JPH0727883B2

JPH0727883B2 - ウェーハ等の乾燥装置

Info

Publication number: JPH0727883B2
Application number: JP14499785A
Authority: JP
Inventors: 保目崎
Original assignee: エフエスアイインターナショナルインク; 保目崎
Priority date: 1985-07-01
Filing date: 1985-07-01
Publication date: 1995-03-29
Anticipated expiration: 2010-03-29
Also published as: JPS6254443A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明はウェーハ、ガラス基板（マスク）などの乾燥装
置に関する。

（従来の装置）従来、ウェーハの乾燥装置には、多数のウェーハをキャ
リアに収めた状態で洗浄器に収容し、その洗浄器を回転
させながら水流を噴射させて水洗いをし、その後に水流
に代えてエアー又は熱風を噴射させてウェーハを乾燥さ
せるようにしたもの（スピン乾燥）、或いは有機溶剤を
用いた沸騰洗液（洗液）にウェーハを浸漬して洗浄し、
引上げた後にエアー又は熱風を噴射させてウェーハを乾
燥させるようにしたもの（IPA乾燥）がある。

（発明が解決しようとする問題点）上記スピン乾燥を行なう装置にあっては、ウェーハの表
面に付着せる微細な塵埃の除去が必ずしも十分ではな
く、清浄なウェーハが得られないと共に、洗浄器を回転
させながら洗浄及び乾燥を行なうようにしているため、
ウェーハを支持するキャリアの構造が複雑堅固なものと
なって乾燥時間短縮の妨げとなるばかりか、回転中にウ
ェーハが破損等する虞れもあった。

また、IPA乾燥を行なう装置にあっては、その洗浄液と
して使用される有機溶剤がカーボンを含有するため、ウ
ェーハに悪影響を及ぼすことは必至であり、しかも、有
機溶剤として揮発性溶剤を使用した場合は安全性の面で
も問題がある。

尚、特開昭53−122975号には、温湯中に浸漬して加熱し
た後、該温湯中から取り出し、空気を流通させて乾燥す
るという有機溶剤を使用しないものが記載されている
が、このものは金属粒を乾燥するためのものであり、こ
のように温湯中に浸漬した後に取り出すというだけで
は、数μ単位の極めて微細な塵埃は到底完全に除去でき
るものではなく、ウェーハ等の乾燥装置のようにウェー
ハ等の表面に付着せる数μ単位の極めて微細な塵埃まで
も除去しなくてはならないような場合には到底適用でき
るものではない。

本発明は、斯る従来事情に鑑みなされたもので、ウェー
ハ等の被乾燥材の破損等の虞れがなく、しかも安全性が
高く、清浄なウェーハ等の被乾燥材が得られる乾燥作業
性の高い乾燥装置を得ることを目的とする。

（問題点を解決するための手段）上記の問題点を解決するために、本発明乾燥装置は、開
閉自在な器体に送入口および排出口を設け、その送入口
および排出口に夫々バルブを有する流路を介し温水器を
接続して環状温水路を構成させると共に前記送入口にバ
ルブを有する送気手段を接続し、排出口にバルブを有す
る吸気手段を接続せしめ、前記器体内に被乾燥材を収容
し、前記温水路のバルブ動作により器体内に温水を送入
して被乾燥材を温水に浸した後、温水面をゆるやかに下
降させながら温水を排出すると共に、前記吸気手段によ
り器体内を真空引きすることを特徴とする。

（実施例）本発明の実施例を説明すれば、図面はウェーハの乾燥装
置を示し、図中（ａ）は環状温水炉路、（ｂ）は送気
路、（ｃ）（ｃ′）は吸気路である。

温水路（ａ）は器体（１）、温水器（２）、フィルター
（３）、バルブ（V₁）（V₂）を流路中に配設して構成さ
れ、温水器（２）により加熱された70〜85℃の温水をバ
ルブ（V₁）の開き時に器体（１）へ供給する。

器体（１）は開閉自在な蓋（1a）を備え、その閉蓋時に
は器体（１）内を密封せしめ、前記蓋（1a）には送入口
（４）を設け、該送入口（４）に前記温水路（ａ）の送
入路を接続すると共に、その送入路を介して前記送気路
（ｂ）及び吸気路（ｃ′）を夫々接続する。

