JPH09293772A - ウエハの位置合わせ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハ中心の位置合わせ及び周方向の位置合
わせを簡単に行うことのできる装置、及びこれらの位置
合わせを複数枚のウエハに対して一括して行うことので
きる装置を提供すること。 【解決手段】 末広がりのテーパ部例えばテーパピン４
がウエハの周縁に沿って配置された複数段の載置台３
と、これら載置台３に夫々対して設けられ、テーパピン
４を結ぶ円の中心のまわりに回転すると共に、この円よ
りも内方側に位置する複数段のターンテーブル５とを備
えており、載置台３がターンテーブル５に対して相対的
に昇降できるようになっている。ウエハＷが移載アーム
１０ａからテーパピン４に受け渡されるとウエハＷの周
縁がテーパピン４の内周面に当接して中心位置合わせが
行われ、次いでターンテーブル５がウエハＷを受け取っ
て周方向の位置合わせが行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハの中
心及び周方向の位置合わせを行うことのできる位置合わ
せ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に半導体ウエハ（以下ウエハとい
う）を処理あるいは検査する際に、ウエハには結晶の方
向性があることから、ウエハの向きについて位置合わせ
をしなければならない。このためウエハにはオリフラ
（オリエンテーションフラット）と呼ばれる直線状の切
欠部が形成されており、これを利用して、例えば特公平
１−５９７３９号公報に開示されているようにローラに
よってオリフラ合わせを行う簡単な手法が知られてい
る。

【０００３】このようなローラを用いたオリフラ合わせ
は、カセット内にウエハを収納したまま一括して行うこ
とができ、例えば熱処理をバッチで行う熱処理ステーシ
ョンでは、カセットを縦にしてウエハの位置合わせを行
う機構が用いられている。ところで、ウエハに対して例
えばイオン注入処理やパターン焼き付け処理を行う場合
には、イオン注入領域や露光領域に対してウエハが正確
に載置されなければならないので、ウエハの中心位置に
ついても位置合わせを行う必要がある。

【０００４】そこでウエハの向き（オリフラの向き）お
よび中心の位置合わせを行う方法として、従来例えば特
開昭６０−８５５３６号公報に記載されているように、
ターンテーブルによってウエハの向きを合わせると共
に、当該ターンテーブルをＸ方向、Ｙ方向に移動させて
ウエハの中心を位置合わせする技術や、あるいは特開昭
１−２８５０３号公報に記載されているようにステージ
上のローラによりウエハの向きを合わせ、当該ステージ
をやはりＸ方向、Ｙ方向に移動させる技術が知られてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ウエハにオ
リフラを形成すると広い領域が切欠されて無駄になるこ
とから、最近においてウエハの周縁にオリフラに代え
て、ノッチと呼ばれる半円状の切欠部を形成することが
検討されており、このためカセット内のウエハをローラ
で位置合わせする機構をそのまま適用できなくなる。

【０００６】更にウエハのパーティクル汚染を抑えるた
めに密閉型のウエハカセットが検討されているが、この
場合にはカセット内でウエハの位置合わせを行うことが
できない。そこでウエハをカセットから取り出して位置
合わせを行わなければならないが、例えば熱処理をバッ
チで行う熱処理ステーションでは、ウエハを複数枚例え
ば５枚一括してウエハボートに移載することから、既述
のようにターンテーブルにウエハを１枚づつ載せて行う
手法はスループットが低下してしまう。

【０００７】また既述のようにターンテーブルを用いて
ウエハの中心の位置合わせを行う手法は、Ｘ方向の駆動
機構、Ｙ方向の駆動機構を必要とし、しかもその駆動量
は正確なものでなければならないので、機構が複雑にな
る上コスト的にも高価である。

【０００８】本発明は、このような事情の下になされた
ものであり、その目的は、ウエハ中心の位置合わせ及び
周方向の位置合わせを簡単に行うことのできる位置合わ
せ装置を提供することにある。

