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Die Erfindung betrifft ein Verfahren
zur Herstellung von keramischem oder glasigem Werkstoff durch Flammenhydrolyse,
umfassend die Verfahrensschritte:
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- I. Bildung von Primärpartikeln aus dem Werkstoff durch
Reaktion von Reaktionskomponenten, die eine hydrolysierbare Ausgangssubstanz
für den Werkstoff,
einen Brennstoff und ein sauerstoffhaltiges Medium umfassen,
- II. Einführen
der Primärpartikel
in eine einem Brenner zugeordnete Brennerflamme und gegenseitiges
Anlagern unter Bildung von Werkstoffteilchen, und
- III. Niederschlagen der gebildeten Werkstoffteilchen auf einem
Träger.
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Die keramischen oder glasigen Werkstoffe liegen
in Form eines festen Körpers,
als Pulvern oder in Form von Aerosilen vor. Bei Ersterem erfolgt
das Niederschlagen der Werkstoffteilchen nach Verfahrensschritt
III in gezielter Art und Weise auf einem Substrat unter Bildung
eines Körpers
aus dem Werkstoff, während
Pulver oder Aerosile durch mehr oder weniger unkontrolliertes Auffangen
der Werkstoffteilchen, beispielsweise in einem Filter oder in einem Gefäß, erhalten
werden.
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Nach einem Verfahren der eingangs
genannten Gattung erhaltene Werkstoffe werden beispielsweise eingesetzt
zur Herstellung von Stäben
oder Rohren aus Quarzglas als Ausgangsmaterial bei der Lichtwellenleiterherstellung,
als Kohlenstoftruß zum Einsatz
bei der Grafitteilherstellung, als Fe2O3-Schichten für die Herstellung magnetischer Speichermedien,
als Titandioxid-Pulver, insbesondere für die Herstellung von Farben,
als SiO2-Aerosile, insbesondere für Füllstoffe,
als Zirkonoxid- oder Zinkoxid-Pulver für den Einsatz in der Pharmaindustrie, oder
für die
Herstellung von sogenannten Ingenieurkeramiken, beispielsweise aus
Siliziumnitrid oder aus Siliziumkarbid.
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Die Herstellung derartiger Werkstoffe
erfolgt häufig
durch Flammhydrolyse von geeigneter Reaktionskomponenten, wobei
sich grundsätzlich
das Problem der Verbesserung der Effizienz hinsichtlich der Ausbeute
der eingesetzten Rohstoffe und der Energie stellt.
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Beispielsweise wird zur Erhöhung der
Abscheiderate bei der Herstellung von Vorformen aus Quarzglas als
Ausgangsmaterial für
Lichtwellenleiter in der
DE-A
100 55 357 vorgeschlagen, ein elektrisches Feld zu erzeugen,
das auf die geometrische Form der Brennerflamme veränderbar
einwirkt, so dass beispielsweise die Breite der Brennerflamme durch
Wirkung des elektrischen Feldes an die Größe einer Ablagerungsfläche angepasst
werden kann.
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Geeignete Flammhydrolysebrenner zur
Herstellung von SiO
2-Ruß (SiO
2-Soot)
sind beispielsweise in der
DE
195 27 451 A beschrieben. Diese bestehen aus konzentrisch
angeordneten Quarzglasrohren, die eine Mitteldüse und mehrere, die Mitteldüse koaxial
umgebende Ringspaltdüsen
bilden. Über
jeweils eine der Düsen
werden dem Brenner SiCl
4 als Ausgangsmaterial
für den
SiO
2-Ruß und
die Brenngase Wasserstoff und Sauerstoff eingespeist und der Brennerflamme
zugeführt.
In der Brennertlamme bilden sich aus den Edukten der Flammhydrolysereaktion
SiO
2-Teilchen, die auf einem rotierenden
Trägerkörper aufgefangen
werden. Durch Variation der Brennergase und durch Veränderung
der Mengen und Konzentrationsverhältnisse der Edukte lassen sich
in gewissem Umfang die Eigenschaften des abgeschiedenen Werkstoffes,
wie die morphologischen Eigenschaften, und die spezifische Oberfläche bzw. die
Porosität
und die Dichte, beeinflussen.
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In der
US-A-4,618,354 wird ein Verfahren zur Herstellung
einer Vorform für
optische Fasern nach dem sogenannten VAD-Verfahren (Vapor Axial
Deposition) unter Einsatz eines „Doppel-Flammhydrolysebrenners"
beschrieben. Auch der hier eingesetzte Brenner besteht aus einer
Mitteldüse,
die koaxial von einer Vielzahl von Ringspaltdüsen umgeben ist. Mittels eines
Teils der Düsen
wird eine erste, innere Brennerflamme erzeugt und mittels eines
anderen Teil der Ringspaltdüsen
wird eine äußere Brennerflamme
gebildet. Sowohl der inneren als auch der äußeren Brennerflamme wird Glasausgangsmaterial in
Form von SiCl
4 zugeführt, so dass sich eine Erhöhung der
Abscheiderate gegenüber
einem Flammhydrolysebrenner mit einer „Einfachflamme" ergibt.
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Der vorliegenden Erfindung liegt
die Aufgabe zugrunde, ein alternatives Verfahren zur Herstellung fester,
pulverförmiger
Werkstoffe oder von Aerosilen bereitzustellen, das sich insbesondere
hinsichtlich einer hohen Effizienz und Reproduzierbarkeit auszeichnet.
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Diese Aufgabe wird ausgehend von
dem eingangs genannten Verfahren erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass
die Bildung der Primärpartikel
gemäß dem I.
