KR930001647B1 - 액티브 행렬 기판과 액티브 행렬 표시장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

액티브 행렬 기판과 액티브 행렬 표시장치

제1도는 본 발명의 액티브 행렬의 평면도.

제2도는 제1도의 A-A 선을 따라 도시한 제1도의 기판을 가진 액티브 행렬 표시장치를 표시한 단면도.

제3도는 제1도의 B-B 선을 따라 도시한 제1도의 기판의 연결을 표시한 단면도.

제4도는 본 발명의 기판의 다른 연결을 표시한 단면도.

제5도는 본 발명의 다른 표시장치를 구성한 액티브 행렬 기판을 표시한 평면도.

제6도는 본 발명의 다른 표시장치를 구성한 액티브 행렬기판을 표시한 평면도.

제7도는 제6도의 D-D 선을 따라 그린 단면도.

제8도는 본 발명의 다른 표시장치를 구성한 액티브 행렬기판을 표시한 평면도.

제9도는 제8도의 K-K 선을 따라 그린 제8도의 기판연결을 표시한 단면도.

제10도와 제11도는 본 발명의 기판의 다른 연결을 표시한 각각의 단면도.

제12도는 본 발명의 또 다른 표시장치에 사용되는 액티브 행렬기판을 표시한 정면도.

제13도와 제14도는 제12도의 F-F 선과 G-G 선을 따라 그린 도면에 각각 대응하는 도면으로 제12도의 액티브 행렬기판을 가진 표시장치를 표시한 단면도.

제15도는 영상요소의 정정에 사용되는 연결을 표시한 단면도.

제16도는 제12도의 TFT의 근처의 확장부를 표시한 평면도.

제17a도와 제17b도는 버스배선의 교차영역에서 결함발생을 표시한 평면도.

제18도와 제19도는 기판의 다른 연결 영역을 표시한 평면도.

제20도는 본 발명의 다른 표시장치에 사용되고 있는 액티브 행렬기판을 표시한 평면도.

제21도는 제20도의 H-H 선을 따라 그린 단면도.

제22도는 본 발명의 다른 표시장치의 TFT의 근처에 위치한 연결을 표시한 평면도.

제23도는 본 발명의 다른 표시장치에 사용되는 연결과 연결영역의 결합을 가진 액티브 행렬을 표시한 평면도.

제24도는 종래의 액티브 행렬기판을 표시한 평면도.

제25도는 각각은 2개의 분리전극으로된 화상 요소 전극을 가진 종래의 액티브 행렬을 표시한 평면도.

제26도는 제25도의 J-J 선을 따라 그린 도면으로 제25도의 기판을 가진 표시장치를 표시한 단면도.

제27도는 다른 종래의 액티브 기판을 표시한 평면도.

제28도는 제6도와 제27도의 C-C 선을 따라 그린 도면으로서 제6도와 제27도의 기판을 가진 표시장치를 표시한 단면도.

제29도는 다른 종래 액티브 행렬기판을 표시한 평면도.

제30도는 제8도와 제29도의 E-E 선을 따라 그린 도면으로서 제8도와 제29도의 기판을 가진 표시장치를 표시한 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

2 : 게이트 전극 8 : 영상요소전극

9, 25 : 게이트 버스선 26 : 게이트 전극

31 : 소스 버스선 44, 45 : TFT

53, 54 : 소스 전극

본 발명은 액정, EL 광 방출층 및 프라즈마 발광체와 같은 표시 매체와 결합하여 행렬형 표시장치를 구성하는 액티브 행렬기판에 관한 것이며 또한 그 기판을 사용하는 액티브 표시장치에 관한 것이다.

종래에 고영상품질의 행렬 표시장치는 액티브 행렬 구동 시스템을 사용하여 왔으며 그 장치에서 복수의 선택된 영상요소전극이 표시패턴을 형성하도록 개별 영상요소전극은 스위칭 요소에 의하여 선택된다.

제24도는 종래의 액티브 행렬기판 부분의 평면도이며 주사선으로 기능하는 게이트 버스선(9)는 영상요소간에 서로 병렬로 연장되어 있으며 게이트 전극(2)은 각 게이트 버스선(9)으로부터 분기한다. 엷은 막 트랜지스터(이하 TFT로 칭한다)(11)는 게이트 전극(2)상의 스위칭 소자로서 형성된다.

게이트 버스선(9)과 직각으로 교차하고 신호선으로 사용하는 소스 버스선(10)은 서로 병렬로 연장된다. TFT(11)의 소스전극(7a)은 각 소스 버스선(10)에 각각 연결되고 TFT(11)의 드레인 전극(7b)은 화소 전극(8)에 연결된다.

각 버스선(9)과 각 소스버스선(10)간에 기판의 전 표면에 형성된 게이트 절연막이 형성된다.

위에 기술된 액티브 행렬기판과 반대기판간에 액티브 행렬 표시장치로 되는 액정등과 같은 표시매체가 대전된다.

전압은 액티브 행렬기판의 화소전극(8)과 대향기판의 대향 전극간의 표시매체에 가해지므로 표시장치가 표시를 수행한다.

보통 수만에서 수십만개의 화소전극이 정확한 영상표시를 하기 위하여 표시장치의 액티브 행렬기판상에 형성된다.

대단히 많은 화소전극을 가진 액티브 행렬 표시장때문에 화소 결함이 발생한다.

화소결함을 야기시키는 요인은 TFT 형성과정에서 패턴하는 동안 저질의 레지스터나 조악한 에칭과 엷은 막 형성과정에서 막상의 결함의 발생과 액정으로 도전성 외부 물체의 혼합등을 포함한다.

이 화소결함은 표시장치의 낮은 생산 수율을 야기시켜 대단히 영상질을 떨어뜨린다.

화소결함이 발생할 때 영상질의 저하를 감소시키기 위하여 제25도에 표시된 액티브 행렬기판을 사용하는 것이 제안된 바 있다.

액티브 행렬기판에서 화소전극(8)은 2개로 분리된 전극(20, 21)으로 나누어지며 캡(23)을 지나서 배치된다.

분리된 전극(20, 21)은 각 드레인 전극(22a, 22b)에 의하여 TFT(11a, 11b)에 연결된다.

TFT(11a, 11b)의 소전극(21a, 21b) 동일소스버스선(10)와 게이트 버스선(9)에 연결된 TFT(11a, 11b)에 공통으로 연결된 게이트 전극(2)에 연결된다.

따라서 분리전극(20, 21)은 동일한 게이트 버스선(9)과 소스버스선(10)에서 동시에 구동된다.

제26도는 제25도에서 J-J 선 상에 서취한 기판을 사용하는 표시장치의 단면도이다.

유리기판(1)상에 두께 2,500Å를 가진 탄타륨(Ta)의 게이트 전극(2)이 형성된다. 게이트 전극(2)상에 두께 3,000Å를 가진 산화 탄타륨(Ta₂O₅)의 양극산화막이 형성된다.

질화실리콘(Si, Nx)으로 만든 두께 300Å를 가진 게이트 절연막(4)은 양극산화막(3)의 전표면에 도포된다.

게이트 전극(2)상의 게이트 절연막(4)위에 진성반도체 비결정실리콘(이하 a-Si(i)이라 한다.)의 두께 1,000Å을 가진 반도체층(5)이 형성된다.

반도체층(5)상에 n-형 반도체 비결정 실리콘(이하 a-Si(n⁺)이라 한다)의 두께 500Å을 각각 가진 접촉층(6)이 형성된다.

접촉층(6)상에 TFT(11a)로 되는 티타늄의 소스전극(21a)과 드레인 전극(22a)이 형성되며 각 두께는 3,000Å이다.

게이트절연막(4)과 드레인전극(22a)상에 ITO의 두께 1,000Å을 가진 화소전극(8)이 패턴된다.

또한 기판의 전표면상에 SiNx의 두께 3,000Å과 방향막(17)을 가진 보호코우트(16)가 형성된다.

위에 기술된 바와 같이 형성된 액티브 행렬기판에 대향된 대향전극이 유리기판(12)의 컬러필터(14)와 블랙스트 라이프(15)에 제공된다.

컬러필터(14)와 블랙스트라이프(15)상에 ITO의 대향전극(13)과 방향막(18)이 있다.

두개의 방향막(17), (18)간에 액티브 행렬 표시장치를 구성토록 액정층(19)이 대전된다.

