JP5944281B2 - 熱処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、加熱された雰囲気下で被処理物を処理するための、熱処理装置に関する。

基板等の材料に熱処理を行うための、熱処理装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。熱処理装置の一例として、特許文献１に記載の減圧ＣＶＤ装置は、石英製の反応管を有している。反応管は、円筒状の部材である。反応管の開口部は、扉によって閉じられる。扉と反応管との間には、Ｏリングが配置されている。具体的には、Ｏリングは、反応管の外周部に嵌められている。また、扉は、Ｏリングの外周部を取り囲むサポートを有している。当該サポートは、Ｏリングと接触している。これにより、反応管の開口部と、扉との間が、反応管の円周方向の全域に亘って、シールされている。

特開昭６１−２９４８２６号公報（［発明の技術的背景とその問題点］欄）

石英で反応管を形成する場合、約２０００度程度の高温に加熱した石英材料を円筒状に形成することとなる。このような特殊な条件下で反応管を形成する必要があるので、反応管における真円度を高くすることは、必ずしも容易ではない。その結果、反応管は、真円度が低い場合がある。この場合、反応管の開口部の外周部は、真円ではない。したがって、反応管の中心軸線から反応管の開口部の外周部までの距離は、不均一である。反応管は、処理する材料の大型化に伴い、大型化している。したがって、上記した不均一の度合いは、より大きくなってしまう。このような反応管の外周部にＯリングを嵌めた場合、Ｏリングの一部は、反応管の外周部から浮いた状態となるおそれがある。このような浮き上がり現象が存在すると、反応管とＯリングとの密着状態を確実に維持することができない。しかしながら、Ｏリングの浮き上がりを防止するための対策について、特許文献１では、特に考慮されていない。

一方で、上記の浮き上がり現象を防止するために、個々の反応管の開口部の真円度に応じて、Ｏリングを反応管に押さえつけるサポートの形状を、都度変更することが考えられる。しかしながら、このような構成では、サポートの形状を、１つ毎に変更する必要があり、サポートの製造に手間がかかる。

本発明は、上記事情に鑑みることにより、熱処理装置において、被処理物を収容する収納容器の寸法公差が大きい場合でも、収納容器をシールするためのシール部材を、確実に、且つ、少ない手間で収納容器に沿わせることができるようにすることを、目的とする。

（１）上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わる熱処理装置は、収納容器と、環状のシール部材と、シール保持装置と、を備える。前記収納容器は、筒状部を有し、且つ、被処理物を収容可能に構成されている。前記シール部材は、弾性を有する材料を用いて形成され、前記筒状部の周面に嵌合される。前記シール保持装置は、前記シール部材を保持するために設けられている。前記シール保持装置は、前記筒状部の周方向に配列された複数の受け部材と、複数の前記受け部材を保持する受け部材保持機構と、を含む。各前記受け部材は、前記周方向における前記シール部材の一部を受けている。前記受け部材保持機構は、各前記受け部材の位置を、前記周面に近づく方向及び前記周面から遠ざかる方向において調整可能に構成されている。

この構成によると、各受け部材は、互いに独立して、筒状部の周面に対する位置を調整可能に構成されている。このため、各受け部材は、シール部材を確実に、筒状部の周面に押さえつけることができる。したがって、筒状部の周面の真円度が低い場合であっても、シール部材を、筒状部の周方向の全域に亘って、当該筒状部の周面に確実に密着することができる。しかも、筒状部の真円度に応じた形状の受け部材を用意するという手間のかかる作業が必要ない。

従って、本発明によると、熱処理装置において、被処理物を収容する収納容器の寸法公差が大きい場合でも、収納容器をシールするためのシール部材を、確実に、且つ、少ない手間で収納容器に沿わせることができる。

（２）好ましくは、前記受け部材保持機構は、隣接部材と、複数の締結部材と、を含む。前記隣接部材は、前記筒状部の軸方向と平行な方向において各前記受け部材と隣接する。複数の前記締結部材は、各前記受け部材毎に設けられ、対応する前記受け部材及び前記隣接部材を互いに締結する。各前記受け部材は、前記締結部材による締結が解除されている状態において、前記隣接部材に対して、前記周面に近づく方向及び前記周面から遠ざかる方向に相対移動可能である。

この構成によると、各受け部材は、締結部材を用いて、隣接部材に締結される。このような簡易な構成で、各受け部材を固定することができる。また、締結部材による締結が解除されている状態において、受け部材を、隣接部材に対して変位させることができる。これにより、各受け部材の位置を、容易に調整できる。

（３）より好ましくは、前記隣接部材は、前記周方向の全域に亘って、前記シール部材と接触している。

この構成によると、シール部材及び隣接部材は、協働して、収納容器の筒状部の開口部の周囲を、周方向の全域に亘ってシールできる。

（４）更に好ましくは、各前記受け部材は、前記シール部材を、前記隣接部材に向けて加圧するための加圧部を有している。

この構成によると、前記シール部材を、より確実に隣接部材に接触させることができる。これにより、シール部材及び隣接部材は、収納容器の筒状部の周面を、より確実にシールできる。

（５）好ましくは、前記受け部材保持機構は、各前記受け部材の位置を、前記周面に近づく方向及び前記周面から遠ざかる方向において規定するための、位置決め部材を有している。

この構成によると、位置決め部材は、シール部材を筒状部の周面に密着させるのに適した位置に、各受け部材を配置できる。これにより、シール部材を、より確実に、収納容器の筒状部の周面に密着させることができる。

（６）より好ましくは、前記受け部材保持機構は、前記筒状部の軸方向と平行な方向において各前記受け部材と隣接する、隣接部材と、各前記受け部材毎に設けられ、対応する前記受け部材及び前記隣接部材を互いに締結する、複数の締結部材と、を含み、各前記受け部材は、前記締結部材による締結が解除されている状態において、前記隣接部材に対して、前記周面に近づく方向及び前記周面から遠ざかる方向に相対移動可能である。前記位置決め部材は、各受け部材毎に設けられた、複数の雄ねじ部材を含む。各前記ねじ部材は、前記隣接部材に形成され前記周面に近づく方向及び前記周面から遠ざかる方向に延びるねじ孔に、結合されており、且つ、対応する受け部材を、前記シール部材へ向けて加圧している。

この構成によると、雄ねじ部材をねじ孔にねじ込む深さを調整することで、受け部材の位置を、容易に微調整できる。その結果、シール部材を、筒状部の周面に、適切な強さで加圧できる。

本発明によると、熱処理装置において、被処理物を収容する収納容器の寸法公差が大きい場合でも、収納容器をシールするためのシール部材を、確実に、且つ、少ない手間で収納容器に沿わせることができる。

本発明の実施形態に係る熱処理装置の一部を切断した状態を示す断面図であり、熱処理装置を側方から見た状態を示している。 熱処理装置の一部を切断した状態を示す断面図であり、熱処理装置を斜めから見た状態を示している。 図１の閉塞装置の周辺の拡大図である。 冷却装置の周辺の拡大図である。 図４のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。 シール装置の主要部を示す斜視図であり、シール装置の一部の部材の図示は省略している。 図６の一部を拡大して示す斜視図である。 図４のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿う断面図である。 受け部材の位置調整について説明するための、主要部の断面図である。 本発明の変形例における、主要部の断面図である。 本発明の別の変形例における、主要部の断面図である。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。尚、本発明は、被処理物を熱処理するための熱処理装置として広く適用することができる。