Verfahrensschritt in einer Vorreaktionszone unter Wirkung eines
ersten einstellbaren Einstellmittels, und die Bildung der Werkstoffteilchen
gemäß dem II.
Verfahrensschritt in der Brennerflamme unter Wirkung eines zweiten,
unabhängig
von dem ersten Einstellmittel einstellbaren Einstellmittels erfolgt.
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Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren
sind die Verfahrensschritte der Primärpartikelbildung und der Werkstoffteilchenbildung
mindestens insoweit voneinander getrennt, als bei beiden Verfahrensschritten
unabhängig
voneinander einstellbare Einstellmittel auf den Reaktionsablauf
einwirken.
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Für
die Bildung der Primärpartikel
ist eine Vorreaktionszone vorgesehen, wobei auf die Vorreaktionszone
und die sich darin bildenden Primärpartikel ein erstes einstellbares
Einstellmittel einwirkt. Die Vorreaktionszone ist getrennt von der
Brennerflamme, in welcher die eigentlichen Werkstoffteilchen gebildet
werden. Die Bildung der Werkstoffteilchen erfolgt dadurch, dass
sich die in der Vorreaktionszone gebildeten Primärpartikel gegenseitig anlagern.
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Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, dass
eine Optimierung der Primärpartikelbildung
anderer Parameter – wie
Temperatur, Atmosphäre
oder Strömungsfeld – oder anderer
Einstellungen dieser Parameter bedarf, als die Optimierung der Werkstoffteilchenbildung.
Daher ist zur Einstellung der Brennerflamme ein zweites Einstellmittel
vorgesehen, wobei wesentlich ist, dass das erste Einstellmittel
zur Einstellung relevanter Eigenschaften der Vorreaktionszone im
Hinblick auf die Primärpartikelbildung
unabhängig
ist von dem zweiten Einstellmittel für die Einstellung relevanter
Eigenschaften zur Werkstoffteilchenbildung. Dadurch wird es ermöglicht,
die Bildung der Primärpartikel
und die Bildung der Werkstoffteilchen unabhängig voneinander zu optimieren.
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Bei dem ersten und dem zweiten Einstellmittel
handelt es sich jeweils um thermische, chemische, und/oder mechanische
Maßnahmen,
mittels denen der Reaktionsablauf in der Vorreaktionszone bzw. innerhalb
der Brennerflamme beeinflusst werden können. Zur Lösung der oben genannten technischen Aufgabe
bedürfen
unterschiedliche Aspekte, die in den einzelnen Verfahrensschritten
im Vordergrund stehen, einer Optimierung. Von den jeweils im Vordergrund
stehenden Aspekten hängt
die Art und Weise des bevorzugt einzusetzenden Einstellmittels ab, wie
im Folgenden näher
erläutert
wird:
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- 1. Die Bildung der Primärpartikel nach Verfahrensschritt
I erfolgt durch Hydrolyse der Ausgangssubstanz. Es hat sich gezeigt,
dass die Hydrolyse für
die Primärpartikelbildung
hinsichtlich Energieauswertung und Kosten die optimale Verfahrensweise
darstellt. Der Vollständigkeit
wird darauf hingewiesen, dass die Ausgangssubstanz im Rahmen einer
Flammhydrolyse stets auch einer Oxidation unterliegt. Dieser Oxidationsmechanismus
ist im Sinne der Erfindung von den im Folgenden benutzten Begriffen „Hydrolyse"
oder „Flammhydrolyse"
umfasst.
- Im Rahmen der Bildung der Primärpartikel sind insbesondere
Größe und Größenverteilung
der Primärpartikel
von besonderem Interesse, da diese sich auf die anschließende Werkstoffteilchenbildung
entscheidend auswirken. Es hat sich gezeigt, dass größere Primärpartikel
und eine enge Größenverteilung
die Reproduzierbarkeit des Anlagerungsmechanismus in Verfahrensschritt
II ver bessern. Insoweit wirkt sich eine Optimierung im Bereich der
Primärpartikelgröße im Bereich
der Werkstoffteilchenbildung günstig
aus.
- 2. Für
die Bildung der Werkstoffteilchen durch gegenseitiges Anlagern von
Primärpartikeln
wird ein Brenner eingesetzt. Hierbei kann es sich zum Beispiel um
einen Plasmabrenner oder einen Flammhydrolysebrenner handeln. Wesentlich
ist, dass im Bereich der Brennerflamme – auch unter Wirkung des zweiten
Einstellmittels – eine
ausreichende Energie zum Ansintern der Primärpartikel bereitgestellt werden
kann.
- Im Rahmen der Bildung der Werkstoffteilchen sind insbesondere
die morphologischen Eigenschaften der Werkstoffteilchen von besonderem
Interesse. Die Morphologie der Teilchen kann zum Beispiel die Homogenität einer
etwaigen Verteilung von Dotanden in einem aus dem Werkstoff gebildeten
Körper
und dessen Blasigkeit beeinflussen. Insoweit werden durch Verfahrensschritt
II die Eigenschaften des Verfahrensproduktes (Festkörper, Pulver,
Aerosil) wesentlich beeinflusst.
- 3. Neben der Optimierung der Effizienz des Herstellungsverfahrens
(der Ausbeute) treten Aspekte hinsichtlich der Eigenschaften des
Verfahrensproduktes (Festkörper,
Pulver, Aerosil) vor allem beim dritten Verfahrensschritt, dem Niederschlagen
der Werkstoffpartikel – in
den Vordergrund. Bei den bei diesem Verfahrensschritt besonders relevanten
Eigenschaften handelt es sich beispielsweise um Dichte, Homogenität oder Festigkeit
des Verfahrensprodukts.