【０００９】本発明の他の目的は、複数枚のウエハに対
して一括して中心の位置合わせ、及び周方向の位置合わ
せを行うことのできる位置合わせ装置を提供することに
ある。

【００１０】本発明の更に他の目的は、ウエハカセット
内のウエハに対して中心の位置合わせを行うことのでき
る位置合わせ装置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の位置合わせ装置
は、末広がりのテ−パ部がウエハの周縁に沿って設けら
れ、ウエハの周縁がテ−パ部のテ−パ面で規制されてウ
エハ中心の位置合わせが行われるように構成された中心
位置合わせ用の載置部と、前記テ−パ部を結ぶ円の中心
部のまわりに回転すると共にこの円よりも内方側に位置
する回転載置部と、前記回転載置部に保持されたウエハ
の周縁部の位置合わせ用切り欠き部を検出する検出部
と、この検出部からの検出信号に基づいて前記回転載置
部の回転量を制御してウエハの周方向の位置合わせを行
う制御部と、を備え、前記中心位置合わせ用の載置部
は、前記回転載置部との間でウエハの受け渡しができる
ように当該回転載置部に対して相対的に昇降可能に構成
されたことを特徴とする。

【００１２】本発明は、中心位置合わせ用の載置部及び
回転載置部を一段のみ設けてもよいが、複数段設けれ
ば、複数のウエハに対して中心及び周方向の位置合わせ
を一括して行うことができる。この場合、例えば各中心
位置合わせ用の載置部は共通の第１の支持部材に支持さ
れると共に、各回転載置部は、共通の第２の支持部材に
支持され、第１の支持部材と第２の支持部材とを相対的
に昇降させる構成を採用できる。

【００１３】またウエハ移載ア−ムによりウエハの下面
を保持して位置合わせ装置に移載する場合には、テ−パ
部の並びの間を、ウエハ移載ア−ムの進入空間とし、ウ
エハ移載ア−ムと中心位置合わせ用の載置部との間で両
者を相対的に昇降させてウエハの移載を行う。両者を相
対的に昇降させる場合、回転載置部の高さ位置を固定す
る一方、中心位置合わせ用の載置部を昇降可能に構成す
ることが好ましい。

【００１４】更に他の発明に係るウエハの位置合わせ装
置は、周縁部の一部が開口し、その開口部からウエハの
周縁部の一部が露出しているウエハカセット内のウエハ
を位置合わせする装置であって、ウエハが横向きになる
ようにウエハカセットを載置するためのカセット載置部
と、このカセット載置部に載置されたウエハカセット内
のウエハに対して、露出しているウエハの周縁部の少な
くとも３か所をウエハカセットの外側からウエハの内方
側に押圧してウエハ中心の位置合わせを行う押圧部材
と、を備えたことを特徴とする。押圧部材としては、ほ
ぼ垂直な軸の回りに回動可能なロ−ラを用いることが好
ましい。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の形態に係る
位置合わせ装置を含むウエハ移載ステーションの一部を
示す図であり、この移載ステーションには、密閉型のウ
エハカセット１と、ウエハ移載機構１０と、ウエハの位
置合わせ装置２とが設けられている。前記ウエハカセッ
ト１は、例えば１３枚のウエハＷを棚状に保持するよう
にウエハ保持溝が多段に形成された筐体１１と、この筐
体１１のウエハ搬入出口である開口部を気密に閉じるた
めの蓋体１２とを備えている。

【００１６】前記移載機構１０は、カセット１及び位置
合わせ装置２の間でウエハの受け渡しを行うためのもの
であるが、移載ステーションが縦型熱処理装置に組み合
わせられていれば例えばウエハボートに、また真空処理
装置に組み合わせられていれば例えば多段のウエハ溝を
有するロードロック室にウエハを移載する。この移載機
構１０は、ウエハを複数枚一括して移載できるように複
数の移載アーム１０ａを備えており、進退自在、回転自
在、昇降自在に構成されていると共に、移載アーム１０
ａの配列間隔（上下間隔）が変えられるようになってい
る。

