KR970006204A - 석영유리 블랭크 제조방법 및 이에 사용되는 장치 - Google Patents
석영유리 블랭크 제조방법 및 이에 사용되는 장치 Download PDFInfo
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Abstract
연료가스를 중심으로 둘러싼 외측부위를 통해 공급하는 동안 실리콘-함유 유리출발물질을 다중-노즐 버너헤드의 중앙부위를 통해 공급한다. 버너헤드부근의 반응구역에서, 미세 SiO2슈트입자가 형성되며, 이는 다공질 슈트체를 이루도록 운반체 상에 침적된 후 소결된다. 슈트체 형성공정동안, 슈트체내에 요구되는 방사상 또는 촉방향 밀도구배를 얻도록 연료가스흐름을 변화시킨다.
버너헤드로부터 반응구역까지 신장하는 부위에서 유리출발물질을 연료가스와 분리시키기 위하여, 버너가스 흐름과 유리출발물질 사이에 차단가스흐름을 제공한다.
버너헤드는 중심의 관상노즐 및 그 주위에 동축상으로 배열된 여러개의 링노즐을 갖는다.
중심노즐과 링노즐 사이에는 링-형상의 차단가스노즐이 제공되고, 이는 방사상단면에서 원형인 내측 및 외측 경계벽을 갖는다.
상기 외측 경계벽은 노즐구멍밑에서부터 노즐구멍까지의 부위에서 중앙노즐을 향해 경사를 이룬다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 버너입구의 종단면도이다.
Claims (15)
- 중앙노즐과, 그 중앙노즐주위에 동심상으로 배열된 연료가스 노즐을 갖는 다중-노즐 버너를 제공하는 단계; 상기 중앙노즐을 통해 유리 출발물질을 도입하는 단계; 상기 중앙노즐앞의 반응구역에 석영유리 슈트체를 형성하도록 상기 연료가스 노즐을 통해 연료가스 흐름을 도입하는 단계;및 상기 중앙노즐과 반응구역 사이에 차단가스를 도입하는 단계를 포함하는 석영유리 블랭크 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 연료가스 노즐은 상기 연료가스 노즐을 통해 도입된 상기 연료가스의 소용돌이를 유도하는 수단을 포함함을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 차단가스 노즐은 상기 차단가스를 상기 반응구역으로 향하도록 하는 수단을 포함함을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 연료가스는 상기 석영유리 슈트체를 형성하는 동안 계속적으로 증가하는 속도로 도입됨을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 차단가스는 산소, 아르곤 및 질소중 최소 한가지를 함유함을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 출발물질은 SiCl4를 포함함을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 버너 헤드는 나아가 상기 중앙노즐과 상기 연료가스 노즐사이에 동심적으로 배열된 링-형태의 차단가스 노즐을 포함함을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 출발물질은 상기 석영유리 슈트체를 형성하는 동안 일정 속도로 도입됨을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 차단가스는 석영유리 슈트체를 형성하는 동안 일정속도로 도입됨을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 버너헤드와 상기 슈트체는 상기 슈트체가 형성되는 동안 일정거리로 유지됨을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 반응구역과 상기 슈트체는 상기 슈트체가 형성되는 동안 일정거리로 유지됨을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 반응구역과 상기 버너헤드는 상기 슈트체가 형성되는 동안 5~10㎜의 거리를 두고 떨어져 있음을 특징으로 하는 방법.
- 유리 출발물질을 도입하기 위한 구멍을 갖는 튜브상 중심노즐; 상기 중심노즐을 동심상으로 둘러싸고 상기 중심노즐의 구멍을 향해 수렴하는 외측 경계벽을 갖는 링-형상의 차단가스 노즐; 및 상기 차단가스 노즐을 동심상으로 둘러싼 구멍을 갖는 링-형상의 연료가스 노즐을 포함하는 석영유리 슈트체 형성장치.
- 제13항에 있어서, 상기 연료가스노즐은 상기 연료가스 노즐의 구멍을 향해 팽창하는 단면을 가짐을 특징으로 하는 장치.
- 제14항에 있어서, 나아가 상기 연료가스 노즐을 동심적으로 둘러싼 링-형상의 외측 노즐을 포함하고, 상기 외측 노즐은 내부경계벽과 그 내부 경계벽을 지나 신장하는 외부 경계벽을 가짐을 특징으로 하는 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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