KR960042215A - 포지형 포토레지스트 조성물 - Google Patents

포지형 포토레지스트 조성물 Download PDF

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KR960042215A
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쿠니히코 코다마
마코토 모모타
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오오니시 미노루
후지샤신필름 카부시키가이샤
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Abstract

포지형 포토레지스트 조성물이 알카리-가용성 수지와 5개의 방향쪽 링이 직선상으로 연결된 특수한 구조를 가진 폴리히드록시 화합물의 1,2-나프토퀴논디아지드-5-(및/또는-4-)술포닐에스테르로 구성되고, 상기 한 방향족 링이 히드록시기를 가지고, 양단말의 링에 인접한 각각의 방향족 링이 하이드록기로 5-위치에 대체기를 가진다. 고해상도를 가지는 포지형 포토레지스트는 필름두께에 대항 해상도의 의존성이 낮고, 광범위한 현상, 현상잔류물이 적고, 감광물의 분리가 없고, 시간의 경과에 따른 마이크로겔의 발생이 없이 (입자의 증가가 없다) 훌륭한 저장안전성을 보인다.

Description

포지형 포토레지스트 조성물
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (4)

  1. 알칼리-수용성 수지와 다음의 구조식(Ⅰ) 또는 (Ⅱ)으로 표현되는 폴리하이드록 화합물의 1,2-나프토퀴논디아지드-5-(및/또는-4-) 술폰산에스테르를 1종 이상 함유하는 것을 특징으로 하는 포지형 포토레지스트 조성물.
    (식중 R1, R2, R1', R2'은 동일하거나 달라도 좋은 수소원자, 할로겐원자, 알킬리, 아릴기, 아콕시기, 아실기, 시클로알킬기; R3,R4,R3',R4'은 동일하거나 달라도 좋은 할로겐 원자, 알킬기; R5,R6,R5',R6'은 동일하거나 달라도 좋은 수소원자, 알킬기, 아콕시기; R7,R8,R7',R8'은 동일하거나 달라도 좋은 알킬기, 아콕시기, 알케닐기, 시클로알킬기; R9,R10,R9',R10'은 동일하거나 달라도 좋은 수소원자, 알킬기; R11,R11'은 동일하거나 달라도 좋은 수소원자, 할로겐원자, 알킬기, 아릴기,아콕시기, 아실기, 시클로알킬기; k∼n은 0∼3의 정수를 나타낸다.)
  2. 제1항에 있어서, R∼R 및 R1'∼R10'으로 표현되는 알킬기가 탄소수 1∼4개를 가진 알킬기이고, R1∼R4및 R1'∼R4'로 표현되는 할로겐 원소가 염소원소, 브롬원소, 또는 요오드원소이고, R1,R2,R1' 및 R2'으로 표현되는 알킬기가 페닐기, 토루일기, 크시릴기, 메시틸기 또는 쿠메닐기이고, R1, R2, R5∼R8, R1', R2', R5'∼R8'으로 표현되는 알콕시기가 메톡시기, 에톡시기,프로폭시기, 이소프로폭시기, n-부톡시기, 이소부톡시기 섹부톡시기 또는 테르트-부톡시기이고, R1,R2,R1' 및 R8'으로 표현되는 알케닐기가 비닐기, 프로페닐기, 또는 알릴기이고, R1,R2,R7,R8,R11',R1',R2',R|7',R8' 및 R11'으로 표현되는 시클로알킬기가 시클로펜틸기 또는 시클로헥실기인 것을 특징으로 하는 포지형 포토레지스트 조성물.
  3. 제1항에 있어서, 1,2-나프토퀴논디아지드-5-(및/또는-4-)술포닐에스테르로 구성되며, 구조식(Ⅰ) 또는 (Ⅱ)로 표현되는 폴리히드록시 화합물의 1,2-나프토퀴논디아지드-5-(및/또는-4-)술포닐에스테르의 총함량이 알카리-가용성의 수지의 100중량부에 대해서 5∼150 중량부인 것을 특징으로 하는 포지형 포토레지스트 조성물.
  4. 제1항에 있어서, 알카리-가용성수지가 노볼랙수지, 아세톤-피로갈롤수지, 폴리히드록시스틸렌 및 그의 유도체로 구성된 군중에서 선택된 것을 특징으로 하는 포지형 포토레지스트 조성물.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960017782A 1995-05-24 1996-05-23 포지티브포토레지스트조성물 KR100384737B1 (ko)

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