【００１７】本発明の実施の形態であるウエハの位置合
わせ装置２は、複数段例えば５段に配列されたウエハ中
心位置合わせ用の載置部である載置台３を備えている。
各載置台３は、図２及び図３に拡大して示すように略リ
ング状に形成されかつ基端側が切欠された昇降基台３１
と、この昇降基台３１に、ウエハＷの周縁に対応する位
置に沿って例えば左右対称位置に５本ずつ合計１０本配
列されたテーパ部であるテーパピン４とを有している。

【００１８】これらテーパピン４のうち先端側に左右に
並ぶテーパピン４の間は前記移載アーム１０ａの進入空
間を形成しており、また上下に隣接する昇降基台３１の
配列間隔は移載アーム１０ａの配列間隔に対応してい
る。テーパピン４は、例えばテフロン（商品名）などの
樹脂で作られ、図２に示すように各々テーパ角度θが例
えば１５度で高さｈが２０ｍｍの円錐状に形成されてい
る。各昇降基台３１の基端側は、角形で垂直姿勢の昇降
フレーム３２の左右両縁部に共通に支持されている。

【００１９】また前記位置合わせ装置２は、ウエハの裏
面を保持して水平に回転する回転載置部としてのターン
テーブル５を５段備えている。これらターンテーブル５
は、載置台３に対応して夫々固定基台５１の上に設けら
れている。固定基台５１は、対応する載置台３よりも例
えば下方側に配置され、固定基台５１の基端側は、前記
昇降フレーム３２で囲まれた空間を通り当該昇降フレー
ム３２の背面側に位置する固定プレート５２に共通に取
り付けられている。この例では昇降フレーム３２及び固
定基台５１は、夫々第１の支持部材及び第２の支持部材
に相当する。

【００２０】前記固定基台５１の各々には駆動プーリ５
３やモータＭなどを含む駆動部５４が設けられている。
ターンテーブル５は、駆動プーリ５３との間に掛けられ
た伝達機構例えばベルト５５により、前記テーパピン４
を結ぶ円形領域の中心に位置する垂直な回転軸のまわり
に回転できるようになっており、この例では昇降基台３
１よりも上方側に位置している。

【００２１】前記昇降フレーム３２は、前記固定プレー
ト５２の前面側に設けられた垂直なガイド５６に沿って
昇降機構３４（図１参照）により昇降できるように構成
されている。

【００２２】また前記固定基台５１の各々には、ウエハ
Ｗの周縁に位置合わせ用の切欠部として形成された図５
（ａ）に示すノッチ１００や図５（ｂ）に示すオリフラ
（オリエンテーションフラット）２００を検出するため
の検出部例えば受光部及び発光部を備えた光センサ４１
が設けられている。これら光センサ４１は、ターンテー
ブル５にウエハＷが載置されたときにそのウエハＷの周
縁部を挾んで発光部及び受光部が対向するように配置さ
れる。

【００２３】前記光センサ４１の受光出力は図２に示す
制御部４２に入力される。この制御部４２は、この受光
出力に基づいて、ターンテーブル５上のウエハＷのノッ
チ１００（あるいはオリフラ２００）が所定の向きに位
置するように駆動部５４を介してターンテーブル５の回
転量（回転角）を制御する機能を有する。

【００２４】次に上述実施の形態の作用について説明す
る。今ウエハ移載ステーションの図示しないカセットス
テージに密閉型のカセット１が載置されたとする。この
カセット１は、常時は蓋１２によりウエハの収納空間が
外部から気密に遮断されており、ウエハの移載時には図
示しない蓋開閉機構により蓋１２が開かれる。そしてウ
エハ移載機構１０の移載アーム１０ａをカセット１内に
進入させてカセット１内の５枚のウエハＷを一括して掬
い上げて保持し、ウエハの位置合わせ装置２に移載す
る。

