KR960705207A - 질소 산화물을 검출하기 위한 센서(Sensor for detecting nitrogen oxide) - Google Patents

질소 산화물을 검출하기 위한 센서(Sensor for detecting nitrogen oxide)

Info

Publication number
KR960705207A
KR960705207A KR1019960701947A KR19960701947A KR960705207A KR 960705207 A KR960705207 A KR 960705207A KR 1019960701947 A KR1019960701947 A KR 1019960701947A KR 19960701947 A KR19960701947 A KR 19960701947A KR 960705207 A KR960705207 A KR 960705207A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sensor
layer
metal oxide
nitrogen oxides
oxide layer
Prior art date
Application number
KR1019960701947A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100337102B1 (ko
Inventor
포트하스트 하이드룬
슈만 브렌트
Original Assignee
랄프 홀거 베렌스 · 페터 뢰저
로베르트 보쉬 게엠베하
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 랄프 홀거 베렌스 · 페터 뢰저, 로베르트 보쉬 게엠베하 filed Critical 랄프 홀거 베렌스 · 페터 뢰저
Publication of KR960705207A publication Critical patent/KR960705207A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100337102B1 publication Critical patent/KR100337102B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
    • G01N33/0036—Specially adapted to detect a particular component
    • G01N33/0037—Specially adapted to detect a particular component for NOx
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N31/00—Investigating or analysing non-biological materials by the use of the chemical methods specified in the subgroup; Apparatus specially adapted for such methods
    • G01N31/005—Investigating or analysing non-biological materials by the use of the chemical methods specified in the subgroup; Apparatus specially adapted for such methods investigating the presence of an element by oxidation
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
    • Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
    • Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T436/00—Chemistry: analytical and immunological testing
    • Y10T436/17—Nitrogen containing
    • Y10T436/177692—Oxides of nitrogen

Abstract

바람직하게는 세라믹기판(10)에 놓인 반도체 금속산화층(3)으로 테스트가스에서의 질소산화물들(NO,NO2,N2O4)의 검출을 위해, 그의 전기 저항이 상기 테스트 가스에서 상기 질소 산화물들(NO,NO2,N2O4)의 농도에 대한 정보를 보내는 센서가 제시되어 있다. 이 센서의 주 구성 요소는 상기 금속 산화층(1)에 놓인 컨버터층(4), 이것은 상기 테스트 가스의 연소가능한 구성요소의 산화를 야기하는 재료로 이루어지고, 이것은 테스트가스에 포함된 일산화질소가 이산화질소 또는 사산화이질소로 변환되고, 이것으로 이어 상기 금속산화층(3)에 도달하며; 및 금속산화층(3)과 컨버터층(4)을 가열시키는 가열장치(5)를 갖는다.

Description

질소 산화물을 검출하기 위한 센서(Sensor for detecting ntrogen oxide)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 내지 제3도는 본 발명에 다른 센서의 평면도,
제4도는 상기 센서의 측면도,
제5도는 상기 센서의 하측면도.

Claims (10)