［熱処理装置の概略構成］
図１は、本発明の実施形態に係る熱処理装置１の一部を切断した状態を示す断面図であり、熱処理装置１を側方から見た状態を示している。図２は、熱処理装置１の一部を切断した状態を示す断面図であり、熱処理装置を斜めから見た状態を示している。図２では、熱処理装置１の一部を省略して示している。

図１及び図２を参照して、熱処理装置１は、被処理物１００の表面に熱処理を施すことが可能に構成されている。この熱処理として、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）処理、拡散処理、アニール処理、太陽電池の製造処理、半導体デバイスの製造処理等を例示することができる。本実施形態では、被処理物１００は、ガラス基板である。被処理物１００は、例えば、矩形状に形成されている。熱処理装置１は、被処理物１００を、反応性ガスの雰囲気下で熱処理することにより、被処理物１００の表面に、薄膜を形成する。また、熱処理装置１は、横型熱処理装置である。被処理物１００は、熱処理装置１に対して出し入れされる際に、水平方向に変位される。

熱処理装置１は、チューブ（収納容器）２と、ヒータ３と、閉塞装置４と、遮熱部５と、ファン装置６と、保護筒（保護部材）７と、を備えている。

チューブ２は、被処理物１００を収納するために設けられている。また、チューブ２は、チューブ２内に収納された被処理物１００を、加熱された雰囲気下で熱処理するために設けられている。本実施形態では、チューブ２は、石英を用いて形成されている。チューブ２は、中空に形成されている。チューブ２の厚みは、数十ｍｍ程度に設定されている。

チューブ２は、チューブ本体８と、閉塞部９と、を有している。

チューブ本体８は、円筒状に形成されており、細長く延びている。チューブ本体８の長手方向Ｌ１を、以下、「長手方向Ｌ１」という場合がある。チューブ本体８の下部は、支持台（図示せず）によって、支持されている。チューブ本体８の一端部は、開口部１１を有している。開口部１１は、被処理物１００を通過させることが可能な大きさに形成されている。被処理物１００は、開口部１１を通して、チューブ２に出し入れされる。チューブ本体８の下部上に、被処理物１００が配置される。被処理物１００は、例えば、支持台１２に乗せられた状態で、チューブ本体８の外側から、開口部１１を通して、チューブ本体８内に挿入される。支持台１２において、被処理物１００は、垂直方向に延びた状態で、複数配置されている。チューブ本体８の他端は、閉塞部９と連続している。閉塞部９は、長手方向Ｌ１に沿ってチューブ本体８から遠ざかる方向に向けて、膨らんだ形状に形成されている。閉塞部９は、チューブ本体８の他端を塞いでいる。上記の構成を有するチューブ２は、ヒータ３によって加熱される。

ヒータ３は、チューブ２内の雰囲気を加熱するために設けられている。ヒータ３は、例えば、電熱ヒータである。ヒータ３は、全体として、中空の箱形形状に形成されており、チューブ２の大部分を収納している。ヒータ３は、支持台（図示せず）によって支持されている。ヒータ３は、チューブ２内の雰囲気を、数百度程度に加熱することが可能である。

ヒータ３は、上部ヒータ１３と、下部ヒータ１４と、端部ヒータ１５と、側部ヒータ１６と、を有している。

上部ヒータ１３は、チューブ本体８の上方に配置されており、水平に延びている。平面視において、上部ヒータ１３は、矩形に形成されている。平面視において、上部ヒータ１３は、チューブ２のうち、開口部１１の周辺部分以外の部分を、覆っている。上部ヒータ１３の下方に、下部ヒータ１４が配置されている。

下部ヒータ１４は、チューブ本体８の下方に配置されており、水平に延びている。底面視において、下部ヒータ１４は、矩形に形成されている。底面視において、下部ヒータ１４は、チューブ２のうち、開口部１１の周辺部分以外の部分を、覆っている。下部ヒータ１４に隣接するように、端部ヒータ１５が配置されている。

端部ヒータ１５は、チューブ２の閉塞部９と長手方向Ｌ１に並んで配置されており、垂直に延びている。端部ヒータ１５は、略矩形に形成されている。端部ヒータ１５は、チューブ２の閉塞部９を、チューブ２の後方から覆っている。端部ヒータ１５に隣接するように、側部ヒータ１６が配置されている。

側部ヒータ１６は、チューブ２のチューブ本体８及び閉塞部９に隣接して配置されており、垂直に延びている。側部ヒータ１６は、略矩形に形成されており、長手方向Ｌ１と平行な方向に延びている。図示していないけれども、側部ヒータ１６と同様の側部ヒータが、チューブ２に隣接して配置されている。これら一対の側部ヒータの間に、チューブ２が配置されている。前述したように、上記の構成を有するヒータ３によって、チューブ２内の雰囲気が、加熱される。チューブ２内の雰囲気が加熱されている間、チューブ２の開口部１１は、閉塞装置４によって閉塞されている。

図３は、図１の閉塞装置４の周辺の拡大図である。図３を参照して、閉塞装置４は、冷却部材１９と、ドア装置２０と、第１シール部材２１と、第２シール部材２２を有するシール装置２３と、を含んでいる。

図４は、冷却部材１９の周辺の拡大図である。図４を参照して、冷却部材１９は、第１シール部材２１、及び第２シール部材２２を冷却するために設けられている。冷却部材１９が設けられていることにより、第１シール部材２１、及び第２シール部材２２は、ヒータ３からの熱による過熱を抑制される。その結果、第１シール部材２１、及び第２シール部材２２の劣化を抑制できる。冷却部材１９は、チューブ２の開口部１１に隣接して配置されている。冷却部材１９は、長手方向Ｌ１において、チューブ２と、ドア装置２０との間に配置されている。冷却部材１９は、２つの円筒部材を組み合わせた形状を有しており、チューブ２とは、略同軸に配置されている。冷却部材１９は、金属材料を用いて形成されている。この金属材料は、例えば、ステンレス材である。

冷却部材１９は、内筒２４と、外筒２５と、第１フランジ２６と、第２フランジ２７と、冷却水路２８と、を有している。

内筒２４は、円筒状に形成されている。本実施形態では、内筒２４の内径、即ち、内筒２４の内周面の直径は、チューブ本体８の内径よりも小さく設定されている。内筒２４を取り囲むようにして、外筒２５が配置されている。

外筒２５は、円筒状に形成されており、内筒２４と、同軸に配置されている。長手方向Ｌ１において、外筒２５の位置と、内筒２４の位置とは、揃えられている。外筒２５は、支持部材２９（図１参照）に固定されている。これにより、冷却部材１９は、支持部材２９によって、支持されている。外筒２５の一端部２５ａ、及び内筒２４の一端部２４ａは、第１フランジ２６に固定されている。

第１フランジ２６は、ドア装置２０の後述するドア３６と接触する部分として設けられている。第１フランジ２６は、環状に形成されており、内筒２４及び外筒２５と同軸に配置されている。第１フランジ２６は、溶接等によって、内筒２４及び外筒２５に固定されている。これにより、第１フランジ２６は、内筒２４の一端部２４ａと、外筒２５の一端部２５ａとの間の空間を、長手方向Ｌ１の一方側から塞いでいる。第１フランジ２６のうち、ドア装置２０に対向する部分には、環状の溝２６ａが形成されている。この溝２６ａは、第１フランジ２６の外周面に開放されている。この溝２６ａには、環状のプレート３０が収容されている。プレート３０は、固定部材としてのねじ部材３１を用いて、第１フランジ２６に固定されている。プレート３０に隣接して、第１シール部材２１が配置されている。

