JPH08293452A - レジスト塗布装置 - Google Patents
レジスト塗布装置Info
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- JPH08293452A JPH08293452A JP7101180A JP10118095A JPH08293452A JP H08293452 A JPH08293452 A JP H08293452A JP 7101180 A JP7101180 A JP 7101180A JP 10118095 A JP10118095 A JP 10118095A JP H08293452 A JPH08293452 A JP H08293452A
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
- G03F7/162—Coating on a rotating support, e.g. using a whirler or a spinner
Abstract
(57)【要約】
【目的】 多種類のレジストの使用が可能で、直径の大
きな半導体ウエハ２０１にも均一な膜厚でレジストの塗
布ができ、安価で塗布作業の簡単なレジスト塗布装置を
提供する。 【構成】 半導体ウエハ２０１を載置して回転駆動する
回転台２００の上方に、保持板４００が配置され、その
保持板４００に、ノズル取付用回転円板３００が回転可
能に保持される。ノズル取付用回転円板３００の回転中
心Ｃ’は回転台２００の中心軸線Ｃから偏心した位置に
配置される。半導体ウエハ２０１上にレジストを吐出す
る複数のノズル６１１−６１３からなる少なくとも１列
のノズル群６１０、６２０、６３０が、ノズル取付用回
転円板３００にその半径方向に互いに間隔を存して取り
付けられる。ノズル群６１０、６２０、６３０の複数の
ノズル６１１−６１３のうちの少なくとも１つの取付位
置が調節可能である。
きな半導体ウエハ２０１にも均一な膜厚でレジストの塗
布ができ、安価で塗布作業の簡単なレジスト塗布装置を
提供する。 【構成】 半導体ウエハ２０１を載置して回転駆動する
回転台２００の上方に、保持板４００が配置され、その
保持板４００に、ノズル取付用回転円板３００が回転可
能に保持される。ノズル取付用回転円板３００の回転中
心Ｃ’は回転台２００の中心軸線Ｃから偏心した位置に
配置される。半導体ウエハ２０１上にレジストを吐出す
る複数のノズル６１１−６１３からなる少なくとも１列
のノズル群６１０、６２０、６３０が、ノズル取付用回
転円板３００にその半径方向に互いに間隔を存して取り
付けられる。ノズル群６１０、６２０、６３０の複数の
ノズル６１１−６１３のうちの少なくとも１つの取付位
置が調節可能である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体集積回路装置
等の製造において、半導体ウエハへレジストを塗布する
ためのレジスト塗布装置に係り、特にスピンコートによ
り半導体ウエハへレジストを塗布するレジスト塗布装置
の改良に関するものである。
等の製造において、半導体ウエハへレジストを塗布する
ためのレジスト塗布装置に係り、特にスピンコートによ
り半導体ウエハへレジストを塗布するレジスト塗布装置
の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体装置等の製造において、直
径の大きな半導体ウエハに対してスピンコートにより膜
厚が均一になるようにレジストを塗布するためのレジス
ト塗布装置として、例えば、以下の公開公報に開示され
たものが知られている。 （１） 特開昭６１−２３８０５０号 （２） 特開平５−５５１３１号 （３） 特開昭６３−３０１５２０号 （４） 特開昭６２−２２１４６５号 （５） 特開平２−２５８０８２号 （６） 特開昭６２−１９５１２１号
径の大きな半導体ウエハに対してスピンコートにより膜
厚が均一になるようにレジストを塗布するためのレジス
ト塗布装置として、例えば、以下の公開公報に開示され
たものが知られている。 （１） 特開昭６１−２３８０５０号 （２） 特開平５−５５１３１号 （３） 特開昭６３−３０１５２０号 （４） 特開昭６２−２２１４６５号 （５） 特開平２−２５８０８２号 （６） 特開昭６２−１９５１２１号
【０００３】上記特開昭６１−２３８０５０号には、図
３に示すように、半導体ウエハ１を載置するチャックテ
ーブル２と、そのチャックテーブル２を回転駆動するス
ピンドル３と、チャックテーブル２の上方において半導
体ウエハ１の中心位置に配置された内側ノズル４と、そ
の内側ノズル４の外側（半径方向外側）に配置された外
側ノズル５とから構成されるレジスト塗布装置が示され
ており、半導体ウエハ１はチャックテーブル１に固定さ
れ、スピンドル３によって回転駆動されながら、外側ノ
ズル５より低粘度のレジストを、同時に内側ノズル４よ
り高粘度のレジストを滴下させて半導体ウエハ１の表面
に膜厚の均一なレジスト膜を形成しようとするものであ
る。
３に示すように、半導体ウエハ１を載置するチャックテ
ーブル２と、そのチャックテーブル２を回転駆動するス
ピンドル３と、チャックテーブル２の上方において半導
体ウエハ１の中心位置に配置された内側ノズル４と、そ
の内側ノズル４の外側（半径方向外側）に配置された外
側ノズル５とから構成されるレジスト塗布装置が示され
ており、半導体ウエハ１はチャックテーブル１に固定さ
れ、スピンドル３によって回転駆動されながら、外側ノ
ズル５より低粘度のレジストを、同時に内側ノズル４よ
り高粘度のレジストを滴下させて半導体ウエハ１の表面
に膜厚の均一なレジスト膜を形成しようとするものであ
る。
【０００４】上記特開平５−５５１３１号には、複数の
ノズルから、半導体ウエハ上で回転中心からの距離が異
なる複数の場所に、レジストの粘度が回転中心からの距
離が大きくなるにつれて高くなるようにして、レジスト
を滴下させて膜厚の均一なレジスト膜を得ようとするレ
ジスト塗布装置が開示されている。
ノズルから、半導体ウエハ上で回転中心からの距離が異
なる複数の場所に、レジストの粘度が回転中心からの距
離が大きくなるにつれて高くなるようにして、レジスト
を滴下させて膜厚の均一なレジスト膜を得ようとするレ
ジスト塗布装置が開示されている。
【０００５】上記特開昭６３−３０１５２０号には、レ
ジスト滴下用の複数のノズルと、各ノズルの吐出位置を
半導体ウエハの回転中心に位置決めを行う位置決め機構
と、各ノズルの吐出位置を半導体ウエハの回転中心から
外周方向へ任意に移動させる移動機構とを有するレジス
ト塗布装置が開示されている。
ジスト滴下用の複数のノズルと、各ノズルの吐出位置を
半導体ウエハの回転中心に位置決めを行う位置決め機構
と、各ノズルの吐出位置を半導体ウエハの回転中心から
外周方向へ任意に移動させる移動機構とを有するレジス
ト塗布装置が開示されている。
【０００６】上記特開昭６２−２２１４６５号には、レ
ジスト滴下用の複数のノズルのうちの任意の一つを半導
体ウエハの中心に位置させるセンタリング機構を有する
レジスト塗布装置が開示されており、そのセンタリング
機構は、一例では、複数のノズルを保持する移動部材
と、この移動部材を直径方向に変位させる駆動部とから
構成され、他の例では、半導体ウエハの中心を通過する
円周上に複数の滴下用ノズルを保持して円周中心を支点
として回転させる回転部材から構成される。
ジスト滴下用の複数のノズルのうちの任意の一つを半導
体ウエハの中心に位置させるセンタリング機構を有する
レジスト塗布装置が開示されており、そのセンタリング
機構は、一例では、複数のノズルを保持する移動部材
と、この移動部材を直径方向に変位させる駆動部とから
構成され、他の例では、半導体ウエハの中心を通過する
円周上に複数の滴下用ノズルを保持して円周中心を支点
として回転させる回転部材から構成される。
【０００７】上記特開平２−２５８０８２号には、異な
るレジストを半導体ウエハに吐出できる複数のノズルを
一体的に構成し、これら複数のノズルのうちの１本のノ
ズルを選択して、半導体ウエハにレジストを塗布するレ
ジスト塗布装置が開示されている。
るレジストを半導体ウエハに吐出できる複数のノズルを
一体的に構成し、これら複数のノズルのうちの１本のノ
