JPH01287939A - ウェハ位置決め機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔（既　　要〕 半導体装置のウェハプロセスにおけるウェハ検査装置の
ウェハ位置決め機構に関し、 サイズの異なるウェハを容易且つ効率的に検査すること
を目的とし、 所定点を中心とする円周上の少なくとも３箇所以上複数
箇所の所定位置に軸受孔を備えた載置台と、一端には片
面に突出して上記軸受孔と嵌合する回転軸をまた他端に
は反対面に突出するガイドピンを備え、且つ長さ方向ほ
ぼ中間部近傍には該ガイドピンと同じ方向に突出する摺
動ピンを備えた上記軸受孔と同数の弯曲した回転レバー
と、上記載置台の表面に近接して平行に該載置台の所定
点を中心として所定角度範囲で回転できる手段を存し、
且つ該載置台と対向する面には上記回転レバーの摺動ピ
ンがその直径方向で摺動できるガイド溝が上記孔のそれ
ぞれと対応する位置で所定の方向に形成されている幅が
一様なリング状のガイド板とで構成し、前記載置台のそ
れぞれの軸受孔に上記回転レバーの回転軸をガイドピン
を内側にして挿着し、更に各回転レバーの摺動ヒ２ンを
上記ガイド板の対応するガイド溝に嵌合させて構成する
。

〔産業上の利用分野〕

本発明は半導体装置のウェハプロセスにおけるウェハ検
査装置に係り、特にサイズの異なるウェハを容易且つ効
率的に検査するためのウェハ位置決め機構に関する。

〔従来の技術〕 第３図は従来の検査装置におけるウェハ位置決め機構の
例を示す図であり、（Ａ）は装置全体の構成図をまた（
Ｂ）はウェハ位置決め機構部を拡大した平面図である。

図（＾）で、二点鎖線で示す装置架台１の上面には、複
数個の被検つτハ２を整列して収納しているキャリア３
と、該キャリア３から被検ウェハ２を１個ずつ取り出し
て図示Ｒ方向に搬送する搬送アーム４と、該搬送アーム
４から被検つ丁ハ２を受は取ると共に該ウェハの位置を
正確に固定する位置決め機構部５および該位置決め機構
部５でセットされた上記ウェハ２を光学顕微鏡等よりな
る検査機構部６のステージ面に破線で示す２゛の如く図
示Ｒ′力方向反転移送する反転アーム７が、それぞれ所
定の位置関係を保って配設されている。

また、上記の位置決め機構部５は図（Ｂ）の０図に示す
如（、所定の間隔を保って表面に突出する複数個（図の
場合は２個）のガイドピン５ａを備え且つ被検ウェハ２
に対応して前記装置架台１に一体化固定した固定ガイド
５ｂと、該固定ガイド５ｂと同様の２個のガイドピン５
ａを備え且つ該固定ガイド５ｂとの間隔が変えられるよ
うに同一面上で平行を保って図示Ｒｕ方向に移動できる
可動ガイド５ｃとで構成されている。特に固定ガイド５
ｂと可動ガ稀 イド５ｃの対向面５ｂ’と５ｃ’部分には被接ウェハ２
の外周とほぼ等しい円弧状のへこみが形成されており、
該可動ガイド５ｃが被検ウェハを押して所定の位置に移
動した時点で破線で示す被検ウェハ２の周囲を該円弧状
のへこみおよび４個の上記ガイドピン５ａで挟持固定す
るようになっている。

ここで前述の搬送アーム４で被検ウェハ２を図の破線で
示す位置決め機構部５の所定位置にセントした後、可動
ガイド５ｃをＲ１１方向に移動させて０図に示す如く被
検ウェハ２をその周囲で挟んで固定し、以後前述の反転
アーム７で該被検ウェハ２を検査機構部６のステージ部
分に移動して該ウェハ２を検査するようにしている。

かかる構成になるウェハ位置決め機構では、位置決めさ
れる被検ウェハ２の中心位置（図示の０点）が一定なる
ため同一サイズのウェハを連続して検査する場合は効率
がよいが、径の異なるウェハを検査する場合にはウェハ
の中心位置がずれることから固定ガイド５ｂおよび可動
ガイド５Ｃを共に交換しなければならない。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のウェハ位置決め機構では、外径の異なるウェハを
連続して検査機構部に搬送することができないという問
題があった。