第１シール部材２１は、ドア装置２０のドア３６と、冷却部材１９との間を、気密的にシールするために設けられている。本実施形態では、第１シール部材２１は、合成ゴム等を用いて形成されたＯリングであり、弾性及び可撓性を有している。第１シール部材２１は、環状に形成されている。第１シール部材２１は、第１フランジ２６の溝２６ａに嵌められており、当該第１フランジ２６と、プレート３０との間に位置している。これにより、第１シール部材２１は、第１フランジ２６に保持されている。第１フランジ２６と長手方向Ｌ１に離隔した位置に、第２フランジ２７が配置されている。

第２フランジ２７は、チューブ２に隣接する部分として設けられている。第２フランジ２７は、環状に形成されており、内筒２４及び外筒２５と同軸に配置されている。第２フランジ２７は、一端面２７ａと、他端面２７ｂと、溝部２７ｃと、を有している。

一端面２７ａは、溶接等によって、内筒２４及び外筒２５に固定されている。これにより、第２フランジ２７は、内筒２４の他端部２４ｂと、外筒２５の他端部２５ｂとの間の空間を、長手方向Ｌ１の他方側から塞いでいる。第２フランジ２７の一部は、チューブ２に対して、冷却部材１９の径方向の外方に突出するように配置されている。即ち、第２フランジ２７の外径は、チューブ本体８の外径よりも大きい。第２フランジ２７のうち、チューブ２に対向する他端面２７ｂには、環状の溝２７ｃが形成されている。この溝２７ｃは、第２フランジ２７の内周部に形成されている。この溝２７ｃには、受け部材３２が配置されている。

図５は、図４のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。図４及び図５を参照して、受け部材３２は、第２フランジ２７と、チューブ２との間に介在する部材として設けられている。これにより、第２フランジ２７と、チューブ２とが直接接触することを防止している。受け部材３２は、複数設けられている。複数の受け部材３２は、第２フランジ２７の周方向に等間隔に配置されている。隣り合う受け部材３２，３２間には、隙間ＣＬ１が形成されている。各受け部材３２の表面は、摩擦抵抗を低減するための材料によって形成されている。このような材料として、ＰＴＦＥ（PolyTetraFluoroEthylene）等のフッ素樹脂材料を例示することができる。

各受け部材３２は、厚みが数ｍｍ程度の板部材を用いて形成された、円弧状の部材である。尚、図５では、複数の受け部材３２のうちの、一部の受け部材３２を図示している。各受け部材３２は、固定部材としてのねじ部材３３を用いて、溝２７ｃに固定されている。各受け部材３２は、第２フランジ２７からチューブ２に向かって突出しており、チューブ本体８の一端面８ａに接触している。図４を参照して、第２フランジ２７、第１フランジ２６、内筒２４及び外筒２５によって、冷却水路２８が形成されている。

冷却水路２８は、円筒状の水路として設けられている。冷却水路２８は、図示しない熱交換器と接続されている。冷却水路２８は、この熱交換機で冷却された冷却水が通過するように構成されている。これにより、冷却水路２８に隣接して配置された第１シール部材２１、及び第２シール部材２２が、冷却される。

第２シール部材２２を有するシール装置２３は、チューブ２と、冷却部材１９との間をシールするために設けられている。シール装置２３は、チューブ２の開口部１１を取り囲むように配置されている。シール装置２３は、第２シール部材２２と、シール保持部材３５と、を有している。

第２シール部材２２は、冷却部材１９と、チューブ２との間を、気密的にシールするために設けられている。本実施形態では、第２シール部材２２は、第１シール部材２１と同様の構成を有している。即ち、第２シール部材２２は、合成ゴム等を用いて形成されたＯリングであり、弾性及び可撓性を有している。第２シール部材２２は、環状に形成されている。第２シール部材２２は、チューブ本体８の開口部１１の外周面に嵌められている。第２シール部材２２は、チューブ本体８の一端面８ａに隣接して配置されている。また、第２シール部材２２は、第２フランジ２７の他端面２７ｂに接触している。これにより、第２シール部材２２は、チューブ本体８の開口部１１と、第２フランジ２７との間の空間を、チューブ本体８の外側から塞いでいる。第２シール部材２２は、シール保持部材３５によって、保持されている。

シール保持部材３５は、円環状に形成されており、第２フランジ２７に固定されている。シール保持部材３５の内周部は、第２シール部材２２を、チューブ本体８側へ加圧している。上記の構成を有するシール装置２３とは長手方向Ｌ１に離隔した位置に、ドア装置２０が配置されている。

図１及び図３を参照して、ドア装置２０は、ドア３６と、ドア支持装置３７と、を有している。

ドア３６は、冷却部材１９の第１フランジ２６の内側空間を長手方向Ｌ１の一方側から塞ぐために設けられている。換言すれば、ドア３６は、チューブ２の開口部１１を、長手方向Ｌ１の一方側から塞ぐために設けられている。ドア３６は、例えば、金属板を用いて形成されている。本実施形態では、ドア３６は、円板状に形成されている。ドア３６の外周部３６ａは、冷却部材１９の第１フランジ２６に接触可能に構成されている。ドア３６の外周部３６ａが第１フランジ２６に接触した場合、ドア３６と、第１フランジ２６との間は、第１シール部材２１によって、気密的にシールされる。このドア３６は、ドア支持装置３７によって支持されている。ドア支持装置３７は、ドア３６を変位可能に支持するために設けられている。

ドア支持装置３７は、支柱３８と、駆動装置３９と、を有している。

支柱３８は、上下方向Ｚ１（鉛直方向）に延びる部材として設けられている。支柱３８は、ドア３６に固定されている。支柱３８は、駆動装置３９に接続されている。

駆動装置３９は、支柱３８及びドア３６を変位させるために設けられている。駆動装置３９は、支柱３８を、長手方向Ｌ１に変位可能に構成されている。また、駆動装置３９は、支柱３８を、長手方向Ｌ１と直交する方向に変位可能に構成されている。これにより、駆動装置３９は、第１フランジ２６で囲まれた空間を開放するように、ドア３６を変位させることができる。即ち、駆動装置３９は、ドア３６を、開閉することができる。ドア３６が開いた状態で、被処理物１００を、チューブ２に対して出し入れすることができる。ドア３６は、遮熱部５を保持している。

遮熱部５は、ヒータ３からの熱が、第２シール部材２２、冷却部材１９、第１シール部材２１、及びドア３６等に伝わることを抑制するために設けられている。遮熱部５は、チューブ２の開口部１１の周辺に配置されている。

図３を参照して、遮熱部５は、ステー４１，４２と、遮熱部材４３と、を有している。

ステー４１，４２は、遮熱部材４３を支持するために設けられている。各ステー４１，４２は、ドア３６に固定されており、ドア３６から、長手方向Ｌ１に沿って、チューブ２側に延びている。各ステー４１，４２は、長手方向Ｌ１に並ぶ複数の凹部４４を有している。凹部４４は、上方に向けて開放されており、遮熱部材４３を嵌めることが可能である。