また、器体（１）はその底面に排出口（５）を設け、該
排出口に前記温水路（ａ）の排出路を接続すると共に、
その排出路を介して前記吸気路（ｃ）を接続する。

送気路（ｂ）はバルブ（V₃）を有し、そのバルブ開き時
に、図示しない供給源より窒素ガス又は清浄な空気を送
入口（４）を介して器体（１）へ送気するようにする。

吸気路（ｃ）（ｃ′）は共に吸気ポンプ（６）に接続さ
れ、各吸気路（ｃ）（ｃ′）には夫々バルブ（V₄）
（V₅）を備え、そのバルブ開き時にポンプ（６）によっ
て器体（１）内を吸気するようにする。

尚、図中の（９）は器体（１）を加熱するヒーターであ
る。

而して、ウェーハ（７）（７）…はキャリア（８）内に
間隔をおいて並列状に支持され、そのキャリア（８）を
前記器体（１）内に収容してウェーハを乾燥させるが、
その乾燥工程は次の通りである。

バルブ（V₁）〜（V₅）が閉じた状態でキャリア
（８）を器体（１）内に収容し、蓋（1a）を閉じる。

バルブ（V₁）を開いて温水を器体（１）内に送入
し、ウェーハ（７）（７）…全体が温水に浸ったところ
でバルブ（V₁）を閉じる。

バルブ（V₁）が閉じた直後又は所定時間経過後にバ
ルブ（V₂）を開いて温水を器体（１）より排出し、温水
面をゆるやかに下降させる。

温水が器体（１）より排出し終えたところでバルブ
（V₂）を閉じ、バルブ（V₄）（V₅）を開いて器体（１）
内を真空引きする。

その後、バルブ（V₄）（V₅）を閉じ、バルブ（V₃）
を開いて器体（１）内に窒素ガスを送入して器体（１）
内を大気圧に戻し、バルブ（V₃）を閉じた後に蓋（1a）
を開いてキャリア（８）を取り出し、一回の乾燥作業を
終了する。

尚、上記作業工程中、工程の開始直後よりバルブ
（V₅）を開き、吸気路（ｃ′）より器体（１）内の蒸気
を排出させることもよく、それにより工程の真空引き
の完了を早めることができる。

（効果）本発明装置によれば、被乾燥材の表面に残留せる付着物
が温水により剥離し、しかもその温水面はゆるやかに下
降することにより、被乾燥材表面の大粒な水滴が流下し
て略完全に除去され（目視で略0.5mmφ以上の水滴が除
去できることが確認された）、乾窓時に洗浄作用を伴な
って清浄なウェーハ等の被乾燥材に仕上げることができ
る。

また、器体を回転させない静止型式としたので、被乾燥
材を支持する支持具の構造を簡素化でき、例えばウェー
ハの場合には乾燥以後の工程に使用する拡散炉あるいは
CVD炉用のボートを兼用することも可能となると共に、
洗浄・乾燥中に被乾燥材が破破損等する虞れもない。

更に、環状温水路により温水を循環させる構成としたこ
とにより温水の無駄が少ないと共に、洗浄液として有機
溶剤を使用する必要もないため、低コスト化を図ること
ができる上に安全性も高い。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明装置を示すブロック図である。図中、（ａ）は環状温水路、（ｂ）は送気路、（ｃ）は
吸気路、（１）は器体、（1a）は蓋、（２）は温水器、
（３）はフィルター、（４）は送入口、（５）は排出
口、（６）は吸気ポンプ、（７）はウェーハ、（８）は
キャリア、（V₁）〜（V₅）はバルブである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者目崎保東京都狛江市東野川４−１―３エフ・エス・アイジヤパン株式会社内 (56)参考文献特開昭57−209676（ＪＰ，Ａ) 特開昭53−122975（ＪＰ，Ａ) 実開昭58−196837（ＪＰ，Ｕ) 実開昭58−223340（ＪＰ，Ｕ)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】開閉自在な器体に送入口および排出口を設
け、その送入口および排出口に夫々バルブを有する流路
を介し温水器を接続して環状温水路を構成させると共に
前記送入口にバルブを有する送気手段を接続し、排出口
にバルブを有する吸気手段を接続せしめ、前記器体内に
被乾燥材を収容し、前記温水路のバルブ動作により器体
内に温水を送入して被乾燥材を温水に浸した後、温水面
をゆるやかに下降させながら温水を排出すると共に、前
記吸気手段により器体内を真空引きするウェーハ等の乾
燥装置。