가나이 츠토무
히다치세사쿠쇼 가부시키가이샤
힐러 윌리엄 E.
텍사스 인스트루먼트 인코포레이티드
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34

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