KR20140034027A - 열처리 장치 - Google Patents

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유야 나카니시
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Abstract

열처리 장치에 있어서, 피처리물을 수용하는 수납 용기의 치수 공차가 큰 경우에도, 수납 용기를 시일하기 위한 시일 부재를, 확실하게, 또한, 적은 수고로 수납 용기에 따르게 할 수 있도록 하는 것으로서, 열처리 장치(1)는, 튜브(2)와, 환상의 제2 시일 부재(22)와, 시일 유지 장치(71)를 구비한다. 제2 시일 부재(22)는 탄성을 가지는 재료를 이용하여 형성되고, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)에 끼워 맞춰진다. 시일 유지 장치(71)는, 둘레 방향(C1)으로 배열된 복수의 받침 부재(74)와, 복수의 받침 부재(74)를 유지하는 받침 부재 유지 기구(73)를 포함한다. 각 받침 부재(74)는 둘레 방향(C1)에 있어서의 제2 시일 부재(22)의 일부를 받치고 있다. 받침 부재 유지 기구(73)는 직경 방향(R1)에 있어서의 각 받침 부재(74)의 위치를 조정 가능하도록 구성되어 있다.

Description

열처리 장치{HEAT TREATMENT APPARATUS}
본 발명은 가열된 분위기 하에서 피처리물을 처리하기 위한 열처리 장치에 관한 것이다.
기판 등의 재료에 열처리를 행하기 위한 열처리 장치가 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 열처리 장치의 일예로서, 특허 문헌 1에 기재된 감압 CVD 장치는 석영제의 반응관을 가지고 있다. 반응관은 원통형상의 부재이다. 반응관의 개구부는 도어에 의해서 닫힌다. 도어와 반응관의 사이에는 O링이 배치되어 있다. 구체적으로, O링은 반응관의 외주부에 끼워져 있다. 또한, 도어는 O링의 외주부를 둘러싸는 서포트를 가지고 있다. 당해 서포트는 O링과 접촉하고 있다. 이에 따라, 반응관의 개구부와 도어의 사이가, 반응관의 원주 방향의 전역에 걸쳐 시일되어 있다.
일본국 특허공개 소 61－294826호 공보([발명의 기술적 배경과 그 문제점])
석영으로 반응관을 형성하는 경우, 약 2000도 정도의 고온으로 가열한 석영 재료를 원통형상으로 형성하게 된다. 이러한 특수한 조건 하에서 반응관을 형성할 필요가 있으므로, 반응관에 있어서의 진원도(眞圓度)를 높게 하는 것은 반드시 용이하지는 않다. 그 결과, 반응관은 진원도가 낮은 경우가 있다. 이 경우, 반응관의 개구부의 외주부는 진원이 아니다. 따라서, 반응관의 중심축선으로부터 반응관 개구부의 외주부까지의 거리는 불균일하다. 반응관은 처리하는 재료의 대형화에 따라, 대형화되어 있다. 따라서, 상기한 불균일의 정도는 더욱 커져 버린다. 이러한 반응관의 외주부에 O링을 끼워넣은 경우, O링의 일부는 반응관의 외주부로부터 들뜬 상태로 될 우려가 있다. 이러한 들뜸 현상이 존재하면, 반응관과 O링의 밀착 상태를 확실하게 유지할 수 없다. 그러나 O링의 들뜸을 방지하기 위한 대책에 대하여, 특허 문헌 1에서는 특별히 고려되어 있지 않다.
한편, 상기의 들뜸 현상을 방지하기 위해서, 개개의 반응관의 개구부의 진원도에 따라, O링을 반응관에 가압하는 서포트의 형상을, 그때마다 변경하는 것을 생각할 수 있다. 그러나 이러한 구성에서는, 서포트의 형상을, 1개마다 변경할 필요가 있어, 서포트의 제조에 수고가 든다.
본 발명은 상기 사정을 감안함으로써, 열처리 장치에 있어서, 피처리물을 수용하는 수납 용기의 치수 공차가 큰 경우에도, 수납 용기를 시일하기 위한 시일 부재를, 확실하게, 또한, 적은 수고로 수납 용기에 따르게 할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
(1) 상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 한 국면에 관련된 열처리 장치는, 수납 용기와, 환상의 시일 부재와, 시일 유지 장치를 구비한다. 상기 수납 용기는 통형상부를 가지고, 또한, 피처리물을 수용 가능하게 구성되어 있다. 상기 시일 부재는 탄성을 가지는 재료를 이용하여 형성되고, 상기 통형상부의 둘레면에 끼워맞춰진다. 상기 시일 유지 장치는 상기 시일 부재를 유지하기 위해서 설치되어 있다. 상기 시일 유지 장치는 상기 통형상부의 둘레 방향으로 배열된 복수의 받침 부재와, 복수의 상기 받침 부재를 유지하는 받침 부재 유지 기구를 포함한다.
각 상기 받침 부재는 상기 둘레방향에 있어서의 상기 시일 부재의 일부를 받치고 있다. 상기 받침 부재 유지 기구는 각 상기 받침 부재의 위치를, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향에 있어서 조정 가능하게 구성되어 있다.
이 구성에 의하면, 각 받침 부재는, 서로 독립되어, 통형상부의 둘레면에 대한 위치를 조정가능하게 구성되어 있다. 이 때문에, 각 받침 부재는 시일 부재를 확실하게, 통형상부의 둘레면에 가압할 수 있다. 따라서, 통형상부의 둘레면의 진원도가 낮은 경우에도, 시일 부재를, 통형상부의 둘레 방향의 전역에 걸쳐, 당해 통형상부의 둘레면에 확실하게 밀착할 수 있다. 또한, 통형상부의 진원도에 따른 형상의 받침 부재를 준비하는 수고가 걸리는 작업이 필요없다.
따라서, 본 발명에 의하면, 열처리 장치에 있어서, 피처리물을 수용하는 수납 용기의 치수 공차가 큰 경우에도, 수납 용기를 시일하기 위한 시일 부재를, 확실하게, 또한, 적은 수고로 수납 용기에 따르게 할 수 있다.
(2) 바람직하게는, 상기 받침 부재 유지 기구는, 인접 부재와, 복수의 체결 부재를 포함한다. 상기 인접 부재는 상기 통형상부의 축방향과 평행한 방향에 있어서 각 상기 받침 부재와 인접한다. 복수의 상기 체결 부재는, 각 상기 받침 부재마다 설치되고, 대응하는 상기 받침 부재 및 상기 인접 부재를 서로 체결한다. 각 상기 받침 부재는, 상기 체결 부재에 의한 체결이 해제되어 있는 상태에서, 상기 인접 부재에 대하여, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향으로 상대 이동 가능하다.
이 구성에 의하면, 각 받침 부재는 체결 부재를 이용하여, 인접 부재에 체결된다. 이러한 간단한 구성으로, 각 받침 부재를 고정할 수 있다. 또한, 체결 부재에 의한 체결이 해제되어 있는 상태에서, 받침 부재를 인접 부재에 대하여 변위시킬 수 있다. 이에 따라, 각 받침 부재의 위치를 용이하게 조정할 수 있다.
(3) 더욱 바람직하게는, 상기 인접 부재는 상기 둘레 방향의 전역에 걸쳐, 상기 시일 부재와 접촉하고 있다.
이 구성에 의하면, 시일 부재 및 인접 부재는 협동하여, 수납 용기의 통형상부의 개구부의 주위를, 둘레 방향의 전역에 걸쳐 시일할 수 있다.
(4) 더욱 바람직하게는, 각 상기 받침 부재는, 상기 시일 부재를, 상기 인접 부재를 향해서 가압하기 위한 가압부를 가지고 있다.
이 구성에 의하면, 상기 시일 부재를, 더욱 확실하게 인접 부재에 접촉시킬 수 있다. 이에 따라, 시일 부재 및 인접 부재는, 수납 용기의 통형상부의 둘레면을 더욱 확실하게 시일할 수 있다.
(5) 바람직하게는, 상기 받침 부재 유지 기구는, 각 상기 받침 부재의 위치를, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향에 있어서 규정하기 위한, 위치 결정 부재를 가지고 있다.
이 구성에 의하면, 위치 결정 부재는, 시일 부재를 통형상부의 둘레면에 밀착시키는데 적합한 위치에 각 받침 부재를 배치할 수 있다. 이에 따라, 시일 부재를, 더욱 확실하게, 수납 용기의 통형상부의 둘레면에 밀착시킬 수 있다.
(6) 더욱 바람직하게는, 상기 위치 결정 부재는, 각 받침 부재마다 설치된, 복수의 수나사 부재를 포함한다. 각 상기 나사 부재는, 상기 인접 부재에 형성되어 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향으로 연장되어 있는 나사 구멍에 결합되어 있고, 또한, 대응하는 받침 부재를, 상기 시일 부재를 향하여 가압하고 있다.
이 구성에 의하면, 수나사 부재를 나사구멍에 조여넣는 깊이를 조정함으로써, 받침 부재의 위치를 용이하게 미세 조정할 수 있다. 그 결과, 시일 부재를 통형상부의 둘레면에 적절한 강도로 가압할 수 있다.
본 발명에 의하면, 열처리 장치에 있어서, 피처리물을 수용하는 수납 용기의 치수 공차가 큰 경우에도, 수납 용기를 시일하기 위한 시일 부재를, 확실하게, 또한, 적은 수고로 수납 용기에 따르게 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 열처리 장치의 일부를 절단한 상태를 나타내는 단면도로, 열처리 장치를 측방으로부터 본 상태를 나타내고 있다.