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Zur Bildung der Primärpartikel
werden die Reaktionskomponenten der Vorreaktionszone zugeführt und
anschließend
werden die in der Vorreaktionszone gebildeten Primärpartikel
der Brennertlamme zugeführt.
Vorzugsweise wird die Vorreaktionszone gebildet, indem ein brennbares
Gemisch aus dem Brennstoff und dem sauerstoffhaltigen Gas unter
Bildung einer Flamme verbrannt wird.
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In diesem Fall wird das erste Einstellmittel durch
das brennbare Gasgemisch gebildet, mittels dem die Flamme erzeugt
wird. Über
die Flamme wird die für
die Primärpartikelbildung
erforderliche Wärme bereitgestellt.
Die Vorreaktionszone ist in diesem Fall als leuchtender Bereich
erkennbar, so dass Lage und Größe der Reaktionszone
leicht kontrollierbar sind. Die Flammenfront ergibt sich als Grenzlinie
zwischen zwei verschiedenen Gasen, deren Reaktion die Flammenbildung
bewirkt, wie beispielsweise Wasserstoff und Sauerstoff.
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Es hat sich als günstig erwiesen, wenn die Flamme
eine Länge
von maximal 5 cm, vorzugsweise eine Länge von maximal 2 cm, aufweist.
Denn die Verteilung der Größen der
in der Vorreaktionszone gebildeten Primärpartikel wird deutlich von
der Länge der
Vorreaktionszone beeinfusst. Eine homogene Verteilung der Primärpartikelgröße erleichtert
die Bildung gleichmäßiger Werkstoffteilchen.
Die Größenverteilung
ist um so schmaler, je kürzer
die Vorreaktionszone ist. Es ist aber eine Mindestlänge der
Vorreaktionszone erforderlich, die in Abhängigkeit von der in die Vorreaktionszone
eingebrachten Wärmemenge
schätzungsweise
bei ca. 0,5 cm bis 1,0 cm liegt.
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In einer bevorzugten Ausgestaltung
des erfindungsgemäßen Verfahrens
ist die Vorreaktionszone dem Brenner zugeordnet und als vordere
Flamme ausgebildet. Hierbei wird sowohl für die Primärpartikelbildung, als auch
für die
Werkstoffteilchenbildung ein gemeinsamer Flammhydrolysebrenner eingesetzt,
der mindestens zwei Brennerflammen aufweist.
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Vorzugsweise wird hierfür ein Flammhydrolysebrenner
eingesetzt, aufweisend eine erste Gruppe von Düsen, denen Brennstoff und sauerstoffhaltiges Gas
zur Erzeugung der Vorreaktionszone, und eine zweite Gruppe von Düsen, denen
Brennstoff und sauerstoffhaltiges Gas zur Erzeugung der Brennerflamme
zugeführt
werden.
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Die in der Vorreaktionszone gebildeten
Primärpartikel
gelangen mit der Strömung
der Brennergase in die Brennerflamme. Da somit mittels des Flammhydrolysebrenners
sowohl die Vorreaktionszone als auch die Brennerflamme erzeugt werden, entfällt der
Aufwand zum Justieren oder Fixieren von Teilen einer Vorrichtung
zueinander, so dass sich eine einfache Handhabung und eine gute
Reproduzierbarkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens ergibt.
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Im Hinblick auf eine hohe Homogenität der Primärpartikel
wird vorzugsweise ausschließlich
der ersten Gruppe von Düsen
die Ausgangssubstanz für den
Werkstoff zugeführt.
Im Gegensatz zu den eingangs beschriebenen Verfahren unter Einsatz
eines Abscheidebrenners mit „Doppelflamme"
wird beim erfindungsgemäßen Verfahren
lediglich derjenigen Brennerflamme, die die Vorreaktionszone bildet,
die Ausgangssubstanz für
den Werkstoff zugeführt.
Die eigentliche Brennerflamme, die die Vorreaktionszone umgibt,
dient lediglich der Vergrößerung der
Werkstoffteilchen durch gegenseitiges Anlagern der Primärpartikel.
Das Zuführen
von hydrolysierbaren Ausgangssubstanzen zu der zweiten Gruppe von
Düsen würde zu einer
weiteren Primärpartikelbildung
führen,
was sich auf die Homogenität
der gebildeten Werkstoffteilchen und auf die Reproduzierbarkeit
des Verfahrens besonders nachteilig auswirken würde.
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Eine weitere Verbesserung der Abscheideeffizienz
ergibt sich dadurch, dass zur Bildung der Vorreaktionszone der Brennstoff
und die hydrolysierbare Ausgangssubstanz derselben Düse zugeführt werden.
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Bei dieser Verfahrensvariante ergibt
sich ein inniges Vermischen der Ausgangssubstanz mit dem Brennstoff
bereits vor der eigentlichen Vorreaktionszone. Durch dieses Vormischen
kann die Länge
der Vorreaktionszone klein gewählt
werden, wodurch sich, wie bereits oben erwähnt, eine bessere Kontrollierbarkeit
der Größe und Morphologie
der gebildeten Primärpartikel
ergibt. Ein weiterer Aspekt besteht darin, dass im Fall, dass Wasserstoff
als Brennstoff eingesetzt wird, ein Einbau von Wasserstoffmolekülen in die
sich bildenden Primärpartikel
erleichtert wird, was sich auf die späteren Eigenschaften der Werkstoffteilchen
günstig
auswirken kann.
