KR950034405A - 열처리방법 및 열처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 장치의 소형화 및 처리효율의 향상을 도모할 수 있는 처리장치 및 열처리방법에 관한 것이다. 장치는, 복수매의 피처리체를 수직으로 병렬하여서 수용한 캐리어의 반출입구를 갖추고, 또한 상기 피처리체를 열처리하는 종형열처리로를 수용한 처리실과, 이 처리실내로서 상기 반출입구의 근방에 설치되고, 상기 캐리어를 그 하부측면영역내에 회전중심둘레에 선회시켜서 그 속에 수용된 상기 피처리체를 그 수직병렬 위치로부터 수평위치로 자세변환하는 자세변환수단과, 이 자세변환수단의 위편에 설치되고, 자세변환된 캐리어를 복수개 수용할 수 있는 캐리어 수용부와, 이 캐리어수용부와 상기 자세변환수단 및 상기 열처리로쪽과의 사이에서 상기 캐리어를 반송하는 반송수단과, 상기 열처리쪽으로 반송된 상기 캐리어를 상기 열처리로로 반입·반출하는 피처리체 유지구와의 사이에서 피처리체를 옮겨싣는 옮겨싣기수단을 구비한다.
본 발명에 의하면, 클린에어를 공기청정부에 통과시키는 회수를 줄일수 있으며, 공기청정부의 먼지제거용 필터로부터 발생하는 불순가스에의한 반도체 웨이퍼의 오염을 특별한 방지대책을 필요로 하지 않고 간단한 구성으로 충분히 저하시킬 수 있다. 또한, 반응관내의 수분 등의 불순물을 적게하고, 자연산화막의 형성을 억제 할 수 있다.

Description

열처리방법 및 열처리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 처리장치의 제1실시예의 종형 열처리장치의 개략 종단면도, 제16도는 본 발명의 처리장치의 제2실시예의 종형 열처리장치의 종단면도.

Claims (11)

  1. 복수매의 피처리체를 수직으로 병렬하여 수용한 캐리어를, 종형열처리로를 수용한 처리실의 반출입구로 부터 열처리로에 반송하여 처리하는 처리방법에 있어서, 상기 처리실의 상기 반출입구의 근방에서 상기 캐리어를 그 하부측면 영역내로 회전중심 둘레에 선회시켜서 그 속에 수용한 상기 피처리체를 그 수직위치로부터 수평위치로 자세변환하는 공정과, 자세변환된 캐리어를 상기 반출입구의 상방영역에 설치된 캐리어 수용부에 반송하는 공정을 갖춘 처리방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 자세변환공정에 앞서서 별도로 갖춘 정렬 장치에 의하여 피처리체의 오리엔터이션 플랫 맞춤을 하는 처리방법.
  3. 복수매의 피처리체를 수직으로 병렬하여 수용한 캐리어의 반출입구를 갖추고, 또한 상기 피처리체를 열처리하는 종형열처리로를 수용한 처리실과, 이 처리실내로서 상기 반출입구의 근방에 설치되고, 상기 캐리어를 그 하부측면영역내에 회전중심둘레에 선회시켜서 그 속에 수용된 상기 피처리체를 그 수직병렬위치로부터 수평위치로 자세변환하는 자세변환수단과, 이 자세변환수단의 위편에 설치되고, 자세변환된 캐리어를 복수개 수용할 수 있는 캐리어 수용부와, 이 캐리어수용부와 상기 자세변환수단 및 상기 열처리로쪽과의 사이에서 상기 캐리어를 반송하는 반송수단과, 상기 열처리로쪽으로 반송된 상기 캐리어를 상기 열처리로로 반입·반출하는 피처리체 유지구와의 사이에서 피처리체를 옮겨싣는 옮겨싣기수단을 갖춘 열처리장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 자세변환수단은, 상기 캐리어를 얹어놓는대와, 이 얹어놓는대에 놓인 상기 캐리어의 측면영역내에 설정된 회전중심을 지지점으로 하여서 회전하도록 지지한 지지수단과, 상기 얹어놓는대를 상기 반출입구쪽 안쪽을 따라서 수직으로 일어서도록 상기 회전중심을 지지점으로 하여서 회동시키는 구동수단과, 상기 얹어놓는대에 설치되어서 자세변환된 상기 캐리어의 하부를 지지하는 인수부를 갖춘 열처리장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 얹어놓는대가 상기 캐리어내에 수용된 피처리체를 오리엔테이션플랫부에 맞추어서 소정방향으로 정렬시키는 정렬수단을 갖춘 열처리장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 정렬수단이 지지틀 위에 오리엔테이션 플랫부의 폭 간격으로 회전이 가능하게 설치되고, 또한, 피처리체를 지지하는 복수의 링형상 홈을 가진 좌우 1쌍의 회전롤러와, 이 회전롤러를 벨트를 개재하여 동일방향으로 회전구동하는 모우터와, 상기 롤러의 양쪽에 배설된 1쌍의 웨이퍼가이드로 이루어지는 열처리장치.
  7. 제3항에 있어서, 상기 얹어놓는대가 상기 캐리어내에 수용된 피처리체의 오리엔테이션플랫부의 방향을 검출하는 검지수단을 갖춘 열처리장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 검지수단이 오리엔테이션플랫부를 지지하여 피처리체가 정렬되는 1쌍의 회전롤러 사이에 설치되고, 상기 오리엔테이션플랫부와의 대향 끝단이 빗살형상으로 형성되고, 또한, 이 빗살의 대향벽부에 각각 설치한 투광소자와, 수광소자로 이루어지는 열처리장치.
  9. 처리실과, 이 처리실에 형성되어서 복수개의 피처리체를 수용한 캐리어의 반입·반출, 보관 및 반송이 행하여지는 캐리어처리공간부와, 상기 처리실에 형성되어서 상기 캐리어처리공간부와 상기 처리실을 구분하여서, 열처리로를 수용하고, 또한, 열처리로내에 피처리체를 반입ㆍ반출하는 피처리체 유지구를 갖추고, 상기 피처리체유지구와 상기 캐리어와의 사이에서 피처리체의 옮겨싣기를 행하는 피처리체처리공간부와, 상기 캐리어처리공간부와 상기 피처리체공간부에 클린에어를 도입하여 순환시키고 또한 배기하는 각각 독립한 클린에어순환계를 갖춘 열처리장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 캐리어처리공간부에 설치한 클린에어순환계는, 상기 처리실의 위편 외부로부터 도입한 클린에어를 상기 캐리어처리공간부내의 상부에 설치한 캐리어보관부를 향하여 수평으로 불어내는 제1의 공기청정부와, 이 제1의 공기청정부로부터 불려나온 클린에어를 흡입하여 상기 처리실의 앞부분에 설치한 캐리어반출입구를 따라서 아래편으로 불어내는 제2의 공기청정부와, 이 제2의 공기청정부로부터 불려나와서 상기 처리실의 아래편에 도달한 클린에어를 상기 처리실의 위편으로부터 외부에 배기하는 배기덕트를 갖춘 열처리장치.
  11. 제9항에 있어서, 상기 피처리체처리공간부에 설치한 클린에어순환계는, 상기 처리실의 후방 외부로부터 도입한 클린에어를 상기 피처리체처리 공간부의 한 측벽부로부터 다른 측벽부를 향하여 수평으로 불어내는 제3의 공기청정부와, 이 제3의 공기청정부로부터 불려나와서 다른 측벽부에 도달한 클린에어를 상기 처리실의 후방으로부터 외부에 배기하는 배기부를 갖춘 열처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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