【００２５】移載アーム１０ａの配列間隔は、カセット
１からウエハを受け取るときには例えば１０ｍｍである
が、位置合わせ装置２に移し替えるときには、載置台３
の配列間隔に対応して例えば３０ｍｍまで広がる。各移
載アーム１０ａは図６（ａ）に示すように、対応するタ
ーンテーブル５から例えば５ｍｍ上方の位置まで進入す
る。このとき載置台３は、テーパピン４のテーパ面がウ
エハＷの周縁より下方側に位置する高さレベルに置かれ
ており、昇降フレ−ム３２の上昇により載置台３が上昇
し、図６（ｂ）に示すようにテーパピン４のテーパ面に
よりウエハＷの周縁を保持し、その保持位置から更に上
昇する。これによりウエハＷは移載アーム１０ａから浮
上し、次いで移載アーム１０ａは位置合わせ装置２から
後退する。

【００２６】ウエハＷはテーパピン４に保持されること
により中心の位置合わせが行われる。即ちウエハＷの周
縁はテーパピン４のテーパ面により規制されるため、例
えばウエハＷの中心がずれていれば、その中心が寄って
いる側の周縁がテーパピン４のテーパ面に先に当接し、
テーパ面の上昇により周縁が横方向に押し返される。１
０本のテーパピン４は、テーパ面の同じ高さレベルにお
けるポイントがウエハＷの輪郭に対応する円に沿って位
置するように配置されているため、図６（ｂ）に示すよ
うにウエハＷが全部のテーパピン４で支持されたときに
は、ウエハ中心位置が合っている状態となる。

【００２７】続いて載置台３が降下し、図６（ｃ）に示
すように載置台３上のウエハＷがターンテーブル５に受
け渡される。その後ターンテーブル５が駆動部５４によ
り回転するが、光センサ４の光軸はウエハＷの切欠部例
えばノッチ１００を通るように設定されているため、制
御部４２側ではウエハＷのノッチ１００を検出でき、光
センサ４の検出信号に基づいてウエハＷの周方向の位置
（向き）が所定位置になるようにターンテーブル５を回
転させる。

【００２８】こうしてウエハＷの中心及び向きの位置合
わせが終了し、次いで図６（ｄ）に示すように載置台３
が上昇してターンテーブル５上のウエハＷを受け取る。
更にウエハＷとターンテーブル５との間に移載アーム１
０ａが進入し、図６（ｅ）に示すように移載アーム１０
ａが上昇して載置台３からウエハＷを受け取り図示しな
い例えば縦型熱処理装置のウエハボートに移載する。

【００２９】上述の実施の形態によれば、複数枚のウエ
ハＷに対して、中心位置合わせ及び向きの位置合わせを
一括して行うことができるためスループットが向上し、
例えば密閉型のカセット１を用いた場合のスループット
対策に有効である。テ−パピン４によりウエハＷの中心
位置合わせを行い、このウエハＷをテ−パピン４からタ
−ンテ−ブル５に受け渡して向きについての位置合わせ
を行っているため、構成が簡単である。更に各ウエハ毎
の位置合わせ機構が多段化されているため専有スペース
も狭くて済む。

【００３０】本発明では、載置台３側を固定してターン
テーブル５側を昇降させ、移載アーム１０ａから載置台
３側にウエハを受け渡すときには移載アーム１０ａ側を
昇降させるようにしてもよいが、この場合にはウエハの
中心位置が最もズレている場合を見込んで移載アーム１
０ａをテーパピン４の上方側に位置させ、そこからウエ
ハＷが降りることになるため、ウエハＷの上下移動距離
が大きくなり、その分光センサ４１が大型化してしま
う。これに対して載置台３側を昇降させれば、ウエハＷ
が移載アーム１０ａから載置台３に受け渡されるまでの
間、ウエハＷの高さレベルは一定であるため、ウエハＷ
の上下移動距離は小さく、従って光センサ４１を小型化
できる。