遮熱部材４３は、熱バリアを形成するために設けられている。遮熱部材４３は、１又は複数設けられている。本実施形態では、遮熱部材４３は、７つ設けられている。各遮熱部材４３は、円板状に形成されている。複数の遮熱部材４３が、長手方向Ｌ１に離隔して配置されている。各遮熱部材４３には、複数の貫通孔が形成されている。これらの貫通孔に、対応するステー４１，４２が挿入されている。また、これらの貫通孔の周縁部は、凹部４４に嵌められている。これにより、各遮熱部材４３は、長手方向Ｌ１に位置決めされている。各遮熱部材４３は、凹部４４に取り外し可能に嵌合されている。これにより、長手方向Ｌ１における各遮熱部材４３の位置を、容易に変更できる。また、ステー４１，４２に取り付けられる遮熱部材４３の数を、容易に変更することができる。その結果、遮熱部５が熱を遮断する度合いを、容易に調整できる。遮熱部５には、サブヒータ４５が配置されている。サブヒータ４５は、発熱体を有しており、チューブ２内の雰囲気を加熱可能に構成されている。

サブヒータ４５は、一対の第１部分４５ａ，４５ａと、第２部分４５ｂと、を有している。

各第１部分４５ａ，４５ａは、長手方向Ｌ１に沿って延びる部分として設けられている。各第１部分４５ａ，４５ａは、ドア３６に形成された貫通孔を貫通し、且つ、各遮熱部材４３に形成された貫通孔を貫通している。各第１部分４５ａ，４５ａの先端部に、第２部分４５ｂが接続されている。第２部分４５ｂは、上下方向Ｚ１に延びている。第２部分４５ｂは、各遮熱部材４３に対して、チューブ２の奥側（長手方向Ｌ１の一方側）に配置されている。第２部分４５ｂは、発熱体を有している。第２部分４５ｂの発熱体は、例えば、ファン装置６の周辺の温度が所定値未満である場合に、発熱するように構成されている。上記の構成を有するサブヒータ４５、及び遮熱部５に隣接した位置に、ファン装置６が配置されている。

ファン装置６は、ドア３６に支持されており、ドア３６とともに変位可能である。ファン装置６は、チューブ２内に気流Ａ１を生じさせるために設けられている。

ファン装置６は、電動モータ（動力源）４６と、伝動装置４７と、シャフトユニット４８と、ファン４９と、軸受ユニット５０と、を有している。

電動モータ４６は、例えば、支柱３８に支持されている。電動モータ４６の出力は、伝動装置４７を介して、シャフトユニット４８に伝達される。

伝動装置４７は、例えば、プーリ機構である。伝動装置４７は、第１プーリ５１と、第２プーリ５２と、ベルト５３と、を有している。第１プーリ５１は、電動モータ４６の出力軸に一体回転可能に連結されている。第２プーリ５２は、シャフトユニット４８に一体回転可能に連結されている。ベルト５３は、第１プーリ５１と、第２プーリ５２と、に巻き掛けられている。

シャフトユニット４８は、ファン４９の回転軸として設けられており、回転軸線Ｓ１を有している。回転軸線Ｓ１は、シャフトユニット４８の中心軸線でもある。シャフトユニット４８は、ファン４９に連結されており、電動モータ４６からの出力を、ファン４９に伝達する。シャフトユニット４８は、ドア３６に形成された貫通孔３６ｂを貫通しており、ドア３６の外側から、チューブ２内に向けて延びている。シャフトユニット４８の一端部４８ａに、第２プーリ５２が固定されている。シャフトユニット４８は、各遮熱部材４３に形成された貫通孔４３ａを貫通している。シャフトユニット４８の他端部４８ｂには、ファン４９が同軸に連結されている。

ファン４９は、気流Ａ１を発生することにより、チューブ２内のガスを撹拌するように構成されている。これにより、チューブ２内の各種ガスの濃度分布が、より均等になり、且つ、チューブ２内の温度が、より均等になる。ファン４９は、チューブ２内に配置されており、回転軸線Ｓ１を中心として、回転可能である。ファン４９とドア３６との間に各遮熱部材４３が配置されるように、ファン４９は配置されている。

ファン４９は、ボス部５４と、複数の羽根５５と、を有している。

ボス部５４は、筒状に形成されており、シャフトユニット４８の他端部４８ｂに嵌合している。複数の羽根５５は、ボス部５４の外周部に固定されており、ボス部５４から放射状に延びている。上記の構成により、ファン４９が回転すると、当該ファン４９から当該ファン４９の径方向外方に向かう気流Ａ１が、発生する。ファン４９を回転させるためのシャフトユニット４８は、軸受ユニット５０によって、回転可能に支持されている。軸受ユニット５０は、ドア３６の外側に配置されている。即ち、軸受ユニット５０は、ドア３６の一端面３６ｃ側に配置されている。

軸受ユニット５０は、ケーシング５６と、フランジ部５７と、を有している。

ケーシング５６は、円筒状に形成されている。ケーシング５６は、シャフトユニット４８によって貫通されている。ケーシング５６内には、軸受（図示せず）が配置されている。この軸受は、シャフトユニット４８を回転可能に支持している。ケーシング５６の一端部には、フランジ部５７が固定されている。

フランジ部５７は、固定部材としてのねじ部材５８によって、座部５９に固定されている。座部５９は、ドア３６の一端面３６ｃに固定された、筒状の部材である。座部５９は、シャフトユニット４８によって、貫通されている。

図３及び図４を参照して、上記の構成を有するファン装置６において、ファン４９は、ファン４９の径方向外方に向かう気流Ａ１を発生する。この気流Ａ１における気体は、ヒータ３によって加熱されており、高温である。このため、気流Ａ１からの熱は、第２シール部材２２にできるだけ伝わらないことが好ましい。また、気流Ａ１における気体中には、チューブ２内での化学反応等で生じた微粉末が存在している。この微粉末が、気流Ａ１に乗って、チューブ２に強い勢いで衝突することは、抑制されていることが好ましい。そこで、熱処理装置１には、保護筒７が設置されている。

保護筒７は、ファン４９で生じた気流Ａ１からの熱が、第２シール部材２２に伝わることを抑制するために設けられている。また、保護筒７は、気流Ａ１が、チューブ２に勢いよく当てられることを抑制するために設けられている。

保護筒７は、全体として、円筒状に形成されている。保護筒７は、数ｍｍの厚みを有する、薄板部材である。保護筒７は、チューブ２の開口部１１の周辺に配置されており、チューブ２の長手方向Ｌ１と平行に延びている。保護筒７の一端部７ａは、冷却部材１９の第１フランジ２６の内周部に、固定部材としてのねじ部材６３を用いて固定されている。保護筒７の中間部７ｂは、冷却部材１９の第２フランジ２７の内周部に、固定部材としてのねじ部材６４を用いて固定されている。保護筒７の他端部７ｃは、チューブ２内に配置されており、且つ、チューブ本体８とは離隔して配置されている。

保護筒７は、ガス供給口６１と、排気口６２と、を有している。ガス供給口６１は、ガス供給管（図示せず）に接続されており、被処理物１００の熱処理に用いられるガスをチューブ２内へ供給することが可能である。ガス供給管は、冷却部材１９を貫通するように延びている。排気口６２は、排気管（図示せず）に接続されており、チューブ２内の気体を吸引するように構成されている。尚、排気管は、冷却部材１９を貫通するように延びており、真空ポンプ等の吸引装置に接続されている。