ズルを選択して、半導体ウエハにレジストを塗布するレ
ジスト塗布装置が開示されている。
【０００８】上記特開昭６２−１９５１２１号には、ア
ームで支持された複数のレジスト滴下用ノズルを、半導
体ウエハの中心から外周部にかけて一列に配設し、それ
らのノズルから同一のレジストを半導体ウエハに塗布す
るようにしたレジスト塗布装置が開示されている。
ームで支持された複数のレジスト滴下用ノズルを、半導
体ウエハの中心から外周部にかけて一列に配設し、それ
らのノズルから同一のレジストを半導体ウエハに塗布す
るようにしたレジスト塗布装置が開示されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のレジスト塗布装置では、次のような問題点があ
った。特開昭６１−２３８０５０号においては、同一種
類のレジストを含む粘度の異なる２つの溶液を２つのノ
ズル４、５から滴下するので、他の半導体装置や他の製
造プロセスで別のレジストを塗布したい場合には、別の
レジスト塗布装置を必要とし、半導体製造設備が高価と
なる欠点がある。
た従来のレジスト塗布装置では、次のような問題点があ
った。特開昭６１−２３８０５０号においては、同一種
類のレジストを含む粘度の異なる２つの溶液を２つのノ
ズル４、５から滴下するので、他の半導体装置や他の製
造プロセスで別のレジストを塗布したい場合には、別の
レジスト塗布装置を必要とし、半導体製造設備が高価と
なる欠点がある。
【００１０】特開平５−５５１３１号においても、半導
体ウエハ上で回転中心からの距離の異なる複数の場所に
配置した複数のノズルから同一のレジストを滴下するの
で、上記特開昭６１−２３８０５０号と同様に、半導体
製造設備が高価となる欠点がある。
体ウエハ上で回転中心からの距離の異なる複数の場所に
配置した複数のノズルから同一のレジストを滴下するの
で、上記特開昭６１−２３８０５０号と同様に、半導体
製造設備が高価となる欠点がある。
【００１１】特開昭６３−３０１５２０号においては、
複数のレジスト滴下用ノズルを採用することによって多
種類のレジストを自動的に切り替えることができるもの
の、位置決め機構と移動機構が複雑である欠点がある。
複数のレジスト滴下用ノズルを採用することによって多
種類のレジストを自動的に切り替えることができるもの
の、位置決め機構と移動機構が複雑である欠点がある。
【００１２】特開昭６２−２２１４６５号においては、
レジストを滴下する複数のノズルの何れか１つを半導体
ウエハの回転中心に位置させるため、同一種類のレジス
トで粘度の異なる複数のレジストを半導体ウエハ上の複
数の場所へ滴下できず、直径の大きな半導体ウエハに対
して膜厚の均一なレジスト膜を得ることができないとい
う欠点がある。
レジストを滴下する複数のノズルの何れか１つを半導体
ウエハの回転中心に位置させるため、同一種類のレジス
トで粘度の異なる複数のレジストを半導体ウエハ上の複
数の場所へ滴下できず、直径の大きな半導体ウエハに対
して膜厚の均一なレジスト膜を得ることができないとい
う欠点がある。
【００１３】特開平２−２５８０８２号においても、複
数のレジスト吐出用のノズルが一体化されているので、
各ノズルから種類や粘度の異なるレジストを選択して塗
布できたとしても、各ノズルは一体的に構成されてそれ
らの塗布位置を個別に調節できないので、複数のノズル
の何れか一つを半導体ウエハの回転中心に位置させた場
合、同じ種類のレジストで粘度の異なる複数のレジスト
を半導体ウエハ上の所望の複数の場所へ滴下できず、直
径の大きな半導体ウエハに対して膜厚の均一なレジスト
膜を得ることができないという欠点がある。
数のレジスト吐出用のノズルが一体化されているので、
各ノズルから種類や粘度の異なるレジストを選択して塗
布できたとしても、各ノズルは一体的に構成されてそれ
らの塗布位置を個別に調節できないので、複数のノズル
の何れか一つを半導体ウエハの回転中心に位置させた場
合、同じ種類のレジストで粘度の異なる複数のレジスト
を半導体ウエハ上の所望の複数の場所へ滴下できず、直
径の大きな半導体ウエハに対して膜厚の均一なレジスト
膜を得ることができないという欠点がある。
【００１４】特開昭６２−１９５１２１号では、アーム
で支持された複数のレジスト滴下用ノズルを一列に設け
て同一種類のレジストを半導体ウエハに塗布する装置な
ので、多種類のレジストを直径の大きな半導体ウエハに
塗布して均一なレジスト膜を得るためには、複数のノズ
ルを有するアーム全体をレジストの種類を変更するたび
に交換しなければならず、作業が繁雑で作業能率も悪い
という欠点がある。
で支持された複数のレジスト滴下用ノズルを一列に設け
て同一種類のレジストを半導体ウエハに塗布する装置な
ので、多種類のレジストを直径の大きな半導体ウエハに
塗布して均一なレジスト膜を得るためには、複数のノズ
ルを有するアーム全体をレジストの種類を変更するたび
に交換しなければならず、作業が繁雑で作業能率も悪い
という欠点がある。
【００１５】この発明は、上述したような問題点を解消
するためになされたもので、多種類のレジストの使用が
可能で、直径の大きな半導体ウエハでも、膜厚の均一な
レジスト塗布ができ、安価で、塗布作業が簡単なレジス
ト塗布装置を提供することを目的とするものである。
するためになされたもので、多種類のレジストの使用が
可能で、直径の大きな半導体ウエハでも、膜厚の均一な
レジスト塗布ができ、安価で、塗布作業が簡単なレジス
ト塗布装置を提供することを目的とするものである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
るレジスト塗布装置は、半導体ウエハを載置して回転さ
せるための回転軸を有する回転台と、前記回転台の上方
に配置される保持板と、前記保持板に回転可能に保持さ
れ、回転中心が前記回転台の回転軸の中心軸線から偏心
した位置に配置されるノズル取付用回転円板と、前記ノ
ズル取付用回転円板にその半径方向に互いに間隔を存し
て取り付けられ、前記半導体ウエハ上にレジストを吐出
する複数のノズルからなる少なくとも１列のノズル群と
を備え、前記ノズル群の複数のノズルのうちの少なくと
も１つの取付位置が調節可能であるように構成される。
るレジスト塗布装置は、半導体ウエハを載置して回転さ
せるための回転軸を有する回転台と、前記回転台の上方
に配置される保持板と、前記保持板に回転可能に保持さ
れ、回転中心が前記回転台の回転軸の中心軸線から偏心
した位置に配置されるノズル取付用回転円板と、前記ノ
ズル取付用回転円板にその半径方向に互いに間隔を存し
て取り付けられ、前記半導体ウエハ上にレジストを吐出
する複数のノズルからなる少なくとも１列のノズル群と
を備え、前記ノズル群の複数のノズルのうちの少なくと
も１つの取付位置が調節可能であるように構成される。
【００１７】この発明の請求項２に係るレジスト塗布装
置では、前記ノズル取付用回転円板は、その半径方向に
互いに間隔を存して穿設された、前記ノズルと同数の貫
通孔を有し、前記ノズルは対応する前記貫通孔に挿入さ
れた状態で前記ノズル取付用回転円板に取り付けられ
る。
置では、前記ノズル取付用回転円板は、その半径方向に
互いに間隔を存して穿設された、前記ノズルと同数の貫
通孔を有し、前記ノズルは対応する前記貫通孔に挿入さ
れた状態で前記ノズル取付用回転円板に取り付けられ
る。
【００１８】この発明の請求項３に係るレジスト塗布装
置では、前記貫通孔のうち最内側のものは、そこに挿入
される前記ノズルよりも僅かに大きな径を有し、該ノズ
ルはその最内側の貫通孔に挿通されて固定される。
置では、前記貫通孔のうち最内側のものは、そこに挿入
される前記ノズルよりも僅かに大きな径を有し、該ノズ
ルはその最内側の貫通孔に挿通されて固定される。
【００１９】この発明の請求項４に係るレジスト塗布装
置では、前記貫通孔は長孔状貫通孔よりなり、前記ノズ
ルは対応する前記長孔状貫通孔内で位置調節可能に取付
具により前記ノズル取付用回転円板に取り付けられる。
置では、前記貫通孔は長孔状貫通孔よりなり、前記ノズ
ルは対応する前記長孔状貫通孔内で位置調節可能に取付
具により前記ノズル取付用回転円板に取り付けられる。
【００２０】この発明の請求項５に係るレジスト塗布装