〔課題を解決するための手段〕

上記問題点は、所定点を中心とする円周上の少な（とも
３箇所以上複数箇所の所定位置に軸受孔を備えた載置台
と、 一端には片面に突出して上記軸受孔と嵌合する回転軸を
また他端には反対面に突出するガイドピンを備え、且つ
長さ方向ほぼ中間部近傍には該ガイドピンと同じ方向に
突出する摺動ピンを備えた上記軸受孔と同数の弯曲した
回転レバーと、上記載置台の表面に近接して平行に該載
置台の所定点を中心として所定角度範囲で回転できる手
段を有し、且つ該載置台と対向する面には上記回転レバ
ーの摺動ピンがその直径方向で摺動できるガイド溝が上
記孔のそれぞれと対応する位置で所定の方向に形成され
ている幅が一様なリング状のガイド板とで構成し、 前記載置台のそれぞれの軸受孔に上記回転レバーの回転
軸をガイドピンを内側にして挿着し、更に各回転レバー
の摺動ピンを上記ガイド板の対応するガイド溝に嵌合さ
せてなるウェハ位置決め機構によって解決される。

〔作　用〕

送られてくるウェハを固定ガイドで位置決めする従来の
方法に代えて、ウェハの周囲から同一の押圧力で固定す
る機構部を装置の所定位置に配設すれば、いかなる外径
のウェハでも所定の位置に容易に固定することができる
。

本発明では、装置架台の所定点を中心とする円周上に所
定間隔を持って配置し且つほぼ半径方向に同時に同距離
だけ移動できる少なくとも３個以上襟数個のガイドピン
でウェハの周囲を固定するようにしている。

従って外径に関係な（いかなるウェハでも連続して容易
に且つ正確に所定位置への位置決めを実現している。

〔実施例〕

第１図は本発明になるウェハ位置決め機構を説明する図
であり、（Ａ）は動作原理を示した図を（Ｂ）は理解し
易くするために付した部品図である。

なお図（Ｂ）の■は部品上面からまた■は部品を下側か
らそれぞれ見た場合を示している。

また第２図は本発明になるウェハ位置決め機構でウェハ
を固定した図である。

第１図（Ａ）　、　（Ｂ）で、１０は第３図における所
定点Ｃに中心を持つ円形状の載置台であり、該載置台２
の上記０点を中心とする円周上の所定位置（図の場合に
は六等分しである）Ｐ点には軸受孔１０ａが設けられて
いる。

また該載置台２の上面に組合わせる弯曲した板状の回転
レバー１１は、斜視図■に示す如くその一端に上記軸受
孔１０ａと嵌合して円滑に回転する回転軸１１ａをまた
他端には該回転軸１１ａと反対面に突出するガイドピン
１１ｂを備え、且つ上記回転レバー１１の長さ方向のほ
ぼ中間部分には該ガイドピン１１ｂと同じ方向に突出す
る摺動ピン１１ｃが固定されている。

従って該回転レバー１１の回転軸１１ａを上記ａｔ台１
０のＰ点に設けられている軸受孔１０ａに挿入した状態
では、該回転レバー１１はＰ点を中心として自由に回転
することができる。

また該回転レバー１１を上記載１台１０に挿着しだ後そ
の上部に配設する円板リング状のガイド板１２は、その
外周部分が前記載置台ｌＯの周辺部所定位置に形成され
ているガイド１０ｂの内面部１０ｂ　”でガイドされて
上記０点を中心として回転するように構成されている。

更に該ガイド板１２は、下側から見た斜視図■の如（上
記０点を中心とする同心のリング状に形成されており、
その下面には円周を六等分する位置ト に上記回転レバー１１のガイドピン１１今がその直径方
向に円滑に摺動できるガイド溝１２ａが上記０点に対し
て所定の角度αをもって同じ方向に傾いて形成されてお
り、また外周上の一箇所には該ガイドＦｉ１２と一体化
されているレバー１２ｂが形成されている。

そこで上述の如く複数の回転レバー１１を載置台ｌ÷に
それぞれ挿着し、更に該ガイド板１２をそのガイド溝１
２ａが回転レバー１１の各対応する摺動ピン１１ｃと嵌
合するように組合わせて配設する。

この状態で回転レバー１１は、回転軸１１ａおよび摺動
ピン１１ｃによって位置が決定せられて動くことがない
。

例えば図では、摺動ピン１１ｃが・で示すＰ＋にある場
合にはガイドピン１１ｂが固定するウェハサイズは一点
鎖線で示すＤである。

ここでレバー１２ｂでガイド板１２を図示矢印Ｒ方向に
回転させると、ガイド溝１２ａがＰ点を中心として回転
する回転レバー１１の上記摺動ピン１１ｃを溝に沿って
移動させて例えば・で示すＰ２の位置に移動する。この
結果該回転レバー１１の他端にあるガイドピン１１ｂは
上記Ｐ点を中心として回転し破線で示す如く図示Ｒ°の
方向に移動する。