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Nachfolgend werden weitere vorteilhafte Ausgestaltungen
der auf die Vorreaktionszone einwirkenden ersten Einstellmittel
näher beschrieben.
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Als günstig hat sich beispielsweise
erwiesen, dass das erste Einstellmittel ein auf die Vorreaktionszone
einwirkendes Heizmittel umfasst.
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Besonders vorteilhaft ist es, als
Heizmittel einen Laser einzusetzen, der Strahlung mit einem vom Werkstoff
absorbierbaren Wellenlängenbereich
abgibt. Mittels des Lasers lässt
kann in eine Vorreaktionszone geringer Größe gezielt eine vorgegebene Menge
zusätzlicher
Energie eingebracht werden, so dass die Primärpartikelbildung lokal definiert
beeinflusst werden kann.
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Alternativ, oder zusätzlich hierzu
wird als Heizmittel eine die Brennertlamme ringförmig umgebende Heizeinrichtung
eingesetzt. Die ringförmige Heizeinrichtung
erleichtert das Einbringen von Energie in die Vorreaktionszone in
einer rotationsymmetrischen Art und Weise, was sich auf die Homogenität der Primärpartikelgröße günstig auswirkt.
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In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung umfasst
die Heizeinrichtung einen beheizten Hohlkörper, in den die Reaktionskomponenten
an einem Ende eingeleitet und aus dem sie an einem anderen Ende
ausgeleitet werden. In dem beheizten Hohlkörper wird – abgeschlossen und unbeeinflusst
von der Umgebung – eine
definierte und reproduzierbare Primärpartikelbildung erleichtert.
Die Vorreaktionszone befindet sich in dem Fall teilweise oder vollständig innerhalb
des beheizten Hohlkörpers.
Der Hohlkörper ist
beispielsweise als Rohr ausgebildet.
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Es hat sich auch bewährt, wenn
das erste Einstellmittel ein auf die Vorreaktionszone einwirkendes
elektrisches Feld umfasst. Die Feldlinien des elektrischen Feldes
verlaufen dabei vorzugsweise quer zur Haupt-Bewegungsrichtung der
Primärpartikel
innerhalb der Vorreaktionszone, beispielsweise quer zu einer Brennerflamme.
Dadurch lässt
sich die Breite der Vorreaktionszone und damit die Temperatur und
Primärpartikel-Größenverteilung
definiert einstellen.
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Gleichermaßen hat es sich als günstig erwiesen,
wenn das erste Einstellmittel ein auf die Vorreaktionszone einwirkendes
Ultraschallfeld umfasst. Diese Verfahrensweise hat den Vorteil,
dass eine vorzeitige Agglomeration von Primärpartikeln vermieden wird,
so dass eine schmale Primärpartikel-Größenverteilung
innerhalb der Vorreaktionszone aufrechterhalten werden kann.
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Unabhängig vom ersten Einstellmittel,
das auf die Bildung der Primärpartikel
einwirkt, wird erfindungsgemäß ein zweites
Einstellmittel eingesetzt, das die Bildung der Werkstoffteilchen
aus den Primärpartikeln
beeinflusst. Das zweite Einstellmittel wirkt hierzu direkt auf die
Werkstoffteilchen ein oder mittelbar über eine Beeinflussung der
Brennerflamme. Hinsichtlich des zweiten, auf die Werkstoffteilchen
einwirkenden Einstellmittels haben sich die im folgenden näher beschriebenen
Verfahrensvarianten als vorteilhaft erwiesen: Besonders bewährt hat
es sich, wenn das zweite Einstellmittel ein auf die Werkstoffteilchen
einwirkendes Heizmittel umfasst, wobei vorzugsweise als Heizmittel
eine die Brennerflamme koaxial umgebende Heizeinrichtung eingesetzt
wird.
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Mittels einer derartigen Heizeinrichtung
wird ein großflächiges Einbringen
von Wärme
in die Brennerflamme ermöglicht,
wobei das Einbringen der zusätzlichen
Wärme rotationssymmetrisch
in Bezug auf die Hauptausbreitungsrichtung der Brennerflamme erfolgt.
Dadurch ergibt sich eine Homogenisierung des Temperaturprofils hinsichtlich
der Werkstoffteilchen innerhalb der Brennerflamme, die eine reproduzierbare
und leicht kontrollierbare Bildung der Werkstoffteilchen ermöglicht.
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Alternativ hierzu kann es sich als
günstig
erweisen, dass das zweite Einstellmittel ein auf die Werkstoffteilchen
einwirkendes Kühlmittel
umfasst. Ein Kühlmittel
wird beispielsweise dann eingesetzt, wenn der Brennerflamme die
Vorreaktionszone unmittelbar vorgeordnet ist und die Primärpartikelbildung
definiert abgeschlossen werden soll.
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Als Kühlmittel hat sich ein auf die
Brennerflamme gerichteter Kühlstrom
bewährt.
Der Kühlstrom
kann ein Inertgas enthalten oder er kann eine verdampfte Flüssigkeit,
wie etwa Wasser oder Alkohol, mit vorzugsweise hoher Wärmekapazität, sein.
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Gleichermaßen hat es sich als günstig erwiesen,
wenn das zweite Einstellmittel ein auf die Werkstoffteilchen einwirkendes
elektrisches Feld umfasst.
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Die Feldlinien des elektrischen Feldes
verlaufen dabei vorzugsweise quer zur Hauptausbreitungsrichtung
der Brennerflamme. Dadurch lässt
sich die Breite der Brennerflamme und damit deren Temperatur und
die Temperatur der Werkstoffteilchen definiert einstellen.
