JPS6254443A - ウエ−ハ等の乾燥方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はウェーハ、ガラス基板（マスク）などの乾燥方
法およびその実施に使用する乾燥装置にｌ１る。

（従来の技術） 従来、ウェーハの乾燥は多数のウェーハをキ１Ｆリアに
収めた状態で洗浄器に収容し、その洗浄機を回転させな
がら水流を噴射さけて水洗いをし、その後に水流に代え
てエアー又は熱風を噴射させτウェーハを乾燥させる方
法が採られていた。

（発明が解決しようとする問題点） ト記エアー又は熱風噴射による従来乾燥法においては、
ウェーハの表面にイ・１若せる微細な塵埃の除去が必ず
しら」−分でなく清浄なウェーハが１５１られないとと
もに洗浄器（乾燥器でもある）を回転させるＩこめにつ
Ｔ−ハを支）４する−１−ヤリアの構造が複雑堅固なも
のとなり、それが乾燥時間短縮の妨げとなっていた。

本発明は断る従来不具合を解消して洗浄機能を右して清
浄なウェーハ等の被乾燥材が得られるとともに乾燥作業
性を高める乾燥方法および装置を提供せんとするもので
ある。

（構成） 斯る本発明の乾燥り法は、器体内に支持具を介して被乾
燥材を収容し、器体内に温水を送気して該温水に被乾燥
材を浸した俊、温水面を下降させながら温水を排出する
とと６に器体内を真空引ぎすることを特徴どし、本発明
の乾燥装置は、開閉自在な器体に送入口および抽出口を
設け、その送入口および排出口に夫々バルブを有する流
路を介し温水器を接続して環状温水路を構成させるとと
ｂに前記送入口にバルブを有する送気手段を接続し、排
出口にバルブを有する吸気手段を接続せしめたことを特
徴とする。

本発明の実施例を訳明すれば、図面はウェーハの乾燥装
置を示し、図中（ａ）は環状温水路。

（ｂ）は送気路、（Ｃ）（Ｃ”）は吸気路である。

温水路（ａ）は器体（１）、温水器（２）。

フィルター（３）、バルブいハ）（Ｖ２）を流路中に配
設して構成され、温水器（２）により加熱された７０〜
８５℃の温水をバルブ（ｖｌ）の聞き時に器体（１）へ
供給する。

器体（１）は開閉自在な薔（１ａ）を備え、その閉蓋時
には器体（１）内を密封せしめ、前記蓋（１ａ）には送
入口（４）を設け、該送入口に前記温水路（ａ）の送入
路を接続するとと６にその送入路を介しＣ前記送気路（
ｂ）　Ｊ３　Ｊ：び吸気路（Ｃｏ）を夫々接続する。

又、器体（１）はその底面に排出口（５）を設け、該排
出口に前記温水路（ａ）の排出路を接続するとともにそ
の排出路を介して前記吸気路（Ｃ）を接続する。

送気路（ｂ）はバルブ（ＶＳ）を有し、そのバルブ聞き
時に、図示しない供給源より窒素ガス又は悄浄な空気を
送入口（／Ｉ）を介して器体（１）へ送気するようにす
る。

吸気路（ｃ）（ｃ’　）は共に吸気ポンプ（６）に接続
され、各吸気路（Ｃ）（Ｃ’　）には夫々バルブ（Ｖ４
　）　　（ＶＳ　）を備え、そのバルブ開き時にポンプ
（６）によって器体（１）内を吸気するようにする。

尚、図中の（９）は器体（１）を加熱するヒーターであ
る。

而してウェーハ（７）（７）・・・はキャリア（８）内
に間隔をおいて並列状に支持され、そのキャリア（８）
を前記器体〈１）内に収容してウェーハを乾燥さｕｌそ
の乾燥工程は次の通りである。

■　バルブ（Ｖｌ）〜（ｖ５）が閉じた状態でキトリア
（８）を器体（１）内に収容し蓋（１ａ）を閉じる。

■　バルブいハ）を開いて温水を器体（１）内に送入し
、ウェーハ（７）（７）・・・仝休が温水に浸ったとこ
ろでバルブ（ｖｌ）を閉じる。

■　バルブ（■１〉が閉じたｔ後又は所定時間経過後に
バルブ（ｖ２）を聞き温水を器体（１）より排出し、温
水面をゆるやかに下降させる。

■　温水が器体（１）より排出し終えたところでバルブ
（Ｖ２）を閉じ、バルブ（Ｖ４）（ｖ５）を開いて器体
（１）内を真空引きする。

この真空引きによりウェーハ（７）（７）・・・は乾燥
する。。

■　その後、バルブ（Ｖ４　）　　（Ｖｓ　）を閉じ、
バルブ（ＶＳ）を開きお体（１）内に°窒素ガスを送気
して器体（１）内を大気圧に戻し、バルブ（ｖ３）を閉
じた後に４（１ａ）を聞いて４−ヤリア（８）を取り出
し、−回の乾燥作業を終了する。

尚、上記作業工程中、■稈■の開始直後よりバルブ（■
５）を開き、吸気路（Ｃｏ）より器体（１）内の蒸気を
排出させることもよく、そ　〜れにより工程■の真空引
きの完了を望めることができる。

（効果） 本発明の乾燥方法によれば、被乾燥材の表面に残留せる
付着物が温水により剥離し、温水面の下降とともに流下
して被乾燥材から除去することができ、したがって乾燥
時に洗浄作用を伴って清浄なウェーハ等の被乾燥材に仕
上げることができ、また温水の排出後頁空引き１′るの
で乾燥時間を短縮することができる。

又、器体を回転させない静止型式としたので、被乾燥材
を支持する支持具の構造を簡素化でき、例えばウェーハ
の場合には乾燥以後の工程に使用覆る拡散炉あるいはＣ
ＶＤ炉用のボートを」ｋ用することも可能となる。

そして、本発明装置によれば上記のｈ法を実棒して同様
の作用効果が得られ、さらに温水を循Ｅ′ＡさＶる温水
路方式としたので温水の無駄が少ないとともに作業性に
優れる装置を提供しＹする。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明１Ａ置を示すブロック図である。 図中、（ａ）は環状温水路、（ｂ）は送気路、（Ｃ）は
吸気路、（１）は器体、（１ａ）は益、（２）は温水器
、（３）はフィルター、（４）は送入口、（５）は排出
口、（６）は吸気ポンプ、（７）はウェーハ、（８）は
キャリア、（Ｖｌ）〜（Ｖ５）はバルブである。 特許出願人　エフ・ニス・アイ　ジＶパン株式会社

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）器体内に支持具を介して被乾燥材を収容し、器体
   内に温水を送入して該温水に被乾燥材を浸した後、温水
   面を下降させながら温水を排出するとともに器体内を真
   空引きすることを特徴とするウェーハ等の乾燥方法。
2. （２）開閉自在な器体に送入口および排出口を設け、そ
   の送入口および排出口に夫々バルブを有する流路を介し
   温水器を接続して環状温水路を構成させるとともに前記
   送入口にバルブを有する送気手段を接続し、排出口にバ
   ルブを有する吸気手段を接続せしめたウエーハ等の乾燥
   装置。