  1. 세라믹 기관(10)에 놓인 반도체 금속산화층(3)으로 테스트 가스에서의 질소 산화물들(NO,NO2,N2O4)의 검출을 위해 그의 전기 저항이 상기 테스트 가스에서 질소 산화물들(NO,NO2,N2O4)의 농도에 대한 정보를 보내며, -상기 금속산화측(1)에 놓인 컨버터층(4), 이것은 상기 테스트 가스의 연소가능한 구성요소의 산화를 야기하는 재료로 이루어지고, 이것은 테스트 가스에 포함된 일산화질소가 이산화질소 또는 사산화이질소로 변환되고, 이것은 이어 상기 금속산호층(3)에 도달하며, 금속산화층(3)과 컨버터층(4)을 가열시키는 가열장치(5)를 가지는 것을 특징으로 하는 질소 산화물을 검출하기 위한 센서.
  2. 제1항에 있어서, 상기 컨버터층(4)은 SiO2, ZrO2, TiO2, 또는, Al2O3로 구성되고 0.01 내지 20중량%의 백금 성분을 가지는 것을 특징으로 하는 센서.
  3. 제1항에 있어서, 상기 금속산화층(3)은 반도체 작용 금속 산화물, 특히 In2O3또는 Sn2O3로 이루어지며, 이것에 5×10-4내지 5×10-2몰%의 농도에서 상기 도체성을 높이는 도핑 엘리먼트가 혼합되는 것을 특징으로 하는 질소 산화물을 검출하기 위한 센서.
  4. 제3항에 있어서, 도핑 엘리먼트가 탄탈(Ta), 니오븀(Sb), 안티몬(Sb), 또는 텅스텐(W), In2O3에서는 아연(Sn) 역시, 티타늄(Ti), 세륨(Ce)이 될 수 있을 것을 특징으로 하는 질소 산화물을 검출하기 위한 센서.
  5. 제1항에 있어서, 상기 금속산화층(3)이 부가적으로 메인 그룹 Ⅱ의 하나 이상의 2가 엘리먼트 또는 상기 메인 그룹 Ⅲ의 3가지 엘리먼트 또는 산화물로서 회토류의 3가 엘리먼트를 0.001 내지 45중량%의 농도에서 포함하는 것을 특징으로 하는 질소 산화물을 검출하기 위한 센서.
  6. 제5항에 있어서, 상기 부가 엘리먼트는 마그네슘(Mg), 바륨(Ba), 칼슘(Ca), 스토론튬(Sr), 아연(Zn)또는 산화 알루미늄(Al2O3)가 될 수 있는 것을 특징으로 하는 질소 산화물을 검출하기 위한 센서.
  7. 제1항에 있어서, 상기 금속한화층(3)은 백금(Pt), 로튬(Rh) 또는, 그의 합금의 첨가물을가진 팔라듐(Pd)을 0.001 내지 5몰%의 농도로 포함하는 것을 특징으로 하는 질소 산화물을 검출하기 위한 센서.
  8. 제1항에 있어서, 상기 컨버터층(4)은 0.01 내지 20중량%의 농도로 백금(Pt), 로튬(Pd), 팔라듐(Pd)또는, 그의 합금을 포함하는 것을 특징으로 하는 질소 산화물을 검출하기 위한 센서.
  9. 제1항에 있어서, 상기 컨버터층(4)에 다공층(7)이 놓이고, 그의 상측에 가열장치(5)가 배열되는 것을 특징으로 하는 질소 산화물을 검출하기 위한 센서.
  10. 제1항에 있어서, 컨버터층(4)과 금속 산화층(3) 사이에 중간 컨버터층(6)이 배열되고, 이것은 Al2O3, TiO2, ZrO2또는, SiO2에 구성되지만, 상기 컨버터층(4)에 비해 더 작은 귀금속 성분을 가지는 것을 특징으로 하는 질소 산화물을 검출하기 위한 센서.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960701947A 1993-10-12 1994-09-14 질소산화물을검출하기위한센서 KR100337102B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEP4334672.3 1993-10-12
DE4334672A DE4334672C2 (de) 1993-10-12 1993-10-12 Sensor zum Nachweis von Stickoxid
PCT/DE1994/001051 WO1995010774A1 (de) 1993-10-12 1994-09-14 Sensor zum nachweis von stickoxid

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960705207A true KR960705207A (ko) 1996-10-09
KR100337102B1 KR100337102B1 (ko) 2002-11-23

Family

ID=6499913

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960701947A KR100337102B1 (ko) 1993-10-12 1994-09-14 질소산화물을검출하기위한센서

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5624640A (ko)
EP (1) EP0723662B1 (ko)
JP (1) JP3606874B2 (ko)
KR (1) KR100337102B1 (ko)
DE (2) DE4334672C2 (ko)
WO (1) WO1995010774A1 (ko)

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9408542D0 (en) * 1994-04-29 1994-06-22 Capteur Sensors & Analysers Gas sensing resistors
DE4431456C2 (de) * 1994-09-03 1996-07-11 Bosch Gmbh Robert In Dick- oder Dünnschichttechnik hergestellter Gassensor
US5965802A (en) * 1996-11-07 1999-10-12 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha NOx sensor for exhaust gas, and process for producing the same
DE19732601C2 (de) * 1997-07-29 1999-11-04 Heraeus Electro Nite Int Katalytisches Schichtsystem
KR20010033717A (ko) * 1997-12-31 2001-04-25 알프레드 엘. 미첼슨 질소 산화물 검출을 위한 금속 산화물 센서
US6113859A (en) * 1998-02-04 2000-09-05 Korea Institute Of Science And Technology Bar-type NOx gas sensor having WO3 sensing film
JP3686272B2 (ja) * 1998-12-21 2005-08-24 株式会社日立製作所 空燃比センサ及びこれを用いたエンジン燃焼制御システム
DE19916798C2 (de) * 1999-04-14 2001-10-18 Daimler Chrysler Ag Dünnschicht-Halbleiter-Gassensor und Verfahren zum Nachweis von Gasen
JP2004536301A (ja) * 2001-07-16 2004-12-02 センサー テック インコーポレイテッド 気相物質の定性および定量分析のためのセンサ装置および方法
DE10139615A1 (de) * 2001-08-11 2003-02-20 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Bestimmung einer Partikelkonzentration eines Abgasstroms
US8485983B2 (en) * 2003-04-21 2013-07-16 The Research Foundation Of State University Of New York Selective nanoprobe for olfactory medicine
US7394118B2 (en) * 2004-03-09 2008-07-01 University Of Southern California Chemical sensor using semiconducting metal oxide nanowires
US20080017510A1 (en) * 2004-05-26 2008-01-24 Nair Balakrishnan G NOx Gas Sensor Method and Device
DE102004028701B3 (de) * 2004-06-14 2005-11-24 Siemens Ag Gassensor zur Bestimmung von Ammoniak
DE102005015569A1 (de) * 2005-04-05 2006-10-12 Robert Bosch Gmbh Keramisches Widerstands- oder Sensorelement
EP1722223A1 (en) * 2005-05-10 2006-11-15 Eidgenossisch Technische Hochschule Zürich Metal oxide membrane with a gas-selective compound
US7611612B2 (en) * 2005-07-14 2009-11-03 Ceramatec, Inc. Multilayer ceramic NOx gas sensor device
US20080020504A1 (en) * 2006-07-24 2008-01-24 Honeywell International, Inc. Sensors for detecting NOx in a gas and methods for fabricating the same
JP2010519514A (ja) * 2007-02-16 2010-06-03 セラマテック・インク 選択性および検出感度の改善されたＮＯｘセンサー
KR100898268B1 (ko) * 2007-10-24 2009-05-18 한국에너지기술연구원 친수성 젖음벽을 구비한 기액 흡수평형 측정 장치
US20090159447A1 (en) * 2007-12-20 2009-06-25 General Electric Company Gas sensor and method of making
WO2009087656A1 (en) * 2008-01-07 2009-07-16 Council Of Scientific & Industrial Research Combustible gas sensor
DE102008005640A1 (de) 2008-01-23 2009-07-30 Daimler Ag Verfahren zur Ermittlung der Stickstoffdioxidkonzentration in Abgasen
DE102008036370A1 (de) 2008-08-05 2010-02-18 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Sensor-integrierte Vorrichtung
WO2010025745A1 (de) * 2008-09-03 2010-03-11 Testo Ag Verfahren zur messwerterfassung und messwertanzeige
EP2572187B1 (en) * 2010-05-19 2020-07-08 The Regents of The University of California Metal and metal oxide co-functionalized single-walled carbon nanotubes for high performance gas sensors, method for their preparation and use
US9678058B2 (en) 2010-09-03 2017-06-13 Anastasia Rigas Diagnostic method and breath testing device
US9389212B2 (en) * 2011-02-28 2016-07-12 Honeywell International Inc. NOx gas sensor including nickel oxide
WO2015179751A1 (en) 2012-03-14 2015-11-26 Anastasia Rigas Breath analyzer and breath test methods
CH705070B1 (fr) * 2011-07-15 2022-01-14 Swatch Group Res & Dev Ltd Capteur d'hydrogène à couche active et procédé de fabrication de capteurs d'hydrogène.
JP5767158B2 (ja) * 2012-04-26 2015-08-19 日本特殊陶業株式会社 ガスセンサ評価方法およびガスセンサ評価装置
US9164080B2 (en) 2012-06-11 2015-10-20 Ohio State Innovation Foundation System and method for sensing NO
KR101401713B1 (ko) * 2013-02-25 2014-06-27 주식회사 현대케피코 입자상 물질 센서
CN104185365B (zh) * 2013-05-23 2018-06-26 比亚迪股份有限公司 一种线路板及其制备方法
DE102013210150A1 (de) 2013-05-31 2014-12-04 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Erhöhung der Sicherheit beim Gebrauch von Batteriezellen
CN103884743B (zh) * 2014-04-16 2016-04-06 吉林大学 一种基于CuO-NiO核壳结构的异质结NO2气体传感器及其制备方法
CN104459041A (zh) * 2014-11-28 2015-03-25 苏州东辰林达检测技术有限公司 一种氮氧化物检测试剂及其制备方法
US20170248565A1 (en) * 2016-02-29 2017-08-31 Kabushiki Kaisha Toshiba Molecular detection apparatus and molecular detection method
US20190317036A1 (en) * 2016-10-18 2019-10-17 Carrier Corporation Gas sensor
DE102016125354B4 (de) * 2016-12-22 2022-03-24 Heraeus Nexensos Gmbh Gas-Messvorrichtung und Gas-Messverfahren
DE102018115623A1 (de) * 2018-06-28 2020-01-02 CPK Automotive GmbH & Co. KG Verfahren zur Messung von Stickoxiden und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
EP3705879A1 (en) * 2019-03-06 2020-09-09 Sensirion AG Resistive metal oxide gas sensor
KR102595219B1 (ko) * 2021-07-27 2023-10-30 한국생산기술연구원 이산화질소 가스 센서

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3695848A (en) * 1970-04-07 1972-10-03 Naoyoshi Taguchi Gas detecting device
JPS5010678B1 (ko) * 1970-07-21 1975-04-23
DE2648373C2 (de) * 1976-10-26 1986-01-02 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Halbleiter für Sensoren zur Bestimmung des Gehaltes an Sauerstoff und/oder oxydierbaren Bestandteilen in Abgasen
DE2937802A1 (de) * 1979-09-19 1981-04-09 Degussa Verbesserte sonde zur messung des sauerstoffgehalts im abgas von verbrennungskraftmaschinen
US4722905A (en) * 1981-12-01 1988-02-02 National Research Development Corporation Semiconductors
US4786476A (en) * 1985-07-17 1988-11-22 Nissan Motor Co., Ltd. Gas sensor element using porously fired mass of titania
JPH01109250A (ja) * 1987-10-22 1989-04-26 Toshiba Corp ガスセンサ
US4840913A (en) * 1986-11-06 1989-06-20 Ford Motor Company Oxides of nitrogen detector
JP2551422B2 (ja) * 1987-01-26 1996-11-06 大和製衡 株式会社 計量包装装置
JP2505459B2 (ja) * 1987-01-27 1996-06-12 日本碍子株式会社 酸素濃度測定装置の調整方法
JP2636883B2 (ja) * 1988-04-30 1997-07-30 日本碍子株式会社 ＮＯｘ濃度測定装置
US5314828A (en) * 1990-06-12 1994-05-24 Catalytica, Inc. NOx sensor and process for detecting NOx
DE69209562T2 (de) * 1991-06-07 1996-09-19 Ford Werke Ag Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Stickstoffoxiden
JP2557618Y2 (ja) * 1992-09-09 1997-12-10 株式会社堀場製作所 窒素酸化物分析計

Also Published As

Publication number Publication date
WO1995010774A1 (de) 1995-04-20
JPH09503587A (ja) 1997-04-08
DE4334672C2 (de) 1996-01-11
EP0723662A1 (de) 1996-07-31
US5624640A (en) 1997-04-29
DE59408526D1 (de) 1999-08-26
DE4334672A1 (de) 1995-04-13
EP0723662B1 (de) 1999-07-21
KR100337102B1 (ko) 2002-11-23
JP3606874B2 (ja) 2005-01-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR960705207A (ko) 질소 산화물을 검출하기 위한 센서(Sensor for detecting nitrogen oxide)
JP3644968B2 (ja) 可燃性ガスを検出するセンサ
EP0102067B1 (en) Co gas detecting device and circuit for driving the same
EP0488503B1 (en) Gas sensor
US4816800A (en) Exhaust gas sensor
CA1236162A (en) Alcohol selective gas sensor
EP3786627A1 (en) Mems type semiconductor gas detection element
JPH06504368A (ja) 一酸化炭素を検出するためのセンサー
Takao et al. Trimethylamine-sensing mechanism of TiO2-based sensors 2. Effects of catalytic activity of TiO2-based specimens on their trimethylamine-sensing properties
EP0115953B1 (en) Gas sensor
JP2918394B2 (ja) 窒素酸化物検出センサ
KR100814459B1 (ko) 센서 소자 및 그 제조 방법
JPH09257747A (ja) 炭酸ガスセンサ
JP2996921B2 (ja) 一酸化炭素検出センサー
JPH0355784B2 (ko)
JP3191523B2 (ja) 厚膜ガスセンサ
JPH06160326A (ja) 半導体薄膜式ガスセンサ
JPH0755745A (ja) 一酸化炭素ガス検知素子
JPH07218461A (ja) ガスセンサーの駆動方法及びそれを用いたガスの検知方法
JPS608459B2 (ja) ガス検知素子
Han et al. Development of SnO 2 based semiconductor gas sensor with Fe 2 O 3 for detection of combustible gas
JP3608907B2 (ja) 一酸化炭素センサ及び一酸化炭素の検出方法
JPH08271466A (ja) ガスセンサ
JPH053897B2 (ko)
KR960000806B1 (ko) 접촉연소식 일산화탄소 센서

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20100430

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee