KR930006479A - 액정 표시장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 모놀리식(monplithic)형 액정표시장치는 제1기판과, 제1기판상에 매트릭스로 배열되어 액정표시장치의 표시영역을 형성하고, 각각 화소전극과, 이 화소전극에 결합된 스위칭트랜지스터를 포함하는 복수의 표시소자와, 제1기판상에 형성되고, 표시영역에 접속되는 동시에, 수평구동부 및 수직구동부를 포함하는 구동회로와, 제1기판과 완전히 대향하는 제2기판과, 제1 및 제2기판사이에 배치되는 액정층으로 이루어진다. 표면안정화층이 형성되어 표시영역 또는 화소트랜지스터 및 구동회로를 피복한다.

Description

액정 표시장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 1실시예에 따른 액정표시장치의 개략적인 사시도,
제2a 및 제2b도는 각각 제1도에 나타낸 액정표시장치의 구동회로 및 화소 스위치를 나타낸 부분단면도,
제4도는 내지 제20도는 제1도에 나타낸 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 공정을 나타낸 개략도.

Claims (19)

  1. 제1기판과, 제1기판상에 매트릭스로 배열되어 액정표시장치의 표시영역을 형성하고, 각각 화소전극과, 이 화소전극에 결합된 스위칭트랜지스터를 포함하는 복수의 표시소자와, 제1기판상에 형성되고, 표시영역에 접속되는 동시에, 수평구동부 및 수직구동부를 포함하는 구동회로와, 제1기판과 완전히 대향하는 제2기판과, 제1 및 제2 기판사이에 배치되는 액정표시장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 구동회로는 스위칭트랜지스터의 구조와 같은 구조를 갖는 트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  3. 제2항에 있어서, 또한 적어도 스위칭트랜지스터 및 트랜지스터의 게이트 전극상에 내부절연막과, 이 내부절연막상의 표면안정화층을 포함하고, 상기 표면안정화충은 이산화실리콘 또는 PSG로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 표시영역 및 구동회로는 표면안정화층으로 피복되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 표면안정화층은 산화실리콘으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 산화실리콘은 이산화실리콘과 인을 함유하는 SiO2의 군으로 선택되는 재료인 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  7. 제4항에 있어서, 상기 표시영역 및 구동회로는 표면안정화층을 통해서 방위층으로 피복되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  8. 제4항에 있어서, 상기 표면안정화층은 제1 표면안정화층과, 이 제1 표면 안정화층상에 선택적으로 증착된 제2표면안정화층으로 구성되고, 상기 제1표면안정화층은 SiO2또는 PSG로 구성되며, 상기 제2표면안정화층은 수소 원자를 함유하는 질화실리콘으로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제2표면안정화층은 표시영역과 구동회로의 전기 접속부상에 증착되는 것을 액정표시장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 질화실리콘은 플라즈마증착에 의해 형성된 SiN, SiO2또는 SiONP로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 표시소자의 각각 스위칭트랜지스터와 결합된 저장 캐패시터를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  12. 제1기판과, 제1기판의 내부표면상에 매트릭스로 배열되고, 각각 화소전극과, 이 화소전극에 결합된 화소트랜지스터를 포함하는 복수의 표시소자와, 제1기판상에 직접 형성되고, 표시소자에 접속되고, 박막트랜지스터를 포함하는 구동수단과, 제1기판에 대향하고, 내부표면상에 전극을 갖는 제2기판과, 화소트랜지스터와 박막트랜지스터상에 배치되는 표면안정화층과, 제1 및 제2기판사이에 배치되는 액정층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 표면안정화층은 산화실리콘으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 산화실리콘은 SiO2와 PSG의 군에서 선택되는 재료인 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  15. 제12항에 있어서, 상기 표면안정화층은 제1표면안정화층과, 이 제1표면안정화층상에 선택적으로 형성된 제2 표면안정화층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 제1표면안정화층은 SiO2와 PSG로 구성되고, 상기 제2표면안정화층은 수소원자를 함유하는 플라즈마증착막으로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 플라즈마증착막은 SiO, SiO2, SiN, SiON, OSG 또는 SiONP로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  18. 제15항에 있어서, 상기 제2표면안정화층은 내부절연막을 통해서 화소트랜지스터와 박막트랜지스터의 게이트전극상에 증착되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 제2표면안정화층은 표시영역과 구동회로의 전기 접속부상에 증착되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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