【００３１】以上においてテーパ部としてはテーパピン
の代りに、内周側がテーパ面に形成され、周方向に亘っ
て伸びる突条部として構成し、ウエハの周縁全体（移載
アームの進入空間などに対応する位置は除く）を支持す
るようにしてもよい。また本発明では載置台３及びター
ンテーブル５などからなる位置合わせ機構を多段にする
ことなく１段のみ設けてもよい。なお移載アームがウエ
ハの表面を吸着するタイプのものであれば、テーパピン
４の並びの間に移載アームの進入空間を形成しなくても
よい。

【００３２】次に本発明の他の実施の形態について図７
及び図８を参照しながら説明する。この実施の形態は、
ウエハカセット内にウエハを収納したままウエハ中心の
位置合わせを行うための装置である。カセットとして
は、例えばＳＥＭＩで規格化が検討されている標準カセ
ットが用いられる。図中６はウエハカセットであり、カ
セット載置部であるカセット載置台７の上にウエハがほ
ぼ水平になるように横向きに置かれている。このカセッ
ト６の横置きの状態における上面プレート６１及び下面
プレート６２は、ウエハＷの輪郭よりもひとまわり大き
いほぼ円形状に形成され、このプレート６１、６２の前
縁側は、ウエハＷの輪郭に近い小径の円弧状に形成され
ている。前記プレート６１、６２の間における左右両側
には、プレート６１、６２の周縁に沿った側壁６３、６
４が設けられると共に、プレート６１、６２間の後端部
にも壁部６５が設けられ、これら壁部６３、６４、６５
の内周面には、例えば１３枚のウエハの周縁部を夫々保
持するための保持溝６６が１３段形成されている。

【００３３】前記プレート６１、６２の円弧状の前縁部
の間は、ウエハＷの取り出し、取り入れ口をなす開口部
６７として形成されている。また壁部６３、６４は後側
の左右両縁部は切欠されていて、この部分におけるプレ
ート６１、６２間は開口部６８（図８参照）となってい
る。

【００３４】前記カセット６の左右両側には、カセット
６内のウエハの周縁部を押圧する押圧機構７Ａ、７Ｂが
対称に設けられており、本発明の実施の形態である位置
合わせ装置は、これら押圧機構７Ａ、７Ｂにより構成さ
れる。押圧機構７Ａ、７Ｂは同一構造であり、カセット
６の前縁側開口部６７の左右両端付近にて露出している
ウエハＷの周縁部に対向する位置、つまり壁部６３、６
４の前端面に臨む領域に対向する位置には押圧部材例え
ば垂直な軸部７１のまわりに回動可能なローラ７２が設
けられている。

【００３５】このローラ７２は、カセット６内のウエハ
Ｗに対応してウエハＷ毎に分割され、カセット６におけ
るウエハＷの収納枚数分例えば１３個のローラ７２ａが
各ウエハＷの高さ位置に対応して高さ方向に配列されて
構成される。各ローラ７２ａの間には、ローラ７２ａ、
７２ａの間に間隔を確保するための図では見えない部材
が軸部７１に設けられ、ローラ７２ａ，７２ａ同士が擦
れ合わずに回動できるようになっている。

【００３６】またカセット６の後部側の左右に形成され
た開口部６８に対向する位置にも、垂直な軸部７３のま
わりに回動自在な、前記ローラ７２と同様のローラ７４
が設けられており、これらローラ７２、７３の各軸部７
１、７３の下端部は、共通のスライド板８に固定されて
いる。また各軸部７１、７３の上端側は互いに連結され
ている。

【００３７】前記スライド板８は、ガイドレール８１、
８２にガイドされながら、カセット６の前後を結ぶ中心
線Ｌと直交する方向に進退自在に（図７中左右方向に移
動できるように）構成されており、スライド板８の側部
には、当該スライド板８を進退させるための駆動部例え
ばエアシリンダ８３が設けられている。そして押圧機構
７Ａ、７Ｂの４本のローラ７１、７３は、カセット６内
のウエハＷの中心位置が合っているときにそのウエハＷ
の周縁に当接するように位置設定されている。これらロ
ーラ７１、７３の材質としては例えばテフロン（商品
名）が使用される。

【００３８】上述の実施の形態では、例えば縦型熱処理
装置などのカセット入出力ポートのカセット載置台７
に、例えば１３枚のウエハＷを収納したカセット６を横
向きに置く。このとき移載装置の各ローラ７１、７３
は、カセット６と干渉しない位置まで後退しているが、
カセット６が載置台７に置かれた後には、エアシリンダ
８３によりスライド板８を前進させ、カセット６の開口
部６７、６８から露出しているウエハＷの周縁部４個所
を夫々中心線Ｌ側に押圧し、これによってカセット６内
の各ウエハＷの中心位置合わせが同時に行われる。その
後各ローラ７１、７３が後退し、図示しない搬送アーム
がカセット６内のウエハＷを受け取りにいく。

【００３９】このような実施の形態によれば、カセット
６内のウエハＷに対して同時に中心の位置合わせを行う
ことができるので、スループットの向上を図ることがで
き、既述の標準カセットではウエハサイズに対して余裕
をもって作られており、ウエハ中心が４ｍｍφの中に入
る程度の位置精度しかないため、本実施の形態は非常に
有効である。そしてウエハの向きがある程度ラフでもよ
い処理に対しては、カセット内のウエハをそのまま処理
ステーションに移載することができ、またウエハの向き
について正確な位置合わせが要求される場合には、その
後ウエハの向きについてだけ位置合わせを行えばよいの
で、位置合わせのための機構も簡易なもので済む。

【００４０】ウエハの周縁を押圧する部材としてはロー
ラに限らないが、ローラを用いれば、押圧時にローラに
周方向に力が加わってもローラが回動するので、擦れに
よるパーティクルの発生を抑えることができる。またロ
ーラとしては各ウエハに共通の１本のローラを用いても
よいが、ウエハ毎に分割したローラを用いれば、各ウエ
ハの中心位置のずれに応じて独立に回動するので、ロー
ラとウエハ周縁との擦れを一層抑えることができる。

【００４１】なおカセットの種類は図７に示す標準カセ
ットに限られるものではない。またウエハの周縁の押圧
は、３ヶ所以上であればよく、４ヶ所に限定されるもの
ではない。

【００４２】

【発明の効果】本発明によれば、テーパ部を備えたウエ
ハ中心位置合わせ用の載置部と回転載置部とを組み合わ
せているため、簡単な構成でウエハの中心及び周方向の
位置合わせを行うことができる。またこれら載置部より
なる位置合わせ機構を複数段設けることにより、複数枚
のウエハに対して一括して位置合わせを行うことができ
る。また他の発明によればウエハカセットから露出して
いるウエハの周縁部を、少なくとも３方向から押圧して
いるので、ウエハカセット内のウエハに対して中心の位
置合わせを行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る位置合わせ装置を含
む移載ステーションの一部を示す概略斜視図である。

【図２】本発明の実施の形態に係る位置合わせ装置を示
す斜視図である。

【図３】本発明の実施の形態に係る位置合わせ装置を示
す側面図である。

【図４】本発明の実施の形態に係る位置合わせ装置のテ
ーパピンを拡大して示す側面図である。

【図５】ウエハを示す平面図である。

【図６】ウエハの位置合わせの様子を示す作用説明図で
ある。

【図７】本発明の他の実施の形態に係る位置合わせ装置
を示す斜視図である。

【図８】本発明の他の実施の形態に係る位置合わせ装置
を示す平面図である。

【符号の説明】

１ ウエハカセット １０ ウエハ位置合わせ機構 ２ ウエハの位置合わせ装置 ３ 載置台 ３１ 昇降基台 ３２ 昇降フレーム ４ テーパピン ４１ 光センサ ４２ 制御部 ５ ターンテーブル ５１ 固定基台 ５２ 固定プレート ６ ウエハカセット ６１ 上面プレート ６２ 下面プレート ６７、６８ 開口部 ７Ａ、７Ｂ 押圧機構 ７２、７３ 押圧部材としてのローラ ８ スライド板 ８３ エアシリンダ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 末広がりのテ−パ部がウエハの周縁に
   沿って設けられ、ウエハの周縁がテ−パ部のテ−パ面で
   規制されてウエハ中心の位置合わせが行われるように構
   成された中心位置合わせ用の載置部と、 前記テ−パ部を結ぶ円の中心部のまわりに回転すると共
   にこの円よりも内方側に位置する回転載置部と、 前記回転載置部に保持されたウエハの周縁部の位置合わ
   せ用切り欠き部を検出する検出部と、 この検出部からの検出信号に基づいて前記回転載置部の
   回転量を制御してウエハの周方向の位置合わせを行う制
   御部と、を備え、 前記位置合わせ用の載置部は、前記回転載置部との間で
   ウエハの受け渡しができるように当該回転載置部に対し
   て相対的に昇降可能に構成されたことを特徴とするウエ
   ハの位置合わせ装置。
2. 【請求項２】 末広がりのテ−パ部がウエハの周縁に沿
   って設けられ、ウエハの周縁部がテ−パ部のテ−パ面で
   規制されてウエハ中心の位置合わせが行われるように構
   成された複数段の中心位置合わせ用の載置部と、 前記複数段の載置部に夫々対応して設けられ、前記テ−
   パ部を結ぶ円の中心部のまわりに回転すると共にこの円
   よりも内方側に位置する複数段の回転載置部と、 前記回転載置部に保持されたウエハの周縁部の位置合わ
   せ用切り欠き部を検出する検出部と、 この検出部からの検出信号に基づいて前記回転載置部の
   回転量を制御してウエハの周方向の位置合わせを行う制
   御部と、を備え、 前記中心位置合わせ用の載置部は、前記回転載置部との
   間でウエハの受け渡しができるように当該回転載置部に
   対して相対的に昇降可能に構成されたことを特徴とする
   ウエハの位置合わせ装置。
3. 【請求項３】 テ−パ部の並びの間が、ウエハ移載ア−
   ムの進入空間をなし、ウエハ移載ア−ムと中心位置合わ
   せ用の載置部との間で両者を相対的に昇降させてウエハ
   の移載を行うことを特徴とする請求項１または２記載の
   ウエハの位置合わせ装置。
4. 【請求項４】 各中心位置合わせ用の載置部は共通の第
   １の支持部材に支持されると共に、各回転載置部は、共
   通の第２の支持部材に支持され、第１の支持部材と第２
   の支持部材とを相対的に昇降させることを特徴とする請
   求項２または３記載のウエハの位置合わせ装置。
5. 【請求項５】 回転載置部は高さ位置が固定される一
   方、中心位置合わせ用の載置部は昇降可能に構成された
   ことを特徴とする請求項１、２、３または４記載のウエ
   ハの位置合わせ装置。
6. 【請求項６】 周縁部の一部が開口し、その開口部から
   ウエハの周縁部の一部が露出しているウエハカセット内
   のウエハを位置合わせする装置であって、 ウエハが横向きになるようにウエハカセットを載置する
   ためのカセット載置部と、 このカセット載置部に載置されたウエハカセット内のウ
   エハに対して、露出しているウエハの周縁部の少なくと
   も３か所をウエハカセットの外側からウエハの内方側に
   押圧してウエハ中心の位置合わせを行う押圧部材と、 を備えたことを特徴とするウエハの位置合わせ装置。
7. 【請求項７】 押圧部材は、ほぼ垂直な軸の回りに回動
   可能なロ−ラにより構成されたことを特徴とする請求項
   ６記載のウエハの位置合わせ装置。