保護筒７は、遮熱部５と、サブヒータ４５と、を取り囲んでいる。また、保護筒７は、シャフトユニット４８の一部と、ファン４９と、を取り囲んでいる。また、保護筒７は、第２シール部材２２とは、保護筒７の径方向に並んで配置されている。上記の構成により、ファン４９からの気流Ａ１は、保護筒７に当たった後、チューブ２の長手方向Ｌ１と平行な方向に向きを変え、チューブ２の奥側（閉塞部９側）へ進む。

［熱処理装置の主な動作］
図１を参照して、以上の構成により、熱処理装置１が、被処理物１００を熱処理する際には、まず、駆動装置３９の動作によって、ドア３６が開かれる。この状態で、被処理物１００は、チューブ２内に収納される。次に、駆動装置３９の動作によって、ドア３６が閉じられる。即ち、ドア３６は、冷却部材１９の開口を閉じることにより、チューブ２内の空間を、熱処理装置１の外部の空間から遮断する。

次に、チューブ２内の空気が、排気口６２を通して吸引されることにより、チューブ２内の圧力は、負圧となる。また、反応性ガスが、ガス供給口６１を通して、チューブ２内に供給される。この状態で、ヒータ３からの熱により、チューブ２内の雰囲気が、加熱される。そして、電動モータ４６の出力によって、ファン４９が回転する。これにより、チューブ２内に気流Ａ１が生じ、チューブ２内の雰囲気は、撹拌される。この状態で、被処理物１００の表面に、元素が付着し、拡散される。この際、冷却水路２８には、冷却水が通過している。これにより、第１シール部材２１、及び第２シール部材２２（図４参照）の過熱が抑制される。また、ヒータ３からの熱は遮熱部５によって、各シール部材２１，２２、及びドア３６等に伝わることを、抑制される。

被処理物１００に薄膜が形成された後、ヒータ３による加熱が停止される。その後、駆動装置３９の動作によって、ドア３６が開かれる。この状態で、チューブ２内の被処理物１００は、チューブ２内から取り出される。

［シール装置の詳細な構成］
次に、シール装置２３における、より詳細な構成を説明する。図６は、シール装置２３の主要部を示す斜視図であり、シール装置２３の一部の図示は省略している。図４及び図６に示すように、シール装置２３は、第２シール部材２２と、シール保持装置７１と、エアブロー装置７２と、を有している。

第２シール部材２２の構成については、前述した通りである。この第２シール部材２２は、シール保持装置７１によって、保持されている。これにより、第２シール部材２２は、チューブ２の開口部１１の外周面１１ａとは、チューブ２の周方向Ｃ１の全域に亘って密着している。また、第２シール部材２２は、第２フランジ２７の他端面２７ｂとは、チューブ２の周方向Ｃ１の全域に亘って密着している。

シール保持装置７１は、開口部１１の外周面１１ａと、第２フランジ２７の他端面２７ｂとの間の領域を、第２シール部材２２によって、確実に気密的にシールさせるために設けられている。これにより、チューブ２内の気体は、隙間ＣＬ１（図５参照）を通ってチューブ２の外部の空間に漏れることを抑制されている。開口部１１の外周面１１ａの真円度が低い場合でも、シール保持装置７１は、チューブ２の周方向Ｃ１の全域に亘って、第２シール部材２２を、開口部１１の外周面１１ａに接触させるように構成されている。

尚、以下では、チューブ２の周方向Ｃ１を、単に「周方向Ｃ１」という場合がある。また、チューブ２の径方向Ｒ１を、単に「径方向Ｒ１」という場合がある。また、長手方向Ｌ１は、チューブ２の軸方向、及び当該軸方向と平行な方向を含んでいる。

シール保持装置７１は、前述したシール保持部材３５と、受け部材保持機構７３と、を有している。

シール保持部材３５は、第２シール部材２２を受けることにより、当該第２シール部材２２を保持するために設けられている。シール保持部材３５は、全体として、円環状に形成されており、第２シール部材２２を取り囲んだ状態で、第２フランジ２７に固定されている。

シール保持部材３５は、複数の受け部材７４を有しており、これら複数の受け部材７４によって、円環形状のシール保持部材３５が形成されている。

各受け部材７４は、円弧状に形成されている。各受け部材７４の曲率中心は、例えば、チューブ２の中心軸線Ｓ２上に配置されている。本実施形態では、中心軸線Ｓ２は、開口部１１の内周面の中心軸線でもある。各受け部材７４は、周方向Ｃ１における角度範囲が、数十度程度に設定されている。これらの受け部材７４は、周方向Ｃ１に配列されており、長手方向Ｌ１における位置が、揃えられている。尚、図６は、１つの受け部材７４が、開口部１１から取り外された状態を示している。周方向Ｃ１において、隣り合う受け部材７４同士は、互いに接触しない程度に、隣接して配置されている。各受け部材７４の構成は、同様である。

図７は、図６の一部を拡大して示す斜視図である。図８は、図４のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿う断面図である。図４、図７及び図８を参照して、受け部材７４は、ステンレス等の金属材料を用いて形成されている。受け部材７４は、周方向Ｃ１における、第２シール部材２２の一部を受けるために設けられている。

受け部材７４は、受け部材本体７５と、溝部７６と、鍔部７７と、を有している。

受け部材本体７５は、第２フランジ２７とは長手方向Ｌ１に隣接して配置されている。受け部材７４は、円弧状の薄板によって形成されている。受け部材本体７５の外周部の位置は、第２フランジ２７の外周部の位置よりも、径方向Ｒ１の外方である。受け部材本体７５には、ねじ孔７８が形成されている。

ねじ孔７８は、受け部材保持機構７３の後述する固定用ねじ部材８３と結合するために設けられている。ねじ孔７８は、受け部材本体７５の一端面７５ａに形成されており、長手方向Ｌ１に延びている。ねじ孔７８は、周方向Ｃ１に離隔して、複数（本実施形態では、１つの受け部材７４に対向している箇所に３つ）形成されている。複数のねじ孔７８は、周方向Ｃ１に等間隔に形成されている。受け部材本体７５の一端面７５ａは、上下方向Ｚ１と平行に延びている。この一端面７５ａは、第２フランジ２７の他端面２７ｂと長手方向Ｌ１に対向しており、当該他端面２７ｂと面接触している。上記の構成を有する受け部材本体７５の内周部に、溝部７６が形成されている。

溝部７６は、第２シール部材２２が配置される部分として設けられている。溝部７６は、周方向Ｃ１における受け部材７４の全域に亘って形成された円弧状の部分である。溝部７６は、径方向Ｒ１の内方に開放されており、チューブ２の開口部１１の外周面１１ａと向かい合っている。また、溝部７６は、長手方向Ｌ１の一方に開放されており、第２フランジ２７の他端面２７ｂと向かい合っている。

溝部７６は、第１加圧部８１と、第２加圧部８２とを有している。

第１加圧部８１は、溝部７６の底面として形成されている。第１加圧部８１は、円筒面の一部によって形成されている。第１加圧部８１は、径方向Ｒ１の内方を向いており、チューブ２の開口部１１の外周面１１ａと向かい合っている。第１加圧部８１は、第２シール部材２２と接触し、第２シール部材２２を受けており、当該第２シール部材２２を、開口部１１の外周面１１ａに向けて加圧している。即ち、第１加圧部８１は、長手方向Ｌ１における第２シール部材２２の一部を、径方向Ｒ１の内方に向けて加圧している。長手方向Ｌ１において、第１加圧部８１は、受け部材本体７５の一端面７５ａと、第２加圧部８２との間に位置している。第１加圧部８１は、受け部材本体７５の一端面７５ａと連続しており、且つ、第２加圧部８２と連続している。

第２加圧部８２は、溝部７６の内側面として形成されている。第２加圧部８２は、長手方向Ｌ１の一方を向く円弧状の面である。第２加圧部８２は、第２フランジ２７の他端面２７ｂと、長手方向Ｌ１に向かい合っている。第２加圧部８２は、第２シール部材２２と接触しており、当該第２シール部材２２を、第２フランジ２７の他端面２７ｂに向けて加圧している。即ち、第２加圧部８２は、第２シール部材２２を、長手方向Ｌ１の一方に向けて加圧している。長手方向Ｌ１における溝部７６の長さは、自由状態における第２シール部材２２の厚みＴ１よりも小さく設定されている。これにより、第２加圧部８２は、第２シール部材２２を、他端面２７ｂに向けて加圧することが可能である。尚、自由状態とは、外力が作用していない状態をいう。

径方向Ｒ１における溝部７６の長さ（溝部７６の深さ）は、自由状態における第２シール部材２２の厚みＴ１よりも小さく設定されている。これにより、受け部材７４の第１加圧部８１は、第２シール部材２２を径方向Ｒ１の内方へ向けて加圧しつつ、開口部１１の外周面１１ａと直接接触することを、抑制されている。溝部７６に対して長手方向Ｌ１の一方側の位置に、鍔部７７が配置されている。

鍔部７７は、受け部材保持機構７３の後述する位置決め用ねじ部材８４と結合する部分として、設けられている。鍔部７７は、受け部材本体７５の外周部から、長手方向Ｌ１の一方に向けて延びる、円弧状の部分である。鍔部７７は、第２フランジ２７に対して、径方向Ｒ１の外方に配置されている。鍔部７７は、第２フランジ２７とは直接接触しないように、第２フランジ２７から離隔して配置されている。鍔部７７には、貫通孔７７ａが形成されている。

貫通孔７７ａは、位置決め用ねじ部材８４が挿入される孔部として形成されている。貫通孔７７ａは、鍔部７７を、径方向Ｒ１に貫通している。貫通孔７７ａは、受け部材７４毎に複数（本実施形態では、２つ）形成されている。複数の貫通孔７７ａは、周方向Ｃ１に離隔して配置されている。上記の構成を有する受け部材７４は、受け部材保持機構７３によって、径方向Ｒ１の位置を調整可能な態様で、保持されている。即ち、受け部材７４は、外周面１１ａのうち当該受け部材７４と対向している部分に対して、近づく方向及び遠ざかる方向に位置調整とされている。このように、径方向Ｒ１は、受け部材７４にとって、外周面１１ａに近づく方向、及び外周面１１ａから遠ざかる方向である。

受け部材保持機構７３は、第２フランジ（隣接部材）２７と、固定用ねじ部材（締結部材）８３と、位置決め用ねじ部材（位置決め部材）８４と、を有している。

第２フランジ２７は、前述した冷却部材１９の一部を構成しているとともに、受け部材保持機構７３の一部を構成している。第２フランジ２７は、長手方向Ｌ１において、各受け部材７４と隣接している。また、第２フランジ２７は、長手方向Ｌ１において、開口部１１と隣接している。第２フランジ２７には、長孔８６と、ねじ孔８７と、が形成されている。

長孔８６は、固定用ねじ部材８３が挿入されるように構成されている。長孔８６は、径方向Ｒ１に細長く延びる形状に形成されており、第２フランジ２７を、長手方向Ｌ１に貫通している。長孔８６は、各受け部材７４に対応して、複数（本実施形態では、３つ）形成されている。即ち、１つの鍔部７７において、３つの長孔８６が、当該鍔部７７と長手方向Ｌ１に対向している。複数の長孔８６は、周方向Ｃ１に等間隔に形成されている。各長孔８６には、固定用ねじ部材８３のねじ軸が挿入されている。径方向Ｒ１における各長孔８６の長さは、固定用ねじ部材８３のねじ軸の直径よりも大きい。長孔８６とは周方向Ｃ１の位置が異なるようにして、第２フランジ２７のねじ孔８７が形成されている。

このねじ孔８７は、位置決め用ねじ部材８４とねじ結合するために設けられている。ねじ孔８７は、第２フランジ２７の外周面に形成されており、径方向Ｒ１に延びている。ねじ孔８７は、各受け部材７４に対応して、複数（本実施形態では、２つ）形成されている。即ち、ねじ孔８７は、１つの受け部材７４毎に複数設けられている。複数のねじ孔８７は、周方向Ｃ１に等間隔に形成されている。各ねじ孔８７には、位置決め用ねじ部材８４のねじ軸が、挿入されている。

位置決め用ねじ部材８４は、雄ねじ部材であり、径方向Ｒ１における受け部材７４の位置を規定するために設けられている。位置決め用ねじ部材８４が設けられていることにより、径方向Ｒ１における受け部材７４の位置を、調整することができる。位置決め用ねじ部材８４は、複数備えられている。各位置決め用ねじ部材８４のねじ軸は、受け部材７４の対応する貫通孔７７ａを貫通しており、且つ、第２フランジ２７の対応するねじ孔８７にねじ結合されている。各位置決め用ねじ部材８４の頭部は、対応する受け部材７４の外周面を、径方向Ｒ１の外側から受けており、当該受け部材７４を、第２シール部材２２へ向けて加圧している。

受け部材７４は、第２シール部材２２からの弾性反発力を受けており、チューブ２の外周面１１ａには接触しない。各位置決め用ねじ部材８４は、対応するねじ孔８７に対して回転されることにより、当該ねじ孔８７にねじ込まれる量（深さ）を調整される。これにより、径方向Ｒ１における受け部材７４の位置が調整される。上記の位置決め用ねじ部材８４によって、径方向Ｒ１の位置を規定された受け部材７４は、固定用ねじ部材８３によって、第２フランジ２７に固定される。

固定用ねじ部材８３は、受け部材７４を第２フランジ２７に締結するために設けられている。固定用ねじ部材８３は、複数備えられており、各受け部材７４に取り付けられている。各固定用ねじ部材８３のねじ軸は、第２フランジ２７の対応する長孔８６を貫通しており、且つ、受け部材７４の対応するねじ孔７８にねじ結合されている。各固定用ねじ部材８３による、第２フランジ２７と対応する受け部材７４との締結が解除された状態において、各固定用ねじ部材８３は、長孔８６内を、径方向Ｒ１に移動可能である。即ち、受け部材７４は、第２フランジ２７に対して、径方向Ｒ１に相対変位可能であり、各受け部材７４は、第２フランジ２７、及び第２シール部材２２に対する径方向Ｒ１の位置を、変更可能である。

上記の構成により、第２シール部材２２は、複数の受け部材７４によって、チューブ２の外周面１１ａに加圧され、且つ、第２フランジ２７の他端面２７ｂに加圧されている。これにより、第２シール部材２２は、周方向Ｃ１の全域に亘って、チューブ２の開口部１１の外周面１１ａに接触し、且つ第２フランジ２７の他端面２７ｂに接触している。上記の構成を有するシール保持装置７１には、エアブロー装置７２が取り付けられている。