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Weiterhin hat es sich bewährt, dass
das zweite Einstellmittel ein auf die Werkstoffteilchen einwirkendes
Ultraschallfeld umfasst. Mittels dieser Verfahrensweise gelingt
es, eine hinsichtlich der Abscheideeffizienz besonders geeignete
Größe der Werkstoffteilchen
einzustellen. Im Vergleich zu einer entsprechenden Maßnahme in
der Vorreaktionszone (erstes Einstellmittel) ist eine niedrigere
Ultraschallfrequenz und/oder ein geringerer Energieeintrag in die
Werkstoffteilchen einzustellen, damit eine Aufspaltung bereits agglomerierter
Werkstoffteilchen möglichst
vermieden wird.
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Bei der Brennerflamme handelt es
sich vorzugsweise um eine Plasmaflamme. Die Plasmaflamme bewirkt
aufgrund ihrer hohen Temperaturen ein schnelles Versintern der Primärpartikel
und ermöglicht
damit eine Erzeugen großer
Werkstoffteilchen über
eine kurzen Länge.
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Alternativ hierzu ist die Brennertlamme
als Knallgasflamme ausgebildet. Diese hat den Vorteil, dass sie
einfach zu handhaben ist und die Reaktionsprodukte ungiftig sind.
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Weiterhin hat es sich als günstig erwesen, dass
das Niederschlagen gemäß dem dritten
Verfahrensschritt (Verfahrensschritt III) unter Wirkung eines dritten
einstellbaren Einstellmittels erfolgt. Das dritte Einstellmittel
ermöglicht
die definierte Einstellung und Anpassung des Prozesses des Niederschlagens der
gebildeten Werkstoffteilchen entweder auf einem Substrat in Form
eines festen Körpers
aus dem Werkstoff, oder das unkontrollierte Niederschlagen der Werkstoffteilchen
in einem Filter oder in einem Behälter.
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Im erstgenannten Fall erfolgt ein
schichtweises Abscheiden der Werkstoffteilchen auf einer Ablagerungsfläche. Je
nach der auf die Ablagerungsfläche
einwirkenden Temperatur bildet sich dabei ein poröser Körper aus
mehr oder weniger angesin terten Werkstoffteilchen (im Folgenden
als „Sootkörper" bezeichnet),
oder es bildet sich ein dichter Körper aus dem Werkstoff.
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Bei einer Verfahrensweise, bei der
die gebildeten Werkstoffteilchen auf einer Ablagerungsfläche abgeschieden
werden, hat es sich bewährt,
wenn das dritte Einstellmittel ein auf die Ablagerungsfläche einwirkendes
Heizmittel umfasst.
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Bei dem Heizmittel handelt es sich
vorzugsweise um einen auf die Ablagerungsfläche einwirkenden Infrarotstrahler.
Mittels des Infrarotstrahlers kann die Temperatur der Ablagerungsfläche – und damit die
Dichte und mechanische Festigkeit des sich bildenden Körpers – auf einfache
Art und Weise großflächig beeinflusst
werden.
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Alternativ oder ergänzend hierzu
hat es sich auch bewährt,
wenn das Heizmittel eine auf die Ablagerungsfläche einwirkende Flamme umfasst.
Dabei handelt es sich um eine getrennt von der Brennerflamme einstellbare
Flamme, die auch entlang des sich bildenden Körpers bewegbar sein kann.
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Die Flamme erleichtert ein lokales
Erhitzen im Bereich der Ablagerungsfläche oder auch – bei einer
sich entlang der Ablagerungsfläche
bewegenden Flamme – ein
großflächiges Erhitzen
und damit eine gezielte Einstellung der Dichte des Körpers.
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Die Effizienz der Abscheidung von
Werkstoffteilchenn auf der Ablagerungsfläche wird wesentlich durch die
sogenannten Thermophorese beeinflusst, wobei die thermophoretische
Wirkung um so größer ist,
je höher
die Temperaturdifferenz zwischen der Brennerflamme und der Ablagerungsfläche ist.
Es hat sich daher als vorteilhaft erwiesen, die Ablagerungsfläche zu Erhöhung der
thermophoretischen Kräfte
zu kühlen,
wobei als Kühlmittel
ein auf die Brennerflamme gerichteter Kühlstrom besonders geeignet
ist.
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Mittels des Kühlstroms lässt sich großflächig eine
definierte Kühlung
einstellen. Als Kühlstrom
wird vorteilhaft eine verdampfte Flüssigkeit eingesetzt, wobei
es sich vorzugsweise um eine Flüssigkeit
mit hoher Wärmekapazität, wie beispielsweise
Wasser oder Alkohol, handelt.
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Alternativ oder ergänzend hierzu
hat es sich auch bewährt,
die Ablagerungsfläche
auf einem kühlbaren
Substratkörper
zu erzeugen. Der Substratkörper
ist beispielsweise als Hohlkörper
ausgebildet, wobei der Hohlraum von einem Kühlmedium durchströmt wird
Weiterhin können
von dem Hohlraum zu der Ablagerungsfläche offene Kühlkanäle verlaufen, durch
die das Kühlmedium,
beispielsweise ein Inertgas, zu der Ablagerungsfläche strömen kann.
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Als besonders wirksam hinsichtlich
einer Verbesserung der Abscheideeffizienz hat es sich auch erwiesen,
die gebildeten Werkstoffteilchen auf einer Ablagerungsfläche abzuscheiden,
wobei das dritte Einstellmittel eine elektrische Aufladung der Ablagerungsfläche umfasst.