도 2는 열처리 장치의 일부를 절단한 상태를 나타내는 단면도로, 열처리 장치를 비스듬히 본 상태를 나타내고 있다.
도 3은 도 1의 폐색 장치의 주변 확대도이다.
도 4는 냉각 장치의 주변 확대도이다.
도 5는 도 4의 IV－IV선에 따른 단면도이다.
도 6은 시일 장치의 주요부를 나타내는 사시도로, 시일 장치의 일부 부재의 도시는 생략하고 있다.
도 7은 도 6의 일부를 확대하여 나타내는 사시도이다.
도 8은 도 4의 VIII－VIII선에 따른 단면도이다.
도 9는 받침 부재의 위치 조정에 대하여 설명하기 위한 주요부의 단면도이다.
도 10은 본 발명의 변형예에 있어서의 주요부의 단면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 변형예에 있어서의 주요부의 단면도이다.
이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 본 발명은 피처리물을 열처리하기 위한 열처리 장치로서 폭넓게 적용할 수 있다.
［열처리 장치의 개략 구성]
도 1은 본 발명의 실시 형태에 관련된 열처리 장치(1)의 일부를 절단한 상태를 나타내는 단면도이며, 열처리 장치(1)를 측방으로부터 본 상태를 나타내고 있다. 도 2는 열처리 장치(1)의 일부를 절단한 상태를 나타내는 단면도이며, 열처리 장치를 비스듬히 본 상태를 나타내고 있다. 도 2에서는, 열처리 장치(1)의 일부를 생략하여 나타내고 있다.
도 1 및 도 2를 참조하여, 열처리 장치(1)는, 피처리물(100)의 표면에 열처리를 실시하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 이 열처리로서, CVD(Chemical Vapor Deposition) 처리, 확산 처리, 어닐링 처리, 태양 전지의 제조 처리, 반도체 디바이스의 제조 처리 등을 예시할 수 있다. 본 실시 형태에서, 피처리물(100)은 유리 기판이다. 피처리물(100)은 예를 들면, 직사각형상으로 형성되어 있다. 열처리 장치(1)는, 피처리물(100)을, 반응성 가스의 분위기 하에서 열처리함으로써, 피처리물(100)의 표면에 박막을 형성한다. 또한, 열처리 장치(1)는 가로형 열처리 장치이다. 피처리물(100)은 열처리 장치(1)에 대하여 넣고 뺄 때, 수평 방향으로 변위된다.
열처리 장치(1)는, 튜브(수납 용기)(2)와, 히터(3)와, 폐색 장치(4)와, 차열부(5)와, 팬 장치(6)와, 보호통(보호 부재)(7)을 구비하고 있다.
튜브(2)는 피처리물(100)을 수납하기 위해서 설치되어 있다. 또한, 튜브(2)는, 튜브(2) 내에 수납된 피처리물(100)을, 가열된 분위기 하에서 열처리하기 위해서 설치되어 있다. 본 실시 형태에서, 튜브(2)는 석영을 이용하여 형성되어 있다. 튜브(2)는 중공에 형성되어 있다. 튜브(2)의 두께는 수십㎜ 정도로 설정되어 있다.
튜브(2)는 튜브 본체(8)와 폐색부(9)를 가지고 있다.
튜브 본체(8)는, 원통형상으로 형성되어 있고, 가늘고 길게 연장되어 있다. 튜브 본체(8)의 길이 방향(L1)을, 이하, 「길이 방향(L1)」이라고 하는 경우가 있다. 튜브 본체(8)의 하부는 지지대(도시하지 않음)에 의해 지지되어 있다. 튜브 본체(8)의 일단부는 개구부(11)를 가지고 있다. 개구부(11)는 피처리물(100)을 통과시키는 것이 가능한 크기로 형성되어 있다. 피처리물(100)은 개구부(11)를 통하여 튜브(2)에 넣고 뺀다. 튜브 본체(8)의 하부 상에, 피처리물(100)이 배치된다. 피처리물(100)은, 예를 들면, 지지대(12)에 실린 상태에서, 튜브 본체(8)의 외측으로부터, 개구부(11)를 통하여, 튜브 본체(8) 내에 삽입된다. 지지대(12)에 있어서, 피처리물(100)은 수직 방향으로 연장된 상태로 복수 배치되어 있다. 튜브 본체(8)의 타단은 폐색부(9)와 연속해 있다. 폐색부(9)는 길이 방향(L1)을 따라 튜브 본체(8)로부터 멀어지는 방향을 향해, 부풀어 오른 형상으로 형성되어 있다. 폐색부(9)는 튜브 본체(8)의 타단을 막고 있다. 상기의 구성을 가지는 튜브(2)는 히터(3)에 의해 가열된다.
히터(3)는 튜브(2) 내의 분위기를 가열하기 위해서 설치되어 있다. 히터(3)는 예를 들면, 전열 히터이다. 히터(3)는, 전체적으로, 중공의 상자형 형상으로 형성되어 있고, 튜브(2)의 대부분을 수납하고 있다. 히터(3)는 지지대(도시하지 않음)에 의해 지지되어 있다. 히터(3)는, 튜브(2) 내의 분위기를, 수백도 정도로 가열하는 것이 가능하다.
히터(3)는, 상부 히터(13)와, 하부 히터(14)와, 단부 히터(15)와, 측부 히터(16)를 가지고 있다.
상부 히터(13)는 튜브 본체(8)의 상방에 배치되어 있고, 수평으로 연장되어 있다. 평면에서 봐서, 상부 히터(13)는 직사각형으로 형성되어 있다. 평면에서 봐서, 상부 히터(13)는 튜브(2) 중, 개구부(11)의 주변 부분 이외의 부분을 덮고 있다. 상부 히터(13)의 하방에, 하부 히터(14)가 배치되어 있다.
하부 히터(14)는 튜브 본체(8)의 하방에 배치되어 있고, 수평으로 연장되어 있다. 저면에서 봐서, 하부 히터(14)는 직사각형으로 형성되어 있다. 저면에서 봐서, 하부 히터(14)는 튜브(2) 중, 개구부(11)의 주변 부분 이외의 부분을 덮고 있다. 하부 히터(14)에 인접하도록 단부 히터(15)가 배치되어 있다.
단부 히터(15)는 튜브(2)의 폐색부(9)와 길이 방향(L1)으로 늘어서 배치되어 있고, 수직으로 연장되어 있다. 단부 히터(15)는 대략 직사각형으로 형성되어 있다. 단부 히터(15)는 튜브(2)의 폐색부(9)를, 튜브(2)의 후방으로부터 덮고 있다. 단부 히터(15)에 인접하도록, 측부 히터(16)가 배치되어 있다.
측부 히터(16)는 튜브(2)의 튜브 본체(8) 및 폐색부(9)에 인접하여 배치되어 있고, 수직으로 연장되어 있다. 측부 히터(16)는 대략 직사각형으로 형성되어 있고, 길이 방향(L1)과 평행한 방향으로 연장되어 있다. 도시하지 않지만, 측부 히터(16)와 동일한 측부 히터가, 튜브(2)에 인접하여 배치되어 있다. 이들 한 쌍의 측부 히터의 사이에, 튜브(2)가 배치되어 있다. 전술한 것처럼, 상기의 구성을 가지는 히터(3)에 의해, 튜브(2) 내의 분위기가 가열된다. 튜브(2) 내의 분위기가 가열되어 있는 동안, 튜브(2)의 개구부(11)는 폐색 장치(4)에 의해 폐색되어 있다.
도 3은 도 1의 폐색 장치(4)의 주변 확대도이다. 도 3을 참조하여, 폐색 장치(4)는, 냉각 부재(19)와, 도어 장치(20)와, 제1 시일 부재(21)와, 제2 시일 부재(22)를 가지는 시일 장치(23)를 포함하고 있다.
도 4는 냉각 부재(19)의 주변 확대도이다. 도 4를 참조하여, 냉각 부재(19)는, 제1 시일 부재(21) 및 제2 시일 부재(22)를 냉각하기 위해서 설치되어 있다. 냉각 부재(19)가 설치되어 있으므로, 제1 시일 부재(21), 및 제2 시일 부재(22)는 히터(3)로부터의 열에 의한 과열이 억제된다. 그 결과, 제1 시일 부재(21), 및 제2 시일 부재(22)의 열화를 억제할 수 있다. 냉각 부재(19)는 튜브(2)의 개구부(11)에 인접하여 배치되어 있다. 냉각 부재(19)는, 길이 방향(L1)에 있어서, 튜브(2)와 도어 장치(20)의 사이에 배치되어 있다. 냉각 부재(19)는 2개의 원통 부재를 조합한 형상을 가지고 있고, 튜브(2)와는 대략 동축에 배치되어 있다. 냉각 부재(19)는 금속 재료를 이용하여 형성되어 있다. 이 금속 재료는 예를 들면, 스테인리스재이다.
냉각 부재(19)는, 내통(24)과, 외통(25)과, 제1 플랜지(26)와, 제2 플랜지(27)와, 냉각수로(28)를 가지고 있다.
내통(24)은 원통형상으로 형성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 내통(24)의 내경, 즉, 내통(24)의 내주면의 직경은, 튜브 본체(8)의 내경보다도 작게 설정되어 있다. 내통(24)을 둘러싸도록 하여, 외통(25)이 배치되어 있다.