置では、前記取付具は、前記各ノズルの先端に形成され
た雄ネジと、その雄ネジに螺合する一対のナットとから
構成される。
置では、前記取付具は、前記各ノズルの先端に形成され
た雄ネジと、その雄ネジに螺合する一対のナットとから
構成される。
【００２１】この発明の請求項６に係るレジスト塗布装
置では、前記各長孔状貫通孔は円弧状に形成され、且つ
ノズル取付用回転円板上の同心円と重ならないように角
度を以って交差するように配置される。
置では、前記各長孔状貫通孔は円弧状に形成され、且つ
ノズル取付用回転円板上の同心円と重ならないように角
度を以って交差するように配置される。
【００２２】この発明の請求項７に係るレジスト塗布装
置では、前記貫通孔は円周方向に間隔を存して前記ノズ
ル取付用回転円板の中心から放射状に配置された複数列
の開孔群からなり、前記ノズル群は前記複数列の開孔群
に対応して設けられる。
置では、前記貫通孔は円周方向に間隔を存して前記ノズ
ル取付用回転円板の中心から放射状に配置された複数列
の開孔群からなり、前記ノズル群は前記複数列の開孔群
に対応して設けられる。
【００２３】この発明の請求項８に係るレジスト塗布装
置は、前記ノズル取付用回転円板の前記保持板に対する
回転を停止させて該ノズル取付用回転円板を少なくとも
１つの所定の回転角位置に保持することができるストッ
パをさらに備える。
置は、前記ノズル取付用回転円板の前記保持板に対する
回転を停止させて該ノズル取付用回転円板を少なくとも
１つの所定の回転角位置に保持することができるストッ
パをさらに備える。
【００２４】この発明の請求項９に係るレジスト塗布装
置では、前記保持板は、前記ノズル取付用回転円板より
も僅かに大きな径の円形孔を有し、該ノズル取付用回転
円板は前記円形孔内に回転可能に配置される。また、前
記ストッパは、前記ノズル取付用回転円板及び保持板の
一方に設けられた複数の係合凹部と、それらのうちの他
方に設けられ、付勢手段により前記係合凹部の１つと係
合するように付勢される係合ピンとから構成される。
置では、前記保持板は、前記ノズル取付用回転円板より
も僅かに大きな径の円形孔を有し、該ノズル取付用回転
円板は前記円形孔内に回転可能に配置される。また、前
記ストッパは、前記ノズル取付用回転円板及び保持板の
一方に設けられた複数の係合凹部と、それらのうちの他
方に設けられ、付勢手段により前記係合凹部の１つと係
合するように付勢される係合ピンとから構成される。
【００２５】
【作用】この発明の請求項１によるレジスト塗布装置で
は、ノズル取付用回転円板を保持板に対して回転させる
ことにより、ノズル群の半導体ウエハに対するレジスト
吐出位置を調節することができるとともに、各ノズル群
の少なくとも１つのノズルの取付位置を微調節すること
ができる。
は、ノズル取付用回転円板を保持板に対して回転させる
ことにより、ノズル群の半導体ウエハに対するレジスト
吐出位置を調節することができるとともに、各ノズル群
の少なくとも１つのノズルの取付位置を微調節すること
ができる。
【００２６】この発明の請求項２によるレジスト塗布装
置では、ノズル取付用回転円板の半径方向に互いに間隔
を存して穿設された貫通孔内で各ノズルの取付位置（レ
ジスト吐出位置）を任意に変更調節することにより、レ
ジストの塗布効率を高めて、膜厚の均一なレジスト膜を
容易に得ることができる。
置では、ノズル取付用回転円板の半径方向に互いに間隔
を存して穿設された貫通孔内で各ノズルの取付位置（レ
ジスト吐出位置）を任意に変更調節することにより、レ
ジストの塗布効率を高めて、膜厚の均一なレジスト膜を
容易に得ることができる。
【００２７】この発明の請求項３によるレジスト塗布装
置では、貫通孔のうち最内側のものは、そこに挿入され
るノズルよりも僅かに大きな径（サイズ）に形成される
だけなので、ノズル群を複数設けた場合でも、面積の狭
いノズル取付用回転円板の中心部近傍において、内側の
ノズルを取り付けるための複数の貫通孔の設置スペース
を十分に確保することができる。
置では、貫通孔のうち最内側のものは、そこに挿入され
るノズルよりも僅かに大きな径（サイズ）に形成される
だけなので、ノズル群を複数設けた場合でも、面積の狭
いノズル取付用回転円板の中心部近傍において、内側の
ノズルを取り付けるための複数の貫通孔の設置スペース
を十分に確保することができる。
【００２８】この発明の請求項４によるレジスト塗布装
置では、各ノズルを長孔状貫通孔内で移動させることに
より、最適な吐出位置に設定することができる。
置では、各ノズルを長孔状貫通孔内で移動させることに
より、最適な吐出位置に設定することができる。
【００２９】この発明の請求項５によるレジスト塗布装
置では、各ノズル先端の雄ネジに螺合された一対のナッ
トを緊締、弛緩させることにより各ノズルの取付位置の
微調節を極めて簡単容易に行うことができる。
置では、各ノズル先端の雄ネジに螺合された一対のナッ
トを緊締、弛緩させることにより各ノズルの取付位置の
微調節を極めて簡単容易に行うことができる。
【００３０】この発明の請求項６によるレジスト塗布装
置では、ノズルを、円弧状に形成された長孔状貫通孔内
で移動させることにより、ノズル取付用回転円板の半径
方向へ微小量ずつ移動させることができ、該ノズルの極
めて正確な位置決めを行うことができる。
置では、ノズルを、円弧状に形成された長孔状貫通孔内
で移動させることにより、ノズル取付用回転円板の半径
方向へ微小量ずつ移動させることができ、該ノズルの極
めて正確な位置決めを行うことができる。
【００３１】この発明の請求項７によるレジスト塗布装
置では、ノズル取付用回転円板を回転することにより、
放射状に配置された複数列の開孔群すなわちノズル群を
１列ずつ順次レジスト塗布に好適な位置に移動させるこ
とができ、従って、各ノズル群に異種類のレジストを供
給することによりノズル取付用回転円板表面に複数のレ
ジスト膜を極めて効率良く形成することができる。
置では、ノズル取付用回転円板を回転することにより、
放射状に配置された複数列の開孔群すなわちノズル群を
１列ずつ順次レジスト塗布に好適な位置に移動させるこ
とができ、従って、各ノズル群に異種類のレジストを供
給することによりノズル取付用回転円板表面に複数のレ
ジスト膜を極めて効率良く形成することができる。
【００３２】この発明の請求項８によるレジスト塗布装
置では、ノズル取付用回転円板を保持板に対して所定角
度回転させてから、該ノズル取付用回転円板の回転をス
トッパにより停止させて、その位置に固定保持すること
ができる。
置では、ノズル取付用回転円板を保持板に対して所定角
度回転させてから、該ノズル取付用回転円板の回転をス
トッパにより停止させて、その位置に固定保持すること
ができる。
【００３３】この発明の請求項９によるレジスト塗布装
置では、ノズル取付用回転円板が保持板に対して所定角
度回転されたとき、ノズル取付用回転円板及び保持板の
一方に設けられた複数の係合凹部の一つに、それらのう
ちの他方に設けられた係合ピンが係合してそれらの相対
回転を阻止する。
置では、ノズル取付用回転円板が保持板に対して所定角
度回転されたとき、ノズル取付用回転円板及び保持板の
一方に設けられた複数の係合凹部の一つに、それらのう
ちの他方に設けられた係合ピンが係合してそれらの相対
回転を阻止する。
【００３４】
実施例１．以下、この発明の一実施例を添付図面に基づ
き詳細に説明する。図１はこの発明の実施例によるレジ
スト塗布装置を示す縦断面図、図２はその平面図であ
る。この実施例では、図１及び２に示すように、レジス
ト塗布装置１００は、半導体ウエハ２０１を回転させる
ための回転台２００と、ノズル６１１、６１２、６１３
を取り付けるためのノズル取付用回転円板３００と、こ
のノズル取付用回転円板３００を支持する保持板４００
と、ノズル取付用回転円板３００を保持板４００に固定
するストッパ５００と、ノズル取付用回転円板３００に
取り付けられた少なくとも一組み（図示例では３組み）
のノズル群６１０、６２０、６３０とから構成される。
き詳細に説明する。図１はこの発明の実施例によるレジ
スト塗布装置を示す縦断面図、図２はその平面図であ
る。この実施例では、図１及び２に示すように、レジス
ト塗布装置１００は、半導体ウエハ２０１を回転させる
