KR950004484A - 반도체 처리 시스템의 카세트 입력/출력 유니트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 처리 유니트에 운송되거나 그로부터 빼내지는 반도체 웨이퍼나 다른 기판을 포함한 카세트를 조정하는 카세트 입력/출력 유니트에 관한 것으로서, 장치가 열릴때 수평축에 대해 90° 회전하는 견인자 프론트를 포함하고, 따라서 카세트가 수직으로 옮겨짐에 따라 웨이퍼 카세트가 웨이퍼가 수직방향을 향한 상태로 견인자 프론트 위에 쉽게 놓여지도 견인자가 닫혀짐에 따라 카세트가 90°회전함으로써 포토리소그래피 시스템 내의 로봇이 접근하도록 웨이퍼를 수평방향을 향하게하고, 카세트는 또한 여러 입력/출력 유니트가 고정축 둘레를 회전하는 로봇을 가지고 이용되도록 유니트 내에서 수직축 둘레를 회전하고, 클램프 메카니즘은 유니트 내에 놓여졌을 때 카세트를 단단히 잡는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 처리 시스템의 카세트 입력/출력 유니트

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 포토리소그래피 시스템 내에 설치된 본 발명에 따른 일단의 카세트(cassette) 입력/출력 유니트(unit)의 정면도. 제2A도는 카세트 입력/출력 유니트 중의 하나가 열린 위치에 있는 제1도와 유사한 정면도. 제2B도는 카세트 입력/출력 유니트 중의 하나가 열린 위치에 있는, 포토리소그래피 시스템의 측면도.

Claims (9)

1. 웨이퍼나 다른 기판을 반도체 처리 시스템에 도입하기 위한 카세트 입력/출력 유니트에 있어서, 열린 위치와 닫힌 위치 사이를 이동할 수 있고, 상기 닫힌 위치에 있을 때에는 실질적으로 수직방향을 향해있고, 상기 열린 위치에 있을 때에는 수평방향을 향해있으며, 상기 닫힌 위치에서 열린 위치로 이동될 때 수평축에 대해 약 90° 회전하는 견인자 프론트; 상기 견인자 프론트에 강성으로 연결되고 직각 방향으로 있는 견인자 바닥; 및 반도체 웨이퍼나 다른 기판을 포함하는 카세트를 단단히 잡는 클램프로 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 입력/출력 유니트.
2. 제1항에 있어서, 상기 클램프는 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 입력/출력 유니트.
3. 제2항에 있어서, 상기 견인자 바닥에 인접하고 상기 견인자 바닥에 수직인 축에 대해 피벗으로 설치될 수 있는 회전판을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 입력/출력 유니트.
4. 제1항에 있어서, 상기 견인자 프론트를 회전시키기 위해 연결된 모터/인코더를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 입력/출력 유니트.
5. 제2항에 있어서, 상기 유니트가 닫혀있을 때 반도체 처리 시스템의 내부에 접근하지 못하게 상기 견인자 프론트가 막고, 상기 유니트가 열려있을 때 반도체 처리 시스템의 내부에 접근하지 못하게 상기 견인자 바닥이 막는 카세트 입력/출력 유니트.
6. 제1항에 있어서, 상기 클램프가 닫히는 것을 마이크로프로세서에 지적하는 플랙을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 입력/출력 유니트.
7. 제3항에 있어서, 상기 회전판을 회전시키기 위한, 볼 베어링을 포함하는 메카니즘을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 입력/출력 유니트.
8. 제1항에 따른 카세트 입력/출력 유니트를 포함하는 것으로, 상기 카세트 입력/출력 유니트를 둘러싼 캐비넷(cabnet)은 수직벽을 포함하고, 상기 수직벽은 상기 닫힌 위치에 있을때 상기 견인자 프론트를 수용하기에 적절한 개구부를 가지고, 상기 견인자 프론트를 상기 캐비넷의 내부로의 접근을 막고, 상기 개구부는 상기 열린 위치에 있을때 상기 견인자 바닥을 수용하기에 적절하고, 상기 견인자 바닥은 상기 열린 위치에 있을때 상기 캐비넷의 내부로의 접근을 막는 것을 특징으로 하는 포토리소그래피 유니트.
9. 제4항에 있어서, 상기 견인자 프론트에 결합된 상기 카세트 입력/출력 유니트의 측면에 한 단부가 피벗으로 부착된 미끄럼자; 및 상기 모터/인코더에 의해 구동되고 상기 미끄럼자가 그에 따라 미끄러지도록 설치되는 미끄럼 레일로 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 입력/출력 유니트.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.