KR950005364A - 진공처리장치 및 그 세정방법 - Google Patents

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Abstract

처리실내에서 피처리체에 예컨대 가스처리가 행해지면, 반응생성물이 처리실의 내벽, 지지대 및 구석부 등에 부착한다. 그러나, 본 발명에서는 처리실내에 세정액이 주입되면, 반응생성물이 예컨대 가수분해에 의해 세정액에 용해된다. 그후, 세정액이 처리실로부터 배출된다. 이어, 처리실내가 가열되면서 배기됨으로써, 수증기가 배출되어 소정의 진동도로 된다. 이에따라, 새로이 처리가 개시된다. 따라서, 닦아 내는 작업을 불필요하게 할 수가 있다.
덧붙여서, 처리실의 구석부에 잔류한 반응생성물도 제거할 수 있으므로 오염파 티클의 발생원으로 되는 일도 없고, 오버홀을 불필요하게 할 수가 있다. 말하자면, 완전자동 크리닝이 가능하게 되어 반응실이 대기에 개방될 필요가 없기 때문에, 처리효율이 향상된다.

Description

진공처리장치 및 그 세정방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 관련된 진공처리장치의 평면도이며,
제2도는 제1도에 나타낸 진공처리장치의 개략사시도이며,
제3도는 본 발명의 제1실시예에 관련된 진공처리장치의 CVD처리장치의 단면도이다.

Claims (20)

  1. 기밀한 처리실내의 진공분위기중에서 소정의 처리를 행하는 진공처리장치로, 소정의 처리의 종료후에 처리실내에 세정액을 공급하는 공급수단과, 이 세정액을 처리실로부터 배출하는 세정액 배출수단 및 적어도 소정량의 세정액의 배출후에 처리실내를 가열하여 건조하는 가열수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 소정량의 세정액의 배출후에 처리실내가 가열된 때에, 세정액이 증발한 증기를 배출하기 위한 증기배출수단을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  3. 제2항에 있어서, 세정액의 증기가 증기배출수단에 의해 배출된 후, 처리실내를 진공으로 하는 배기수단을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  4. 제1항에 있어서, 공급수단에 의해 처리실내에 세정액이 공급된 때에, 처리실내의 기체를 대기로 빼내기 위한 통기수단을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  5. 제1항에 있어서, 상가 가열수단은, 처리용기의 벽에 배치된 히터를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  6. 제1항에 있어서, 세정액이 처리실내에 공급된 때에, 이 세정액의 액위를 측정하기 위한 액위계를 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 공급수단이 처리실내에 세정액을 충만한 후, 상기 세정액 배출수단이 세정액을 배출하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 공급수단이 처리실내에 세정액을 공급하면서 액위를 일정하게 유지하고, 상기 세정액 배출수단이 세정액을 배출하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  9. 제1항에 있어서, 세정액의 비저항을 측정하는 측정수단을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 공급수단은 세정액을 처리실내에 주입하는 노즐 또는 샤워헤드의 주입구를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  11. 제1항에 있어서, 처리실내에 있는 세정액을 교반하는 교반수단을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  12. 제1항에 있어서, 처리실내에 있는 세정액을 진동하는 진동수단을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  13. 제1항에 있어서, 가스배기계를 가열하는 가열수단을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  14. 기밀한 처리실내의 진공분위기중에서 소정의 처리를 행하는 진공처리장치를 세정하는 세정방법으로, 소정의 처리의 종료후에 처리실내에 세정액을 공급하는 공정과, 이 세정액을 처리실로부터 배출하는 공정 및 적어도 세정액의 배출후에 처리실내를 가열하여 건조하는 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 세정방법.
  15. 제14에 있어서, 세정액의 배출후에 처리실내가 가열된 때에, 세정액이 증발한 증기를 배출하는 공정을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 세정방법.
  16. 제15항에 있어서, 세정액의 증기가 증기배출수단에 의해 배출된 후, 처리실내를 진공으로 하는 공정을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 세정방법.
  17. 제14항에 있어서, 공급수단에 의해 처리실내에 세정액이 공급된 때에, 처리실내의 기체를 대기로 빼내는 공정을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 세정방법.
  18. 제14항에 있어서, 처리실내에 세정액을 충만한 후 세정액을 배출하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 세정방법.
  19. 제14항에 있어서, 처리실내에 세정액을 공급하면서 액위를 일정하게 유지하면서, 세정액을 배출하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 세정방법.
  20. 제14항에 있어서, 세정액의 비저항을 측정하여 세정액의 공급의 종점을 판별하는 공정을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 세정방법.
    ※참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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