KR970006204A - 석영유리 블랭크 제조방법 및 이에 사용되는 장치 - Google Patents

석영유리 블랭크 제조방법 및 이에 사용되는 장치 Download PDF

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Abstract

연료가스를 중심으로 둘러싼 외측부위를 통해 공급하는 동안 실리콘-함유 유리출발물질을 다중-노즐 버너헤드의 중앙부위를 통해 공급한다. 버너헤드부근의 반응구역에서, 미세 SiO2슈트입자가 형성되며, 이는 다공질 슈트체를 이루도록 운반체 상에 침적된 후 소결된다. 슈트체 형성공정동안, 슈트체내에 요구되는 방사상 또는 촉방향 밀도구배를 얻도록 연료가스흐름을 변화시킨다.
버너헤드로부터 반응구역까지 신장하는 부위에서 유리출발물질을 연료가스와 분리시키기 위하여, 버너가스 흐름과 유리출발물질 사이에 차단가스흐름을 제공한다.
버너헤드는 중심의 관상노즐 및 그 주위에 동축상으로 배열된 여러개의 링노즐을 갖는다.
중심노즐과 링노즐 사이에는 링-형상의 차단가스노즐이 제공되고, 이는 방사상단면에서 원형인 내측 및 외측 경계벽을 갖는다.
상기 외측 경계벽은 노즐구멍밑에서부터 노즐구멍까지의 부위에서 중앙노즐을 향해 경사를 이룬다.

Description

석영유리 블랭크 제조방법 및 이에 사용되는 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 버너입구의 종단면도이다.

Claims (15)

  1. 중앙노즐과, 그 중앙노즐주위에 동심상으로 배열된 연료가스 노즐을 갖는 다중-노즐 버너를 제공하는 단계; 상기 중앙노즐을 통해 유리 출발물질을 도입하는 단계; 상기 중앙노즐앞의 반응구역에 석영유리 슈트체를 형성하도록 상기 연료가스 노즐을 통해 연료가스 흐름을 도입하는 단계;및 상기 중앙노즐과 반응구역 사이에 차단가스를 도입하는 단계를 포함하는 석영유리 블랭크 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 연료가스 노즐은 상기 연료가스 노즐을 통해 도입된 상기 연료가스의 소용돌이를 유도하는 수단을 포함함을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 차단가스 노즐은 상기 차단가스를 상기 반응구역으로 향하도록 하는 수단을 포함함을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 연료가스는 상기 석영유리 슈트체를 형성하는 동안 계속적으로 증가하는 속도로 도입됨을 특징으로 하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 차단가스는 산소, 아르곤 및 질소중 최소 한가지를 함유함을 특징으로 하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 출발물질은 SiCl4를 포함함을 특징으로 하는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 버너 헤드는 나아가 상기 중앙노즐과 상기 연료가스 노즐사이에 동심적으로 배열된 링-형태의 차단가스 노즐을 포함함을 특징으로 하는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 출발물질은 상기 석영유리 슈트체를 형성하는 동안 일정 속도로 도입됨을 특징으로 하는 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 차단가스는 석영유리 슈트체를 형성하는 동안 일정속도로 도입됨을 특징으로 하는 방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 버너헤드와 상기 슈트체는 상기 슈트체가 형성되는 동안 일정거리로 유지됨을 특징으로 하는 방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기 반응구역과 상기 슈트체는 상기 슈트체가 형성되는 동안 일정거리로 유지됨을 특징으로 하는 방법.
  12. 제1항에 있어서, 상기 반응구역과 상기 버너헤드는 상기 슈트체가 형성되는 동안 5~10㎜의 거리를 두고 떨어져 있음을 특징으로 하는 방법.
  13. 유리 출발물질을 도입하기 위한 구멍을 갖는 튜브상 중심노즐; 상기 중심노즐을 동심상으로 둘러싸고 상기 중심노즐의 구멍을 향해 수렴하는 외측 경계벽을 갖는 링-형상의 차단가스 노즐; 및 상기 차단가스 노즐을 동심상으로 둘러싼 구멍을 갖는 링-형상의 연료가스 노즐을 포함하는 석영유리 슈트체 형성장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 연료가스노즐은 상기 연료가스 노즐의 구멍을 향해 팽창하는 단면을 가짐을 특징으로 하는 장치.
  15. 제14항에 있어서, 나아가 상기 연료가스 노즐을 동심적으로 둘러싼 링-형상의 외측 노즐을 포함하고, 상기 외측 노즐은 내부경계벽과 그 내부 경계벽을 지나 신장하는 외부 경계벽을 가짐을 특징으로 하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960030029A 1995-07-27 1996-07-24 석영유리 블랭크 제조방법 및 이에 사용되는 장치 KR100197470B1 (ko)

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