この場合のガイドピン１１ｂが固定できるウェハサイズ
は二点１１線で示すＤｏとなる。

更に該回転レバー１１上のガイドピン１１ｂの径を摺動
ピン１１ｃの径に合わせた場合には、該ガイドピン１１
ｂをガイド板１２に形成したガイド溝１２ａに嵌合させ
ることが可能となり、かかる構成にした場合には摺動ピ
ン１１ｃの突出部が被検ウェハ２を保持することになる
ため径の大きい被検ウェハ２を保持することができる。

なおいずれの場合でもウェハ中心位置は０点であってウ
ェハの径によって変わることがない。

従っていかなるサイズのウェハでも、レバー１２ｂの回
転角度を変えることによって位置決めし固定することが
できる。

第２図で載置台１０の上にはガイド板１２が配設されて
おり、この載置台１０とガイド板１２の間に回転レバー
１１が組合わされていることは第１図で説明した通りで
あり、図では回転レバー１１の一部が表面に露出してい
るが、被検ウェハ２はガイドピン１１ｂで所定の位置す
なわち第１図の０点と中心が合致する位置に固定されて
いる。

１３はガイド板１２を保護するためのカバーであり、そ
の一部にはガイド板１２のレバー１２ｂ用の窓１３ａが
あけられている。

図では被検ウェハ２がガイドピン１１ｂで固定されてい
るが、レバー１２ｂを図のＲ＋方向に逆回転させると第
１図における説明と逆の動作によってガイドピン１１ｂ
が外側すなわち図示Ｒ＋　　“方向に開いて被検ウェハ
２を取り出すことができる。

〔発明の効果〕

上述の如く本発明により、いかなる径のウェハでもレバ
ーを動作することによって自由に且つ確実に装置架台上
の所定位置に固定することのできるウェハ位置決め機構
を提供することができる。

なお本発明の説明に当たっては、回転レバーを動作させ
るのに外部に突出しているレバーを使用しているが、外
部からの制御信号によって回転レバーを電気的に回転さ
せても同等の効果を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になるウェハ位置決め機構を説明する図
、 第２図は本発明になるウェハ位置決め機構でウェハを固
定した図、 第３図は従来の検査装置におけるウェハ位置決め機構の
例を示す図、 である。図において、 ２は被検ウェハ、 １０は！！載置台　　　　１０ａは軸受孔、１０ｂはガ
イド、　　　１０ｂ１は内面部、１１は回転レバー、　
　１１ａは回転軸、１１ｂはガイドピン、　１１ｃは摺
動ピン、１２はガイド板、　　　　１２ａはガイド溝、
１２ｂはレバー、 １３はカバー、　　　　１３ａは窓、 をそれぞれ表わす。 （Ａ） 子　１　霧 第　２　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　所定点を中心とする円周上の少なくとも３箇所以上複
   数箇所の所定位置に軸受孔（１０ａ）を備えた載置台（
   １０）と、 一端には片面に突出して上記軸受孔（１０ａ）と嵌合す
   る回転軸（１１ａ）をまた他端には反対面に突出するガ
   イドピン（１１ｂ）を備え、且つ長さ方向ほぼ中間部近
   傍には該ガイドピン（１１ｂ）と同じ方向に突出する摺
   動ピン（１１ｃ）を備えた上記軸受孔（１０ａ）と同数
   の弯曲した回転レバー（１１）と、上記載置台（１０）
   の表面に近接して平行に該載置台（１０）の所定点を中
   心として所定角度範囲で回転できる手段を有し、且つ該
   載置台（１０）と対向する面には上記回転レバー（１１
   ）の摺動ピン（１１ｃ）がその直径方向で摺動できるガ
   イド溝（１２ａ）が上記軸受孔（１０ａ）のそれぞれと
   対応する位置で所定の方向に形成されている幅が一様な
   リング状のガイド板（１２）とで構成し、 前記載置台（１０）のそれぞれの軸受孔（１０ａ）に上
   記回転レバー（１１）の回転軸（１１ａ）をガイドピン
   （１１ｂ）を内側にして挿着し、更に各回転レバー（１
   １）の摺動ピン（１１ｃ）を上記ガイド板（１２）の対
   応するガイド溝（１２ａ）に嵌合させてなることを特徴
   とするウェハ位置決め機構。