ための回転台２００と、ノズル６１１、６１２、６１３
を取り付けるためのノズル取付用回転円板３００と、こ
のノズル取付用回転円板３００を支持する保持板４００
と、ノズル取付用回転円板３００を保持板４００に固定
するストッパ５００と、ノズル取付用回転円板３００に
取り付けられた少なくとも一組み（図示例では３組み）
のノズル群６１０、６２０、６３０とから構成される。
【００３５】回転台２００は、半導体ウエハ２０１を載
置する回転板２０２と、回転板２０２の中心に中心軸線
Ｃを一致させて一端を固着され、図示しない電動モータ
等の駆動手段により回転駆動される回転軸２０３とを有
する。
置する回転板２０２と、回転板２０２の中心に中心軸線
Ｃを一致させて一端を固着され、図示しない電動モータ
等の駆動手段により回転駆動される回転軸２０３とを有
する。
【００３６】ノズル取付用回転円板３００は、回転台２
００の回転軸２０３の中心軸線Ｃより所定距離Ｄだけ偏
心した回転中心Ｃ’で回転できるように構成されてい
る。また、ノズル取付用回転円板３００には、半径方向
に間隔を存して配置された複数個の貫通孔３１１、３１
２、３１３からなる少なくとも一組の（図示例では３
組）の開孔群３１０、３２０、３３０が設けられてい
る。
００の回転軸２０３の中心軸線Ｃより所定距離Ｄだけ偏
心した回転中心Ｃ’で回転できるように構成されてい
る。また、ノズル取付用回転円板３００には、半径方向
に間隔を存して配置された複数個の貫通孔３１１、３１
２、３１３からなる少なくとも一組の（図示例では３
組）の開孔群３１０、３２０、３３０が設けられてい
る。
【００３７】各組みの各貫通孔３１１、３１２、３１３
は、図示例では、円弧状の長孔状貫通孔からなり、ノズ
ル取付用回転円板３００の回転中心Ｃ’からの半径方向
の距離が内側のものから外側のものへ増大するように配
置され、且つ各貫通孔３１１、３１２、３１３は、その
内部の各点がノズル取付用回転円板３００の回転中心
Ｃ’からの半径方向の距離が変化するように配置され
る。すなわち、長孔状貫通孔３１１、３１２、３１３が
ノズル取付用回転円板３００の同心円に沿わないように
（一致あるいは平行にならないように）配置される（す
なわち、長孔状貫通孔３１１、３１２、３１３は同心円
と角度を以って交わるように配置される）。
は、図示例では、円弧状の長孔状貫通孔からなり、ノズ
ル取付用回転円板３００の回転中心Ｃ’からの半径方向
の距離が内側のものから外側のものへ増大するように配
置され、且つ各貫通孔３１１、３１２、３１３は、その
内部の各点がノズル取付用回転円板３００の回転中心
Ｃ’からの半径方向の距離が変化するように配置され
る。すなわち、長孔状貫通孔３１１、３１２、３１３が
ノズル取付用回転円板３００の同心円に沿わないように
（一致あるいは平行にならないように）配置される（す
なわち、長孔状貫通孔３１１、３１２、３１３は同心円
と角度を以って交わるように配置される）。
【００３８】さらに、ノズル取付用回転円板３００の主
面（上面）３３０ａには、その回転中心Ｃ’より半径方
向に等間隔で同心円状に目盛り３３０ｂが刻設されてい
る。
面（上面）３３０ａには、その回転中心Ｃ’より半径方
向に等間隔で同心円状に目盛り３３０ｂが刻設されてい
る。
【００３９】各ノズル群の６１０、６２０、６３０の長
孔状貫通孔３１１、３１２、３１３は、図２に示される
ように、半径方向に互いに間隔を存して略並列に配置さ
れるのが好ましいが、必要に応じて非並列に配置しても
良い。
孔状貫通孔３１１、３１２、３１３は、図２に示される
ように、半径方向に互いに間隔を存して略並列に配置さ
れるのが好ましいが、必要に応じて非並列に配置しても
良い。
【００４０】保持板４００には、ノズル取付用回転円板
３００より少し大きめの円形孔４１０が形成されてお
り、ノズル取付用回転円板３００の円形孔４１０を画成
する内周部の底面には、この円形孔４１０の全周に渡っ
て延びる突出縁部４２０が形成されている。この円形孔
４１０の中にノズル取付用回転円板３００が挿入され、
円形孔４１０の全周に渡って形成された突出縁部４２０
によって、ノズル取付用回転円板３００が回転可能に支
持されている。保持板４００内に回転可能に嵌合された
ノズル取付用回転円板３００は、その回転中心Ｃ’が、
回転台２００の回転軸２０３の中心軸線Ｃより所定距離
Ｄだけ偏心した位置に配置されている。
３００より少し大きめの円形孔４１０が形成されてお
り、ノズル取付用回転円板３００の円形孔４１０を画成
する内周部の底面には、この円形孔４１０の全周に渡っ
て延びる突出縁部４２０が形成されている。この円形孔
４１０の中にノズル取付用回転円板３００が挿入され、
円形孔４１０の全周に渡って形成された突出縁部４２０
によって、ノズル取付用回転円板３００が回転可能に支
持されている。保持板４００内に回転可能に嵌合された
ノズル取付用回転円板３００は、その回転中心Ｃ’が、
回転台２００の回転軸２０３の中心軸線Ｃより所定距離
Ｄだけ偏心した位置に配置されている。
【００４１】ストッパ５００は、ノズル取付用回転円板
３００の円周側面に設けられた複数の係合凹部としての
半球状のピット５１０と、保持板４００に設けられ、そ
の内周面より半径方向外側に延びる係合ピン収容部とし
ての円筒状のピット５２０と、その円筒状ピット５２０
に摺合され、ノズル取付用回転円板３００の半球状ピッ
ト５１０の１つに係合しうる半球状の先端部を有する係
合ピン５３０と、保持板４００の円筒状のピット５２０
内に収容され、係合ピン５３０を半径方向内側に付勢す
る付勢手段としての押圧バネ５４０とにより構成され
る。
３００の円周側面に設けられた複数の係合凹部としての
半球状のピット５１０と、保持板４００に設けられ、そ
の内周面より半径方向外側に延びる係合ピン収容部とし
ての円筒状のピット５２０と、その円筒状ピット５２０
に摺合され、ノズル取付用回転円板３００の半球状ピッ
ト５１０の１つに係合しうる半球状の先端部を有する係
合ピン５３０と、保持板４００の円筒状のピット５２０
内に収容され、係合ピン５３０を半径方向内側に付勢す
る付勢手段としての押圧バネ５４０とにより構成され
る。
【００４２】半球状ピット５１０は、互いに並列配置さ
れた各開孔群３１０、３２０、３３０を構成する各組み
の長孔状貫通孔３１１、３１２、３１３の中心（長手方
向及び幅方向の中心）及びノズル取付用回転円板３００
の中心Ｃ’を通る線上に配置され、すなわちノズル取付
用回転円板３００の中心Ｃ’に対して各組みの長孔状貫
通孔３１１、３１２、３１３の中心と直径線上で反対位
置に配置されている。半球状ピット５１０の配置はこの
ようなものが好ましいが、必ずしも、各組みの長孔状貫
通孔３１１、３１２、３１３の中心と対応する半球状ピ
ット５１０とを直径線上に配置する必要はないが、隣接
する半球状ピット５１０間の間隔（角度）はそれらに対
応する開孔群３１０、３２０、３３０の組みの長孔状貫
通孔３１１、３１２、３１３の中心間の間隔（角度）と
等しくなるように配置される。
れた各開孔群３１０、３２０、３３０を構成する各組み
の長孔状貫通孔３１１、３１２、３１３の中心（長手方
向及び幅方向の中心）及びノズル取付用回転円板３００
の中心Ｃ’を通る線上に配置され、すなわちノズル取付
用回転円板３００の中心Ｃ’に対して各組みの長孔状貫
通孔３１１、３１２、３１３の中心と直径線上で反対位
置に配置されている。半球状ピット５１０の配置はこの
ようなものが好ましいが、必ずしも、各組みの長孔状貫
通孔３１１、３１２、３１３の中心と対応する半球状ピ
ット５１０とを直径線上に配置する必要はないが、隣接
する半球状ピット５１０間の間隔（角度）はそれらに対
応する開孔群３１０、３２０、３３０の組みの長孔状貫
通孔３１１、３１２、３１３の中心間の間隔（角度）と
等しくなるように配置される。
【００４３】ノズル取付用回転円板３００が、保持板４
００の円形孔４１０内にて、回転台２００の回転軸２０
３の中心軸線Ｃとノズル取付用回転円板３００の回転中
心Ｃ’とを結ぶ直線Ｃ−Ｃ’を基準線として、この基準
線Ｃ−Ｃ’より所定の回転角位置まで回転したとき、半
球状ピット５１０の一つが係合ピン５３０に対向して係
合ピン５３０が押圧バネ５４０により押圧されてその半
球状の先端が対向する半球状ピット５１０に突入、嵌合