외통(25)은 원통 형상으로 형성되어 있고, 내통(24)과, 동축에 배치되어 있다. 길이 방향(L1)에 있어서, 외통(25)의 위치와 내통(24)의 위치는 일치되어 있다. 외통(25)은 지지 부재(29)(도 1 참조)에 고정되어 있다. 이에 따라, 냉각 부재(19)는 지지 부재(29)에 의해 지지되어 있다. 외통(25)의 일단부(25a), 및 내통(24)의 일단부(24a)는 제1 플랜지(26)에 고정되어 있다.
제1 플랜지(26)는 도어 장치(20)의 후술하는 도어(36)와 접촉하는 부분으로서 설치되어 있다. 제1 플랜지(26)는 환형상으로 형성되어 있고, 내통(24) 및 외통(25)과 동축에 배치되어 있다. 제1 플랜지(26)는 용접 등에 의해, 내통(24) 및 외통(25)에 고정되어 있다. 이에 따라, 제1 플랜지(26)는 내통(24)의 일단부(24a)와 외통(25)의 일단부(25a)의 사이의 공간을, 길이 방향(L1)의 한쪽 측으로부터 막고 있다. 제1 플랜지(26) 중, 도어 장치(20)에 대향하는 부분에는, 환상의 홈(26a)이 형성되어 있다. 이 홈(26a)은 제1 플랜지(26)의 외주면에 개방되어 있다. 이 홈(26a)에는 환상의 플레이트(30)가 수용되어 있다. 플레이트(30)는 고정 부재로서의 나사 부재(31)를 이용하여, 제1 플랜지(26)에 고정되어 있다. 플레이트(30)에 인접하여, 제1 시일 부재(21)가 배치되어 있다.
제1 시일 부재(21)는, 도어 장치(20)의 도어(36)와 냉각 부재(19)의 사이를, 기밀하게 시일하기 위해서 설치되어 있다. 본 실시 형태에서, 제1 시일 부재(21)는, 합성 고무 등을 이용하여 형성된 0링이며, 탄성 및 가요성을 가지고 있다. 제1 시일 부재(21)는 환상으로 형성되어 있다. 제1 시일 부재(21)는 제1 플랜지(26)의 홈(26a)에 끼워져 있고, 당해 제1 플랜지(26)와 플레이트(30)의 사이에 위치하고 있다. 이에 따라, 제1 시일 부재(21)는 제1 플랜지(26)에 유지되어 있다. 제1 플랜지(26)와 길이 방향(L1)으로 이격된 위치에, 제2 플랜지(27)가 배치되어 있다.
제2 플랜지(27)는 튜브(2)에 인접하는 부분으로서 설치되어 있다. 제2 플랜지(27)는 환상으로 형성되어 있고, 내통(24) 및 외통(25)과 동축에 배치되어 있다. 제2 플랜지(27)는, 일단면(27a)과, 타단면(27b)과, 홈부(27c)를 가지고 있다.
일단면(27a)은, 용접 등에 의해, 내통(24) 및 외통(25)에 고정되어 있다. 이에 따라, 제2 플랜지(27)는, 내통(24)의 타단부(24b)와, 외통(25)의 타단부(25b)의 사이의 공간을, 길이 방향(L1)의 다른 쪽으로부터 막고 있다. 제2 플랜지(27)의 일부는, 튜브(2)에 대하여, 냉각 부재(19)의 직경 방향의 바깥쪽으로 돌출하도록 배치되어 있다. 즉, 제2 플랜지(27)의 외경은, 튜브 본체(8)의 외경보다도 크다. 제2 플랜지(27) 중, 튜브(2)에 대향하는 타단면(27b)에는, 환상의 홈(27c)이 형성되어 있다. 이 홈(27c)은 제2 플랜지(27)의 내주부에 형성되어 있다. 이 홈(27c)에는 받침 부재(32)가 배치되어 있다.
도 5는 도 4의 V－V선에 따른 단면도이다. 도 4 및 도 5를 참조하여, 받침 부재(32)는, 제2 플랜지(27)와 튜브(2)의 사이에 개재하는 부재로서 설치되어 있다. 이에 따라, 제2 플랜지(27)와 튜브(2)가 직접 접촉하는 것을 방지하고 있다. 받침 부재(32)는 복수 설치되어 있다. 복수의 받침 부재(32)는 제2 플랜지(27)의 둘레 방향으로 등간격으로 배치되어 있다. 인접하는 받침 부재(32, 32) 간에는, 간극(CL1)이 형성되어 있다. 각 받침 부재(32)의 표면은, 마찰 저항을 저감하기 위한 재료에 의해 형성되어 있다. 이러한 재료로서, PTFE(PolyTetraFluoroEthylene) 등의 불소 수지 재료를 예시할 수 있다.
각 받침 부재(32)는 두께가 수mm 정도의 판 부재를 이용하여 형성된, 원호형상의 부재이다. 또한, 도 5에서는, 복수의 받침 부재(32) 중, 일부 받침 부재(32)를 도시하고 있다. 각 받침 부재(32)는, 고정 부재로서의 나사 부재(33)를 이용하여, 홈(27c)에 고정되어 있다. 각 받침 부재(32)는 제2 플랜지(27)로부터 튜브(2)를 향해 돌출되어 있고, 튜브 본체(8)의 일단면(8a)에 접촉하고 있다. 도 4를 참조하여, 제2 플랜지(27), 제1 플랜지(26), 내통(24) 및 외통(25)에 의해, 냉각수로(28)가 형성되어 있다.
냉각수로(28)는 원통형상의 수로로서 설치되어 있다. 냉각수로(28)는 도시하지 않은 열 교환기와 접속되어 있다. 냉각수로(28)는, 이 열교환기로 냉각된 냉각수가 통과하도록 구성되어 있다. 이에 따라, 냉각수로(28)에 인접하여 배치된 제1 시일 부재(21), 및 제2 시일 부재(22)가 냉각된다.
제2 시일 부재(22)를 가지는 시일 장치(23)는, 튜브(2)와, 냉각 부재(19)의 사이를 시일하기 위해서 설치되어 있다. 시일 장치(23)는, 튜브(2)의 개구부(11)를 둘러싸도록 배치되어 있다. 시일 장치(23)는 제2 시일 부재(22)와 시일 유지 부재(35)를 가지고 있다.
제2 시일 부재(22)는, 냉각 부재(19)와 튜브(2)의 사이를, 기밀하게 시일하기 위해 설치되어 있다. 본 실시 형태에서, 제2 시일 부재(22)는 제1 시일 부재(21)와 동일한 구성을 가지고 있다. 즉, 제2 시일 부재(22)는, 합성고무 등을 이용하여 형성된 O링이며, 탄성 및 가요성을 가지고 있다. 제2 시일 부재(22)는 환상으로 형성되어 있다. 제2 시일 부재(22)는, 튜브 본체(8)의 개구부(11)의 외주면에 끼워져 있다. 제2 시일 부재(22)는 튜브 본체(8)의 일단면(8a)에 인접하여 배치되어 있다. 또한, 제2 시일 부재(22)는 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)에 접촉하고 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22)는, 튜브 본체(8)의 개구부(11)와 제2 플랜지(27)의 사이의 공간을, 튜브 본체(8)의 외측으로부터 막고 있다. 제2 시일 부재(22)는 시일 유지 부재(35)에 의해 유지되어 있다.
시일 유지 부재(35)는 원환상으로 형성되어 있고, 제2 플랜지(27)에 고정되어 있다. 시일 유지 부재(35)의 내주부는, 제2 시일 부재(22)를, 튜브 본체(8) 측으로 가압하고 있다. 상기의 구성을 가지는 시일 장치(23)와는 길이 방향(L1)으로 이격한 위치에 도어 장치(20)가 배치되어 있다.
도 1 및 도 3을 참조하여, 도어 장치(20)는, 도어(36)와, 도어 지지 장치(37)를 가지고 있다.
도어(36)는, 냉각 부재(19)의 제1 플랜지(26)의 내측 공간을 길이 방향(L1)의 한쪽 측으로부터 막기 위해 설치되어 있다. 환언하면, 도어(36)는, 튜브(2)의 개구부(11)를, 길이 방향(L1)의 한쪽 측으로부터 막기 위해서 설치되어 있다. 도어(36)는, 예를 들면, 금속판을 이용하여 형성되어 있다. 본 실시 형태에서, 도어(36)는, 원판상으로 형성되어 있다. 도어(36)의 외주부(36a)는, 냉각 부재(19)의 제1 플랜지(26)에 접촉 가능하게 구성되어 있다. 도어(36)의 외주부(36a)가 제1 플랜지(26)에 접촉한 경우, 도어(36)와 제1 플랜지(26)의 사이는, 제1 시일 부재(21)에 의해 기밀하게 시일된다. 이 도어(36)는, 도어 지지 장치(37)에 의해 지지되어 있다. 도어 지지 장치(37)는, 도어(36)를 변위 가능하게 지지하기 위해서 설치되어 있다.
도어 지지 장치(37)는, 지주(38)와, 구동 장치(39)를 가지고 있다.
지주(38)는 상하 방향(Z1)(연직 방향)으로 연장되는 부재로서 설치되어 있다. 지주(38)는 도어(36)에 고정되어 있다. 지주(38)는 구동 장치(39)에 접속되어 있다.
