KR840006727A - 반도체 기상성장 장치 - Google Patents

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KR840006727A
KR840006727A KR1019830005595A KR830005595A KR840006727A KR 840006727 A KR840006727 A KR 840006727A KR 1019830005595 A KR1019830005595 A KR 1019830005595A KR 830005595 A KR830005595 A KR 830005595A KR 840006727 A KR840006727 A KR 840006727A
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Abstract

내용없음

Description

반도체 기상성장 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 반도체 기상성장 장치의 한 실시예를 나타내는 부분파단 사시도,
제2도는 반응로 및 반출입장치의 부분단면도,
제3도는 제어장치의 블록구성도.

Claims (13)

  1. 회전 또는 이동가능하게 설치된 서셉타상에 복수개의 기판을 배열하고, 이 기판상에 에피탁시얼층을 형성하는 반도체 기상성장 장치에 있어서, 서셉타상에 배열되는 기판의 위치에 관한 데이터의 기억부와 상기 데이터에 의하여 서셉터를 소정위치에 정지시키는 위치 결정수단과, 위치 결정된 서셉터에 대한 기판의 반출입장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 기상성장 장치.
  2. 상기 서셉타는 회전반으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 1기재의 반도체 기상성장 장치.
  3. 상기 서셉터는 다각단면상을 이루는 회동편으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 1기재의 반도체 기상성장 장치.
  4. 상기 반도체 기상성장 장치는 상기 서셉타상에 상기 반도체 기판을 반출입하는 수단으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 특허청구의 범위 1기재의 반도체 기상성장 장치.
  5. 상기 반도체 기판은 상이한 반경을 가진 한개 이상의 원주상에 따라 상기 회전판형상의 서셉타상에 배열되며, 상기 반도체기판은 서로 겹쳐지지 않게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 특허청구 범위 2기재의 반도체 기상성장 장치.
  6. 반도체시험편은 상기 기판이 인접기판 사이에 기재되므로 동일 또는 상이한 구성을 가진 반도체 시험편으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 특허청구 범위 5기재의 반도체 기상성장 장치.
  7. 상기 반도체 기판은 극좌표평면상에 배열되며, 상기 서셉타는 상기 극좌표의 일방향에 따라 위치되며, 상기 반출입수단은 상기 극좌표의 다른 방향에 따라 상기 반도체 기판을 위치시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 특허청구 범위 4기재의 반도체 기상성장 장치.
  8. 상기 회전판은 상기 데이터에 의하여 소정환상위치에 정지되어 있는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 2기재의 반도체 기상성장 장치.
  9. 상기 기억부에는 상기 서셉터의 환상위치에 관한 데이터를 저장하는 복수개의 기억영역이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 특허청구 범위 4기재의 반도체 기상성장 장치.
  10. 상기 기역영역은 원형판상 서셉터상에 상기 반도체 기판의 방사위치에 관한 다른 데이터를 저장하며, 상기 반출입수단은 상기 다른 데이터에 의하여 위치되어 있는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 9기재의 반도체 기상성장 장치.
  11. 상기 기억부는 상이한 규격을 가진 기판에 대응한 복수개의 위치에 관한 다른 데이터를 저장하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 1기재의 반도체 기상성장 장치.
  12. 상기 다각회전 서셉타는 그 축에 따라 변경가능하게 이루어지는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 3기재의 반도체 기상성장 장치.
  13. 상기 기억부는 상기 회전각의 절대치 및 상기 원의 반경으로 상기 기판의 장착될 곳에 있는 상기 서셉타의 회전각을 저장하는 복수개의 기억 영역을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 5기재의 반도체 기상성장 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019830005595A 1982-11-27 1983-11-26 반도체 기상성장장치 KR880001438B1 (ko)

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