し、それらの間の相対回転が阻止されるようになってい
る。
００の円形孔４１０内にて、回転台２００の回転軸２０
３の中心軸線Ｃとノズル取付用回転円板３００の回転中
心Ｃ’とを結ぶ直線Ｃ−Ｃ’を基準線として、この基準
線Ｃ−Ｃ’より所定の回転角位置まで回転したとき、半
球状ピット５１０の一つが係合ピン５３０に対向して係
合ピン５３０が押圧バネ５４０により押圧されてその半
球状の先端が対向する半球状ピット５１０に突入、嵌合
し、それらの間の相対回転が阻止されるようになってい
る。
【００４４】また、このようにノズル取付用回転円板３
００の回転をストッパ５００により停止させたとき、一
組の長孔状貫通孔３１１、３１２、３１３は、ノズル取
付用回転円板３００の半径を略カバーするようになって
いる。すなわち、互いに隣接する２つの長孔状貫通孔
（３１１、３１２）あるいは（３１２、３１３）のうち
内側のものの外周側端部は、外側のものの内周側端部と
半径方向で近接して（ノズル取付用回転円板３００の同
一の同心円上に、あるいは近接して）配置されるるが、
それらは重なり合わないように配置される。
００の回転をストッパ５００により停止させたとき、一
組の長孔状貫通孔３１１、３１２、３１３は、ノズル取
付用回転円板３００の半径を略カバーするようになって
いる。すなわち、互いに隣接する２つの長孔状貫通孔
（３１１、３１２）あるいは（３１２、３１３）のうち
内側のものの外周側端部は、外側のものの内周側端部と
半径方向で近接して（ノズル取付用回転円板３００の同
一の同心円上に、あるいは近接して）配置されるるが、
それらは重なり合わないように配置される。
【００４５】一組のノズル群６１０、６２０、６３０の
うち、最もノズル取付用回転円板３００に近いノズル６
１１は、ノズル取付用回転円板３００の回転中心Ｃ’よ
り距離Ｄだけ離れた位置で内側の長孔状貫通孔３１１内
において取付具によりノズル取付用回転円板３００に固
定されている。すなわち、ノズル取付用回転円板３００
の中心Ｃに最も近いノズル６１１は、回転台２００の回
転軸２０３の中心軸線Ｃ’上、つまり回転板２０２上の
半導体ウエハ２０１の中心Ｃｏの上にに配置されるよう
になっている。また、最内側のノズル６１１以外のノズ
ルは、半導体ウエハ２０１に均一なレジスト膜が得られ
るような位置で、中央及び外側の長孔状貫通孔３１１、
３１２、３１３内において取付具Ｍによりそれぞれノズ
ル取付用回転円板３００に固定されている。
うち、最もノズル取付用回転円板３００に近いノズル６
１１は、ノズル取付用回転円板３００の回転中心Ｃ’よ
り距離Ｄだけ離れた位置で内側の長孔状貫通孔３１１内
において取付具によりノズル取付用回転円板３００に固
定されている。すなわち、ノズル取付用回転円板３００
の中心Ｃに最も近いノズル６１１は、回転台２００の回
転軸２０３の中心軸線Ｃ’上、つまり回転板２０２上の
半導体ウエハ２０１の中心Ｃｏの上にに配置されるよう
になっている。また、最内側のノズル６１１以外のノズ
ルは、半導体ウエハ２０１に均一なレジスト膜が得られ
るような位置で、中央及び外側の長孔状貫通孔３１１、
３１２、３１３内において取付具Ｍによりそれぞれノズ
ル取付用回転円板３００に固定されている。
【００４６】図１に示すように、取付具Ｍは次のように
構成される。各ノズル６１１、６１２、６１３はその先
端部に雄ネジ６２１、６２２、６２３が切られており、
この各雄ネジ６２１、６２２、６２３に第１ナット６３
１、６３２、６３３をそれぞれ螺合してからノズル取付
用回転円板３００の対応する長孔状貫通孔３１１、３１
２、３１３内に挿入し、その後該雄ネジ６２１、６２
２、６２３に、第２ナット６３１’、６３２’、６３
３’をそれぞれ螺合して第１及び第２ナット６３１、６
３１’；６３２、６３２’；６３３、６３３’によりノ
ズル取付用回転円板３００を挟み込んで各ノズル６１
１、６１２、６１３をノズル取付用回転円板３００に固
定するようになっている。
構成される。各ノズル６１１、６１２、６１３はその先
端部に雄ネジ６２１、６２２、６２３が切られており、
この各雄ネジ６２１、６２２、６２３に第１ナット６３
１、６３２、６３３をそれぞれ螺合してからノズル取付
用回転円板３００の対応する長孔状貫通孔３１１、３１
２、３１３内に挿入し、その後該雄ネジ６２１、６２
２、６２３に、第２ナット６３１’、６３２’、６３
３’をそれぞれ螺合して第１及び第２ナット６３１、６
３１’；６３２、６３２’；６３３、６３３’によりノ
ズル取付用回転円板３００を挟み込んで各ノズル６１
１、６１２、６１３をノズル取付用回転円板３００に固
定するようになっている。
【００４７】複数組みのノズル群６１０、６２０、６３
０のうち一組（一列）のノズル群には、同一種類で粘度
の異なるレジストが、また他の組み（列）のノズル群に
は、異種類で粘度の異なるレジストが図示しないレジス
ト供給源よりそれぞれ供給される。上述のように、ノズ
ル取付用回転円板３００の回動操作によりノズル群６１
０、６２０、６３０のうちの一組（一列）のノズル群を
所定のレジスト吐出位置に位置決めして、各ノズル６１
１、６１２、６１３より半導体ウエハ２０１へレジスト
を滴下する。この状態で、図示しないモータ等の駆動源
により回転台２００の回転軸２０３を介して回転板２０
２を回転駆動すると、回転板２０２上に固定保持された
半導体ウエハ２０１が回転板２０２とともに回転され
て、半導体ウエハ２０１上のレジストが遠心力により中
心部から外周部へ拡散されて、半導体ウエハ２０１の表
面全体に均一なレジスト膜が形成される。
０のうち一組（一列）のノズル群には、同一種類で粘度
の異なるレジストが、また他の組み（列）のノズル群に
は、異種類で粘度の異なるレジストが図示しないレジス
ト供給源よりそれぞれ供給される。上述のように、ノズ
ル取付用回転円板３００の回動操作によりノズル群６１
０、６２０、６３０のうちの一組（一列）のノズル群を
所定のレジスト吐出位置に位置決めして、各ノズル６１
１、６１２、６１３より半導体ウエハ２０１へレジスト
を滴下する。この状態で、図示しないモータ等の駆動源
により回転台２００の回転軸２０３を介して回転板２０
２を回転駆動すると、回転板２０２上に固定保持された
半導体ウエハ２０１が回転板２０２とともに回転され
て、半導体ウエハ２０１上のレジストが遠心力により中
心部から外周部へ拡散されて、半導体ウエハ２０１の表
面全体に均一なレジスト膜が形成される。
【００４８】この実施例によれば、レジスト供給手段を
複数組みのノズル群６１０、６２０、６３０により構成
したので、多種類のレジスト塗布に対処できる。そし
て、異なる種類のレジスト塗布への切り替えは、ノズル
取付用回転円板３００を保持板４００に対して回転させ
ることにより容易に行うことができる。また、ノズル取
付用回転円板３００を保持板４００の円形孔４１０内で
所定位置（所定角度）へ回転した後、ストッパ５００に
よりノズル取付用回転円板３００の回転を停止させてノ
ズル取付用回転円板３００をその回転位置に確実に保持
することができる。
複数組みのノズル群６１０、６２０、６３０により構成
したので、多種類のレジスト塗布に対処できる。そし
て、異なる種類のレジスト塗布への切り替えは、ノズル
取付用回転円板３００を保持板４００に対して回転させ
ることにより容易に行うことができる。また、ノズル取
付用回転円板３００を保持板４００の円形孔４１０内で
所定位置（所定角度）へ回転した後、ストッパ５００に
よりノズル取付用回転円板３００の回転を停止させてノ
ズル取付用回転円板３００をその回転位置に確実に保持
することができる。
【００４９】しかも、ノズル取付用回転円板３００の回
転中心に近い内側のノズル６１１は、回転台２００の回
転軸２０３の中心軸線Ｃ上、すなわち半導体ウエハ２０
１の中心上に配置されているから、先ず、半導体ウエハ
２０１への均一なレジスト塗布の基本条件が満たされて
いる。
転中心に近い内側のノズル６１１は、回転台２００の回
転軸２０３の中心軸線Ｃ上、すなわち半導体ウエハ２０
１の中心上に配置されているから、先ず、半導体ウエハ
２０１への均一なレジスト塗布の基本条件が満たされて
いる。
【００５０】さらに、内側のノズル６１１よりも半径方
向外側に配置された中央及び外側のノズル６１２、６１
３で、半導体ウエハ２０１の中心より離れた部分へ粘度