구동 장치(39)는 지주(38) 및 도어(36)를 변위시키기 위해서 설치되어 있다. 구동 장치(39)는 지주(38)를, 길이 방향(L1)으로 변위 가능하게 구성되어 있다. 또한, 구동 장치(39)는, 지주(38)를, 길이 방향(L1)과 직교하는 방향으로 변위 가능하게 구성되어 있다. 이에 따라, 구동 장치(39)는 제1 플랜지(26)로 둘러싸인 공간을 개방하도록 도어(36)를 변위시킬 수 있다. 즉, 구동 장치(39)는, 도어(36)를 개폐할 수 있다. 도어(36)가 열린 상태에서, 피처리물(100)을, 튜브(2)에 대하여 넣고 뺄 수 있다. 도어(36)는 차열부(5)를 유지하고 있다.
차열부(5)는, 히터(3)로부터의 열이, 제2 시일 부재(22), 냉각 부재(19), 제1 시일 부재(21), 및 도어(36) 등에 전해지는 것을 억제하기 위해서 설치되어 있다. 차열부(5)는 튜브(2)의 개구부(11)의 주변에 배치되어 있다.
도 3을 참조하여, 차열부(5)는, 스테이(41, 42)와 차열 부재(43)를 가지고 있다.
스테이(41, 42)는, 차열 부재(43)를 지지하기 위해서 설치되어 있다. 각 스테이(41, 42)는 도어(36)에 고정되어 있고, 도어(36)로부터, 길이 방향(L1)을 따라, 튜브(2)측으로 연장되어 있다. 각 스테이(41, 42)는 길이 방향(L1)으로 늘어서는 복수의 오목부(44)를 가지고 있다. 오목부(44)는 위쪽을 향해 개방되어 있고, 차열 부재(43)를 끼우는 것이 가능하다.
차열 부재(43)는 열 배리어를 형성하기 위해서 설치되어 있다. 차열 부재(43)는 1 또는 복수 개 설치되어 있다. 본 실시 형태에서, 차열 부재(43)는 7개 설치되어 있다. 각 차열 부재(43)는 원판상으로 형성되어 있다. 복수의 차열 부재(43)가, 길이 방향(L1)으로 이격하여 배치되어 있다. 각 차열 부재(43)에는 복수의 관통공이 형성되어 있다. 이러한 관통공에, 대응하는 스테이(41, 42)가 삽입되어 있다. 또한, 이들 관통공의 둘레 가장자리부는 오목부(44)에 끼워져 있다. 이에 따라, 각 차열 부재(43)는 길이 방향(L1)으로 위치 결정되어 있다. 각 차열 부재(43)는 오목부(44)에 떼어낼 수 있도록 끼워맞춰져 있다. 이에 따라, 길이 방향(L1)에 있어서의 각 차열 부재(43)의 위치를 용이하게 변경할 수 있다. 또한, 스테이(41, 42)에 부착되는 차열 부재(43)의 수를 용이하게 변경할 수 있다. 그 결과, 차열부(5)가 열을 차단하는 정도를 용이하게 조정할 수 있다. 차열부(5)에는 서브 히터(45)가 배치되어 있다. 서브 히터(45)는 발열체를 가지고 있고, 튜브(2) 내의 분위기를 가열 가능하게 구성되어 있다.
서브 히터(45)는, 한쌍의 제1 부분(45a, 45a)과 제2 부분(45b)을 가지고 있다.
각 제1 부분(45a, 45a)은, 길이 방향(L1)을 따라 연장되는 부분으로서 설치되어 있다. 각 제1 부분(45a, 45a)은, 도어(36)에 형성된 관통공을 관통하고, 또한, 각 차열 부재(43)에 형성된 관통공을 관통하고 있다. 각 제1 부분(45a, 45a)의 선단부에, 제2 부분(45b)이 접속되어 있다. 제2 부분(45b)은, 상하 방향(Z1)으로 연장되어 있다. 제2 부분(45b)은 각 차열 부재(43)에 대하여, 튜브(2)의 안쪽(길이 방향(L1)의 한쪽 측)에 배치되어 있다. 제2 부분(45b)은 발열체를 가지고 있다. 제2 부분(45b)의 발열체는 예를 들면, 팬 장치(6)의 주변 온도가 소정치 미만인 경우에 발열하도록 구성되어 있다. 상기의 구성을 가지는 서브 히터(45), 및 차열부(5)에 인접한 위치에, 팬 장치(6)가 배치되어 있다.
팬 장치(6)는 도어(36)에 지지되어 있고, 도어(36)와 함께 변위 가능하다. 팬 장치(6)는 튜브(2) 내에 기류(A1)를 일으키게 하기 위해서 설치되어 있다.
팬 장치(6)는, 전동 모터(동력원)(46)와, 전동 장치(47)와, 샤프트 유닛(48)과, 팬(49)과, 베어링 유닛(50)을 가지고 있다.
전동 모터(46)는, 예를 들면, 지주(38)에 지지되어 있다. 전동 모터(46)의 출력은, 전동 장치(47)를 통하여 샤프트 유닛(48)에 전달된다.
전동 장치(47)는, 예를 들면, 풀리 기구이다. 전동 장치(47)는, 제1 풀리(51)와, 제2 풀리(52)와, 벨트(53)를 가지고 있다. 제1 풀리(51)는, 전동 모터(46)의 출력축에 일체 회전 가능하게 연결되어 있다. 제2 풀리(52)는 샤프트 유닛(48)에 일체 회전 가능하게 연결되어 있다. 벨트(53)는, 제1 풀리(51)와, 제2 풀리(52)에 감겨져 있다.
샤프트 유닛(48)은 팬(49)의 회전축으로서 설치되어 있고, 회전축선(S1)을 가지고 있다. 회전축선(S1)은, 샤프트 유닛(48)의 중심 축선이기도 하다. 샤프트 유닛(48)은 팬(49)에 연결되어 있고, 전동 모터(46)로부터의 출력을, 팬(49)에 전달한다. 샤프트 유닛(48)은, 도어(36)에 형성된 관통공(36b)을 관통하고 있고, 도어(36)의 외측으로부터, 튜브(2) 내를 향해 연장되어 있다. 샤프트 유닛(48)의 일단부(48a)에, 제2 풀리(52)가 고정되어 있다. 샤프트 유닛(48)은 각 차열 부재(43)에 형성된 관통공(43a)을 관통하고 있다. 샤프트 유닛(48)의 타단부(48b)에는 팬(49)이 동축에 연결되어 있다.
팬(49)은 기류(A1)를 발생함으로써, 튜브(2) 내의 가스를 교반하도록 구성되어 있다. 이에 따라, 튜브(2) 내의 각종 가스의 농도 분포가, 더욱 균등하게 되고, 또한, 튜브(2) 내의 온도가, 더욱 균등하게 된다. 팬(49)은, 튜브(2) 내에 배치되어 있고, 회전축선(S1)을 중심으로 하여 회전 가능하다. 팬(49)과 도어(36)의 사이에 각 차열 부재(43)가 배치되도록 팬(49)은 배치되어 있다.
팬(49)은, 보스부(54)와, 복수의 날개(55)를 가지고 있다.
보스부(54)는, 통형상으로 형성되어 있고, 샤프트 유닛(48)의 타단부(48b)에 끼워맞춰져 있다. 복수의 날개(55)는 보스부(54)의 외주부에 고정되어 있고, 보스부(54)로부터 방사형상으로 연장되어 있다. 상기의 구성에 의해, 팬(49)이 회전하면, 당해 팬(49)으로부터 당해 팬(49)의 직경 방향 바깥쪽을 향하는 기류(A1)가 발생한다. 팬(49)을 회전시키기 위한 샤프트 유닛(48)은 베어링 유닛(50)에 의해, 회전 가능하게 지지되어 있다. 베어링 유닛(50)은 도어(36)의 외측에 배치되어 있다. 즉, 베어링 유닛(50)은 도어(36)의 일단면(36c) 측에 배치되어 있다.
베어링 유닛(50)은, 케이싱(56)과, 플랜지부(57)를 가지고 있다.
케이싱(56)은 원통형상으로 형성되어 있다. 케이싱(56)은 샤프트 유닛(48)에 의해 관통되어 있다. 케이싱(56) 내에는, 베어링(도시하지 않음)이 배치되어 있다. 이 베어링은 샤프트 유닛(48)을 회전 가능하게 지지하고 있다. 케이싱(56)의 일단부에는 플랜지부(57)가 고정되어 있다.
플랜지부(57)는, 고정 부재로서의 나사 부재(58)에 의해, 시트부(59)에 고정되어 있다. 시트부(59)는, 도어(36)의 일단면(36c)에 고정된, 통형상의 부재이다. 시트부(59)는 샤프트 유닛(48)에 의해 관통되어 있다.
도 3 및 도 4를 참조하여, 상기의 구성을 가지는 팬 장치(6)에 있어서, 팬(49)은 팬(49)의 직경 방향 바깥쪽을 향하는 기류(A1)를 발생한다. 이 기류(A1)에 있어서의 기체는, 히터(3)에 의해 가열되어 있고, 고온이다. 이 때문에, 기류(A1)로부터의 열은 제2 시일 부재(22)에 가능한한 전해지지 않는 것이 바람직하다. 또한, 기류(A1)에 있어서의 기체 중에는, 튜브(2) 내에서의 화학 반응 등으로 생긴 미세분말이 존재하고 있다. 이 미세분말이, 기류(A1)를 타고, 튜브(2)에 강한 기세로 충돌하는 것은 억제되어 있는 것이 바람직하다. 여기서, 열처리 장치(1)에는 보호통(7)이 설치되어 있다.
