JP4312162B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4312162B2 JP4312162B2 JP2005016938A JP2005016938A JP4312162B2 JP 4312162 B2 JP4312162 B2 JP 4312162B2 JP 2005016938 A JP2005016938 A JP 2005016938A JP 2005016938 A JP2005016938 A JP 2005016938A JP 4312162 B2 JP4312162 B2 JP 4312162B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate insulating
- insulating film
- thinner
- film
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 42
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 29
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 26
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 18
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 15
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims description 15
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 14
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 21
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 13
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 11
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 8
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 6
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 6
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- LHENQXAPVKABON-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-1-ol Chemical compound CCC(O)OC LHENQXAPVKABON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
- H01L21/822—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using silicon technology
- H01L21/8232—Field-effect technology
- H01L21/8234—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type
- H01L21/823462—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type with a particular manufacturing method of the gate insulating layers, e.g. different gate insulating layer thicknesses, particular gate insulator materials or particular gate insulator implants
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
- G03F7/162—Coating on a rotating support, e.g. using a whirler or a spinner
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31144—Etching the insulating layers by chemical or physical means using masks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
Description
ゲート絶縁膜にダメージを及ぼす最も影響の大きい工程は、主にその形成直後であると考えられ、その一つとして、ゲート絶縁膜のウェットエッチング工程が挙げられる。
以下、本発明をMOSトランジスタに適用した諸実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
本実施形態では、2電源用のものであり、膜厚の異なる2種のゲート絶縁膜を有するMOSトランジスタの製造方法を開示する。
図2及び図3は、第1の実施形態によるMOSトランジスタの製造方法を工程順に示す概略断面図である。
ここでは、STI(Shallow Trench Isolation)法により素子分離構造2を形成し、活性領域を画定する。具体的には、シリコンの半導体基板1の表層における素子分離領域に溝2aを形成し、溝2aを埋め込む膜厚に絶縁膜、例えばシリコン酸化膜をCVD法等により堆積する。そして、例えば化学機械研磨(Chemical Mechanical Polishing:CMP)法により半導体基板1の表面が露出するまでシリコン酸化膜を研磨し、溝2aをシリコン酸化膜で充填してなる素子分離構造2を形成する。素子分離構造2により、活性領域11,12を画定する。ここで、活性領域11が低電圧駆動のMOSトランジスタの形成領域、活性領域12が低電圧駆動のMOSトランジスタよりも高電圧駆動のMOSトランジスタの形成領域である。