の異なる同じ種類のレジストを滴下できるから、より一
層均一なレジスト塗布条件を設定できる。しかも、ノズ
ル６１１、６１２、６１３の位置設定は、各ノズル６１
１、６１２、６１３を対応する長孔状貫通孔３１１、３
１２、３１３内で適宜移動させることにより、ノズル取
付用回転円板３００の半径を略カバーするように行うこ
とができるので、ノズル６１１、６１２、６１３の如何
なる取付位置の設定にも対処することができる。
向外側に配置された中央及び外側のノズル６１２、６１
３で、半導体ウエハ２０１の中心より離れた部分へ粘度
の異なる同じ種類のレジストを滴下できるから、より一
層均一なレジスト塗布条件を設定できる。しかも、ノズ
ル６１１、６１２、６１３の位置設定は、各ノズル６１
１、６１２、６１３を対応する長孔状貫通孔３１１、３
１２、３１３内で適宜移動させることにより、ノズル取
付用回転円板３００の半径を略カバーするように行うこ
とができるので、ノズル６１１、６１２、６１３の如何
なる取付位置の設定にも対処することができる。
【００５１】また、ノズル取付用回転円板３００の主面
（上面）３３０ａには、その回転中心Ｃ’より同心円状
に等間隔で目盛り３３０ｂが刻設されているから、ノズ
ル６１１、６１２、６１３の位置設定を変更したとして
も、直に元通りに再現しやすい。さらに、ノズル取付用
回転円板３００には、複数個の長孔状貫通孔３１１、３
１２、３１３を一組の開孔群とする複数組みの開孔群３
１０、３２０、３３０を放射状に設けているので、ノズ
ル取付用回転円板３００の中心部近傍より外周部付近ま
で連続して延びる開孔を放射状に複数形成した場合に比
べて、ノズル取付用回転円板３００の機械的強度がそれ
程低下することもない。
（上面）３３０ａには、その回転中心Ｃ’より同心円状
に等間隔で目盛り３３０ｂが刻設されているから、ノズ
ル６１１、６１２、６１３の位置設定を変更したとして
も、直に元通りに再現しやすい。さらに、ノズル取付用
回転円板３００には、複数個の長孔状貫通孔３１１、３
１２、３１３を一組の開孔群とする複数組みの開孔群３
１０、３２０、３３０を放射状に設けているので、ノズ
ル取付用回転円板３００の中心部近傍より外周部付近ま
で連続して延びる開孔を放射状に複数形成した場合に比
べて、ノズル取付用回転円板３００の機械的強度がそれ
程低下することもない。
【００５２】各長孔状貫通孔３１１、３１２、３１３は
直線状に形成してもよいが、円弧状に湾曲するように形
成すれば、該長孔状貫通孔３１１、３１２、３１３内で
各ノズル６１１、６１２、６１３の取付位置を調節する
際に、直線状にノズル６１１、６１２、６１３を移動さ
せる場合に比べて円弧状に移動させるほうが半径方向の
移動距離が微小になるため、より微細な調節が可能にな
る。
直線状に形成してもよいが、円弧状に湾曲するように形
成すれば、該長孔状貫通孔３１１、３１２、３１３内で
各ノズル６１１、６１２、６１３の取付位置を調節する
際に、直線状にノズル６１１、６１２、６１３を移動さ
せる場合に比べて円弧状に移動させるほうが半径方向の
移動距離が微小になるため、より微細な調節が可能にな
る。
【００５３】上記実施例では、ノズル取付用回転円板３
００に複数（３列）の開孔群３１０、３２０、３３０を
形成し、各開孔群３１０、３２０、３３０に複数（３
列）のノズル群６１０、６２０、６３０を設けた場合に
ついて説明したが、これらの開孔群及びノズル群は、必
要に応じて１列でも、２列以上設けてもよい。この場
合、ノズル取付用回転円板３００の外周側面に形成した
半球状のピット５１０も、開孔群の組み（列）数に対応
して増減させ、隣接ピット間の間隔（角度）も対応する
開孔群間の間隔（角度）に対応して適宜変化させる。
００に複数（３列）の開孔群３１０、３２０、３３０を
形成し、各開孔群３１０、３２０、３３０に複数（３
列）のノズル群６１０、６２０、６３０を設けた場合に
ついて説明したが、これらの開孔群及びノズル群は、必
要に応じて１列でも、２列以上設けてもよい。この場
合、ノズル取付用回転円板３００の外周側面に形成した
半球状のピット５１０も、開孔群の組み（列）数に対応
して増減させ、隣接ピット間の間隔（角度）も対応する
開孔群間の間隔（角度）に対応して適宜変化させる。
【００５４】また、複数の開孔群３１０、３２０、３３
０を設けた場合には、各開孔群３１０、３２０、３３０
のノズル取付用回転円板３００の中心Ｃ’に近い内側の
貫通孔３１１同士は互いに近接配置されることになり、
配置スペースの確保が難しくなるが、最も内側の貫通孔
３１１のみを長孔状に形成せずに、各ノズル群６１０、
６２０、６３０の最も内側のノズル６１１の外周径より
も僅かに大きめの径（サイズ）の丸孔にすることによ
り、開孔群（ノズル群）の数が増えても内側の貫通孔３
１１の配置スペースを確保することができる。この場
合、内側の貫通孔３１１の取付位置を微調節できないた
め、各開孔群の内側の貫通孔３１１の中心を、ノズル取
付用回転円板３００の中心Ｃ’から回転台２００の中心
軸線Ｃ’までの距離Ｄを半径とする円周上に正確に配置
するのが好ましい。さらに、上記実施例では、係合凹部
としての半球状のピット５１０をノズル取付用回転円板
３００に形成し、係合ピン収容部としての円筒状のピッ
ト５２０を保持板４００に形成したが、これらを逆の関
係に形成してもよい。
０を設けた場合には、各開孔群３１０、３２０、３３０
のノズル取付用回転円板３００の中心Ｃ’に近い内側の
貫通孔３１１同士は互いに近接配置されることになり、
配置スペースの確保が難しくなるが、最も内側の貫通孔
３１１のみを長孔状に形成せずに、各ノズル群６１０、
６２０、６３０の最も内側のノズル６１１の外周径より
も僅かに大きめの径（サイズ）の丸孔にすることによ
り、開孔群（ノズル群）の数が増えても内側の貫通孔３
１１の配置スペースを確保することができる。この場
合、内側の貫通孔３１１の取付位置を微調節できないた
め、各開孔群の内側の貫通孔３１１の中心を、ノズル取
付用回転円板３００の中心Ｃ’から回転台２００の中心
軸線Ｃ’までの距離Ｄを半径とする円周上に正確に配置
するのが好ましい。さらに、上記実施例では、係合凹部
としての半球状のピット５１０をノズル取付用回転円板
３００に形成し、係合ピン収容部としての円筒状のピッ
ト５２０を保持板４００に形成したが、これらを逆の関
係に形成してもよい。
【００５５】以上のように、この発明によれば、同一の
レジストを含む粘度の異なる複数種類の溶液を複数のノ
ズル６１１、６１２、６１３から滴下でき、別のレジス
トを塗布したい場合には、別のノズル群６１０、６２
０、６３０を使用することができるから、粘度の異なる
複数種類のレジストを塗布する場合でも、従来のように
レジストの種類等に応じて複数のレジスト塗布装置を使
用する必要がなく、１台のレジスト塗布装置で済むの
で、半導体製造設備を安価に提供することができる。
レジストを含む粘度の異なる複数種類の溶液を複数のノ
ズル６１１、６１２、６１３から滴下でき、別のレジス
トを塗布したい場合には、別のノズル群６１０、６２
０、６３０を使用することができるから、粘度の異なる
複数種類のレジストを塗布する場合でも、従来のように
レジストの種類等に応じて複数のレジスト塗布装置を使
用する必要がなく、１台のレジスト塗布装置で済むの
で、半導体製造設備を安価に提供することができる。
【００５６】また、別のノズル群６１０、６２０、６３
０の使用は、ノズル取付用回転円板を回転するだけで簡
単に行うことができ、ノズル取付用回転円板３００の表
面３００ａに設けた目盛り３００ｂにより半導体ウエハ
２０１の中心や任意の位置へのノズル６１１、６１２、
６１３の位置決めを簡単容易に行えるため、多種類のレ
ジストを手動で容易に切り替えることができ、位置決め
機構と移動機構が簡単である。
０の使用は、ノズル取付用回転円板を回転するだけで簡
単に行うことができ、ノズル取付用回転円板３００の表
面３００ａに設けた目盛り３００ｂにより半導体ウエハ
２０１の中心や任意の位置へのノズル６１１、６１２、
６１３の位置決めを簡単容易に行えるため、多種類のレ
ジストを手動で容易に切り替えることができ、位置決め
機構と移動機構が簡単である。
【００５７】ノズル群６１０、６２０、６３０を配置で
