KR950021340A - 웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블 - Google Patents

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Abstract

웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블은 핸들을 웨이퍼 캐리어에 부착할 수 있게 하기 위한 것이다. 텐테이블은 기판에 회전 가능하게 장착되는 플랫폼을 포함한다. 또한, 턴테이블은 핸들 부착용 웨이퍼 캐리어로의 접근 허용하도록 플랫폼을 시계방향으로 180°회전 가능하게 하도록 위치되어 있는 스톱을 포함한다. 플랫폼은 웨이퍼 캐리어를 수용할 수 있을 정도로 이격되어 있는 캐리어 가이드를 포함한다. 플랫폼은 작동자가 플랫폼의 회전을 조정하는 플랫폼 핸들을 포함한다.

Description

웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 따른 턴테이블을 도시하는 도면.
제5도는 제4도의 1-1선에 따라 취한 턴테이블의 횡단면도.
제6A도 및 제6B도는 제2핸들을 부착하기 위한 캐리어를 턴테이블상에서 회전시키는 것을 도시하는 도면.

Claims (16)

  1. 기판과, 외측으로 연장된 핸들을 갖고 웨이퍼 캐리어를 지지하는 플랫폼과, 핸들을 조정할 때, 플랫폼이 기판과 관련하여 회전할 수 있게 하는 회전 수단 및, 기판을 예정 각도만큼 회전시킨후 기판의 회전을 멈추게 하는 멈춤수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블.
  2. 제1항에 있어서, 예정된 각도는 약 180°인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블.
  3. 제1항에 있어서, 플랫폼을 캐리어를 수용할 수 있는 만큼 이격된 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블.
  4. 제1항에 있어서, 플랫폼과 기판은 스텐레스 스틸로 제조되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블.
  5. 제1항에 있어서, 플랫폼과 기판은 염화 폴리비닐로 제조되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블.
  6. 외측으로 연장하는 제1 및 제2기판 스톱 소자를 갖는 기판과, 제1 및 제2기판 스톱 소장중 어는 한 스톱소자와 결합하도록 되어 있는, 외측으로 연장하는 플랫폼 스톱 소자와 핸들을 갖고, 웨이퍼 캐리어를 지지하는 플랫폼 및, 회전을 멈추도록 플랫폼을 예정 각도만큼 회전한 후에 플랫폼 스톱 소자와 결합하도록 기판 스톱 소자가 내부에 위치하고 있고, 들을 조종할 때 기판과 관련하여 플랫폼을 회전시키는 회전 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블.
  7. 제6항에 있어서, 예정된 각도는 약 180°인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블.
  8. 제6항에 있어서, 플랫폼은 캐리어를 수용할 수 있는 만큼 이격된 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블.
  9. 제6항에 있어서, 플랫폼과 기판은 스텐레스 스틸로 제조되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블.
  10. 제6항에 있어서, 플랫폼과 기판은 염화 폴리비닐로 제조되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블.
  11. 상향으로 연장하는 제1 및 제2기판 스톱 소자와 지지 소자를 갖는 기판과, 제1 및 제2기판 스톱 소자 중 어느 한 소자와 맞닿는 하향으로 연장하는 플랫폼 스톱 소자와 핸들을 갖고, 웨이퍼 캐리어를 지지하고 있는 플랫폼과, 지지 소자상에서 회전하게 되어 있는 단부를 갖고, 플랫폼으로부터 연장하고 있는 회전 소자와, 플랫폼, 회전소자, 지지 소자 및 기판을 관통 연장하는 체결기 및, 회전을 멈추도록 플랫폼이 예정 각도만큼 회전한 후에 기판 스톱 소자가 플랫폼 스톱 소자와 결합하도록 위치하고 있는 기판 및 지지 소자와 관련하여 플랫폼 및 회전 소자가 회전 가능하도록 체결기 단부와 나사 결합하는 로킹 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블.
  12. 제11항에 있어서, 예정된 각도는 약 180°인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블.
  13. 제11항에 있어서, 플랫폼은 캐리어를 수용할 수 있는 만큼 이격된 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블.
  14. 제11항에 있어서, 플랫폼과 기판은 스텐레스 스틸로 제조되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블.
  15. 제11항에 있어서, 플랫폼과 기판은 염화 폴리비닐로 제조되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블.
  16. 제11항에 있어서, 지지소자와 회전 소자는 폴리테트라플루오로에틸렌으로 제조되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 회전용 턴테이블.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940032716A 1993-12-10 1994-11-30 웨이퍼 캐리어 회전용 턴 테이블 KR100301213B1 (ko)

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