보호통(7)은 팬(49)에서 발생한 기류(A1)로부터의 열이, 제2 시일 부재(22)에 전해지는 것을 억제하기 위해서 설치되어 있다. 또한, 보호통(7)은, 기류(A1)가, 튜브(2)에 세게 닿는 것을 억제하기 위해서 설치되어 있다.
보호통(7)은 전체적으로 원통형상으로 형성되어 있다. 보호통(7)은, 수㎜의 두께를 가지는 박판 부재이다. 보호통(7)은, 튜브(2)의 개구부(11)의 주변에 배치되어 있고, 튜브(2)의 길이 방향(L1)과 평행하게 연장되어 있다. 보호통(7)의 일단부(7a)는 냉각 부재(19)의 제1 플랜지(26)의 내주부에, 고정 부재로서의 나사 부재(63)를 이용하여 고정되어 있다. 보호통(7)의 중간부(7b)는 냉각 부재(19)의 제2 플랜지(27)의 내주부에, 고정 부재로서의 나사 부재(64)를 이용하여 고정되어 있다. 보호통(7)의 타단부(7c)는 튜브(2) 내에 배치되어 있고, 또한, 튜브 본체(8)와는 이격되어 배치되어 있다.
보호통(7)은, 가스 공급구(61)와, 배기구(62)를 가지고 있다. 가스 공급구(61)는, 가스 공급관(도시하지 않음)에 접속되어 있고, 피처리물(100)의 열처리에 이용되는 가스를 튜브(2) 내에 공급하는 것이 가능하다. 가스 공급관은 냉각 부재(19)를 관통하도록 연장되어 있다. 배기구(62)는, 배기관(도시하지 않음)에 접속되어 있고, 튜브(2) 내의 기체를 흡인하도록 구성되어 있다. 또한, 배기관은 냉각 부재(19)를 관통하도록 연장되어 있고, 진공 펌프 등의 흡인 장치에 접속되어 있다.
보호통(7)은, 차열부(5)와, 서브 히터(45)를 둘러싸고 있다. 또한, 보호통(7)은 샤프트 유닛(48)의 일부와 팬(49)을 둘러싸고 있다. 또한, 보호통(7)은, 제2 시일 부재(22)와는, 보호통(7)의 직경 방향으로 늘어서 배치되어 있다. 상기의 구성에 의해, 팬(49)으로부터의 기류(A1)는, 보호통(7)에 닿은 후, 튜브(2)의 길이 방향(L1)과 평행한 방향으로 방향을 바꾸어, 튜브(2)의 안쪽(폐색부(9)측)으로 진행된다.
［열처리 장치의 주요 동작］
도 1을 참조하여, 이상의 구성에 의해, 열처리 장치(1)가, 피처리물(100)을 열처리할 때에는, 우선, 구동 장치(39)의 동작에 의해, 도어(36)가 열린다. 이 상태에서, 피처리물(100)은, 튜브(2) 내에 수납된다. 다음에, 구동 장치(39)의 동작에 의해, 도어(36)가 닫혀진다. 즉, 도어(36)는, 냉각 부재(19)의 개구를 닫음으로써, 튜브(2) 내의 공간을, 열처리 장치(1)의 외부 공간으로부터 차단한다.
다음에, 튜브(2) 내의 공기가, 배기구(62)를 통하여 흡인됨으로써, 튜브(2) 내의 압력은 음압이 된다. 또한, 반응성 가스가, 가스 공급구(61)를 통하여, 튜브(2) 내에 공급된다. 이 상태에서, 히터(3)로부터의 열에 의해, 튜브(2) 내의 분위기가 가열된다. 그리고 전동 모터(46)의 출력에 의해, 팬(49)이 회전한다. 이에 따라, 튜브(2) 내에 기류(A1)가 생겨, 튜브(2) 내의 분위기는 교반된다. 이 상태에서, 피처리물(100)의 표면에 원소가 부착되어, 확산된다. 이때, 냉각수로(28)에는 냉각수가 통과하고 있다. 이에 따라, 제1 시일 부재(21), 및 제2 시일 부재(22)(도 4 참조)의 과열이 억제된다. 또한, 히터(3)로부터의 열은 차열부(5)에 의해, 각 시일 부재(21, 22) 및 도어(36) 등에 전해지는 것이 억제된다.
피처리물(100)에 박막이 형성된 후, 히터(3)에 의한 가열이 정지된다. 그 후, 구동 장치(39)의 동작에 의해, 도어(36)가 열린다. 이 상태에서, 튜브(2) 내의 피처리물(100)은 튜브(2) 내로부터 취출된다.
[시일 장치의 상세한 구성]
다음에, 시일 장치(23)에 있어서의, 더욱 상세한 구성을 설명한다. 도 6은 시일 장치(23)의 주요부를 나타내는 사시도이고, 시일 장치(23)의 일부 도시는 생략하고 있다. 도 4 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 시일 장치(23)는, 제2 시일 부재(22)와, 시일 유지 장치(71)와, 에어 블로우 장치(72)를 가지고 있다.
제2 시일 부재(22)의 구성에 대해서는 전술한 바와 같다. 이 제2 시일 부재(22)는 시일 유지 장치(71)에 의해서 유지되어 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22)는 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)과는, 튜브(2)의 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐 밀착되어 있다. 또한, 제2 시일 부재(22)는 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)과는 튜브(2)의 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐 밀착되어 있다.
시일 유지 장치(71)는 개구부(11)의 외주면(11a)과, 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)의 사이의 영역을, 제2 시일 부재(22)에 의해서, 확실하게 기밀하게 시일시키기 위해서 설치되어 있다. 이에 따라, 튜브(2) 내의 기체는, 간극(CL1)(도 5 참조)을 통하여 튜브(2)의 외부의 공간으로 새는 것이 억제되어 있다. 개구부(11)의 외주면(11a)의 진원도가 낮은 경우에도, 시일 유지 장치(71)는 튜브(2)의 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐, 제2 시일 부재(22)를, 개구부(11)의 외주면(11a)에 접촉시키도록 구성되어 있다.
또한, 이하에서는, 튜브(2)의 둘레 방향(C1)을, 간단히 「둘레 방향(C1)」이라고 하는 경우가 있다. 또한, 튜브(2)의 직경 방향(R1)을, 간단히 「직경 방향(R1)」이라고 하는 경우가 있다. 또한, 길이 방향(L1)은 튜브(2)의 축 방향 및 당해 축방향과 평행한 방향을 포함하고 있다.
시일 유지 장치(71)는, 상술한 시일 유지 부재(35)와, 받침 부재 유지 기구(73)를 가지고 있다.
시일 유지 부재(35)는, 제2 시일 부재(22)를 받침으로써, 당해 제2 시일 부재(22)를 유지하기 위해서 설치되어 있다. 시일 유지 부재(35)는 전체적으로 원환상으로 형성되어 있고, 제2 시일 부재(22)를 둘러싼 상태에서, 제2 플랜지(27)에 고정되어 있다.
시일 유지 부재(35)는 복수의 받침 부재(74)를 가지고 있고, 이들 복수의 받침 부재(74)에 의해서, 원환 형상의 시일 유지 부재(35)가 형성되어 있다.
각 받침 부재(74)는 원호상으로 형성되어 있다. 각 받침 부재(74)의 곡율 중심은 예를 들면, 튜브(2)의 중심축선(S2) 상에 배치되어 있다. 본 실시 형태에서, 중심축선(S2)은 개구부(11)의 내주면의 중심축선이기도 하다. 각 받침 부재(74)는 둘레 방향(C1)에 있어서의 각도 범위가, 수십도 정도로 설정되어 있다. 이들 받침 부재(74)는 둘레 방향(C1)으로 배열되어 있고, 길이 방향(L1)에 있어서의 위치가 맞추어져 있다. 또한, 도 6은 1개의 받침 부재(74)가, 개구부(11)로부터 떼어진 상태를 나타내고 있다. 둘레 방향(C1)에 있어서, 인접하는 받침 부재(74)들은, 서로 접촉하지 않을 정도로, 인접하여 배치되어 있다. 각 받침 부재(74)의 구성은 동일하다.
도 7은 도 6의 일부를 확대하여 나타내는 사시도이다. 도 8은 도 4의 Ⅷ－Ⅷ선에 따르는 단면도이다. 도 4, 도 7 및 도 8을 참조하여, 받침 부재(74)는 스테인리스 등의 금속 재료를 이용하여 형성되어 있다. 받침 부재(74)는 둘레 방향(C1)에 있어서의, 제2 시일 부재(22)의 일부를 받치기 위하여 설치되어 있다.
받침 부재(74)는, 받침 부재 본체(75)와, 홈부(76)와, 플랜지부(77)를 가지고 있다.
받침 부재 본체(75)는 제2 플랜지(27)와는 길이 방향 L1에 인접하여 배치되어 있다. 받침 부재(74)는 원호상의 박판에 의해 형성되어 있다. 받침 부재 본체(75)의 외주부의 위치는 제2 플랜지(27)의 외주부의 위치보다도, 직경 방향 R1의 바깥쪽이다. 받침 부재 본체(75)에는 나사구멍(78)이 형성되어 있다.