具体的には、活性領域11,12上に絶縁膜、ここではシリコン酸化膜からなる第1のゲート絶縁膜5を形成する。シリコン酸化膜の成膜条件としては、例えば750℃のウェット雰囲気で活性領域11,12の表層を熱酸化し、膜厚5nm程度に成膜する。
具体的には、第1のゲート絶縁膜5の表面を含む全面にシンナーを供給し、第1のゲート絶縁膜5の表面を洗浄する。ここで、図4(a)に示すように、半導体基板1を回転させながら、その中央部にノズル31からシンナーを供給し、遠心力によりシンナーを半導体基板1の径方向外方に拡げて半導体基板1の表面全域に塗布する。この手法は、例えば特許文献3においてプリウェット処理と称されており、特許文献3では、この手法によって、レジストがより拡散し易くなり、結果としてより少量のレジスト液量で均一なレジスト膜を形成することができ、レジスト消費量が削減される、と記載されている。本発明では、飽くまで薄いゲート絶縁膜のパターニングに用いるレジスト塗布の前処理としてシンナー塗布を行い、ゲート絶縁膜とレジストとの濡れ性を改善することを目的とする。従って、シンナーの使用場面がゲート絶縁膜表面のレジスト塗布の前工程に限定されており、本発明と目的・構成の異なる特許文献3ではこのような使用場面を示唆する記載は皆無である。
第1の例として、図4(b)に示すように、半導体基板1を回転させつつ、その中央部周縁部との間の半径方向にノズル31を移動させながらシンナーを供給し、半導体基板1の表面全域に塗布する。この方法により、同じシンナーの量でも第1のゲート絶縁膜5の表面に更に均一にシンナーを塗布することができる。
具体的には、上記のシンナー塗布により表面状態が改善された第1のゲート絶縁膜5の表面を含む全面にレジスト6を膜厚1.2μm程度に塗布する。このとき、上記のシンナー塗布により優れた濡れ性で第1のゲート絶縁膜5の表面とレジスト6との高い密着性が確保される。
具体的には、リソグラフィーによりレジスト6を加工し、活性領域11上のみに相当する第1のゲート絶縁膜5の表面を露出させる開口6aを有するレジストパターン6bを形成する。
具体的には、レジストパターン6bをマスクとして、開口6aから露出する部位の第1のゲート絶縁膜5をウェットエッチングにより除去する。このとき、レジストパターン6bの開口6aの形状に倣って活性領域11上のみが除去された形状に第1のゲート絶縁膜5が加工される。ウェットエッチングには、エッチング液として0.5%濃度のHF溶液を用いる。この場合、仮にレジストパターン6bにピンホールが存在しており、エッチング液がピンホールを通って染み込んだとしても、第1のゲート絶縁膜5とレジストパターン6bとの間で高い密着性が確保されているため、エッチング液は第1のゲート絶縁膜5には殆ど到達することなく、第1のゲート絶縁膜5は形成時の良好な膜質状態で保持される。
具体的には、レジストパターン6bをレジスト剥離液を用いて溶解除去する。レジスト剥離液としては、SPM及びAPMを使用する。
具体的には、活性領域11,12上に絶縁膜、ここではシリコン酸化膜からなる第2のゲート絶縁膜7を積層形成する。シリコン酸化膜の成膜条件としては、例えば750℃のウェット雰囲気で活性領域11,12の表層を熱酸化し、膜厚2nm程度に成膜する。このとき、活性領域11上には第2のゲート絶縁膜7のみが、活性領域12上には第1のゲート絶縁膜5と第2のゲート絶縁膜7との2層膜21がそれぞれ形成されることになる。
具体的には、先ず全面に例えば多結晶シリコン膜(不図示)を形成する。多結晶シリコン膜は、例えばCVD法により膜厚200nm程度に堆積される。
次に、活性領域11における多結晶シリコン膜及び第1のゲート絶縁膜5と、活性領域12における多結晶シリコン膜及び2層膜21とをリソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより、活性領域11,12上でそれぞれ電極形状に残るように加工する。このとき、活性領域11上には第2のゲート絶縁膜7を介したゲート電極8が、活性領域12上には2層膜21を介したゲート電極8がそれぞれパターン形成される。このとき、ゲート絶縁膜7及び2層膜21のエッチングと共に素子分離構造2の表層もエッチングされる。
具体的には、活性領域11,12に形成された各ゲート電極8をマスクとして、活性領域11,12に不純物、ここでは砒素(As)を導入し、各ゲート電極8の両側における活性領域11,12の表層にソース/ドレイン9,10を形成する。ここで、不純物の導入は、ドーズ量を3.0×1015/cm2程度、加速エネルギーを40keV程度でイオン注入する。
本実施形態では、3電源用のものであり、膜厚の異なる3種のゲート絶縁膜を有するMOSトランジスタの製造方法を開示する。なお、第1の実施形態と同様の構成部材等については、同符号を記して詳しい説明を省略するものもある。
図6〜図8は、第2の実施形態によるMOSトランジスタの製造方法を工程順に示す概略断面図である。
先ず、第1の実施形態の図2(a)と同様に、STI法により素子分離構造2を形成し、活性領域51,52,53を画定する。ここで、活性領域51が低電圧駆動のMOSトランジスタの形成領域、活性領域52が低電圧駆動のMOSトランジスタよりも高い中程度の電圧駆動のMOSトランジスタの形成領域、活性領域53が中程度の電圧駆動のMOSトランジスタよりも高電圧駆動のMOSトランジスタの形成領域である。
具体的には、活性領域51〜53上に絶縁膜、ここではシリコン酸化膜からなる第1のゲート絶縁膜5を形成する。シリコン酸化膜の成膜条件としては、例えば750℃のウェット雰囲気で活性領域51〜53の表層を熱酸化し、膜厚6nm程度に成膜する。
このとき、第2の実施形態と同様に、図4(a)〜(d)のいずれかの方法を用いて、第1のゲート絶縁膜5の表面を含む全面にシンナーを塗布し、第1のゲート絶縁膜5の表面を洗浄する。この洗浄により、第1のゲート絶縁膜5の表面状態が改善され、第1のゲート絶縁膜5と後述するレジスト44との濡れ性が向上して両者の高密着性が得られる。
具体的には、上記のシンナー塗布により表面状態が改善された第1のゲート絶縁膜5の表面を含む全面にレジスト44を膜厚1.2μm程度に塗布する。このとき、上記のシンナー塗布により優れた濡れ性で第1のゲート絶縁膜5の表面とレジスト44との高い密着性が確保される。
具体的には、リソグラフィーによりレジスト44を加工し、活性領域52上のみに相当する第1のゲート絶縁膜5の表面を露出させる開口44aを有するレジストパターン44bを形成する。
具体的には、レジストパターン44bをマスクとして、開口44aから露出する部位の第1のゲート絶縁膜5をウェットエッチングにより除去する。このとき、レジストパターン44bの開口44aの形状に倣って活性領域52上のみが除去された形状に第1のゲート絶縁膜5が加工される。ウェットエッチングには、エッチング液として0.5%濃度のHF溶液を用いる。この場合、仮にレジストパターン44bにピンホールが存在しており、エッチング液がピンホールを通って染み込んだとしても、第1のゲート絶縁膜5とレジストパターン44bとの間で高い密着性が確保されているため、エッチング液は第1のゲート絶縁膜5には殆ど到達することなく、第1のゲート絶縁膜5は形成時の良好な膜質状態で保持される。
具体的には、レジストパターン44bをレジスト剥離液を用いて溶解除去する。レジスト剥離液としては、SPM及びAPMを使用する。
具体的には、活性領域51〜53上に絶縁膜、ここではシリコン酸化膜からなる第2のゲート絶縁膜7を積層形成する。シリコン酸化膜の成膜条件としては、例えば750℃のウェット雰囲気で活性領域51〜53の表層を熱酸化し、膜厚5nm程度に成膜する。このとき、活性領域52上には第2のゲート絶縁膜7のみが、活性領域51,53上には第1のゲート絶縁膜5と第2のゲート絶縁膜7との2層膜21がそれぞれ形成されることになる。
ここでは、第1のゲート絶縁膜5の表面洗浄と同様に、図4(a)〜(d)のいずれかの方法を用いて、第2のゲート絶縁膜7の表面を含む全面にシンナーを塗布し、第2のゲート絶縁膜7の表面を洗浄する。この洗浄により、第2のゲート絶縁膜7の表面状態が改善され、第2のゲート絶縁膜7と後述するレジスト45との濡れ性が向上して両者の高密着性が得られる。
具体的には、上記のシンナー塗布により表面状態が改善された第2のゲート絶縁膜7の表面を含む全面にレジスト45を膜厚1.2μm程度に塗布する。このとき、上記のシンナー塗布により優れた濡れ性で第2のゲート絶縁膜7とレジスト45との高い密着性が確保される。
具体的には、リソグラフィーによりレジスト45を加工し、活性領域51上のみに相当する第2のゲート絶縁膜7の表面を露出させる開口45aを有するレジストパターン45bを形成する。
具体的には、レジストパターン45bをマスクとして、開口45aから露出する部位の2層膜21をウェットエッチングにより除去する。このとき、レジストパターン45bの開口45aの形状に倣って活性領域51上の2層膜21が除去される。ウェットエッチングには、エッチング液として0.5%濃度のHF溶液を用いる。この場合、仮にレジストパターン45bにピンホールが存在しており、エッチング液がピンホールを通って染み込んだとしても、第2のゲート絶縁膜7及び2層膜21とレジストパターン45bとの間で高い密着性が確保されているため、エッチング液は第2のゲート絶縁膜7及び2層膜21に殆ど到達することはない。特に、活性領域52上に単層の状態で形成されている第2のゲート絶縁膜7に対するエッチング液の到達が防止されるため、第2のゲート絶縁膜7は形成時の良好な膜質状態で保持される。
具体的には、レジストパターン45bをレジスト剥離液を用いて溶解除去する。レジスト剥離液としては、SPM及びAPMを使用する。
具体的には、活性領域51〜53上に絶縁膜、ここではシリコン酸化膜からなる第3のゲート絶縁膜46を積層形成する。シリコン酸化膜の成膜条件としては、例えば750℃のウェット雰囲気で活性領域51〜53の表層を熱酸化し、膜厚2nm程度に成膜する。このとき、活性領域51上には第3のゲート絶縁膜46のみが、活性領域52上には第2のゲート絶縁膜7と第3のゲート絶縁膜46との2層膜22が、活性領域53上には第1のゲート絶縁膜5、第2のゲート絶縁膜7及び第3のゲート絶縁膜46の3層膜23がそれぞれ形成されることになる。
具体的には、先ず全面に例えば多結晶シリコン膜(不図示)を形成する。多結晶シリコン膜は、例えばCVD法により膜厚200nm程度に堆積される。
次に、多結晶シリコン膜、第1〜第3のゲート絶縁膜5,7,46をリソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより、活性領域51〜53上でそれぞれ電極形状に残るように加工する。このとき、活性領域51上には第3のゲート絶縁膜46を介したゲート電極8が、活性領域52上には2層膜22を介したゲート電極8が、活性領域53上には3層膜23を介したゲート電極8がそれぞれパターン形成される。このとき、ゲート絶縁膜7、2層膜22及び3層膜23のエッチングと共に素子分離構造2の表層もエッチングされる。
具体的には、活性領域51,52,53に形成された各ゲート電極8をマスクとして、活性領域51,52,53に不純物、ここでは砒素(As)を導入し、ゲート電極8の両側における活性領域51,52,53の表層にソース/ドレイン47,48,49を形成する。ここで、不純物の導入は、ドーズ量を3.0×1015/cm2/cm2程度、加速エネルギーを40keV程度でイオン注入する。
2 素子分離構造
3,4,41〜43 ウェル
5 第1のゲート絶縁膜
6,44,45 レジスト
6a,44a,45a 開口
6b,44b,45b レジストパターン
7 第2のゲート絶縁膜
8 ゲート電極
9,10,47〜49 ソース/ドレイン
11,12,51〜53 活性領域
21,22 2層膜
23 3層膜
31〜33 ノズル
46 第3のゲート絶縁膜
Claims (8)
- ゲート絶縁膜の膜厚が異なる少なくとも2種のトランジスタを備える半導体装置の製造方法であって、
半導体基板の上方の第1の活性領域及び第2の活性領域に第1のゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記第1のゲート絶縁膜の表面にシンナーを塗布する工程と、
前記シンナーが塗布された前記第1のゲート絶縁膜上で、前記第1の活性領域上に相当する部位にレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして前記第2の活性領域上の前記第1のゲート絶縁膜をウェットエッチングし、前記第1のゲート絶縁膜の前記第2の活性領域上の部分を除去する工程と、
第2のゲート絶縁膜を形成し、前記第2のゲート絶縁膜のみ形成された領域と、少なくとも前記第1及び第2のゲート絶縁膜が積層された領域とを形成する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1及び第2のゲート絶縁膜をそれぞれ熱酸化法により形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記エッチングがウェットエッチングであることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シンナーの単位面積あたりの塗布量を6×10-5cc/cm2以上の値とすることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シンナーを塗布する工程において、前記半導体基板をノズルに対して回転させながら、前記ノズルから前記シンナーを供給することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記回転中心部と回転周縁部との間の半径方向に前記ノズルを移動させながら前記シンナーを供給することを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ノズルの供給口が前記回転の半径方向に複数並設されており、前記各供給口から同時に又は順次に前記シンナーを供給することを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ノズルの供給口が前記回転の半径方向に線状に設けられており、前記供給口から前記シンナーを供給することを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005016938A JP4312162B2 (ja) | 2005-01-25 | 2005-01-25 | 半導体装置の製造方法 |
US11/214,888 US7615431B2 (en) | 2005-01-25 | 2005-08-31 | Manufacturing method of semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005016938A JP4312162B2 (ja) | 2005-01-25 | 2005-01-25 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006208456A JP2006208456A (ja) | 2006-08-10 |
JP4312162B2 true JP4312162B2 (ja) | 2009-08-12 |
Family
ID=36697361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005016938A Expired - Fee Related JP4312162B2 (ja) | 2005-01-25 | 2005-01-25 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7615431B2 (ja) |
JP (1) | JP4312162B2 (ja) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0376109A (ja) | 1989-08-17 | 1991-04-02 | Sony Corp | レジストのコーティング方法 |
JPH05243140A (ja) | 1992-02-27 | 1993-09-21 | Fujitsu Ltd | 回転塗布装置及び回転塗布方法 |
JPH08293452A (ja) * | 1995-04-25 | 1996-11-05 | Mitsubishi Electric Corp | レジスト塗布装置 |
JP3352417B2 (ja) | 1998-01-21 | 2002-12-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布膜形成方法および塗布装置 |
US6183810B1 (en) | 1998-01-21 | 2001-02-06 | Tokyo Electron Limited | Coating film forming method and coating apparatus |
US6689215B2 (en) * | 1998-09-17 | 2004-02-10 | Asml Holdings, N.V. | Method and apparatus for mitigating cross-contamination between liquid dispensing jets in close proximity to a surface |
US6319317B1 (en) * | 1999-04-19 | 2001-11-20 | Tokyo Electron Limited | Coating film forming method and coating apparatus |
JP3910054B2 (ja) * | 2001-12-10 | 2007-04-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
KR100523671B1 (ko) | 2003-04-30 | 2005-10-24 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 이중 게이트절연막을 구비하는 씨모스 이미지 센서 및그의 제조 방법 |
-
2005
- 2005-01-25 JP JP2005016938A patent/JP4312162B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-08-31 US US11/214,888 patent/US7615431B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060166410A1 (en) | 2006-07-27 |
US7615431B2 (en) | 2009-11-10 |
JP2006208456A (ja) | 2006-08-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6579757B2 (en) | Method for fabricating semiconductor device which prevents gates of a peripheral region from being oxidized | |
JP4677177B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP3802507B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2006196843A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2003158264A (ja) | 金属ゲートcmosおよびその製造方法 | |
TWI322485B (en) | Method for forming contact hole of semiconductor device | |
JPWO2007043634A1 (ja) | 多層配線の製造方法 | |
JP4312162B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2004022551A (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP2004039902A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2009021550A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
CN113594085B (zh) | 半导体结构的制作方法 | |
JP3609660B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
JP2000260871A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR100875647B1 (ko) | 반도체소자의 캐패시터 형성방법 | |
JPH11251318A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR100687856B1 (ko) | 반도체 소자의 평탄화방법 | |
KR100712983B1 (ko) | 반도체 소자의 평탄화 방법 | |
JP2007059549A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR20010008613A (ko) | 웨이퍼의 에지 베드 제거 방법 | |
JP2004158821A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4905145B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2001044168A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR100344826B1 (ko) | 반도체 소자의 노드 콘택 형성방법 | |
KR100318436B1 (ko) | 반도체 소자의 폴리사이드 전극 형성방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20080731 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090120 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090323 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090414 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090512 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4312162 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130522 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140522 Year of fee payment: 5 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |