KR890010621A - 감광성 조성물 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

감광성 조성물
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (20)

  1. 알칼리 가용성 수지 및 일반식(Ⅰ)으로 표시되는 감광제를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
    상기 식중, R1및 R2는 탄소수 1-20의 비치환 또는 치환된 알킬기, 탄소수 1-20의 비치환 또는 치환된 알콕시기, 비치환 또는 치환된 아릴기, 비치환 또는 치환된 아릴옥시기, 또는 비치환 또는 치환된 아날리노기를 나타낸다.
  2. 제1항에 있어서 R1또는 R2또는 R1및 R2모두가 실리콘을 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  3. 제1항에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지가 하이드록실기를 가진 알릴기, 또는 카르복실기를 포함하는 폴리머인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  4. 제1항에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지가 1.0㎛의 두께를 가진 막으로 형성되었을 때 248nm의 파장을가진 빛에 50% 이상의 투과율을 가지는 수지인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  5. 제1항에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지가 노보락수지, 폴리이소프로페닐, 폴리비닐페놀, 벤젠링 또는 하이드록시기에 도입된 실리콘 함유 알킬기를 가진 폴리비닐페놀 및, 비닐 페놀모노머와 스티렌, 아크릴로니트릴, 메틸메타 아크릴레이트, 메타아크릴레이트로 구성된 그룹으로부터 선택된 화합물과의 코폴리머인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  6. 제1항에 있어서, 100중량부의 상기 알칼리 가용성 수지와 1-100중량부의 상기 감광제를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  7. 알칼리 가용성 수지와, 벤젠링에 직접 결합되는기를 가지며 감광제로 사용되는 방향족 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  8. 제7항에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지가 하이드록실기를 가진 아릴기 또는 카르복실기를 포함하는 폴리머인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  9. 제7항에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지가 1.0㎛의 두께를 가진 막으로 형성되었을 때 빛에 50%이상의 투과율을 가지는 수지인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  10. 제7항에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지가 노보락 수지, 폴리 이소프로페닐페놀, 폴리비닐페놀, 벤젠링 또는 하이드록시기에 도입된 실리콘 함유 알킬기를 가지는 실리콘 화합물을 포함하는 폴리 비닐페놀 및, 비닐페놀 모노머와 스티렌, 아크릴로니트릴, 메틸메타 아크릴레이트, 메타아크릴레이트로부터 선택된 화합물과의 코폴리머인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  11. 제7항에 있어서, 상기 감광성 조성물이 다음 일반식(Ⅲ)(Ⅳ)(Ⅴ)으로 표시되는 화합물 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
    상기 식중 R은 수소, 탄소수 1-10의 비치환 또는 치환된 알킬기이고, m은 1-6 범위의 정수이고, 1 및 n은 0-5 범위의 정수이며 단 1+m+n=6이다.
    상기 식중 R은 수소, 탄소수 1-10의 비치환 또는 치환된 알킬기이며 : 1,1',m,m',n 및 n'는 0-5 범위의 정수이며 단, 1+m+n=1'+m'+n'=5이고, m+m'≠0이다
    상기 식에서 R은 수소, 탄소수 1-10의 비치환 또는 치환된 알킬기이고, m은 1-5 범위의 정수이며 1 및 m은 0-4 범위의 정수이고, 단, 1+m+n=5이다.
  12. 제7항에 있어서, 100중량부의 상기 알칼리 가용성 수지와 1-100중량부의 상기 감광제를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  13. 알칼리 가용성 수지와, 4-12개의 탄소원자와로 표시되는 1-4개의 그룹을 가지며 감광제로 사용되는 지방족 화합물 또는 아리사이클릭 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  14. 제13항에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지가 하이드록실기를 가진 아릴기 또는 카르복실기를 포함하는 폴리머인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  15. 제13항에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지가 1.0㎛의 두께를 가지는 막 형태로 되었을 때 248nm의 파장을 가진 빛에 50% 이상의 투과율을 가지는 수지인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  16. 제13항에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지가 노보락 수지, 폴리이소프로페닐, 폴리비닐페놀, 벤젠링 또는 하이드록시기에 도입된 실리콘 함유 알킬기를 가지는 실리콘 화합물을 포함하는 폴리비닐페놀 및, 비닐페놀 모노머와 스티렌, 아크릴로니트릴, 메틸 메타아크릴레이트, 메타아크릴레이트로 구성된 그룹으로부터 선택된 화합물과의 코폴리머인 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  17. 제13항에 있어서, 100중량부의 상기 알칼리 가용성 수지 및 1-100중량부의 상기 감광제를 포함한느 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  18. 실리콘 함유 알칼리 가용성 수지와 ; 실리콘 함유 나프토 퀴논디아지드, 실리콘 함유 아지드 및 다음 일반식(Ⅱ)로 표시되는 화합물로 구성되는 그룹으로부터 선택된 감광제를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 함유 감광성 조성물.
    상기 식중 R1-R4는 수소, 탄소수 1-10의 치환 또는 비치환된 알킬기, 치환 또는 비치환된 아릴기, 또는 치환 또는 비치환된 실릴기이다.
  19. 제18항에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지가 하이드록시기를 가진 아릴기 또는 카르복실기를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
  20. 제18항에 있어서, 100중량부의 상기 알칼리 가용성 수지 및 1-50중량부의 감광제를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880016486A 1987-12-10 1988-12-10 감광성 조성물 KR910005031B1 (ko)

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