나사 구멍(78)은 받침 부재 유지 기구(73)의 후술하는 고정용 나사 부재(83)와 결합하기 위해서 형성되어 있다. 나사 구멍(78)은 받침 부재 본체(75)의 일단면(75a)에 형성되어 있고, 길이 방향(L1)으로 연장되어 있다. 나사 구멍(78)은 둘레 방향(C1)으로 이격하여, 복수(본 실시 형태에서는 1개의 받침 부재(74)에 대향하고 있는 부분에 3개) 형성되어 있다. 복수의 나사 구멍(78)은 둘레 방향(C1)으로 등간격으로 형성되어 있다. 받침 부재 본체(75)의 일단면(75a)은 상하 방향(Z1)으로 평행하게 연장되어 있다. 이 일단면(75a)은 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)과 길이 방향(L1)으로 대향하고 있고, 당해 타단면(27b)과 면접촉하고 있다. 상기의 구성을 가지는 받침 부재 본체(75)의 내주부에 홈부(76)가 형성되어 있다.
홈부(76)는 제2 시일 부재(22)가 배치되는 부분으로서 설치되어 있다. 홈부(76)는 둘레 방향(C1)에 있어서의 받침 부재(74)의 전역에 걸쳐 형성된 원호상의 부분이다. 홈부(76)는 직경 방향(R1)의 안쪽으로 개방되어 있고, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)과 마주 보고 있다. 또한, 홈부(76)는 길이 방향(L1)의 한쪽으로 개방되어 있고, 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)과 마주 보고 있다.
홈부(76)는 제1 가압부(81)와 제2 가압부(82)를 가지고 있다.
제1 가압부(81)는 홈부(76)의 저면으로서 형성되어 있다. 제1 가압부(81)는 원통면의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제1 가압부(81)는 직경 방향(R1)의 안쪽을 향하고 있고, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)과 마주 보고 있다. 제1 가압부(81)는 제2 시일 부재(22)와 접촉하여, 제2 시일 부재(22)를 받치고 있고, 당해 제2 시일 부재(22)를, 개구부(11)의 외주면(11a)을 향해서 가압하고 있다. 즉, 제1 가압부(81)는 길이 방향(L1)에 있어서의 제2 시일 부재(22)의 일부를, 직경 방향(R1)의 안쪽을 향해서 가압하고 있다. 길이 방향(L1)에 있어서, 제1 가압부(81)는 받침 부재 본체(75)의 일단면(75a)과, 제2 가압부(82)의 사이에 위치하고 있다. 제1 가압부(81)는 받침 부재 본체(75)의 일단면(75a)과 연속해 있고, 또한, 제2 가압부(82)와 연속해 있다.
제2 가압부(82)는 홈부(76)의 내측면으로서 형성되어 있다. 제2 가압부(82)는 길이 방향 L1의 한쪽을 향하는 원호상의 면이다. 제2 가압부(82)는 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)과, 길이 방향 L1으로 마주 보고 있다. 제2 가압부(82)는 제2 시일 부재(22)와 접촉하고 있고, 당해 제2 시일 부재(22)를, 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)을 향해서 가압하고 있다. 즉, 제2 가압부(82)는, 제2 시일 부재(22)를, 길이 방향(L1)의 한쪽을 향해 가압하고 있다. 길이 방향(L1)에 있어서의 홈부(76)의 길이는, 자유 상태에 있어서의 제2 시일 부재(22)의 두께(T1)보다도 작게 설정되어 있다. 이에 따라, 제2 가압부(82)는, 제2 시일 부재(22)를, 타단면(27b)을 향해서 가압하는 것이 가능하다. 또한, 자유 상태란, 외력이 작용하고 있지 않은 상태를 말한다.
직경 방향(R1)에 있어서의 홈부(76)의 길이(홈부(76)의 깊이)는 자유 상태에 있어서의 제2 시일 부재(22)의 두께(T1)보다도 작게 설정되어 있다. 이에 따라, 받침 부재(74)의 제1 가압부(81)는 제2 시일 부재(22)를 직경 방향(R1)의 안쪽을 향하여 가압하면서, 개구부(11)의 외주면(11a)과 직접 접촉하는 것이 억제되어 있다. 홈부(76)에 대해서 길이 방향(L1)의 한쪽 측의 위치에 플랜지부(77)가 배치되어 있다.
플랜지부(77)는 받침 부재 유지 기구(73)의 후술하는 위치 결정용 나사 부재(84)와 결합하는 부분으로서 설치되어 있다. 플랜지부(77)는 받침 부재 본체(75)의 외주부로부터, 길이 방향(L1)의 한쪽을 향해서 연장되는 원호상의 부분이다. 플랜지부(77)는 제2 플랜지(27)에 대하여, 직경 방향(R1)의 바깥쪽에 배치되어 있다. 플랜지부(77)는 제2 플랜지(27)와는 직접 접촉하지 않도록, 제2 플랜지(27)로부터 이격하여 배치되어 있다. 플랜지부(77)에는 관통공(77a)이 형성되어 있다.
관통공(77a)은 위치 결정용 나사 부재(84)가 삽입되는 구멍 부분으로서 형성되어 있다. 관통공(77a)은 플랜지부(77)를 직경 방향(R1)으로 관통하고 있다. 관통공(77a)은 받침 부재(74)마다 복수(본 실시 형태에서는 2개) 형성되어 있다. 복수의 관통공(77a)은 둘레 방향(C1)으로 이격하여 배치되어 있다. 상기의 구성을 가지는 받침 부재(74)는 받침 부재 유지 기구(73)에 의해서, 직경 방향(R1)의 위치를 조정 가능한 양태로 유지되어 있다. 즉, 받침 부재(74)는 외주면(11a) 중 당해 받침 부재(74)와 대향하는 부분에 대하여, 가까워지는 방향 및 멀어지는 방향으로 위치 조정되어 있다. 이와 같이, 직경 방향(R1)은 받침 부재(74)에 있어서, 외주면(11a)에 가까워지는 방향 및 외주면(11a)으로부터 멀어지는 방향이다.
받침 부재 유지 기구(73)는, 제2 플랜지(인접 부재)(27)와, 고정용 나사 부재(체결 부재)(83)와, 위치 결정용 나사 부재(위치 결정 부재)(84)를 가지고 있다.
제2 플랜지(27)는 전술한 냉각 부재(19)의 일부를 구성함과 더불어, 받침 부재 유지 기구(73)의 일부를 구성하고 있다. 제2 플랜지(27)는 길이 방향(L1)에 있어서, 각 받침 부재(74)와 인접해 있다. 또한, 제2 플랜지(27)는 길이 방향(L1)에 있어서, 개구부(11)와 인접해 있다. 제2 플랜지(27)에는, 장공(長孔)(86)과, 나사 구멍(87)이 형성되어 있다.
장공(86)은 고정용 나사 부재(83)가 삽입되도록 구성되어 있다. 장공(86)은 직경 방향(R1)으로 가늘고 길게 연장되는 형상으로 형성되어 있고, 제2 플랜지(27)를, 길이 방향(L1)으로 관통하고 있다. 장공(86)은 각 받침 부재(74)에 대응하고, 복수(본 실시 형태에서는 3개) 형성되어 있다. 즉, 1개의 플랜지부(77)에 있어서, 3개의 장공(86)이, 당해 플랜지부(77)와 길이 방향(L1)으로 대향하고 있다. 복수의 장공(86)은 둘레 방향(C1)으로 등간격으로 형성되어 있다. 각 장공(86)에는 고정용 나사 부재(83)의 나사축이 삽입되어 있다. 직경 방향(R1)에 있어서의 각 장공(86)의 길이는 고정용 나사 부재(83)의 나사축의 직경보다도 크다. 장공(86)과는 둘레 방향(C1)의 위치가 다르게 하여, 제2 플랜지(27)의 나사구멍(87)이 형성되어 있다.
이 나사 구멍(87)은 위치 결정용 나사 부재(84)와 나사 결합하기 위하여 형성되어 있다. 나사 구멍(87)은 제2 플랜지(27)의 외주면에 형성되어 있고, 직경 방향(R1)으로 연장되어 있다. 나사 구멍(87)은 각 받침 부재(74)에 대응하여, 복수(본 실시 형태에서는 2개) 형성되어 있다. 즉, 나사 구멍(87)은 1개의 받침 부재(74)마다 복수 설치되어 있다. 복수의 나사 구멍(87)은 둘레 방향(C1)으로 등간격으로 형성되어 있다. 각 나사 구멍(87)에는 위치 결정용 나사 부재(84)의 나사축이 삽입되어 있다.
위치 결정용 나사 부재(84)는 수나사 부재이며, 직경 방향(R1)에 있어서의 받침 부재(74)의 위치를 규정하기 위해서 설치되어 있다. 위치 결정용 나사 부재(84)가 설치되어 있음으로써, 직경 방향(R1)에 있어서의 받침 부재(74)의 위치를 조정할 수 있다. 위치 결정용 나사 부재(84)는 복수 구비되어 있다. 각 위치 결정용 나사 부재(84)의 나사축은 받침 부재(74)의 대응하는 관통공(77a)을 관통하고 있고, 또한, 제2 플랜지(27)의 대응하는 나사 구멍(87)에 나사 결합되어 있다. 각 위치 결정용 나사 부재(84)의 머리부는, 대응하는 받침 부재(74)의 외주면을, 직경 방향(R1)의 외측으로부터 받치고 있고, 당해 받침 부재(74)를, 제2 시일 부재(22)를 향하여 가압하고 있다.
받침 부재(74)는 제2 시일 부재(22)로부터의 탄성 반발력을 받고 있어, 튜브(2)의 외주면(11a)에는 접촉하지 않는다. 각 위치 결정용 나사 부재(84)는 대응하는 나사 구멍(87)에 대하여 회전됨으로써, 당해 나사 구멍(87)에 나사조임되는 양(깊이)이 조정된다. 이에 따라, 직경 방향(R1)에 있어서의 받침 부재(74)의 위치가 조정된다. 상기의 위치 결정용 나사 부재(84)에 의해, 직경 방향(R1)의 위치가 규정된 받침 부재(74)는 고정용 나사 부재(83)에 의해 제2 플랜지(27)에 고정된다.