図４を参照して、エアブロー装置７２は、チューブ２の外部から、第２シール部材２２の周囲の領域に向けて、空気を吹き出すために設けられている。エアブロー装置７２は、エア用管８９と、ステー９０と、を有している。

エア用管８９は、例えば、円環状に形成されており、チューブ２の外周面１１の外周面１１ａを取り囲むようにして配置されている。エア用管８９は、受け部材７４に隣接して配置されている。エア用管８９には、吹出し口８９ａが形成されている。吹出し口８９ａは、エア用管８９内の空気を、チューブ２の開口部１１の外周面１１ａに向けて吹き出すために設けられている。

吹出し口８９ａは、径方向Ｒ１の内方を向いており、外周面１１ａと径方向Ｒ１に向かい合っている。吹出し口８９ａは、周方向Ｃ１に等間隔に複数形成されている。尚、図４では、複数の吹出し口８９ａのうちの１つの吹出し口８９ａを、図示している。吹出し口８９ａは、受け部材７４と長手方向Ｌ１に隣接する位置に、形成されている。エア用管８９は、ポンプ等の気流発生源（図示せず）と接続されており、エア用管８９内を、空気等の気流が通過するように構成されている。エア用管８９内の気体は、気流Ａ２として、各吹出し口８９ａから、チューブ２の開口部１１の外周面１１ａに向けて吹き出される。これにより、各吹出し口８９ａからの気流Ａ２は、チューブ２の開口部１１の外周面１１ａに吹き付けられる。また、気流Ａ２は、外周面１１ａと、各受け部材７４の内周面７４ａとの間の隙間ＣＬ２に到達し、第２シール部材２２を冷却する。エア用管８９は、ステー９０を介して、受け部材７４に支持されている。

ステー９０は、複数設けられており、例えば、各受け部材７４に取り付けられている。ステー９０は、Ｌ字状に形成されており、径方向Ｒ１に沿って細長く延びている。径方向Ｒ１におけるステー９０の一端部に、エア用管８９が固定されている。径方向Ｒ１におけるステー９０の他端部は、ステー用ねじ部材９１を用いて、対応する受け部材７４の外周部に固定されている。エア用管８９は、例えば、可撓性を有するホースによって形成されている。これにより、エア用管８９は、径方向Ｒ１における受け部材７４の位置の変更に伴って、撓むことが可能である。

［受け部材の位置調整動作］
図９は、受け部材７４の位置調整について説明するための、主要部の断面図である。図９に示すように、本実施形態において、チューブ２の開口部１１の外周面１１ａの真円度は、比較的低い。このため、中心軸線Ｓ２から外周面１１ａまでの距離は、外周面１１ａの場所によって異なる。本実施形態では、チューブ２の上端部２ａにおける、チューブ２の厚みは、比較的小さい。即ち、開口部１１の外周面１１ａの上端部と、中心軸線Ｓ２との間の距離Ｄ１は、比較的小さな値となっている。一方、チューブ２の下端部２ｂにおける、チューブ２の厚みは、比較的大きい。即ち、開口部１１の外周面１１ａの下端部と、中心軸線Ｓ２との間の距離Ｄ２は、比較的大きな値となっている。即ち、距離Ｄ１＜距離Ｄ２である。

チューブ２の上端部２ａに隣接している受け部材７４（７４１）は、当該受け部材７４１の鍔部７７と、第２フランジ２７との径方向Ｒ１における距離が、所定の値Ｄ３となるように、対応する位置決め用ねじ部材８４によって、位置を設定されている。これにより、受け部材７４１は、第２シール部材２２のうち、当該受け部材７４１と向かい合っている部分を、径方向Ｒ１の内方、及び長手方向Ｌ１の一方に向けて加圧している。

一方、チューブ２の下端部２ｂに隣接している受け部材７４（７４２）は、当該受け部材７４２の鍔部７７と、第２フランジ２７との径方向Ｒ１における距離が、所定の値Ｄ４となるように、対応する位置決め用ねじ部材８４によって、位置を設定されている。この場合、距離Ｄ３＜距離Ｄ４である。受け部材７４２は、第２シール部材２２のうち、当該受け部材７４２と向かい合っている部分を、径方向Ｒ１の内方、及び長手方向Ｌ１の一方に向けて加圧している。

以上説明したように、熱処理装置１によると、各受け部材７４は、互いに独立して、径方向Ｒ１の位置を調整可能に構成されている。このため、各受け部材７４は、第２シール部材２２のうち径方向Ｒ１に対向している部分を、確実に、開口部１１の外周面１１ａに押さえつけることができる。したがって、チューブ２のチューブ本体８の真円度、特に外周面１１ａの真円度が低い場合であっても、第２シール部材２２を、周方向Ｃ１の全域に亘って、当該開口部１１の外周面１１ａに確実に密着することができる。しかも、開口部１１の真円度に応じた形状の受け部材を用意するという、手間のかかる作業が必要ない。

従って、熱処理装置１において、被処理物１００を収容するチューブ２の寸法公差が大きい場合でも、チューブ２をシールするための第２シール部材２２を、確実に、且つ、少ない手間でチューブ２に沿わせることができる。

また、熱処理装置１によると、各受け部材７４は、固定用ねじ部材８３を用いて、第２フランジ２７に締結される。このような簡易な構成で、各受け部材７４を固定することができる。また、固定用ねじ部材８３による締結が解除されている状態において、各受け部材７４を、第２フランジ２７に対して径方向Ｒ１に変位させることができる。これにより、径方向Ｒ１における各受け部材７４の位置を、容易に調整できる。

また、熱処理装置１によると、第２フランジ２７は、周方向Ｃ１の全域に亘って、第２シール部材２２と接触している。これにより、第２シール部材２２及び第２フランジ２７は、協働して、チューブ２の開口部１１の周囲を、周方向Ｃ１の全域に亘ってシールできる。

また、熱処理装置１によると、各受け部材７４は、第２シール部材２２を、第２フランジ２７に加圧するための第２加圧部８２を有している。これにより、第２シール部材２２を、より確実に第２フランジ２７に接触させることができる。したがって、第２シール部材２２及び第２フランジ２７は、チューブ２の開口部１１の周囲を、より確実にシールできる。

また、熱処理装置１によると、受け部材保持機構７３の位置決め用ねじ部材８４は、各受け部材７４の位置を、径方向Ｒ１において規定するように構成されている。これにより、位置決め用ねじ部材８４は、第２シール部材２２を開口部１１の外周面１１ａに密着させるのに適した位置に、各受け部材７４を配置できる。これにより、第２シール部材２２を、より確実に、チューブ２の開口部１１の外周面１１ａに密着させることができる。

また、各位置決め用ねじ部材８４は、第２フランジ２７の対応するねじ孔８７に結合されており、且つ、対応する受け部材７４を、第２シール部材２２へ加圧している。このような構成であれば、位置決め用ねじ部材８４をねじ孔８７にねじ込む深さを調整することで、受け部材７４の位置を、容易に微調整できる。その結果、第２シール部材２２を、開口部１１の外周面１１ａに、適切な強さで加圧できる。

以上、本発明の実施形態について説明したけれども、本発明は上述の実施の形態に限られるものではない。本発明は、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能である。

