KR880011901A - 레지스트 도포장치 - Google Patents
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
- G03F7/162—Coating on a rotating support, e.g. using a whirler or a spinner
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 따른 레지스트도포장치의 종단면도.
제5도는 제4도에 있어서 레지스트도포장치에 설치되는 조절판의 크기를 결정해 주기위해 도포장치의 각 구성부품의 크기를 기재해 준 레지스트도포장치의 종단면도.
제6도A는 레지스트필름이 소정두께 이상으로 형성된 범위(A)를 갖는 레지스트가 도포된 기판의 개략평면도.
제6B도는 제6A도의 VI-VI선 단면도.
Claims (10)
- 기판상에 레지스트를 도포하는 장치에 있어서, 덮개(12)가 구비된 도포용기(1)와, 상기 용기내부를기체용제분위기로 밀폐시켜 주는 밀폐부재, 용기(1)의 중심부에 설치되면서 회전축(6)을 통해 외부구동장치에 연결되어 회전할 수 있도록 된 기한이 실려지는 원형회전척(5), 상기 회전척(5) 상의 기판(4) 중심부바로위에 설치되어 상기 기판(4) 위에 액상레지스트(11)를 떨어뜨려줄 수 있도록 된 노즐부재(7), 상기 회전적(5) 위에서 방사상으로 연장설치되어 회전척(5)이 회전할 때 회전척(5)에 의해 발생되는 기체용제의 소용돌이 흐름을 감소시켜 줄 수 있도록 된 조절판(10)으로 구성된 것을 특징으로 하는 레지스트도포장치.
- 제1항에 있어서, 소용돌이흐름을 제거하는 조절판(10)은 그 밑면이 상기 회전척(5)의 윗면과 평행이 되도록 설치된 것을 특징으로 하는 레지스트도포장치.
- 제2항에 있어서, 상기 조절판(10)은 레지스트가 떨어지는데 장애가 되지 않는 위치에서 그 윗면이 도포용기(1)의 덮개(12) 밑면에 고정지지된 것을 특징으로 하는 레지스트도포장치.
- 제2항에 있어서, 상기 조절판(10)은 가동부재에 의해 이동될 수 있도록 설치됨으로써 회전척(5)이 회전될 경위에 회전척(5) 위에 위치되도록 된 것을 특징으로 하는 레지스트도포장치.
- 제3항에 있어서, 상기 조절판(10)은 상기 회전척(5)에 대해 기울기를 갖도록 설치된 것을 특징으로 하는 레지스트도포장치.
- 제5항에 있어서, 상기 조절판(10)의 기울기는 90°인 것을 특징으로 하는 레지스트도포장치.
- 제6항에 있어서, 상기 직사각형조절판(10)은 밑면의 방사상 길이(11)가 원형회전척(5)의 반지름과 같도록 된 것을 특징으로 하는 레지스트도포장치.
- 제2항에 있어서, 상기 조절판(10')은 상기 회전척(5)의 바로위에 평행으로 인접되게 설치된 원판으로 된 것을 특징으로 하는 레지스트도포장치.
- 제8항에 있어서, 상기 조절판(10')은 레지스트가 기판(4) 위로 떨어질 때 레지스트가 떨어지는데 장애가 되지 않는 위치로 가동부재에 의해 이동될 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 레지스트도포장치.
- 제1항에 있어서, 레지스트를 떨어뜨리는 장치는 도포용기(1)의 덮개(12)를 통해 연장되면서 회전척(5)의 중심부 바로 놓여지도록 된 노즐(7)로 이루어진 것을 특징으로 하는 레지스트도포장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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