Die elektrische Aufladung der Ablagerungsfläche erfolgt dabei gegenpolig zu
der Aufladung der Werkstoffteilchen, so dass sich durch das elektrische
Feld eine gegenseitige Anziehung von Ablagerungsfläche und
Werkstoffteilchen einstellt.
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In einer besonders bevorzugten Verfahrensvariante
des erfindungsgemäßen Verfahrens
sind die Vorreaktionszone und die Brennerflamme räumlich getrennt
voneinander, wobei die in der Vorreaktionszone gebildeten Primärpartikel
einer Behandlung unterzogen und anschließend der Brennerflamme zugeführt werden.
Die Primärpartikel
werden hierbei vor dem Einbringen in die Brennerflamme zur Bildung der
Werkstoffteilchen einer thermischen, mechanischen oder chemischen
Behandlung unterzogen. Hierdurch gelingt es, Primärpartikel
mit definierten Eigeschaften bereitzustellen und diese anschließend der „Nachbehandlung"
in der Brennerflamme zu unterziehen.
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Vorzugsweise umfasst die Behandlung
eine Klassierung der Primärpartikel.
Dadurch können
Primärpartikel
einer vorgegebenen, optimalen Größe in die
Brennerflamme überführt werden.
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Alternativ oder ergänzend hierzu
umfasst die Behandlung eine Beschichtung der Primärpartikel. Dabei
kann es sich beispielsweise um eine Kohlenstoffbeschichtung oder
eine ähnliche
Beschichtung handeln, die im Werkstoff eine günstige Wirkung entfaltet.
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Vorzugsweise werden der Vorreaktionszone Wasserstoff
und Ausgangsstoff in einem Volumenverhältnis im Bereich zwischen 0,2
und 1,5 zugeführt. Es
hat sich gezeigt, dass bei diesem Volumenverhältnis eine gegenüber einer
Standard-Verfahrensweise verbesserte
Abscheideeffizienz einstellt. Dabei wird von einer Standard-Verfahrensweise
ausgegangen, bei der der Vorreaktionszone Ausgangsstoff, jedoch kein
Wasserstoff, zugeführt
wird.
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Eine weitere Verbesserung hinsichtlich
der Abscheideeftizienz ergibt sich dadurch, dass der Vorreaktionszone
Wasserstoff und Sauerstoff in einem Volumenverhältnis im Bereich zwischen 0,4
und 1,0 zugeführt
werden.
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Die Erfindung wird nachfolgend anhand
eines Ausführungsbeispiels
und einer Zeichnung näher
erläutert.
In der Zeichnung zeigen im einzelnen:
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1 einen
Verfahrensschritt zur Herstellung eines SiO2-Rohlings
nach dem Flammhydrolyseverfahren unter Einsatz eines Abscheidebrenners in
schematischer Darstellung,
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2 ein
Diagramm zur der mit einem Abscheidebrenner nach 1 erzielbaren Abscheiderate in Abhängigkeit
von einer der Mitteldüse
zugeführten
Wasserstoffmenge, und
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3 in
schematischer Darstellung einen Verfahrensschritt ähnlich dem
in 1, jedoch mit einer
ringförmigen
Heizeinrichtung im Bereich des Abscheidebrenners.
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Bei der in 1 dargestellten Anordnung ist ein Abscheidebrenner 1 bestehend
aus insgesamt vier koaxial zueinander angeordneten Brennerrohren 2, 3, 4, 5 aus
Quarzglas vorgesehen. Das zentrale Brennerrohr 2 umschließt die Mitteldüse 6,
zwischen dem zentralen Brennerrohr 2 und dem benachbarten Brennerrohr 3 ist
eine Trenngasdüse 7 ausgebildet, das
Brennerrohr 3 und das Brennerrohr 4 umschließen die
Ringspaltdüse 8 und
das Brennerrohr 4 und das Außenrohr 5 die Außendüse 9.
Im Bereich ihrer Düsenöffnung 10 knickt
die ringförmige
Trenngasdüse 7 in
Richtung auf die Mitteldüse 6 ab,
wobei sich gleichzeitig der Öffnungsquerschnitt
der Trenngasdüse 7 in
diesem Bereich kontinuierlich verjüngt. Im Ge gensatz dazu erweitert
sich der Öffnungsquerschnitt der
Ringspaltdüse 8 im
Bereich ihrer Düsenöffnung 11.
Das Außenrohr 5 ist über den
Bereich des Brennermundes hinaus, der durch die Linie L2 gekennzeichnet
ist, um 25 mm verlängert.
Die Öffnungsquerschnitte
der Mitteldüse 6,
der Trenngasdüse 7,
der Ringspaltdüse 8 und
der Außendüse 9 stehen
im Bereich der Linie „L1"
in der Reihenfolge ihrer Nennung im Verhältnis von 1: 5 : 15 : 40 zueinander.
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Nachfolgend wird das erfindungsgemäße Verfahren
anhand eines Ausführungsbeispiels
zur Herstellung eines porösen
SiO2-Rohlings nach dem sogenannten OVD-Verfahren
unter Einsatz des in 1 dargestellten
Abscheidebrenners 1 näher
erläutert:
Auf
einem um seine Längsachse
rotierenden Dorn 14 mit einem Außendurchmesser von 50 mm werden durch
Hin- und Herbewegung des Abscheidebrenners 1 entlang des
Dorns 14 Sootpartikel abgeschieden. Der Mitteldüse 6 des
Abscheidebrenners 1 werden SiCl4,
und Wasserstoff zugeführt,
wobei der Wasserstoff gleichzeitig als Trägergas für das dampfförmige SiCl4 dient. Das Molverhältnis von SiCl4,
und dem Trägergas-Wasserstoff
beträgt
dabei 1 : 1.