きる範囲が略ノズル取付用回転円板３００の半径全域に
渡っているので、各ノズル６１１、６１２、６１３をノ
ズル取付用回転円板３００の半径方向の任意の位置に配
置することができ、従って、同一のレジストで粘度の異
なる複数のレジストを半導体ウエハ２０１上の複数の場
所へ滴下でき、直径の大きな半導体ウエハ２０１に対し
ても均一なレジスト膜を得ることができる。
きる範囲が略ノズル取付用回転円板３００の半径全域に
渡っているので、各ノズル６１１、６１２、６１３をノ
ズル取付用回転円板３００の半径方向の任意の位置に配
置することができ、従って、同一のレジストで粘度の異
なる複数のレジストを半導体ウエハ２０１上の複数の場
所へ滴下でき、直径の大きな半導体ウエハ２０１に対し
ても均一なレジスト膜を得ることができる。
【００５８】さらにまた、回転台２００の回転中心Ｃと
ノズル取付用回転円板３００の中心Ｃ’とを偏心させた
ので、複数のノズル６１１、６１２、６１３の何れか１
つを回転台２００すなわち半導体ウエハ２０１の回転中
心Ｃ上に配置させることにより、直径の大きな半導体ウ
エハ２０１に対しても膜厚の均一なレジスト膜を容易に
形成することができる。
ノズル取付用回転円板３００の中心Ｃ’とを偏心させた
ので、複数のノズル６１１、６１２、６１３の何れか１
つを回転台２００すなわち半導体ウエハ２０１の回転中
心Ｃ上に配置させることにより、直径の大きな半導体ウ
エハ２０１に対しても膜厚の均一なレジスト膜を容易に
形成することができる。
【００５９】
【発明の効果】この発明は次のような優れた効果を奏す
るものである。この発明の請求項１記載のレジスト塗布
装置によれば、ノズル取付用回転円板を保持板に対して
適宜回転させることにより、ノズル群の半導体ウエハに
対するレジスト吐出位置を調節することができるととも
に、各ノズル群の少なくとも１つのノズルの取付位置を
微調節することができるので、比較的大きな径の半導体
ウエハに対しても、複数のノズルを最適のレジスト吐出
位置に個々に設定することができ、従って半導体ウエハ
の表面全体に渡って均一な膜厚のレジスト膜が得られ、
またノズル位置の設定も正確に、且つ極めて容易に行う
ことができる。
るものである。この発明の請求項１記載のレジスト塗布
装置によれば、ノズル取付用回転円板を保持板に対して
適宜回転させることにより、ノズル群の半導体ウエハに
対するレジスト吐出位置を調節することができるととも
に、各ノズル群の少なくとも１つのノズルの取付位置を
微調節することができるので、比較的大きな径の半導体
ウエハに対しても、複数のノズルを最適のレジスト吐出
位置に個々に設定することができ、従って半導体ウエハ
の表面全体に渡って均一な膜厚のレジスト膜が得られ、
またノズル位置の設定も正確に、且つ極めて容易に行う
ことができる。
【００６０】この発明の請求項２記載のレジスト塗布装
置によれば、ノズル取付用回転円板の半径方向に互いに
間隔を存して穿設された貫通孔内で各ノズルの取付位置
（レジスト吐出位置）を任意に変更調節することによ
り、レジストの塗布効率を高めて、均一で高品質なレジ
スト膜を容易に得ることができる。
置によれば、ノズル取付用回転円板の半径方向に互いに
間隔を存して穿設された貫通孔内で各ノズルの取付位置
（レジスト吐出位置）を任意に変更調節することによ
り、レジストの塗布効率を高めて、均一で高品質なレジ
スト膜を容易に得ることができる。
【００６１】この発明の請求項３記載のレジスト塗布装
置によれば、貫通孔のうち最内側のものは、そこに挿入
されるノズルよりも僅かに大きな径（サイズ）に形成さ
れるだけなので、ノズル群を複数設けた場合でも、面積
の狭いノズル取付用回転円板の中心部近傍において、内
側のノズルを取り付けるための複数の貫通孔の設置スペ
ースを十分に確保することができ、複数の貫通孔をノズ
ル取付用回転円板の中心近くの狭いスペースに容易に配
置することができる。
置によれば、貫通孔のうち最内側のものは、そこに挿入
されるノズルよりも僅かに大きな径（サイズ）に形成さ
れるだけなので、ノズル群を複数設けた場合でも、面積
の狭いノズル取付用回転円板の中心部近傍において、内
側のノズルを取り付けるための複数の貫通孔の設置スペ
ースを十分に確保することができ、複数の貫通孔をノズ
ル取付用回転円板の中心近くの狭いスペースに容易に配
置することができる。
【００６２】この発明の請求項４記載のレジスト塗布装
置によれば、各ノズルを長孔状貫通孔内で移動させるこ
とにより、複数のノズルを個別に最適な吐出位置に簡単
容易に設定することができる。
置によれば、各ノズルを長孔状貫通孔内で移動させるこ
とにより、複数のノズルを個別に最適な吐出位置に簡単
容易に設定することができる。
【００６３】この発明の請求項５記載のレジスト塗布装
置によれば、各ノズル先端の雄ネジに螺合された一対の
ナットを緊締、弛緩させることにより各ノズルの取付位
置の微調節を極めて簡単容易に行うことができ、ノズル
位置調節機構の構成が簡単になる。
置によれば、各ノズル先端の雄ネジに螺合された一対の
ナットを緊締、弛緩させることにより各ノズルの取付位
置の微調節を極めて簡単容易に行うことができ、ノズル
位置調節機構の構成が簡単になる。
【００６４】この発明の請求項６記載のレジスト塗布装
置によれば、ノズルを、円弧状に形成された長孔状貫通
孔内で移動させることにより、ノズル取付用回転円板の
半径方向へ微小量ずつ移動させることができ、該ノズル
の極めて正確な位置決めを行うことができる。
置によれば、ノズルを、円弧状に形成された長孔状貫通
孔内で移動させることにより、ノズル取付用回転円板の
半径方向へ微小量ずつ移動させることができ、該ノズル
の極めて正確な位置決めを行うことができる。
【００６５】この発明の請求項７記載のレジスト塗布装
置によれば、ノズル取付用回転円板を回転することによ
り、放射状に配置された複数列の開孔群すなわちノズル
群を１列ずつ順次レジスト塗布に好適な位置に移動させ
ることができ、従って、複数のノズル群に異種類のレジ
ストを供給することによりノズル取付用回転円板表面に
複数のレジスト膜を極めて効率良く形成することができ
る。
置によれば、ノズル取付用回転円板を回転することによ
り、放射状に配置された複数列の開孔群すなわちノズル
群を１列ずつ順次レジスト塗布に好適な位置に移動させ
ることができ、従って、複数のノズル群に異種類のレジ
ストを供給することによりノズル取付用回転円板表面に
複数のレジスト膜を極めて効率良く形成することができ
る。
【００６６】この発明の請求項８記載のレジスト塗布装
置によれば、ノズル取付用回転円板を保持板に対して所
定角度回転させてから、該ノズル取付用回転円板の回転
をストッパにより停止させて、その位置に確実に固定保
持することができ、塗布作業中にノズル位置が変動する
のを防止できる。
置によれば、ノズル取付用回転円板を保持板に対して所
定角度回転させてから、該ノズル取付用回転円板の回転
をストッパにより停止させて、その位置に確実に固定保
持することができ、塗布作業中にノズル位置が変動する
のを防止できる。
【００６７】この発明の請求項９記載のレジスト塗布装
置によれば、保持板は、ノズル取付用回転円板よりも僅
かに大きな径の円形孔を有し、該ノズル取付用回転円板
は前記円形孔内に回転可能に配置され、ストッパはノズ
ル取付用回転円板及び保持板の一方に設けられた複数の
係合凹部と、それらのうちの他方に設けられた係合ピン
収容部に配置され、付勢手段により前記係合凹部の１つ
と係合するように付勢される係合ピンとから構成される
ので、ノズル群の移動、停止機構の構成が簡単になる。
置によれば、保持板は、ノズル取付用回転円板よりも僅
かに大きな径の円形孔を有し、該ノズル取付用回転円板
は前記円形孔内に回転可能に配置され、ストッパはノズ
ル取付用回転円板及び保持板の一方に設けられた複数の
係合凹部と、それらのうちの他方に設けられた係合ピン
収容部に配置され、付勢手段により前記係合凹部の１つ
と係合するように付勢される係合ピンとから構成される
ので、ノズル群の移動、停止機構の構成が簡単になる。
【図１】 この発明の一実施例に係るレジスト塗布装置
の側面図である。
の側面図である。
【図２】 その平面図である。
【図３】 従来のレジスト塗布装置の要部を示す側面図
である。
である。
２００ 回転台、２０１ 半導体ウエハ、２０３ 回転
軸、３００ ノズル取付用回転円板、３１１、３１２、
３１３ 長孔状貫通孔、３１０、３２０、３３０ 貫通
孔、３１１、３１２、３１３ 開孔群、３３０ｂ 目盛
り、４００ 保持板、４１０ 円形孔、５１０ ピット
（係合凹部）、５２０ ピット（係合ピン収容部）、５
３０ 係合ピン、５４０ 押圧バネ（付勢手段）、６１
０、６２０、６３０ ノズル群、６１１、６１２、６１
３ ノズル、６２１、６２２、６２３ 雄ネジ、６３
１、６３２、６３３ 第１ナット、６３１’、６３
２’、６３３’ 第２ナット。
軸、３００ ノズル取付用回転円板、３１１、３１２、
３１３ 長孔状貫通孔、３１０、３２０、３３０ 貫通
孔、３１１、３１２、３１３ 開孔群、３３０ｂ 目盛
り、４００ 保持板、４１０ 円形孔、５１０ ピット
（係合凹部）、５２０ ピット（係合ピン収容部）、５
３０ 係合ピン、５４０ 押圧バネ（付勢手段）、６１
０、６２０、６３０ ノズル群、６１１、６１２、６１
３ ノズル、６２１、６２２、６２３ 雄ネジ、６３
１、６３２、６３３ 第１ナット、６３１’、６３
２’、６３３’ 第２ナット。
Claims (9)
- 【請求項１】 半導体ウエハを載置して回転させるため
の回転軸を有する回転台と、 前記回転台の上方に配置される保持板と、 前記保持板に回転可能に保持され、回転中心が前記回転
台の回転軸の中心軸線から偏心した位置に配置されるノ
ズル取付用回転円板と、 前記ノズル取付用回転円板にその半径方向に互いに間隔
を存して取り付けられ、前記半導体ウエハ上にレジスト
を吐出する複数のノズルからなる少なくとも１列のノズ
ル群とを備え、 前記ノズル群の複数のノズルのうちの少なくとも１つの
取付位置が調節可能であることを特徴とするレジスト塗
布装置。 - 【請求項２】 前記ノズル取付用回転円板は、その半径
方向に互いに間隔を存して穿設された、前記ノズルと同
数の貫通孔を有し、前記ノズルは対応する前記貫通孔に
挿入された状態で前記ノズル取付用回転円板に取り付け
られることを特徴とする請求項１記載のレジスト塗布装
置。 - 【請求項３】 前記貫通孔のうち最内側のものは、そこ
に挿入される前記ノズルよりも僅かに大きな径を有し、
該ノズルはその最内側の貫通孔に挿通されて固定される
ことを特徴とする請求項２記載のレジスト塗布装置。 - 【請求項４】 前記貫通孔は長孔状貫通孔よりなり、前
記ノズルは対応する前記長孔状貫通孔内で位置調節可能
に取付具により前記ノズル取付用回転円板に取り付けら
れることを特徴とする請求項２記載のレジスト塗布装
置。 - 【請求項５】 前記取付具は、前記各ノズルの先端に形
成された雄ネジと、その雄ネジに螺合する一対のナット
からなることを特徴とする請求項４記載のレジスト塗布
装置。 - 【請求項６】 前記各長孔状貫通孔は円弧状に形成さ
れ、且つノズル取付用回転円板上の同心円と重ならない
ように角度を以って交差するように配置されることを特
徴とする請求項４記載のレジスト塗布装置。 - 【請求項７】 前記貫通孔は円周方向に間隔を存して前
記ノズル取付用回転円板の中心から放射状に配置された
複数列の開孔群からなり、前記ノズル群は前記複数列の
開孔群に対応して設けられることを特徴とする請求項２
記載のレジスト塗布装置。 - 【請求項８】 前記ノズル取付用回転円板の前記保持板
に対する回転を停止させて該ノズル取付用回転円板を少
なくとも１つの所定の回転角位置に保持することができ
るストッパをさらに備えることを特徴とする請求項１記
載のレジスト塗布装置。 - 【請求項９】 前記保持板は、前記ノズル取付用回転円
板よりも僅かに大きな径の円形孔を有し、該ノズル取付
用回転円板は前記円形孔内に回転可能に配置され、前記
ストッパは前記ノズル取付用回転円板及び保持板の一方
に設けられた複数の係合凹部と、それらのうちの他方に
設けられた係合ピン収容部に配置され、付勢手段により
前記係合凹部の１つと係合するように付勢される係合ピ
ンとからなることを特徴とする請求項８記載のレジスト
塗布装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7101180A JPH08293452A (ja) | 1995-04-25 | 1995-04-25 | レジスト塗布装置 |
| US08/607,260 US5720814A (en) | 1995-04-25 | 1996-02-21 | Photoresist coating apparatus |
| DE19607166A DE19607166C2 (de) | 1995-04-25 | 1996-02-26 | Photoresistbeschichtungsvorrichtung |
| KR1019960012324A KR960039115A (ko) | 1995-04-25 | 1996-04-23 | 포토레지스트 도포장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7101180A JPH08293452A (ja) | 1995-04-25 | 1995-04-25 | レジスト塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08293452A true JPH08293452A (ja) | 1996-11-05 |
Family
ID=14293802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7101180A Pending JPH08293452A (ja) | 1995-04-25 | 1995-04-25 | レジスト塗布装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5720814A (ja) |
| JP (1) | JPH08293452A (ja) |
| KR (1) | KR960039115A (ja) |
| DE (1) | DE19607166C2 (ja) |
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| JP2009166000A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Sk Electronics:Kk | 塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法 |
| JP2013066864A (ja) * | 2011-09-26 | 2013-04-18 | Toshiba Corp | 塗布装置及び塗布方法 |
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1995
- 1995-04-25 JP JP7101180A patent/JPH08293452A/ja active Pending
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1996
- 1996-02-21 US US08/607,260 patent/US5720814A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-02-26 DE DE19607166A patent/DE19607166C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-04-23 KR KR1019960012324A patent/KR960039115A/ko active IP Right Grant
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| DE19607166A1 (de) | 1996-10-31 |
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| KR960039115A (ko) | 1996-11-21 |
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