고정용 나사 부재(83)는 받침 부재(74)를 제2 플랜지(27)에 체결하기 위해서 설치되어 있다. 고정용 나사 부재(83)는 복수 구비되어 있고, 각 받침 부재(74)에 장착되어 있다. 각 고정용 나사 부재(83)의 나사축은 제2 플랜지(27)의 대응하는 장공(86)을 관통하고 있고, 또한, 받침 부재(74)의 대응하는 나사 구멍(78)에 나사 결합되어 있다. 각 고정용 나사 부재(83)에 의한, 제2 플랜지(27)와 대응하는 받침 부재(74)와의 체결이 해제된 상태에 있어서, 각 고정용 나사 부재(83)는 장공(86) 내를 직경 방향(R1)으로 이동 가능하다. 즉, 받침 부재(74)는 제2 플랜지(27)에 대하여, 직경 방향(R1)으로 상대 변위 가능하고, 각 받침 부재(74)는 제2 플랜지(27) 및 제2 시일 부재(22)에 대한 직경 방향(R1)의 위치를 변경 가능하다.
상기의 구성에 의해, 제2 시일 부재(22)는 복수의 받침 부재(74)에 의해서, 튜브(2)의 외주면(11a)에 가압되고, 또한, 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)에 가압되어 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22)는 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)에 접촉하고, 또한 제2 플랜지(27)의 타단면(27b)에 접촉하고 있다. 상기의 구성을 가지는 시일 유지 장치(71)에는 에어 블로우 장치(72)가 부착되어 있다.
도 4를 참조하여, 에어 블로우 장치(72)는 튜브(2)의 외부로부터, 제2 시일 부재(22)의 주위의 영역을 향해, 공기를 불어내기 위하여 설치되어 있다. 에어 블로우 장치(72)는 에어용 관(89)과 스테이(90)를 가지고 있다.
에어용 관(89)은, 예를 들면, 원환상으로 형성되어 있고, 튜브(2)의 외주면(11)의 외주면(11a)을 둘러싸도록 하여 배치되어 있다. 에어용 관(89)은 받침 부재(74)에 인접하여 배치되어 있다. 에어용 관(89)에는 취출구(89a)가 형성되어 있다. 취출구(89a)는 에어용 관(89) 내의 공기를, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)을 향해서 불어내기 위하여 설치되어 있다.
취출구(89a)는 직경 방향(R1)의 안쪽을 향하고 있고, 외주면(11a)과 직경 방향(R1)으로 마주 보고 있다. 취출구(89a)는 둘레 방향(C1)으로 등간격으로 복수 형성되어 있다. 또한, 도 4에서는 복수의 취출구(89a) 중의 1개의 취출구(89a)를 도시하고 있다. 취출구(89a)는 받침 부재(74)와 길이 방향(L1)에 인접하는 위치에 형성되어 있다. 에어용 관(89)은 펌프 등의 기류 발생원(도시하지 않음)과 접속되어 있고, 에어용 관(89) 내를, 공기 등의 기류가 통과하도록 구성되어 있다. 에어용 관(89) 내의 기체는, 기류(A2)로서, 각 취출구(89a)로부터, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)을 향해서 불어내진다. 이에 따라, 각 취출구(89a)로부터의 기류(A2)는 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)에 내뿜어진다. 또한, 기류(A2)는 외주면(11a)과 각 받침 부재(74)의 내주면(74a)의 사이의 간극(CL2)에 도달하여, 제2 시일 부재(22)를 냉각한다. 에어용 관(89)은 스테이(90)를 통하여, 받침 부재(74)에 지지되어 있다.
스테이(90)는 복수 설치되어 있고, 예를 들면, 각 받침 부재(74)에 부착되어 있다. 스테이(90)는 L자형상으로 형성되어 있고, 직경 방향(R1)을 따라서 가늘고 길게 연장되어 있다. 직경 방향(R1)에 있어서의 스테이(90)의 일단부에, 에어용관(89)이 고정되어 있다. 직경 방향(R1)에 있어서의 스테이(90)의 타단부는 스테이용 나사 부재(91)를 이용하여, 대응하는 받침 부재(74)의 외주부에 고정되어 있다. 에어용 관(89)은, 예를 들면, 가요성을 가지는 호스에 의해서 형성되어 있다. 이에 따라, 에어용관(89)은 직경 방향(R1)에 있어서의 받침 부재(74) 위치의 변경에 따라, 휘어지는 것이 가능하다.
［받침 부재의 위치 조정 동작］
도 9는 받침 부재(74)의 위치 조정에 대하여 설명하기 위한 주요부의 단면도이다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)의 진원도는 비교적 낮다. 이 때문에, 중심축선(S2)으로부터 외주면(11a)까지의 거리는 외주면(11a)의 장소에 따라 다르다. 본 실시 형태에서, 튜브(2)의 상단부(2a)에 있어서의 튜브(2)의 두께는 비교적 작다. 즉, 개구부(11)의 외주면(11a)의 상단부와 중심축선(S2)의 사이의 거리(D1)는 비교적 작은 값으로 되어 있다. 한편, 튜브(2)의 하단부(2b)에 있어서의 튜브(2)의 두께는 비교적 크다. 즉, 개구부(11)의 외주면(11a)의 하단부와 중심축선(S2)의 사이의 거리(D2)는 비교적 큰 값으로 되어 있다. 즉, 거리 D1＜거리 D2이다.
튜브(2)의 상단부(2a)에 인접해 있는 받침 부재(74(741))는, 당해 받침 부재(741)의 플랜지부(77)와, 제2 플랜지(27)의 직경 방향(R1)에 있어서의 거리가, 소정의 값(D3)이 되도록, 대응하는 위치 결정용 나사 부재(84)에 의해 위치가 설정되어 있다. 이에 따라, 받침 부재(741)는 제2 시일 부재(22) 중, 당해 받침 부재(741)와 마주 보는 부분을, 직경 방향(R1)의 안쪽, 및 길이 방향(L1)의 한쪽을 향해서 가압하고 있다.
한편, 튜브(2)의 하단부(2b)에 인접해 있는 받침 부재(74(742))는, 당해 받침 부재(742)의 플랜지부(77)와, 제2 플랜지(27)의 직경 방향(R1)에 있어서의 거리가, 소정의 값(D4)이 되도록, 대응하는 위치 결정용 나사 부재(84)에 의해 위치가 설정되어 있다. 이 경우, 거리 D3＜거리 D4이다. 받침 부재(742)는 제2 시일 부재(22) 중, 당해 받침 부재(742)와 마주 보는 부분을, 직경 방향(R1)의 안쪽, 및 길이 방향(L1)의 한쪽을 향해 가압하고 있다.
이상 설명한 것처럼, 열처리 장치(1)에 의하면, 각 받침 부재(74)는, 서로 독립하여, 직경 방향(R1)의 위치를 조정 가능하도록 구성되어 있다. 이 때문에, 각 받침 부재(74)는 제2 시일 부재(22) 중 직경 방향(R1)에 대향하고 있는 부분을, 확실하게, 개구부(11)의 외주면(11a)에 가압할 수 있다. 따라서, 튜브(2)의 튜브 본체(8)의 진원도, 특히 외주면(11a)의 진원도가 낮은 경우에도, 제2 시일 부재(22)를, 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐, 당해 개구부(11)의 외주면(11a)에 확실하게 밀착할 수 있다. 또한, 개구부(11)의 진원도에 따른 형상의 받침 부재를 준비한다는, 수고가 걸리는 작업이 필요없다.
따라서, 열처리 장치(1)에 있어서, 피처리물(100)을 수용하는 튜브(2)의 치수 공차가 큰 경우에도, 튜브(2)를 시일하기 위한 제2 시일 부재(22)를, 확실하게, 또한, 적은 수고로 튜브(2)에 따르게 할 수 있다.
또한, 열처리 장치(1)에 의하면, 각 받침 부재(74)는 고정용 나사 부재(83)를 이용하여, 제2 플랜지(27)에 체결된다. 이러한 간단한 구성으로, 각 받침 부재(74)를 고정할 수 있다. 또한, 고정용 나사 부재(83)에 의한 체결이 해제되어 있는 상태에 있어서, 각 받침 부재(74)를, 제2 플랜지(27)에 대해서 직경 방향(R1)으로 변위시킬 수 있다. 이에 따라, 직경 방향(R1)에 있어서의 각 받침 부재(74)의 위치를 용이하게 조정할 수 있다.
또한, 열처리 장치(1)에 의하면, 제2 플랜지(27)는, 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐, 제2 시일 부재(22)와 접촉하고 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22) 및 제2 플랜지(27)는, 협동하여, 튜브(2)의 개구부(11)의 주위를, 둘레 방향(C1)의 전역에 걸쳐 시일할 수 있다.
또한, 열처리 장치(1)에 의하면, 각 받침 부재(74)는, 제2 시일 부재(22)를, 제2 플랜지(27)에 가압하기 위한 제2 가압부(82)를 가지고 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22)를, 더욱 확실하게 제2 플랜지(27)에 접촉시킬 수 있다. 따라서, 제2 시일 부재(22) 및 제2 플랜지(27)는 튜브(2)의 개구부(11)의 주위를, 더욱 확실하게 시일할 수 있다.