（１）上述の実施形態では、チューブ２は、円筒状である形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。例えば、チューブは、多角形の筒状であってもよい。この場合、第２シール部材（第２シール部材２２に相当）及びシール保持部材（シール保持部材３５に相当）は、チューブの外周面の形状に沿った形状に形成される。

（２）上述の実施形態では、第２シール部材２２は、チュ−ブ２の外周面１１ａに嵌合される形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。例えば、第２シール部材２２は、チューブ２の内周面に嵌合されてもよい。この場合、各受け部材７４の外周面は、径方向Ｒ１におけるチューブ２の開口部１１の内方に配置される。各受け部材７４は、第２シール部材２２を、開口部１１の内周面へ向けて加圧する。

（３）上述の実施形態では、受け部材保持機構７３は、固定用ねじ部材８３、及び位置決め用ねじ部材８４を用いて、受け部材７４を、第２シール部材２２へ固定する形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。例えば、受け部材保持機構７３は、径方向Ｒ１に延びるレール等、ねじ部材以外の部材を用いて構成されていてもよい。

（４）上記実施形態では、固定用ねじ部材８３は、受け部材７４と、径方向Ｒ１に一体的に移動可能である形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。例えば、図１０に示すように、固定用ねじ部材８３を、受け部材７４Ａに対して、径方向Ｒ１に相対移動可能に構成してもよい。尚、以下では、図１〜図９に示す実施形態と異なる点について説明し、上記実施形態と同様の構成については、図に同様の符号を付して、説明を省略する。受け部材７４Ａには、長孔８６Ａが形成されている。一方、第２フランジ２７Ａには、ねじ孔７８Ａが形成されている。固定用ねじ部材８３は、長孔８６Ａに挿入され、且つ、ねじ孔７８Ａにねじ結合される。この場合、ステー９０は、固定用ねじ部材８３と接触しないように配置される。

（５）尚、図１１に示すように、固定用ねじ部材８３は、受け部材７４Ａ、及び第２フランジ２７の双方に対して、径方向Ｒ１に相対移動可能に構成されていてもよい。この場合、固定用ねじ部材８３は、第２フランジ２７の長孔８６、及び、受け部材７４Ａの長孔８６Ａに挿入される。これにより、固定用ねじ部材８３は、第２フランジ２７及び受け部材７４Ａを貫通している。固定用ねじ部材８３は、ナット部材９２とねじ結合することにより、第２フランジ２７と、受け部材７４Ａとを締結している。この場合、径方向Ｒ１において、受け部材７４Ａの位置調整が可能な範囲を、より大きくできる。

（６）また、上記実施形態では、受け部材７４を第２フランジ２７に締結する締結部材として、固定用ねじ部材８３を用いる形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。例えば、受け部材７４及び第２フランジ２７を挟むクリップ状の締結部材等、他の締結部材を用いてもよい。

（７）また、上記実施形態では、チューブ２に隣接する隣接部材として、冷却部材１９を用いる形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。例えば、チューブ２に隣接する部材として、チューブ２の開口部１１を塞ぐドアを用いてもよい。

（８）上述の実施形態では、受け部材７４が、第１加圧部８１及び第２加圧部８２を有する形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。例えば、第１加圧部８１及び第２加圧部８２の少なくとも一方は、省略されてもよい。

（９）上述の実施形態では、径方向Ｒ１における受け部材７４の位置を、位置決め用ねじ部材８４によって調整する形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。例えば、位置決め用ねじ部材８４は、省略されてもよい。

（１０）上述の実施形態では、第２シール部材２２を、Ｏリングによって形成する形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。例えば、第２シール部材を、弾性及び可撓性を有する、Ｏリング以外のシール部材で形成してもよい。

（１１）上記実施形態では、第１シール部材２１は、Ｏリングである形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。第１シール部材２１は、Ｏリング以外の、固体状のシール部材等であってもよい。

本発明は、加熱された雰囲気下で被処理物を処理するための熱処理装置として、広く適用することができる。

１ 熱処理装置
２ チューブ（収納容器）
８ チューブ本体（筒状部）
１１ 開口部
１１ａ 外周面（周面）
２２ 第２シール部材（環状のシール部材）
２７，２７Ａ 第２フランジ（隣接部材）
７１ シール保持装置
７３ 受け部材保持機構
７４，７４Ａ 受け部材
８２ 第２加圧部（加圧部）
８３ 固定用ねじ部材（締結部材）
８４ 位置決め用ねじ部材（位置決め部材、雄ねじ部材）
８７ ねじ孔
１００ 被処理物
Ｃ１ 周方向
Ｌ１ 長手方向（軸方向）
Ｒ１ 径方向（周面に近づく方向及び周面から遠ざかる方向）

Claims (6)

1. 筒状部を有し、且つ、被処理物を収容可能に構成された、収納容器と、
   弾性を有する材料を用いて形成され、前記筒状部の周面に嵌合された、環状のシール部材と、
   前記シール部材を保持するための、シール保持装置と、を備え、
   前記シール保持装置は、前記筒状部の周方向に配列された複数の受け部材と、複数の前記受け部材を保持する受け部材保持機構と、を含み、
   各前記受け部材は、前記周方向における前記シール部材の一部を受けており、
   前記受け部材保持機構は、各前記受け部材の位置を、前記周面に近づく方向及び前記周面から遠ざかる方向において調整可能に構成されていることを特徴とする、熱処理装置。
2. 請求項１に記載の熱処理装置であって、
   前記受け部材保持機構は、前記筒状部の軸方向と平行な方向において各前記受け部材と隣接する、隣接部材と、各前記受け部材毎に設けられ、対応する前記受け部材及び前記隣接部材を互いに締結する、複数の締結部材と、を含み、
   各前記受け部材は、前記締結部材による締結が解除されている状態において、前記隣接部材に対して、前記周面に近づく方向及び前記周面から遠ざかる方向に相対移動可能であることを特徴とする、熱処理装置。
3. 請求項２に記載の熱処理装置であって、
   前記隣接部材は、前記周方向の全域に亘って、前記シール部材と接触していることを特徴とする、熱処理装置。
4. 請求項３に記載の熱処理装置であって、
   各前記受け部材は、前記シール部材を、前記隣接部材に向けて加圧するための加圧部を有していることを特徴とする、熱処理装置。
5. 請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の熱処理装置であって、
   前記受け部材保持機構は、各前記受け部材の位置を、前記周面に近づく方向及び前記周面から遠ざかる方向において規定するための、位置決め部材を有していることを特徴とする、熱処理装置。
6. 請求項５に記載の熱処理装置であって、
   前記受け部材保持機構は、前記筒状部の軸方向と平行な方向において各前記受け部材と隣接する、隣接部材と、各前記受け部材毎に設けられ、対応する前記受け部材及び前記隣接部材を互いに締結する、複数の締結部材と、を含み、
   各前記受け部材は、前記締結部材による締結が解除されている状態において、前記隣接部材に対して、前記周面に近づく方向及び前記周面から遠ざかる方向に相対移動可能であり、
   前記位置決め部材は、各受け部材毎に設けられた、複数の雄ねじ部材を含み、
   各前記ねじ部材は、前記隣接部材に形成され前記周面に近づく方向及び前記周面から遠ざかる方向に延びるねじ孔に、結合されており、且つ、対応する受け部材を、前記シール部材へ向けて加圧していることを特徴とする、熱処理装置。

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