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Durch die Trenngasdüse 7 wird
Trenngas-Sauerstoff, durch die Ringspaltdüse 8 Wasserstoff und
durch die Außendüse 9 Brenngas-Sauerstoff
geleitet, wobei die genannten Gasströme (SiCl4 +
Trägergas-Wasserstoff,
Trenngas-Sauerstoff, Wasserstoff, Brenngas-Sauerstoff) in dieser
Reihenfolge in einem Mengenverhältnis
von 1 : 1 : 10 : 3 zueinander stehen.
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Infolge der Einleitung von Wasserstoff
in die Mitteldüse 6 bildet
sich durch Knallgasreaktion mit dem durch die Trenngasdüse 7 geleiteten
Sauerstoff-Trenngasstrom
eine innere Knallgasflamme 15, in der das eingesetzte SiCl4 unter Bildung von SiO2-Primärpartikeln
hydrolysiert wird. Bei der Knallgasflamme 15 handelt es
sich um ein erstes Einstellmittel im Sinne der vorliegenden Erfindung.
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Die Auströmungsgeschwindigkeiten und Gasmengen
im Bereich der inneren Knallgasflamme 15 sind derart abgestimmt,
dass die Umsetzung von SiCl4 zu SiO2 möglichst
kurz nach dem Austreten der Gase aus den Düsenöffnungen 10 bzw. 12
beginnt, erkennbar durch den Beginn der inneren Knallgasflamme 15 etwa
3 mm vom Brennermund L2 entfernt. In 1 ist
der Beginn der inneren Knallgasflamme 15 mit L3 bezeichnet.
Sie hat eine Länge
von etwa 2,5 cm, wobei die Flammenfront als Begrenzung eines weiß leuchtenden
Bereiches optisch leicht erkennbar ist. Bedingt durch die Kürze der
inneren Knallgasflamme 15 wird eine definierte SiO2-Primärpartikelbildung
erreicht. Am Ende der inneren Knallgasflamme 15 liegen
die SiO2-Primärpartikel in Form monodisperser
sphärischer
Teilchen mit einem mittleren Teilchendurchmesser von ca. 20 nm vor.
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Weiterhin wird durch die Einleitung
von Wasserstoff in die Ringspaltdüse 8 und durch die
Einleitung von Brenngas-Sauerstoff in die Außendüse 9 ein weiteres
Knallgasgemisch erzeugt, das eine äußere Knallgasflamme 16 bildet.
Der Beginn der äußeren Knallgasflamme 16 liegt
in etwa in der gleichen Höhe
wie der Beginn der inneren Knallgasflamme 15, wie in 1 schematisch durch die
Linie L4 angedeutet. Ihre Länge
wird durch das Auftreffen auf die Ablagerungsfläche 17 begrenzt. Wesentlich
ist, dass ein Teil der äußeren Knallgasflamme 16 der
inneren Knallgasflamme 15 in Richtung auf die Ablagerungsfläche 17 und
in Hauptausbreitungsrichtung 19 gesehen nachgelagert ist,
so dass die in der inneren Knallgasflamme 15 gebildeten
SiO2-Primärpartikel mit der Strömung der
Brennergase in die äußere Knallgasflamme 16 eingetragen
werden.
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In der Knallgasflamme 16 herrscht
eine maximale Flammentemperatur von etwa 2800°C. Die Temperatur der äußeren Knallgasflamme 16 ergibt sich
im Wesentlichen in Abhängigkeit
von den Mengen an Sauerstoff und Wasserstoff, die der Außendüse 9 bzw.
der Ringspaltdüse 8 zugeführt werden.
Die Temperatur der äußeren Knallgasflamme 16 bewirkt ein
gegenseitiges Ansintern der SiO2-Primärpartikel und
somit eine Teilchen-Vergrößerung.
Sie ist unabhängig
von der Temperatur der inneren Knallgasflamme 15 einstellbar
und insoweit im Sinne der vorliegenden Erfindung ein zweites Einstellmittel
zur Beeinflussung des Wachstums der SiO2-Primärpartikel.
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Die in der äußeren Knallgasflamme 16 gebildeten,
agglomerierten Sootpartikel zeichnen sich durch einheitliche Morphologie
und eine homogene Teilchengrö ßenverteilung
aus. Die Teilchengrößen liegen
zwischen 20 nm und 200 nm, wobei ein Mittelwert um 160 nm angestrebt
wird. Die agglomerierten Sootpartikel werden auf der Ablagerungsfläche 17 schichtweise
unter Bildung eines porösen
SiO2-Rohlings
abgeschieden.
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Wichtig ist hierbei, dass der äußeren Knallgasflamme 16 lediglich
die in der inneren Knallgasflamme 15 gebildeten SiO2-Primärpartikel
zugeführt werden,
jedoch nicht zusätzliches
Ausgangsmaterial in Form von SiCl4. Denn
durch eine derartige zusätzliche
SiCl4-Zufuhr wäre die angestrebte Einheitlichkeit
in der Morphologie und der Teilchengrößen der SiO2-Sootpartikel
nicht erreichbar.
