KR960039115A - 포토레지스트 도포장치 - Google Patents

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KR960039115A
KR960039115A KR1019960012324A KR19960012324A KR960039115A KR 960039115 A KR960039115 A KR 960039115A KR 1019960012324 A KR1019960012324 A KR 1019960012324A KR 19960012324 A KR19960012324 A KR 19960012324A KR 960039115 A KR960039115 A KR 960039115A
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KR
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nozzle
photoresist
rotary disk
nozzles
attachment
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KR1019960012324A
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모또시 다까기
다다시 니시오까
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기따오까 다까시
미쯔비시덴끼 가부시끼가이샤
가와즈 사또루
료덴세미컨덕터시스템엔지니어링 가부시끼가이샤
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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    • G03F7/162—Coating on a rotating support, e.g. using a whirler or a spinner

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Abstract

반도체집적회로장치 등의 제조에 사용되는 반도체 웨이퍼상에 포토레지스트를 도포하기 위한 포토레지스트 도포장치에 관한 것으로서, 여러 종류의 포토레지스트를 사용할 수 있고 직경이 큰 반도체 웨이퍼상에 형성하는 경우 두께가 균일한 포토레지스트를 도포할 수 있고 저렴하고 도포작업이 간단한 포토레지스트 도포장치를 제공하기 위해, 반도체 웨이퍼를 탑재해서 회전시키기 위한 회전축을 갖는 회전대, 회전대의 회전샤프트의 중심축에서 편심적으로 배치된 회전중심을 갖는 노즐 부착용 회전원판 및 반도체 웨이퍼상에 포토레지스트를 배출하기 위해 여러개의 노즐로 이루어지고, 1열로 배열된 적어도 하나의 노즐군을 포함하고, 여러개의 노즐 중 적어도 하나의 부착위치가 조절가능하도록 구성된다.
이러한 구성에 의해 반도체 웨이퍼의 표면전체에 균일한 두께의 포토레지스트막이 얻어진다는 효과가 얻어진다.

Description

포토레지스트 도포장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시예에 관한 포토레지스트 도포장치의 종단면도, 제2도는 본 발명의 일실시예에 관한 포토레지스트 도포장치의 평면도.

Claims (9)

  1. 반도체 웨이퍼를 탑재해서 회전시키기 위한 회전축을 갖는 회전대, 상기 회전대의 위쪽에 배치되는 유지판, 상기 유지판에 회전가능하게 유지되고, 원판회전중심이 상기 회전대의 회전축의 중심축선에서 편심한 위치에 배치되는 노즐 부착용 회전 원판과 상기 반도체 웨이퍼상에 포토레지스트를 배출하는 여러개의 노즐로 이루어지는 적어도 1열의 노즐군을 포함하고, 상기 노즐군의 노즐의 적어도 하나의 부착위치는 조절가능한 포토레지스트 도포장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 노즐 부착용 회전원판은 그 반경방향으로 서로 간격을 두고 형성되고, 상기 노즐과 동일수의 관통구멍을 갖고, 상기 노즐은 대응하는 상기 관통구멍에 삽입되며, 상기 노즐 부착용 회전원판에 부착되는 포토레지스트 도포장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 관통구멍 중 가장 안쪽의 것은 거기에 삽입되는 노즐보다도 약간 큰 직경을 갖고, 상기 노즐은 그 가장 안쪽의 관통구멍에 삽입되어 고정되는 포토레지스트 도포장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 관통구멍은 타원형상의 관통구멍이고, 상기 노즐은 대응하는 상기 타원형상의 관통구멍내에서 부착위치가 조절 가능하게 부착기구에 의해 상기 노즐 부착용 회전원판에 부착되는 포토레지스트 도포장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 부착기구는 숫나사와 상기 숫나사에 결합되는 한쌍의 너트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 도포장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 타원형상의 관통구멍은 원호형상으로 형성되고, 또한 동심원과 중첩되지 않게 노즐 부착용 회전원판상의 동심원을 각도상에서 교차하도록 배치되는 포토레지스트 도포장치.
  7. 제2항에 있어서, 상기 관통구멍은 원주방향으로 간격을 두고 상기 노즐 부착용 회전원판의 중심에서 방사형상으로 배열된 여러개의 열린구멍으로 이루어지고, 상기 노즐군은 상기 열린구멍군에 대응해서 배치되는 포토레지스트 도포장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 유지판에 대해 상기 노즐 부착용 회전원판의 회전을 정지시키고 상기 원판을 적어도 하나의 소정의 회전각위치에서 고정되게 유지할 수 있는 스토퍼를 또 포함하는 포토레지스트 도포장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 유지판은 상기 노즐 부착용 회전원판보다도 약간 큰 직경의 원형구멍을 갖고, 상기 노즐 부착용 회전원판은 상기 원형구멍내에 회전가능하게 배치되고, 상기 스토퍼는 상기 노즐 부착용 회전원판 또는 상기 유지판 중 하나에 형성된 여러개의 걸어맞춤 오목부와 상기 걸어맞춤 오목부가 형성되지 않은 상기 원판 또는 유지판에 형성된 걸어맞춤핀 수용부에 배치되고, 힘을 가하는 수단에 의해 상기 걸어맞춤 오목부의 하나와 걸어 맞춰지도록 힘이 가해지는 걸어맞춤핀으로 이루어지는 포토레지스트 도포장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
KR1019960012324A 1995-04-25 1996-04-23 포토레지스트 도포장치 KR960039115A (ko)

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