KR900005613A - 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 전기 광학 표시 장치 - Google Patents

박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 전기 광학 표시 장치

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Abstract

내용 없음

Description

박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 전기 광학 표시 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1a 및 1b도는 TFT의 제1실시예에 따른 제조상의 상이한 스테이지를 단위 표시없이 도시한 단면도.
제3도는 공지된 TFT와 비교하여 본 발명에 따라 제조된 TFT에 대한 조명하에서의 게이트 전압과 누수 및“온” 전류사이의 관계를 도식적으로 도시한 도면.
제4도는 본 발명에 따른 액티브 매트릭스가 어드레스된 액정 표시 장치의 대표적인 표시 소자와 관련 TFT 및 어드레스 도선을 도시한 평면도.

Claims (17)

  1. 게이트 절연층과, 채널이 제공되는 진성 반도체층과, 소스 및 드레인 접촉부 영역이 형성되는 도프된 반도체층과, 표면 안정층을 겹쳐진 관계로 구비하는 다층 구조를 게이트 전극을 수반하는 기판상에 형성시키는 단계를 포함하는 박막 트랜지스터(TFT) 제조 방법에 있어서, 도프된 반도체층이 진성 반도체층의 채널 영역위에 펼쳐진 층으로서 다층 구조에 제공되며, 상기 영역위에 놓인 도프된 반도체층의 일부분은 추후에 고저항성 부분으로 전환되어 상기 층의 영역을 형성하는 소스 및 드레인 접촉부를 분리시키는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 진성 및 도프된 반도체층으로 사용되는 반도체 재질은 비결정질 실리콘을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서, 진성 및 도프된 반도체층으로 사용되는 반도체 재질은 폴리 실리콘을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 제조 방법.
  4. 선행항중 어느 한 항에 있어서, 상기 도프된 반도체층의 영역은 보상 도핑 주입에 의해 고저항성 영역으로 전환되는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서, 윈도우가 표면 안정층에 형성되어서, 접촉부 재질이 소스 및 드레인 접촉부를 형성하도록 용착되는 도프된 반도체층의 아래에 놓인 영역을 노출시키는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 제조 방법.
  6. 제5항에 있어서, 보상 도핑 주입은 소스 및 드레인 접촉부를 용착한 다음 상기 접촉부를 마스크로 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 제조 방법.
  7. 선행항중 어느 한 항에 있어서, 진성 반도체층과 도프된 반도체층은 분리된 층으로서 순차적으로 용착되는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 제조 방법.
  8. 제1항 내지 6항중 어느 한 항에 있어서, 도프된 반도체층은 진성 반도체층의 한 두께를 도핑하여 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 제조 방법.
  9. 기판상의 게이트 전극과 절연되어 그위에 펼쳐지며 채널 영역을 제공하는 진성 반도체층과, 진성 반도체층 위에 놓이며 채널 영역의 각 단부에 인접한 분산 소스 및 드레인 접촉부 영역을 한정하는 도프된 반도체 재질을 구비하는 박막 트랜지스터에 있어서, 소스 및 드레인 접촉부 영역을 제공하는 반도체 재질은 채널 영역위에 층으로서 펼쳐지며 그 일부분은 상기 층에서 접촉부 영역사이의 전도를 금지시키도록 저항성으로 되어 도프된 접촉부 영역을 분리시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터.
  10. 제9항에 있어서, 표면 안정층이 윈도우가 제공된 반도체 재질층위에 펼쳐지고 윈도우를 통하여 소스 및 드레인 접촉부가 도프된 소스 및 드레인 접촉부 영역으로 뻗쳐지도록 구성된 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터.
  11. 제9항 또는 10항에 있어서, 진성 반도체층과 반도체 재질층으로 이루어진 반도체는 비결정질 실리콘을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터.
  12. 제9항 또는 10항에 있어서, 진성 반도체층과 반도체 재질층으로 이루어진 반도체는 폴리 실리콘을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터.
  13. 스위칭 소자를 거쳐서 각각 제어되는 표시 소자의 어레이를 구비하는 전기 광학 표시 장치에 있어서, 스위칭 소자는 청구범위 제9항 내지 12항중 어느 한 항에 따른 박막 트랜지스터 또는 제1항 내지 8항중 어느 한 항에 따라 제조된 박막 트랜지스터를 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 표시 장치.
  14. 제13항에 있어서, 표시 소자는 액정 표시 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 표시 장치.
  15. 첨부 도면을 참고로 하여 설명되고 도시된 바와같은 박막 트랜지스터 제조 방법.
  16. 첨부 도면을 참고로 하여 설명되고 도시된 바와같은 박막 트랜지스터.
  17. 첨부 도면을 참고로 하여 설명되고 도시된 바와같은 전기 광학 표시 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890013873A 1988-09-30 1989-09-27 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 전기 광학 표시 장치 KR900005613A (ko)

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