KR930022147A - 네가티브형 감광성 내식막 조성물 - Google Patents

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파블로브스키 게오르그
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Abstract

서브 미크론 이하의 해상도를 갖는 동시에 이상적인 장방형의 내식막 패턴을 형성할 수 있는 네가티브형 감광성 내식막을 제공한다.
(A)하기 일반식(I)의 화합물, (B) 알콕시메틸화멜라민 및 (C) 노볼락 수지를 함유하는 네가티브형 감광성 내식막 조성물.
상기식에서, R1및 R2는 서로 상이하며 각각 수소원자 또는 하기 일반식(Ⅱ)

Description

네가티브형 감광성 내식막 조성물
내용없음

Claims (8)

  1. (A) 하기 일반식(I)의 화합물, (B) 알콕시메틸화멜라민 및(C) 노볼락 수지를 함유하는 네가티브형 감광성 내식막 조성물.
    상기식에서, R1및 R2는 서로 상이하며 각각 수소원자 또는 하기 일반식(Ⅱ)
    여기서, R3및 R4는 동일하거나 상이할 수 있으며 각각 수소원자 또는 알킬기이며, R5,R6및 R7은 동일하거나 상이할 수 있으며 각각 수소원자, 할로겐원자, 치환 또는 비치환된 알킬기(여기서, 당기 알킬쇄 내의 하나 이상의 메틸렌기는 산소원자 또는 황원자로 치환될 수 있다), 사이클로 알킬기, 알케닐기, 아랄기 또는 아릴옥시기이거나 R5,R6및 R7으로서의 2개의 알킬기는 함께 5또는 6원환을 형성할 수 있다.
  2. 제1항에 있어서, 일반식(I)의 화합물이 R1또는 R2가 R3,R4,R5,R6및 R7이 수소원자이거나 R3,R4,R5및 R6가 수소원자인 동시에 R701 2위치의 염소원자인 일반식(Ⅱ)의 기인 화합물인 네가티브형 감광성 내식막 조성물.
  3. 제1항에 있어서, 알콕시메틸멜라민이 헥사메틸올멜라민인 네가티브형 감광성 내식막 조성물.
  4. 제1항에 있어서, 노볼락 수지가 m-크레졸과 알데히드류를 축합함으로써 수득된 노볼락 수지인 네가티브형 감광성 내식막 조성물.
  5. 제1항에 있어서, 노볼락 수지가 m-크레졸과 p-크리졸, 2,4-크실렌올, 2,5-크실렌올 및 3,5-크실렌올로 이루어진 그룹에서 선택된 하나 이상의 페놀류를 함유한 페놀류의 혼합물과, 알데히드류를 축합함으로써 수득된 노볼락 수지인 네가티브형 감광성 내식막 조성물.
  6. 제5항에 있어서, 페놀류와의 혼합물이 m-크레졸 85내지 35증량%와 p-크레졸, 2,4-크실렌올, 2,5-크실렌올 및 3,5-크실렌올로 이루어진 그룹에서 선택된 하나 이상의 페놀류 15내지 65중량%를 함유하는 네가티브형 감광성 내식막 조성물.
  7. 제1항에 있어서, 노볼락 수지의 중량 평균 분자량이 플리스티렌으로 환산하여 2,000 내지 100,000인 네가티브형 감광성 내식막 조성물.
  8. 제1항에 있어서, 일반식 (I)의 화합물의 양이 멜라민에 대해 증량비로 1/30 내지 1/3인 동시에 일반식(I)의 화합물과 멜라민의 합계량이 노볼락 수지에 대해 중량비로 1/20 내지 1/2인 네가티브형 감광성 내식막 조성물.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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