또한, 열처리 장치(1)에 의하면, 받침 부재 유지 기구(73)의 위치 결정용 나사 부재(84)는, 각 받침 부재(74)의 위치를, 직경 방향(R1)에 있어서 규정하도록 구성되어 있다. 이에 따라, 위치 결정용 나사 부재(84)는 제2 시일 부재(22)를 개구부(11)의 외주면(11a)에 밀착시키는데 적합한 위치에, 각 받침 부재(74)를 배치할 수 있다. 이에 따라, 제2 시일 부재(22)를, 더욱 확실하게, 튜브(2)의 개구부(11)의 외주면(11a)에 밀착시킬 수 있다.
또한, 각 위치 결정용 나사 부재(84)는 제2 플랜지(27)의 대응하는 나사 구멍(87)에 결합되어 있고, 또한, 대응하는 받침 부재(74)를 제2 시일 부재(22)에 가압하고 있다. 이러한 구성이면, 위치 결정용 나사 부재(84)를 나사 구멍(87)에 조여넣는 깊이를 조정함으로써, 받침 부재(74)의 위치를, 용이하게 미세 조정할 수 있다. 그 결과, 제2 시일 부재(22)를, 개구부(11)의 외주면(11a)에 적절한 강도로 가압할 수 있다.
이상, 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상술한 실시의 형태에 한정되는 것은 아니다. 본 발명은 특허 청구의 범위에 기재한 것에 한해 다양한 변경이 가능하다.
(1) 상술한 실시 형태에서, 튜브(2)는 원통형상인 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 튜브는 다각형의 통형상이어도 된다. 이 경우, 제2 시일 부재(제2 시일 부재(22)에 상당) 및 시일 유지 부재(시일 유지 부재(35)에 상당)는 튜브의 외주면의 형상에 따른 형상으로 형성된다.
(2) 상술의 실시 형태에서, 제2 시일 부재(22)는, 튜브(2)의 외주면(11a)에 끼워맞춰지는 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 제2 시일 부재(22)는 튜브(2)의 내주면에 끼워맞춰져도 된다. 이 경우, 각 받침 부재(74)의 외주면은 직경 방향(R1)에 있어서의 튜브(2)의 개구부(11)의 안쪽에 배치된다. 각 받침 부재(74)는 제2 시일 부재(22)를 개구부(11)의 내주면을 향하여 가압한다.
(3) 상술의 실시 형태에서, 받침 부재 유지 기구(73)는 고정용 나사 부재(83), 및 위치 결정용 나사 부재(84)를 이용하여, 받침 부재(74)를, 제2 시일 부재(22)에 고정하는 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 받침 부재 유지 기구(73)는 직경 방향(R1)으로 연장되는 레일 등, 나사 부재 이외의 부재를 이용하여 구성되어 있어도 된다.
(4) 상기 실시 형태에서, 고정용 나사 부재(83)는, 받침 부재(74)와, 직경 방향(R1)으로 일체적으로 이동 가능한 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 도 10에 나타내는 바와 같이, 고정용 나사 부재(83)를, 받침 부재(74A)에 대하여, 직경 방향(R1)으로 상대 이동 가능하게 구성해도 된다. 또한, 이하에서는, 도 1~도 9에 나타내는 실시 형태와 다른 점에 대하여 설명하고, 상기 실시 형태와 동일한 구성에 대해서는, 도면에 동일한 부호를 붙여 설명을 생략한다. 받침 부재(74A)에는 장공(86A)이 형성되어 있다. 한편, 제2 플랜지(27A)에는 나사 구멍(78A)이 형성되어 있다. 고정용 나사 부재(83)는 장공(86A)에 삽입되고, 또한, 나사 구멍(78A)에 나사 결합된다. 이 경우, 스테이(90)는 고정용 나사 부재(83)와 접촉하지 않도록 배치된다.
(5) 또한, 도 11에 나타내는 바와 같이, 고정용 나사 부재(83)는 받침 부재(74A), 및 제2 플랜지(27)의 쌍방에 대하여, 직경 방향(R1)으로 상대 이동 가능하게 구성되어 있어도 된다. 이 경우, 고정용 나사 부재(83)는 제2 플랜지(27)의 장공(86), 및, 받침 부재(74A)의 장공(86A)에 삽입된다. 이에 따라, 고정용 나사 부재(83)는, 제2 플랜지(27) 및 받침 부재(74A)를 관통하고 있다. 고정용 나사 부재(83)는 너트 부재(92)와 나사 결합함으로써, 제2 플랜지(27)와 받침 부재(74A)를 체결하고 있다. 이 경우, 직경 방향(R1)에 있어서, 받침 부재(74A)의 위치 조정이 가능한 범위를, 보다 크게 할 수 있다.
(6) 또한, 상기 실시 형태에서는, 받침 부재(74)를 제2 플랜지(27)에 체결하는 체결 부재로서, 고정용 나사 부재(83)를 이용하는 형태를 예로 설명했다. 그러나, 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 받침 부재(74) 및 제2 플랜지(27)를 사이에 끼우는 클립형상의 체결 부재 등, 다른 체결 부재를 이용해도 된다.
(7) 또한, 상기 실시 형태에서는, 튜브(2)에 인접하는 인접 부재로서, 냉각 부재(19)를 이용하는 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 튜브(2)에 인접하는 부재로서, 튜브(2)의 개구부(11)를 막는 도어를 이용해도 된다.
(8) 상술의 실시 형태에서는, 받침 부재(74)가, 제1 가압부(81) 및 제2 가압부(82)를 가지는 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 제1 가압부(81) 및 제2 가압부(82) 중 적어도 한쪽은 생략되어도 된다.
(9) 상술의 실시 형태에서는, 직경 방향(R1)에 있어서의 받침 부재(74)의 위치를, 위치 결정용 나사 부재(84)에 의해서 조정하는 형태를 예로 설명했다. 그러나, 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 위치 결정용 나사 부재(84)는 생략되어도 된다.
(10) 상술의 실시 형태에서는, 제2 시일 부재(22)를, O링에 의해서 형성하는 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 예를 들면, 제2 시일 부재를, 탄성 및 가요성을 가지는, O링 이외의 시일 부재로 형성해도 된다.
(11) 상기 실시 형태에서, 제1 시일 부재(21)는, O링인 형태를 예로 설명했다. 그러나 이대로가 아니어도 된다. 제1 시일 부재(21)는, O링 이외의, 고체형상의 시일 부재 등이어도 된다.
본 발명은 가열된 분위기 하에서 피처리물을 처리하기 위한 열처리 장치로서 폭넓게 적용할 수 있다.
1: 열처리 장치 2: 튜브(수납 용기)
8: 튜브 본체(통형상부) 11: 개구부
11a: 외주면(둘레면) 22: 제2 시일 부재(환상의 시일 부재)
27, 27A: 제2 플랜지(인접 부재) 71: 시일 유지 장치
73: 받침 부재 유지 기구 74, 74A: 받침 부재
82: 제2 가압부(가압부) 83: 고정용 나사 부재(체결 부재)
84: 위치 결정용 나사 부재(위치 결정 부재, 수나사 부재)
87: 나사 구멍 100: 피처리물
C1: 둘레 방향 L1: 길이 방향(축방향)
R1: 직경 방향(둘레면에 가까워지는 방향 및 둘레면으로부터 멀어지는 방향)

Claims (6)

  1. 통형상부를 가지고, 또한, 피처리물을 수용 가능하게 구성된 수납 용기와,
    탄성을 가지는 재료를 이용하여 형성되고, 상기 통형상부의 둘레면에 끼워맞춰진 환상의 시일 부재와,
    상기 시일 부재를 유지하기 위한 시일 유지 장치를 구비하고,
    상기 시일 유지 장치는, 상기 통형상부의 둘레 방향으로 배열된 복수의 받침 부재와, 복수의 상기 받침 부재를 유지하는 받침 부재 유지 기구를 포함하고,
    각 상기 받침 부재는, 상기 둘레 방향에 있어서의 상기 시일 부재의 일부를 받치고 있고,
    상기 받침 부재 유지 기구는 각 상기 받침 부재의 위치를, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향에 있어서 조정 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 받침 부재 유지 기구는, 상기 통형상부의 축방향과 평행한 방향에 있어서 각 상기 받침 부재와 인접하는 인접 부재와, 각 상기 받침 부재마다 설치되어, 대응하는 상기 받침 부재 및 상기 인접 부재를 서로 체결하는 복수의 체결 부재를 포함하고,
    각 상기 받침 부재는, 상기 체결 부재에 의한 체결이 해제되어 있는 상태에서, 상기 인접 부재에 대하여, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향으로 상대 이동 가능한 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 인접 부재는, 상기 둘레 방향의 전역에 걸쳐, 상기 시일 부재와 접촉하고 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    각 상기 받침 부재는, 상기 시일 부재를, 상기 인접 부재를 향해서 가압하기 위한 가압부를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4중 어느 한 항에 있어서,
    상기 받침 부재 유지 기구는, 각 상기 받침 부재의 위치를, 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향에 있어서 규정하기 위한 위치 결정 부재를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 위치 결정 부재는, 각 받침 부재마다 설치된, 복수의 수나사 부재를 포함하고,
    각 상기 나사 부재는, 상기 인접 부재에 형성되어 상기 둘레면에 가까워지는 방향 및 상기 둘레면으로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 나사 구멍에 결합되어 있고, 또한, 대응하는 받침 부재를, 상기 시일 부재를 향하여 가압하고 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
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