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Das Außenrohr 5 schirmt
den mit L3 gekennzeichneten Beginn der inneren Knallgasflamme 15 radial
nach Außen
ab; das Außenrohr 5 überragt
den Bereich L3 um ca. 20 mm. Außerdem
trägt es
zur Führung
der Gasströmung
insgesamt und zu einer Bündelung
der Hitze im Bereich der äußeren Knallgasflamme 16 bei.
Das Außenrohr 5 wirkt
sich somit als weiteres, mechanisches Einstellmittel zur Beeinflussung
des Wachstums der SiO2-Primärpartikel
im Sinne der vorliegenden Erfindung insgesamt stabilisierend auf
die Geometrie und Lage der Knallgasflamme 16 aus. Deren
geometrische Form wird im wesentlichen durch den über die
Außendüse 9 austretenden
Brenngas-Sauerstoffstrom und durch den Überstand des Außenrohres 5 bestimmt.
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Der Abstand zwischen dem Brennermund des
Abscheidebrenners 1 (Linie L2) und der Ablagerungsfläche 17 des
sich vergrößernden
SiO2-Rohlings wird auf einem Wert im Bereich
zwischen 20 und 23 cm konstant gehalten.
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Zur Vergrößerung der thermophoretischen Wirkung
wird der rotierende Dorn 14 bzw. auf die Ablagerungsfläche 17 des
bildenden SiO2-Rohlings gekühlt. Hierzu
ist ein Stickstoffstrom 18 von 15 l/h vorgesehen, der in
Höhe des
Abscheidebrenners 1 auf die Ablagerungsfläche 17 gerichtet,
und der in 1 schematisch
anhand der Richtungspfeile (18) dargestellt ist.
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Nachdem der SiO2-Rohling
seine Sollstärke erreicht
hat, wird der Abscheideprozess gestoppt, der Dorn 14 entnommen
und der so hergestellte Grünkörper nach den
allgemein bekannten Verfahren gereinigt, und zu einem Quarzglasrohr,
in einer alternativen Verfahrenweise zu einer Quarzglas-Vorform – gesintert.
Das Quarzglasrohr dient als Halbzeug für die Herstellung einer Vorform
für optische
Fasern.
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Das Diagramm gemäß 2 beruht auf einem Versuch zur Optimierung
der Abscheideeffizienz von SiO2 unter Einsatz
des in 1 gezeigten Abscheidebrenners 1.
Bei diesem Versuch wurden alle Parameter, insbesondere die dem Abscheidebrenner 1 zugeführten Medienströme konstant
gehalten, mit Ausnahme der in die Mitteldüse 6 eingeleiteten
Menge an Träger-Wasserstoff.
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In dem Diagramm ist auf die SiO2-Abscheiderate „A" (in relativen Einheiten)
in Abhängigkeit
von der in die Mitteldüse 6 eingeleiteten
Menge „R"
(in l/min) an Träger-Wasserstoff
aufgetragen. Die Zufuhrate von SiCl4 zur
Mitteldüse
ist dabei auf 4 l/min eingestellt.
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Die Angaben zur SiO2-Abscheiderate „A" beziehen
sich auf einen Standardwert 20 der Abscheiderate, der ebenfalls
im Diagramm eingetragen ist. Der Standardwert beruht auf einem Vergleichsversuch,
bei dem der Mitteldüse
kein Wasserstoff und anstelle davon 2 l/min Sauerstoff zugeführt wurden. Hierbei
kommt es nicht zur Ausbildung einer inneren Knallgasflamme 15.
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Aus dem Diagramm ist ersichtlich,
dass sich die Abscheideeffizienz mit zunehmender Menge an Träger-Wasserstoff
zunächst
erhöht
und bei einer Menge von etwa 4 l/min ein Maximum erreicht, und danach
bei weiter erhöhter
Menge an Träger-Wasserstoff – anscheinend – wieder
leicht abnimmt. Das Maximum der Abscheideeffizienz ergibt sich somit bei
einem Volumenverhältnis
von Wasserstoff und SiCl4-Ausgangsstoff
um etwa 1,0. Bei einer Wasserstoffzufuhr von 0 l/min kam es nicht
zur Ausbildung einer Vorreaktionszone in Form einer inneren Knallgasflamme 15.
Dadurch ergab sich eine besonders geringe Abscheideeffizienz. Bereits
bei einer Wasserstoffzufuhr zu der Mitteldüse 6 von 1 l/min kam
es zur Ausbildung einer Knallgasflamme 15 und damit zu
einer deutlich höheren
SiO2-Abscheideeffizienz.
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Sofern in der nachfolgend beschriebenen 3 die gleichen Bezugsziffern
wie in 1 verwendet sind,
so werden damit gleiche oder äquivalente
Bauteile bzw. Bestandteile der Anordnung nach 1f bezeichnet.
Auf die entsprechenden Erläuterungen
zu der 1 wird hingewiesen.
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Bei der Anordnung nach 3 ist als weiteres Einstellmittel
zur Beeinflussung des Wachstums der in der inneren Knallgasflamme 15 gebildeten SiO2-Primärpartikel
ein Heizer 30 vorgesehen, der sich über eine Teillänge von
100 mm der äußeren Knallgasflamme 16 erstreckt
und diese ringförmig umgibt.
Der Heizer 30 wird auf eine Temperatur von 1000°C eingestellt.
Er ermöglicht
ein großflächiges Einbringen
zusätzlicher
Wärme in
die äußere Knallgasflamme 16 und
eine Homogenisierung des Temperaturprofils und erleichtert somit
die Herstellung von SiO2-Sootpartikeln mit
homogener Morphologie und Größenverteilung.