위에 기술된 구성으로서 화소결함이 하나의 분리된 전극에서 발생할때에도 그 화소결함은 다른 분리전극이 연속동작하므로 잘 보이지 않는다.

그러나 화소결함이 발생하지 않는 화소전극상에 갭(23)은 각각 분리전극(20, 21)간에 존재하며 갭(23)과 대향전극(13)간에 위치한 액정층(19)에 전압은 가해지지 않는다.

따라서 갭(23)에 대응한 액정부위는 표시로서 사용되지 않는다.

따라서 또 다른 문제가 다음과 같이 발생한다. 정상적으로 화이트모드 액정장치는 전압이 가해진 경우까지 빛을 갭(23)을 통과시킨다.

따라서 콘트래스트는 감소한다.

정상적으로 블랙모드 액정 표시장치는 전압이 가해지는 경우까지 빛을 갭(23)을 통과시키지 않는다.

따라서 모든 영상면은 어두워진다.

프라즈마 또는 EL 발광체를 사용한 표시장치에 따라 단위면적당 빛의 방출량은 모든 표시 영상면을 어두워지게 하여 검소된다.

위에서 설명된 문제를 해결하기 위하여 제27도와 제29도에 표시된 액티브 행렬기판이 제안되었다.

제28도는 제27도의 C-C 선 상에서 취한 단면도이다. 제30도는 제29도의 E-E 선 상에서 취한 단면도이다.

제27도와 제29도의 표시장치는 제25도의 것과 같으나 중첩영역(57)은 분리전극(20, 21)이 서로 인접된 영역과는 상이하다.

중첩영역(57)에 각각 제공된 이 표시장치는 분리전극(20, 21)간에 위치한 영역에 까지 표시로 된다. 환원하면 분리전극(20, 21)은 제27도와 제28도에 각각 표시된 중첩영역(57)간에 게이트 절연막(28)을 삽입하기 위하여 중첩되므로 전압이 영역(57)로 대향전극(39) 각각 사이에 위치한 액정층(41)에 가해진다.

제29도와 제30도에 표시된 표시장치는 전극(20, 21)을 분리하고 그 각각은 두개층 구성을 가지며 각 중첩영역(57)에서 상층 분리전극(20b)과 하층 분리전극(21a)이 서로 중첩된다.

따라서 각 표시장치에서 전압은 중첩영역(57)과 대향 전극(39)간에 가해진다.

표시에 사용하지 않은 영역이 분리전극(20, 21)간에 존재하지 않은 위에서 기술한 제27도와 제29도에 표시된 표시장치는 표시 영상화면에서 콘트래스트나 브라이트니스를 떨어뜨리게 하지는 않는다.

그러나 이 표시장치에서까지도 일단 분리전극에 연결된 TFT가 잘못 작용을 하면 화소결함의 발생에 의하여 야기된 영상질의 저하를 피할 수가 없다.

그러한 화소결함의 발생을 피하기 위하여 레이저빔을 사용하는 정정기술이 개발되어 왔다.

예로서 일본공개공보번호 59-101693에서 다음을 개시하고 있다.

TFT가 잘못 동작을 할 때 레이저빔은 게이트 버스선과 소스 버스선으로부터 결함있는 TFT의 전원을 끊게 된다.

따라서 결함있는 화소전극은 인접한 화소전극에 연결되고 그래서 TFT를 회복시키므로 설치된 회복가능한 구성에 레이저빔을 비추므로서 그 연결이 이루어지며 또한 그것은 두개의 인접한 화소전극을 통해 공급된 전기적으로 도전막을 포함한다.

그 전기적으로 도전막은 한개의 화소전극에 연결하여 비도전 상태에서 다른 화소전극에 중첩된다. 레이저빔은 화소전극과 비도전상에서 서로 중첩된 전기적으로 도전막을 용해시키도록 비치고 전기적으로 도전막과 화소전극간에 전기적으로 연결되게 비치므로서 TFT의 회복을 수행한다.

그러한 회복은 화소결함이 일어나는 경우에도 TFT의 오동작을 피하게 한다.

그러나 회복된 화소전극은 인접한 화소전극의 것과 같은 방법으로 동작한다.

그리고 그 고유의 표시작동은 수행되지 않는다.

화소결함을 정정하는 또 다른 구성은 예로서 일본공개공보 소 61-153619에서 개시되어 있는데 그 공보에는 복수 스위칭 소자가 한 개 화소전극당 공급되고 스위칭소자 하나는 화소전극에 연결되고 다른 것은 그 곳에 연결되지 않는다.

화소전극에 연결된 스위칭소자가 불완전하게 연결될 때 레이저트리머 및 초음파 컷터와 기타는 화소전극에서 불완전 스위칭소자의 전원을 끊게 되며 또한 다른 스위칭 소자는 그곳에 연결된다.

스위칭소자는 디스펜서등에 의하여 미세한 도체를 본딩하고 Au, Al 등을 기판의 소정부위에 도포하므로서 화소전극과 연결된다.

또한 일본공개공보 소 61-56382호에서 레이저빔이 두개의 금속층의 중첩부위에 조사되고 금속층은 전기적으로 서로 연결되도록 용해되는 구성을 개시하고 있다.

위에서 설명된 결함의 정정은 표시장치가 조립되기전에 액티브 행렬기판에서 수행되어야 한다.

이러한 이유는 표시장치의 완성후에 레이저빔의 조사에 의하여 증발되거나 용융된 금속부품의 화소전극과 그 대향 전극간에 삽입된 액정과 같은 표시매체로 들어가므로 표시매체의 광학특성을 현저히 저하시키기 때문이다.

따라서 화소결함의 정정은 표시장치의 조립에 앞서서 다시 말하면 표시매체의 대전에 앞서서 액티브 행렬제조 공정에서 항상 수행되고 있다.

그러나 액티브 행렬기판 상태에서 화소결함을 검출하는 것은 대단히 어려운 것이다.

특히 10만에서 50만 또는 그 이상의 화소로 구성되는 대규모 표시장치를 위해서 모든 화소전극의 전기적인 특성을 검출하여 불량스위칭 소자를 발견하기 위하여는 대단히 높은 정확도의 측정기구를 사용하여야 한다.

따라서 공정의 검색은 복잡하게 되고 대량생산이 어려워져서 결국 비싼 표시장치가 된다.

위와 같은 이유 때문에 실제로 많은 수의 화소를 가진 대규모 표시장치가 레이저빔의 사용에 의하여 기판상태에서의 화소결함의 정정을 할 수 없게 된다.

고밀도 표시를 수행하기 위하여 표시장치 때문에 스위칭 소자에 연결된 버스 배선의 전 길이가 대단히 길게 된다.

따라서 불량연결이나 불량절연이 버스 배선에서 발생하기 쉽고 특히 버스 배선이 서로 삽입되는 곳의 영역에서 발생한다.

그러한 결함의 발생은 표시장치의 제조상의 중대한 문제를 발생하는 영상질을 대단히 저하시키는 불량선부위의 화소로부터 시작되는 선결함으로서 눈에 보이게 된다.

본 발명의 액티브 행렬기판은 선행기술의 결함이나 위에서 기술된 여러가지의 불리한 점을 극복하게 된다.

본 발명의 기판은 절연기판의 행렬에 배치된 화소전극을 포함하며 각 화소전극은 복수 분리 전극으로 구성되며 서로 인접한 상기 분리전극의 두개가 각 부분이 중첩된 전기적으로 도체막을 가지며 또한 상기 두개의 분리전극의 각각과 상기 전기적으로 도체막은 비도전상태에서 절연막을 그 사이에 삽입시키도록 배치되어 연결되어 있다.

상기 실시예에서 한쌍의 금속 부품은 각각 상기 접속에서 두 개의 분리 전극부위의 한쪽과 상기 절연막간에 배치되고 또한 상기 두 개 분리전극 부위의 다른쪽과 상기 절연막 사이에 배치되어 있다.

구멍은 상기 한쌍의 금속부품과 상기 전기적으로 도전막간에 위치한 상기 절연막 부위에 배치된다.

본 발명의 액티브 행렬표시장치는 한쌍의 기판을 포함하며 그 기판은 적어도 하나가 투명하다.

표시매체는 상기 한쌍의 기판 사이에서 대전되고 상기 표시매체의 광특성은 인가전압에 따라 변조되고 화소전극은 상기 기판의 하나에 행렬로서 배치되며 상기 화소전극의 각각은 복수의 분리전극으로 구성되고 서로간에 인접한 상기 분리전극의 두개의 각각의 부위가 중첩된 것에 전기적으로 도전막을 형성하고 여기에 두 개의 분리전극부의 각각과 상기 전기적으로 도전막이 비도전상태에서 절연막을 그 사이에 삽입하도록 배치되어 연결되고 상기 연결은 상기 표시매체로부터 격리되는 것에 의하여 보호막으로서 도포된다.

더 나은 실시예에서 한쌍의 금속편은 각각 두개의 분리된 전극의 하나와 상기 절연막간에 배치되어 또한 두개 분리전극과 상기 연결에서 분리막간에 배치된다.

구멍은 한쌍의 금속편의 하나와 상기 전기적으로 도전막간에 배치된 상기 절연막 부위에 배치된다. 선택적으로 본 발명의 액티브 행렬표시장치는 상기 기판의 하나에 행렬로서 배치된 화소전극을 포함하며 각 상기 화소전극은 복수의 분리전극으로 구성되며 서로 인접한 상기 두개 전극의 각 부위가 중첩되는 전기적으로 도전막을 구성하고 여기에 상기 두개뎨 화소전극은 두개의 분리전극이 서로 인접한 부위의 비도전상태에서 절연막을 그 사이에 삽입하도록 서로 위에 중첩되며 상기 전기적으로 도전막은 두개의 분리전극의 부위의 하나와 전기적으로 연결되고 절연막을 비도전상태에서 삽입토록 두개의 분리전극의 다른 부위에 대향 배치되어 연결되고 상기 접속은 상기 표시매체로부터 격리되는 것에 의하여 보호막으로 도포된다.

선택적으로 본 발명의 액티브 행렬표시장치는 적어도 전극하나가 투명한 한쌍의 전극을 포함하며 또한 한쌍의 기판 사이에서 대전된 표시매체와 인가전압에 따라 변조된 상기 표시매체의 광특성과 상기 기판의 하나의 내측표면에 행렬로서 배치된 화소전극을 포함한다.

또한 복수분리전극으로 구성된 화소전극의 각각을 포함하며 여기에 상기 분리전극의 각각은 상층 분리전극과 하층 분리전극을 포함하며 상기 두개 분리전극이 서로 인접하게 배치된 부분에서 상기 분리전극의 하나의 하층 분리전극과 상기 분리전극의 다른 것의 상층 분리전극은 비도전상태에서 절연막을 그 사이에 삽입하도록 서로 중첩되어 있으며 전기적으로 도전막은 비도전상태에서 상기 절연층을 그 사이에 삽입시켜 상기 두 개 분리전극막에 상층 분리전극의 각각에 대향토록 배치되어 연결되며 상기 연결은 상기 표시매체로부터 격리되게 보호막으로 도포된다.

더 좋은 실시예에 있어서 한쌍의 금속편은 상기 두개 상층 분리전극과 상기 절연막간의 상기 연결에서 배치된다.

더 나은 실시예에서 상기 두개 인접 분리전극의 하나의 하층 분리전극과 전기적으로 도전막은 미리 상기 연결에서 전기적으로 접속되어 있다.

선택적으로 본 발명의 액티브 행렬표시장치는 적어도 그 기판의 하나가 투명한 한쌍의 기판과, 상기 기판간에서 대전된 표시매체와, 인가전압에 따라 변조된 상기 표시매체의 광학특성과, 상기 한쌍의 기판의 하나에 행렬로 배치된 화소전극과 한쌍의 분리기판으로 구성된 상기 화소기판의 각각과 상기 한쌍의 분리기판간에 배치된 제1버스 배선과 상기 제1버스 배선과 교차하는 제2버스 배선을 포함하며 여기에 연결영역은 상기 제1버스 배선의 양측에 배치되고 거기에 병렬로 연장하는 한쌍의 전기적 도체층과 각 비도전상태에서 절연막을 그 사이에 삽입되도록 상기 전기적 도체층의 부위에 중첩된 한쌍의 전기적인 도체편과 각 도전체의 상기 전기적인 도체편에 중첩된 상기 분리전극의 부위를 포함하며 또한 그 사이에 상기 절연막을 삽입토록 제1버스 배선과 교차하는 스패어 배선과, 비도전상태에 절연막을 그 사이에 삽입토록 전기적 도체층에 중첩된 상기 스패어 배선과, 상기 표시매체에서 격리되게 보호막으로 도포된 상기 연결영역을 포함한다.

더 좋은 실시예에서 연결영역에서 상기 전기적인 도체층의 각각의 한쪽끝과 상기 제2버스 배선의 분기끝의 한쌍의 각각이 비도전상태에서 절연막을 그 사이에 삽입토록 서로 중첩되어 있다.

더 좋은 실시예에서 연결은 서로가 인접한 상기 화소전극을 구성한 상기 분리전극에 중첩된 전기적으로 도체막과, 비도전상태에서 상기 절연막을 그 사이에 삽입토록 상기 전기적으로 도전막의 양측에 중첩된 한쌍의 금속편과 도전상태의 상기 금속편에 중첩된 상기 분리전극부와 상기 표시매체에서 격리되도록 보호막에 의하여 도포된 상기 연결을 포함한다.

선택적으로 본 발명의 액티브 행렬표시장치는 적어도 하나가 투명한 한쌍의 기판과 그 기판간에서 대전된 표시장치와, 인가전압에 따라 변조된 상기 표시매체의 광학특성과, 상기 쌍기판의 하나에 행렬로 배치된 화소전극과 분리전극의 한쌍으로 구성된 상기 화소전극의 각각과 상기 쌍의 분리전극간에 배치된 제1버스 배선과, 상기 제1버스 배선과 교차하는 제2버스 배선을 포함하며 여기에서 연결영역은 상기 제1버스 배선의 양측에 배치되고 그곳에 병렬로 연장하는 한쌍의 전기적인 도체층과, 각 비도전상태에서 절연막을 그 사이에 삽입토록 상기 전기적인 도체층의 한쪽 끝에 중첩된 상기 제2버스 배선의 한쌍의 분기끝과 상기 절연막을 그 사이에 삽입토록 상기 제1버스 배선과 교차하는 스패어 배선과 비도전상태에서 상기 절연막을 삽입토록 상기 전기적인 도체층에 중첩된 상기 스패어 배선과, 상기 표시매체에서 격리토록하고저 보호용 도포에 의하여 도포되는 상기 연결영역을 포함한다.

더 좋은 실시예에서 하나의 연결은 서로 인접한 화소전극을 구성하는 상기 분리전극에 중첩된 전기적으로는 도전막과, 비도전상태에서 절연막을 그 사이에 삽입하도록 전기적으로 도전막의 양끝에 중첩된 한쌍의 금속편과 도전상태에서 상기 금속편에 중첩된 상기 분리전극부와, 상기 표시매체에서 격리되도록 보호막에 의하여 도포된 상기 연결을 포함한다.

대체적으로 액티브 행렬표시장치는 적어도 하나가 투명한 한쌍의 기판과, 상기 기판간에서 대전된 표시매체와, 상기 한쌍의 기판의 하나위에 행렬로 배치된 화소전극과, 한쌍의 분리전극으로 구성된 상기 화소전극의 각각과, 상기 한쌍의 분리전극간에 배치된 제1버스 배선을 포함하며 여기에 하나의 연결은 서로가 인접한 화소전극의 각각으로 구성한 상기 두개분리전극상에 중첩된 전기적인 도전막과, 비도전상태에서 절연막을 그 사이에 삽입토록 전기적인 도전막의 양끝에 중첩된 한쌍의 금속편과, 각도전상태에서 금속편에 중첩된 상기 분리전극부위와, 상기 표시매체에서 격리되도록 보호막으로 도포된 상기 연결로서 구성된다.

더 좋은 실시예에서 연결을 서로 인접한 화소전극으로 구성된 상기 분리전극에 중첩된 전기적 도전막과, 비도전상태에 절연막을 삽입토록 전기적인 도전막의 양끝에 중첩된 한쌍의 금속편과,각도전상태에서 금속편에 중첩된 분리전극부위와, 상기 표시매체에서 격리되도록 보호막으로 도포된 연결로서 구성된다.

화소결함을 야기시키는 결함이 위에서 언급한 구성을 가진 기판의 스위칭 소자의 어느것에서 발생하는 경우에 불량 스위칭 소자와 연결한 분리전극과 상기 분리전극에 인접한 다른 분리전극은 전기적으로 연결되어 있으므로 화소결함의 정정이 수행될 수 있다.

그러한 전기적인 연결은 연결 레이저빔을 조사하여 수행된다.

그 연결로 구성한 전기적인 도전막은 인접한 분리전극에 중첩되며 적어도 하나의 분리전극에 도전되지 아니하므로 하나의 분리전극은 다른 것과 정상적인 전기적으로 떨어져 있다.

그러나 한 개 분리전극이 동작하지 않을 때 비도전상태에 있는 전기적 도전막과 분리전극은 전기적으로 서로 연결되도록 레이저빔으로 조사된다.

그래서 동작하지 않는 분리전극은 인접분리전극과 전기적으로 연결되어 있으며 인접전극에 연결된 스위칭소자에 의하여 구동될 수 있다.

연결영역을 가진 액티브 행렬표시장치 때문에 화소결함은 연결영역의 사용하므로서 정정된다.

즉 레이저빔과 같은 광에너지는 외부로부터 전기적으로 도전층과 도체편이 서로 중첩된 부위까지 또한 전기적으로 도전층과 스패어 배선이 서로 투명기판을 통해 제1버스 배선의 양측에서 중첩된 부위까지 조사된다.

그래서 화소결함의 정정을 수행하게 된다.

레이저빔으로 조사된 위에서 기술된 4개의 중첩된 부위에서 절연막이 파괴된다.

따라서 제1버스 배선의 양측에서 전기적으로 도전층과 스패어 배선 뿐만 아니라 전기적 도전층과 도체편은 각각 전기적으로 서로 연결된다.

전기적인 도체편과 분리전극은 도전상태에서 서로 중첩되므로 제1버스 배선을 건너서 서로 인접한 두개 분리전극은 전기적으로 연결 영역에 의하여 전기적으로 연결된다.

따라서 화소결함을 가진 분리전극은 제1버스 배선을 통해 상기 불량 전극에 인접한 분리전극의 스위칭소자와 연결영역에 의하여 구동된다.

이러한 방법으로 화소결함은 연결영역 또는 연결을 사용하여 정정된다.

그 후에 필요하다면 화소결함을 가진 분리전극에 연결된 스위칭 소자는 표시장치의 외부로부터 광에너지로서 조사되므로 분리전극으로부터 단선될 수 있다.

본 발명의 액티브 행렬표시장치는 버스 배선의 교차 영역에서 발생된 불량절연이나 연결영역의 제2버스배선에서 야기된 불량단선이 정정되는 연결영역을 가질 수 있다.

불량 절연이 발생할 때 우선 그런 결함이 발생된 교차 영역에서 제2버스 배선의 양측부가 레이저빔으로 조사에 의하여 컷트된다.

불량접속이 제2버스 배선에서 발생할 때 위에 기술된 컷팅이 필요치 않게 된다.

다음 연결 영역에서 제1버스 배선의 양측에서 레이저빔은 전기적으로 도전층과 제2버스 배선으로부터 분기되는 분기끝이 서로 중첩되는 중첩부위와 도전층과 스패어 배선이 서로 중첩되는 중첩 부위의 투명기판을 통해 외부로부터 방사된다.

절연층은 레이저빔으로 조사된 4개의 중첩된 부위의 각각에서 파괴된다.

따라서 제1버스 배선의 양측에서 도전층과 스패어 배선 뿐만 아니라 도전층과 분기끝이 전기적으로 각각 서로 연결된다.

이러한 방법으로 교차영역의 부위에서 비도전층에 있는 버스 배선의 양끝은 연결영역의 사용으로 전기적으로 연결된다.

본 발명의 표시장치에서 연결영역과 연결은 각각 보호막으로서 도포된다.

따라서 표시장치의 외부로부터 레이저빔 방사에 의하여 위에 언급된 정정이 수행될 때까지도 용융금속과 그와 같은 것이 표시매체로 들어가지 못하므로 표시매체의 특성은 떨어지지 않는다.

즉 레이저빔 조사에 의하여 위에 언급한 정정은 표시매체와 기판으로부터 격리된 보호막간에서 수행된다.

따라서 그 정정이 표시매체에 영향을 주어 수행된다.

따라서 여기에 기술된 본 발명은 다음의 목적을 가진다.

즉 (1) 화소결함이 스위칭 소자의 결함때문에 발생할 때까지도 그 기판을 사용한 액티브 행렬표시장치의 영상질을 떨어뜨림없이 회복되는 액티브 행렬기판을 제공하며; (2) 표시장치가 조립된 상태에서 영상질을 떨어뜨리지 않고 화소결함이 정정될 수 있는 액티브 표시장치를 제공하고; (3) 화소결함이 발생할 때에도 화소는 광학적으로 표시장치의 외부로부터 검출되고 표시 화면의 콘트라스트나 브라이트니스를 떨어뜨리거나 영상질을 떨어뜨리지 않고 정정되는 액티브 행렬표시장치를 제공하며; (4) 불량단선이나 불량절연이 버스 배선의 교차 영역에서 발생할 때 그러한 결함이 표시장치가 표시를 행하는 동안 쉽게 정정될 수 있는 액티브 행렬표시장치를 제공하는 목적을 가진다.

[예 1]

제1도는 본 발명의 액티브 행렬기판을 표시하며 주사선으로 사용하는 게이트버스선(25)과 신호선으로 사용하는 소스버스선(31)은 각 게이트버스선(25)의 교점에서 그리드와 같은 형태로 제공된다.

또한 소스버스선(31)은 게이트절연막(28)(제2도)에 삽입된다.

두개의 TFT(44, 45)는 게이트버스선(25)으로부터 연장하는 게이트전극(26)에 배치되고 소스버스선(31)으로부터 연장하는 소스전극(53, 54)은 TFT(44, 45)와 각각 연결된다.

화소전극(8)은 두개 분리전극(20, 21)으로 분할되며 드레인 전극(55, 56)에 의하여 각각 TFT(44, 45)에 접속된다.

분리전극(20, 21)의 부위에 설치된 한 개연결(58)은 서로 가장 가까이 인접되고 있으나 TFT(44, 45)에서 떨어져 있다.

제2도는 제1도의 A-A 선을 따라 그린 제1도의 액티브 행렬기판을 사용한 표시장치의 단면도이며 그 곳에 게이트 전극은 두께가 2,500Å으로 Ta로 만들어져 있으며 유리기판(24)에 설치된다.

그 기판에는 두께가 3,000Å 양극산화막(27)과 SiNx막의 게이트 절연막(28)이 배치된다.

게이트 절연막(28)은 두께가 2,000∼10,000Å에 적용 가능하다.

그러나 본 실시예에서는 3,000Å이다.

게이트절연막(28)상에 두께가 1,000Å의 a-Si(i)막(29)이 배치되며 그곳에 두께가 500Å의 a-Si(n⁺)막이 배치된다.

소스전극(54)와 드레인전극(56)은 두께가 3,000Å으로된 Ti로 만들어진다.

화소전극(8)은 두께가 1,000Å으로 된 ITO로 만들어진다.

더욱이 SiNx의 보호막(34)과 방향막(35)은 화소전극(8)의 전표면에 배치되고 보호막(34)은 두께가 3,000Å으로 되게 설정한다.

유리기판(36)은 위에 언급된 바와 같이 제조된 액티브 행렬기판에 대향되게 설치된다.

유리기판(36)은 컬러필터(37) 블랙스트라이프(38)과 ITO로 만든 대향전극(39)에 제공된다.

방향막(40)은 대향전극(39)에 배치되고 액정층(41)은 두개의 방향막(35, 40)간에서 대전된다.

제3도는 제1도의 B-B선을 따라 취한 연결부(58)의 단면도이다.

제3도에서 유리기판(24)상에 Ta로 만든 도전막(46)이 배치된다.

도전막(46)은 게이트버스선(25)과 게이트전극(26)의 형성과 동시에 패턴될 수 있다.

게이트절연막(28)은 도전막(46)상에 배치된다.

연결부(58)용 절연막으로서 게이트 절연막(28)은 두께가 1,000Å∼7,000Å의 범위에서 적용가능하다. 본 예의 막(28)은 게이트절연막으로서 사용되므로 그 두께는 위에 기술된 바와 같이 3,000Å으로 설정된다.

게이트절연막(28)상에 2개의 금속편(47, 48)이 배치되고 그 위에 분리전극(20), (21)의 부분이 중첩되고 앞에서 언급한 보호막(34)과 방향막(35)이 그 순서로서 배치된다.

연결부(58)의 보호막(34)의 두께는 약 1,500∼15,000Å의 범위내가 적합하다.

위에 언급된 바와 같이 본 실시예에서는 3,000Å으로 설정되어 있다.

그러한 연결부(58)를 가진 액티브 행렬기판은 액정표시장치를 조립하는데 사용된다.

다음 게이트 온 신호는 모든 게이트 버스선(25)에 가해지고 구동전압은 모든 TFTs를 통해 모든 소스버스선(31)에서 모든 화소전극까지 가해진다.

그래서 모든 표시화면은 표시상태로 놓이게 된다.

이러한 방법으로서 본 실시예의 액티브 행렬표시장치에서 화소결함의 위치는 그 장치가 실질적으로 동작하는 상태에서 쉽게 눈에 보이게 되며 그후 화소결함이 정정된다.

두개의 TFT(44), (45)의 하나에 의하여 야기된 화소결함이 발견되는 경우에 그 결함은 다음과 같이 정정된다.

레이저빔은 제3도의 화살표(49), (50)로서 표시된 연결부(58)에 두부위상의 유리기판(24)측에서 조사된다.

레이저빔이 조사될 때 게이트 절연막(28)은 화살표(49)에 의하여 표시된 위치에서 파괴된다.

따라서 전기적 도전막(46)과 금속편(47)은 서로가 전기적으로 연결되기 위하여 용융된다.

위에서 기술한 같은 방법으로 화살표(50)의 위치에서 도전막(46)과 금속편(48)은 그 사이에서 전기적으로 연결된다.

레이저빔의 사용에 의하여 도전막(46)과 금속편(47), (48)의 용융은 보호막(34)과 유리기판(24)사이에서 이루어지므로 액정층(41)은 용융금속등과 같이 오염되는 일은 없다.

보호막(34)이 투명하므로 레이저빔은 그를 통하여 전달된다.

그래서 레이저빔은 금속의 도전막(46)과 금속편(47), (48)에 전기적으로 흡수되고 그래서 동시에 이부재가 용융되므로 레이저빔이 보호막(34)에 손상을 주도록 조사되는 두려움은 없어진다. 따라서 두 개 분리전극(20), (21)은 전기적으로 서로 연결된다.

화소결함은 이 조건에서 정정되지 않을 때 불량 TFT는 분리전극이나 소스버스선(31)으로부터 더 단선된다.

이런 방법으로 두개의 분리전극(20), (21)으로 구성된 화소전극(8)은 TFT에 의하여 구동되며 그래서 특유의 화소전극으로 동작을 하게 된다. 제4도는 연결부(58)의 다른 예를 표시한다. 그 연결부에서 도전막(46)과 게이트 절연막(28)은 제3도의 예와 같은 방법으로 유리기판(24)에서 배치된다.

본 실시예의 연결부는 금속편을 가지고 있지 않으며 분리전극(20), (21)은 직접 게이트 절연막(28)상에 형성된다.

보호막(34)과 방향막(35)은 분리절연막(20), (21)상에 배치된다.

본 실시예의 연결부에서 도전막(46)과 분리전극(20), (21)은 직접 전기적으로 서로 접속되어 있다. 제5도는 연결부(58)의 다른 예를 표시한다.

거기에서 분리전극(20)측에서 연결부(58)의 부위는 제3도의 것과 같은 구성이다.

그러나 분리전극(21)측에서 통공(52)은 도전막(46)과 금속편(48)사이에 도전막(46)과 서로 전기적으로 미리 연결된 금속편(48)간에 위치한 게이트 절연막(28)에 설치된다.

그러한 구성은 그곳에 레이저빔을 한번 조사하는 것에 의하여 분리전극(20), (21)에 전기적으로 연결된다.

본 실시예의 액티브 행렬기판은 화소결함이 쉽게 회복될 수 있는 구성을 가지므로 생산 수율이 향상된다.

또한 본 발명의 액티브 행렬표시장치에서 화소결함은 표시장치가 제조된 후에 시각적으로 검출될 수 있으며 화소결함은 표시장치가 있은 채 직접 정정이 된다.

따라서 표시장치의 검사공정과 복구공정이 간편해지며 표시장치는 대량생산될 수 있으므로 그 생산단가가 저렴하게 된다.

[예 2]

제6도는 예 1과 유사한 본 발명의 다른 표시장치에 사용된 액티브 행렬기판의 평면도이지만 분리전극(20), (21)이 부분적으로 중첩되는 중첩영역(57)을 가지고 있다.

이 예는 두께가 1,000Å인 분리전극은 SnO₂로 만들어지고 두께가 1,000Å을 가진 분리전극(21)은 ITO로 만들어진 점이 예 1과 다르다.

이 예의 TFT(44), (45)는 예 1의 구성과 유사하다.

제28도는 제6도의 C-C선을 따라 취한 단면도이다.

중첩영역(57)의 단면구성은 제28도를 참조하여 설명된다.

분리전극(20)은 유리기판(24)상에 배치되고 분리전극(21)은 분리전극(20)의 일측면에서 유리기판(24)상에 배치된다.

분리전극(20), (21)이 배치된 영역에서 제6도의 대쉬선으로 표시된 것과 같이 분리전극(20), (21)의 전체 주변 에지로부터 내부에의 게이트 절연막이 그로부터 제거된다.

분리전극(20), (21)이 서로 인접한 중첩영역(57)에서 게이트절연막(28)은 분리전극(21)의 하부면과 분리전극(20)의 상부면을 통해 배치된다.

즉, 게이트절연막(28)은 분리전극(20), (21)에 의하여 형성된 중첩부(49)내에 위치한다.

본 예의 중첩영역(57)에서 분리전극(21)은 게이트절연막을 그 사이에 삽입되게 하기 위하여 분리전극에 중첩되나 분리전극(20), (21)은 위에서 설명된 것과 반대로 중첩된다.

제6도에 표시된 바와 같이 연결부(58)는 인접한 분리전극(20), (21)의 끝이 배치된다.

제7도는 제6도의 D-D선에서 취한 연결부(58)의 단면도이다.

그 도면에서 Ta의 2,500Å의 두께를 가진 도전막(59)은 유리기판(24)상에 배치된다.

이 예에서 막(59)은 게이트버스선(25)과 게이트전극(26)과 동시에 형성되고 분리전극(20)은 막(59)의 한쪽 끝에 중첩되고 게이트절연막(28)은 제거되지 않으나 도전막(59)을 포함한다.

따라서 분리전극(21)은 도전막(59)의 끝에 중첩되고 그 위에 분리전극(20)은 게이트절연막(28)을 그 사이에 삽입되기 위하여 중첩되지 않는다.

SiNx의 보호막(34)은 TFT(44)와 분리전극(20), (21)과 중첩부(57)와 연결부(58)등이 위와 같은 방법으로 배치된 것의 기판의 전체 표면상에 배치된다.

보호막(34)은 연결부(58)상의 1,500∼15,000Å의 범위에서 바람직스런 두께를 가진다.

더욱이 방향막(35)은 액티브 행렬기판으로 되는 보호막(34)상에 배치된다.

이런 방법으로 구성된 액티브 행렬기판에 대향한 대향기판은 제28도에 표시된 바와 같이 컬러 필터(37)와 블랙스트라이프(38)가 유리기판(36)상에 형성되도록 구성된다.

ITO의 대향전극(39)은 대향기판의 전체 표면에 형성된다.

방향막(40)은 대향전극(39)상에 형성되고 액정층(41)은 본 발명의 액티브 행렬표시장치로 되어서 방향막(35), (40)간에서 대전된다.

본 실시예에서 화소결함은 야기시키는 분리전극을 검출하기 위하여 예를 들면 AC 펄스가 TFT를 통해 모든 화소에 동시에 가해지고 화소의 콘트라스트의 변화가 쉽게 관측된다.

콘트라스트가 비정상적으로 불량화소에 변화되므로 불량화소가 광학적으로 쉽게 관측된다.

화소결함은 연결부(58)의 사용으로 정정된다.

불량화소의 정정은 레이저빔과 같은 에너지로서 제7도의 화살표(70)에 의하여 표시된 위치에 조사하여 수행된다.

레이저빔으로 조사하는 것은 게이트절연막(28)의 파괴를 가져오며 도체(59)와 분리전극(21)은 전기적으로 사고 연결되고 그래서 분리전극(20, 21)은 전기적인 도전막(59)에 의해서 연결된다.

또한 화소결함이 TFT의 절연불량으로 발생하는 경우에 화소결함을 정정하기 위하여 인접분리전극의 TFT에 의해 구동되어 화소결함이 야기되므로 불량 TFT는 레이저빔으로 조사되므로 분리전극에서 단선된다.

본 실시예에서 중첩영역(57)은 두 개 분리전극(20), (21)이 서로 인접한 영역에서 형성되며 전압은 영역(57)과 대향전극(39)간에 위치한 액정층(41)에 가해진다.

따라서 전체 화소의 표시면적은 감소되고 표시면의 콘트라스트나 브라이트니스가 떨어지지 않는다.

[예 3]

제8도는 본 발명의 표시장치에 사용된 또 다른 액티브 행렬기판의 평면도이며 화소전극(8)은 두개의 분리전극(20, 21)으로 분할되고 그 분리전극은 드레인 전극(55, 56)에 의하여 각각 TFT(44), (45)에 연결된다.

TFT(44, 45)의 소스전극(53, 54)은 동일한 소스버스선(31)에 접속되고 TFT(44, 45)과 공통으로 연결된 게이트전극(26)은 게이트버스선(25)에 연결된다.

따라서 분리전극(20, 21)은 동일한 게이트버스선(25)가 동일한 소스버스선(31)에 의하여 구동된다.

분리전극(20, 21)에 인접한 영역에서 중첩영역(57)이 제공된다.

제8도의 E-E선에서 취한 상기의 기판을 사용하는 표시장치의 단면도는 제30도와 같은 것이다.

본 실시예의 TFT(44, 45)의 단면구성은 제28도에 기술된 TFT(44)의 것과 동일하다.

화소전극(8)과 중첩영역(57)에서 구성은 제30도를 참조하여 설명된다.

이 예에서 분리전극(20)은 하층분리전극(20a)과 상층분리전극(20b)으로 구성된 이중층 구조이다.

분리전극(21)은 하층분리전극(21a)과 상층분리전극(21b)으로 구성된 이중층 구조와 같다.

두께가 각각 500∼700Å이고 갭(47)을 통해 제공된 하층분리전극(20a, 21a)로 된 ITO로 만든 하층분리전극(20a, 21a)가 유리기판(24)상에 배치된다.

제8도의 대쉬선으로 표시된 바와 같이 하층분리전극(20a, 21a)이 배치된 영역에서 게이트절연막(28)은 각 전극(20a, 21a)의 주변에너지 내의 부위에서 제거된다.

하층분리전극(20a, 21a)에 인접한 중첩영역(57)에서 게이트절연막(28)은 그들을 통해 남게 된다.

제30도에서 표시된 바와 같이 두께가 500∼700Å으로 된 ITO의 상층분리전극(20b, 21b)이 하층분리전극(20a, 21a)상에 배치되고 상층분리전극(20b)은 드레인전극(55)과 접촉을 확실히 하기 위하여 TFT(44)의 드레인전극(55)상에 배치된다.

상층분리전극(20b, 21b)은 게이트절연막(28)상에 배치되어 중첩영역(57)의 갭(48)에서 서로간에 간격을 두고 있다.

갭(48)은 하층분리전극(20a, 21a)간에 갭(47)상에 중첩되지 않도록 설치된다.

다시말하면 상층분리전극(20b)은 갭(47)위에 위치하고 하층분리전극(21a)은 갭(48)밑에 위치한다.

상층분리전극(20b)은 중첩부(49)로 되어 게이트절연막(28)를 그 사이에 삽입시키도록 하층분리전극(21a)에 중첩된다.

본 실시예의 중첩부(49)에서 상층분리전극(20b)은 하층분리전극(21a)상에 중첩된다.

선택적으로 상층분리전극(21b)은 하층분리전극(20a)상에 중첩된다.

이 경우에 상층분리전극(21b)은 갭(47)위에 설치되고 하층분리전극(20a)은 갭(48) 밑에 설치된다.

연결부(58)는 분리전극(20, 21)이 서로 인접한 영역의 끝에서 형성된다.

제9도는 제8도의 K-K선을 따라 그린 연결부(58)의 단면도이며 두께가 2,500Å인 도전막(59)은 유리기판(24)에 배치된다.

이 예의 도전막(59)은 게이트버스선(25)과 게이트전극(26)과 하층분리전극(20a, 21a)간에 동시에 형성된다.

금속편(67, 68)은 도전막(59)의 양쪽끝 위에 설치되고 금속편(67, 68)과 막(59)사이에 게이트절연막을 삽입시키고 상층분리전극(20b, 21b)은 금속편(67, 68)위에 각각 중첩된다.

두께가 3,000Å의 SiNx의 보호막(34)은 TFT(44)와 분리전극(20, 21)와 중첩부(57)와 연결부(58)가 위에 언급된 바와 같이 배치된 것의 기판의 전체표면 위에 배치된다.

또한 방향막(35)은 액티브 행렬기판으로 되므로 보호막(34)상에 배치된다.

이런 방법으로 형성된 액티브 행렬기판에 대향된 대향기판은 제8도에 표시된 바와 같은 것이고 거기에 액정층(41)은 이 예의 액티브 행렬표시장치로 되어 두 개의 방향막(35, 40)간에서 대전된다.

또한 본 실시예에서 화소결함이 한 개 분리전극에서 발생할때 그 결함은 연결부(58)의 사용에 의하여 정정된다.

불량화소의 정정은 레이저빔과 같은 에너지와 같이 제9도의 화살표(70, 71)에 의하여 표시된 위치를 조사하므로서 수행된다.

레이저빔으로 조사하는 것은 상층분리전극(20b, 21b)이 서로 전기적으로 연결되도록 게이트절연막(28)의 파괴를 야기시킨다.

그래서 분리전극(20, 21)은 도전막(59)에 의하여 전기적으로 연결된다.

또한 화소결함이 TFT등의 절연불량에 의하여 야기되는 경우에 불량 TFT는 레이저빔으로 조사하므로 분리전극에서 단선된다.

따라서 불량화소를 가진 분리전극은 인접한 분리전극에 연결된 TFT에 의하여 구동된다.

이 예에서 중첩부(57)는 두개 전극(20, 21)에 인접한 영역에서 형성된다.

상층분리전극(20b)가 하층분리전극(20a)중 하나가 중첩영역(57)의 부위에 존재하므로 전압은 영역(57)과 대향전극(39)간에 액정에 가해진다.

따라서 전체 화소의 표시영역은 감소되지 않으며 표시화면의 콘트라스트나 브라이트니스가 떨어지지 않는다.

제10도와 제11도는 본 발명의 표시장치의 또 다른 예에 대한 연결부(58)를 표시한다.

제10도의 연결부(58)는 금속편(67), (68)에 배치된다. 도전막(59)과 상층분리전극(20b, 21b)은 레이저빔과 조사에 의하여 서로 직접 전기적으로 연결된다.

제11도의 연결부(58)는 도전막(59)이 하층분리전극(20a)에 전기적으로 미리 연결되고 있고 레이저빔은 막(59)에 전기적으로 연결되게 조사되고 상층분리전극(20b)은 레이저빔 조사공정에 의하여 서로 전기적으로 연결된다.

이 예의 액티브 행렬표시장치에서 화소결함이 발생할때까지 불량화소는 표시장치의 외부로부터 검출될 수가 있다.

그 후에 영상질을 저하시키지 않고 회복된다.

또한 표시화면의 콘트라스트나 브라이트니스가 저하되지 않으므로 고영상질의 표시장치는 낮은 가격으로 높은 수율로서 얻어질 수가 있다.

[예 4]

제12도는 본 발명의 표시장치에 사용된 또 하나의 액티브 행렬기판을 표시한다.

거기에 투명한 도전막(ITO)으로 만들어진 화소전극(105)는 행렬형태로 배치되고 각 전극(105)은 한쌍의 분리전극(105a, 105b)으로 분할된다.

그 사이에 주사신호를 공급하는 게이트버스배선(103)이 배치된다.

데이터신호를 제공하는 각 소스버스배선(104)은 게이트버스배선(103)과 수직으로 배치된다.

각 게이트버스배선(103)은 Ta, Al, Ti, Mo, Ta를 사용한 본 실시예와 같은 금속의 단일층 또는 다층에 의하여 일반적으로 형성된다.

각 소스버스배선(104)은 상기에서 언급된 바와 같은 같은 금속은 의해서 형성된다.

본 발명은 Ti를 사용한다.

게이트버스배선(103)과 소스버스배선(104)의 교차영역(142)에서 다음에 언급될 게이트절연막(111)(제3도)을 그 사이에 삽입시킨다.

게이트버스분기(108a)는 분리전극(105a)의 소스버스배선(104)과 평행하게 게이트버스배선(103)으로부터 분기한다.

TFT(106a)는 분기(108a)에 배치된다.

게이트버스분기(108b)도 분리전극(105b)의 소스버스배선(104)과 병행하게 같은 것으로부터 분기한다.

TFT(106b)는 분기(108b)상에 배치된다.

TFT(106a, 106b)는 소스전극(115a, 115b)에 의하여 동일한 소스버스배선(104)에 전기적으로 연결된다.

TFT(106a)와 분리전극(105a)은 드레인전극(116a)에 의하여 전기적으로 연결된다.

TFT(106b)와 분리전극(105b)이 드레인전극(116b)에 의하여 전기적으로 연결된다.

제16도는 TFT(106a)의 근처의 평면도이며 거기에 직각단부(138)는 드레인전극(116a)은 게이트버스분기(108a)에서 가장 먼곳에 있는 단부(138)의 측부에 연결된다.

위에 언급된 구성으로서 한상의 분리전극(105a, 105b)은 별개의 TFT(106a, 106b)에 의하여 동일한 주사신호와 동일자료 신호에 의하여 구동된다.

따라서 한개의 화소전극(105)을 구성한 두개의 분리전극(105a, 105b)은 동시에 동일한 표시를 수행할 수 있다.

제13도는 제12도의 F-F선에 따라 그린 단면도이다.

TFT(106a)의 근방의 단면구성은 제13도에 따라 설명한다.

TFT(106b)의 단면구성은 TFT(106a)의 것과 동일한 것이다.

두께가 3,000∼9,000Å의 SiNx나 Ta₂O₅, Al₂O₃로 만든 베이스도포막(102)이 유리기판(10)상에 배치된다.

게이트버스분기(108a)의 부위로 형성된 Ta의 게이트전극(109)상에 게이트전극(109)의 표면을 양극산화하므로서 얻어진 Ta₂O3의 양극산화막(110)이 배치된다.

게이트절연막으로서 작용하는 SiNx(예로서 Si₃N₄)의 게이트절연막(111)은 막(110)을 포함한 기판의 전체면에 배치된다.

게이트절연막(111)의 두께는 500∼6,000Å의 범위내에서 적합하지만 이 예에서는 2,000∼3,500Å에서 설정된다.

a-Si(i)막(112)의 상부표면을 보호하기 위하여 SiNx로 만든 반도체 보호막(113)과 a-Si(i)막(112)이 게이트절연막(111)위에 배치된다.

또한 a-Si(n⁺)막(114)은 보호막(113)상에 배치되고 소스전극(115a)과 드레인전극(116a)은 a-Si(n⁺)상에 배치되며 a-Si(n⁺)막은 소스전극(115a)과 드레인전극(116a)과 저항접촉을 얻도록 한다.

분리전극(105a)은 게이트절연막(111)상에 패턴되고 드레인전극(116a)과 전기적으로 연결된다.

보호막(117)은 SiNx로 만들어지며 TFT(106a)와 화소전극(105)의 전체표면을 덮도록 배치된다.

액정층(118)의 방향을 조정하는 방향막(119)은 보호막(117)상에 배치된다.

보호막(117)의 적당한 두께는 2,000∼10,000Å의 범위내이나 본 실시예에서는 약 5,000Å에서 설정된다.

게이트절연막(111)과 보호막(117)은 SiOx, Ta₂O₅, Al₂O₃또는 SiNx를 제외한 질소화물과 같은 산화물로 만들어진다.

더욱이 보호막(117)은 보호막(117)이 기판의 전체표면상에 배치되지 않은 윈도우 구조로 될 수 있으나 버스배선과 같은 부위만 덮으며 그것은 표시장치에 직접 연결되지 않는다.

보호막(117)은 분리전극(105a, 105b)의 중심에 대응하여 제거된다.

컬러필터(121)과 대향전극(122)과 방향막(123)은 유리기판(1014)에 대향한 다른 유리기판의 내부표면상에 중첩된다.

블랙행렬(도시되지 않음)은 희망하는 바와 같이 화소전극(105)에 대향한 컬러필터(121)의 부위의 설치된다.

한쌍의 유리기판(101), (120)간에 표시매체로서 트위스티드네마틱 액정층(118)이 대전된다.

액정층(118)은 그 방향을 변조하기 위하여 화소전극(105)과 대향전극(122)간에 가해진 전압에 반응한다. 그래서 광변조를 수행한다.

그러나 광변조는 표시패턴으로서 눈으로 인식이 가능하게 된다.

제12도에서 표시된 바와 같이 연결영역(107)은 TFT(106a, 106b)가, 배치되지 않은 분리전극(105a, 105b)의 코너에 게이트버스배선(103)을 따라 형성된다.

그 연결영역(107)은 두개의 코너를 통해 배치된다.

제14도는 제12도의 G-G선을 따라 취한 단면도이며 제12도의 G'-G'선을 따라 취한 단면도는 제14도와 같은 것이다.

게이트버스배선(103)의 양측에 평행으로 배치된 한쌍의 도체층(12a, 12b)은 베이스도포막(102)상에 배치된다. 도체층(126a, 126b)은 게이트버스배선(103)과 동시에 형성될 수 있다.

위에서 기술된 게이트절연막(111)은 도체층(126a, 126b)의 전체표면상에 배치된다.

도체편(127a, 127b)은 도체층(126a, 126b)의 한쪽끝 위의 게이트절연막(111) 사이에 삽입하여 배치된다. 분리전극(105a, 105b)은 도체편(127a, 127b)상에 각각 배치되고 서로 전기적으로 연결된다.

스패어배선(128)은 도체층(126a, 126b)의 중심상에 배치된다.

제12도에 표시된 바와 같이 스패어배선(128)은 절연막(111)을 그 사이에 삽입하기 위하여 도체층(126a), 게이트버스배선(103)과 도체층(126b)위에 배치된다.

도체편(127a, 127b)과 스패어배선(128)은 소스버스배선(104)과 동시에 형성될 수 있다.

도체층(126a, 126b)의 다른끝 위에 소스버스배선(104)의 분기(129a, 129b)는 게이트절연막(111)을 그 사이에 삽입하여 배치된다.

도체층(126a, 126b), 도체편(127a, 127b)과 스패어배선(128)은 Ta, Al, Ti, Mo, 기타로 만들어진다.

위에서 기술된 연결부를 가진 연결영역(107)에서 도체편(127a), 스페어배선(128)과 분기끝(129a)은 그들이 서로 전기적으로 단선된 상태로 게이트절연막(111)을 그 사이에 삽입시키기 위하여 도체층(126a)위에 그 순서로 배치된다.

도체편(127b), 스패어배선(128)가 분기끝(129)도 그 순서대로 그들이 서로 전기적으로 단선된 상태로 게이트절연막(111)을 그 사이에 삽입시키기 위하여 도체층(126b)위에 배치된다.

그 스패어배선(128)은 두개 도체층(126a, 126b) 위에 배치되며 또한 게이트절연막(111)을 그 사이에 삽입시키기 위하여 게이트버스배선(103)의 양측에 배치되었다.

연결영역(107)은 보호막(117)에 의하여 완전히 도포된다.

도체층(126a)간에 끼워진 게이트절연막(111)과 도체편(127a), 스패어배선(128)과 분기끝(129a)은 그 사이에 내부층절연막으로서 작용하며 두께는 1,000∼7,000Å의 범위내가 적합하다.

그러나 이 실시예는 TFT(106a)의 게이트절연막(111)을 이용하며 그 막(111)은 위에서 언급된 바와 같이 2,000∼3,500Å이 되게 설정되어 있다.

보호막(117)은 표시매체에 액정층(118)으로부터 격리된 상태에서 도체층(126a)과 도체편(127a), 스패어배선(128)과 분기끝(129a)간에 특히 연결되어 사용한다.

보호막(117)의 두께는 1,500∼15,000Å의 범위에서 적용가능하다.

TFT(106a)의 보호막이 이 예에서 사용되므로 그것은 약 5,000Å으로 설정되어 있다.

구동전압은 TFT(106a, 106b)를 통해 모든 분리전극(105a, 105b)로 위에 언급한 구성을 가진 액정 표시장치의 게이트버스배선(103)과 소스버스배선(104)의 모든 배선에서 가해진다.

또한 표사화면의 전체표면은 표시상태로 된다.

따라서 화소결함은 쉽게 시각적으로 인식된다.

화소결함이 TFT(106a, 106b)의 결함이나 게이트분기(108a, 108b)의 연결불량에 의하여 분리전극(105a, 105b)에서 발생하는 경우에 연결영역(107)의 사용으로 결함의 정정이 용이하게 된다.

화소결함이 분리전극(105a)에서 발생하도록 TFT(106a)와 게이트분기(108a)에서 그 결함이 발생하는 경우의 예를 설명한다.

화소결함은 표시장치의 외부에서 레이저빔으로서 조사하여 정전된다.

제15도에는 제12도의 G-G선을 따라 취한 단면도이다.

화살표(136, 137)에 의하여 표시된 바와 같이 연결영역(107)은 하부유리기판(101)을 통해 외부로부터 레이저빔, 적외선이나 전자빔과 같은 에너지로서 조사된다.

이 실시예에서 YAG 레이저빔은 조사에너지로서 사용된다.

도체층(126a), 게이트절연막(111)과 도체편(127a)이 중첩되어 레이저빔으로 조사되는 중첩부(화살표 136으로 표시됨)에서 게이트절연막(111)이 파괴를 야기시키며 도체편(127a)은 서로가 연결되어 용해되어 도전성을 가진다.

위에서 언급된 바와 같이 동일한 방법으로 도체층(126a), 게이트절연막(111)과 스패어배선(128)의 중첩부(화살표 137로 표시됨)는 레이저빔으로 조사되고 그 빔은 게이트 절연막(111)을 파괴시켜 도체층(126a)과 스패어 배선(128)은 도전성을 갖기위하여 용융되고 서로 연결된다.

도체편(127a)과 분리전극(105a)이 도전상태에 있으므로 분리전극(105a)과 스패어배선(128)이 전기적으로 연결된다.

레이저빔으로 조사해서 전기적연결이 도체층(126b)과 도체편(127b)사이에 또한 도체층(126b)와 스패어배선(128)간에서 이루어진다.

도체편(127b)과 분리전극(105b)이 도전상태에 있으며 스패어배선(128)은 전기적으로 연결되어 있다.

이런 방법으로 4개의 부위가 각각 연결되어 분리전극(105a), (105b)이 전기적으로 연결된다.

따라서 화소결함을 가진 분리전극(105a)은 연결영역(107)에 의하여 정상적인 TFT(106b)에 의하여 구동된다.

화소결함이 TFT(106a)의 절연불량 때문에 분리전극(105a)에서 발생하거나 절연불량이 게이트분기(108a)에서 발생하는 경우에 TFT(106a)의 드레인전극(116a)은 레이저빔 조사에 의하여 컷트된다.

제16도에 표시된 바와같이 단부(138)는 드레인전극(116a)에 연결되기 위하여 분리전극(105a)에 제공된다.

드레인전극(116a)은 레이저빔으로서 단부(138)의 영역(R)을 조사하여 컷트된다.

그러한 단부(138)는 전기적으로 그 사이에 도전성을 갖게 하기 위하여 드레인전극(116a)과 분리전극(105a)간에 위치한 부위로부터 다시 드레인전극(116a)이 컷트될 때 용융전극 재질을 방지하게 한다. 또한 분리전극(105b)의 화소결함을 야기시키기 위하여 결함이 TFT(106b)나 게이트분기(108a)에서 발생할 때에 그 결함도 역시 연결영역(107)의 사용으로 정정될 수 있다.

제17a도에 표시된 바와 같이 소스버스배선(104)의 연결불량이 소스버스배선(104)을 가진 게이트 버스배선(103)의 교차영역(142)에서 발생하거나 제17b도에 표시된 바와같이 연결불량이 소스버스배선(104)과 게이트버스배선(103)간의 핀구멍이나 기타에 의하여 발생할 때에도 이 실시예의 연결영역(107)은 표시화면상의 선결함으로 나타나는 그러한 결함은 정정할 수 있다.

이러한 정정은 다음과 같이 수행된다.

첫째 : 제17b도에서 표시된 바와같이 연결불량이 핀구멍(141) 때문에 발생할 때 소스버스배선(104)은 레이저빔 조사에 의하여 A-A선과 B-B선간의 부위에서 컷트된다.

제17b도에서 표시된 바와같이 단선부(140)가 발생할 때는 레이저빔에 의하여 컷팅공정이 필요치 않다.

다음 제14도에 표시된 바와 같이 소스버스배선(104)의 분기끝(129a), 게이트절연막(111)과 도체층(126a)이 중첩되는 중첩부위가 레이저빔으로 조사된다.

레이저빔으로 조사하여 게이트절연막(111)에서 파괴가 발생하므로 분기 끝(129a)과 도체층(126a)은 서로 연결되어 도전체가 되기 위하여 용융된다.

위에서 언급한 동일한 방법은 스패어배선(128), 게이트절연막(111)과 도체층(126a)이 중첩되는 중첩부가 레이저빔으로 조사된다.

그래서 게이트절연막(111)은 파괴되고 스패어배선(128)과 도체층(126a)은 서로 연결되어 통전되도록 용융된다.

따라서 교차영역(142)과 스패어배선(128)의 일측의 소스버스배선(104)부위가 도체층(126a)에 의하여 전기적으로 연결된다.

동일한 방법으로 레이저빔으로 조사해서 전기적인 연결이 소스버스배선(104)과 도체층(126b)간과 스패어배선(128)과 도체층(126b) 사이에서 이루어진다.

그래서 교차영역(142)과 스패어배선(128)의 타측의 소스버스배선(104)의 부위가 도체층(126b)에 의하여 서로 전기적으로 연결된다.

이러한 방법으로 이 연결들이 4개부위에서 이루어지므로 교차영역(142)에 대향한 소스버스배선(104)의 두영역이 연결영역(107)에 의하여 전기적으로 서로 연결될 수 있다.

이 예에서 레이저빔의 유리기판(101)측에서 방사될지라도 두 기판이 레이저빔이 전달될 수 있는 재질을 통하여 재질로 만들어진 경우에 그것은 어떤 기판에서도 방출될 수 있다.

그러한 화소결함의 정정이 레이저빔의 사용으로 이루어진 때에도 보호막(117)이 연결영역(107)위에서 형성되기 때문에 용융금속은 표시매체의 액정으로 들어가지 않는다.

보호막(117)은 레이저빔이 전달되는 것을 통해 투명한 절연체이다.

따라서 보호막(117)이 레이저빔에 의하여 부서지는 일이 없다.

레이저빔에 의하여 조사된 영역근처의 액정층은 희미하게 될 수 있으며 희미한 부분이 곧 사라지고 이 표시장치의 영상질이 떨어지지 않는다.

제12도에 관한 예에서 연결영역(107)은 2개의 결함정정기능을 가진다.

그 하나는 분리전극(105a, 105b)에서 발생된 화소결함이 정정되는 것이고 다른 하나는 교차영역(142)의 절연불량이나 소스버스배선(104)의 단선불량이 정정되는 것이다.

그러나 그것은 단지 두 개의 기능의 하나만을 가진다.

제18도는 화소결함의 정정이 이루어질 수 있는 것에 의하여 하나의 기능을 가진 연결영역(171)을 표시하며 그것에서 소스버스배선(104)은 분기 끝(129a, 129b)에 설치되지 아니하여 연결영역(171)은 분기끝(129a)밑에 설치된 도체층(126a)의 부위와 분기 끝(129a)이 제14도에 표시된 연결영역(107)에서 제거되도록 구성된다.

제19도는 교차영역(142)이나 소스버스배선(104)의 절연불량의 정정이 향해질 수 있는 것에 의하여 다른 기능을 갖는 또 다른 연결영역(172)를 표시한다.

그것에서 연결영역(172)은 도체편(127a, 127b)에 설치되지 않고 그 연결영역(172)은 도체편(127a) 밑에 설치된 도체편(127a)과 제14도에 표시된 연결영역(107)에서 제거된다.

[예 5]

제20도는 본 발명의 또 다른 표시장치의 사용되는 액티브 행렬기판을 표시하며 그것에서 각 화소전극(105)은 예 4의 것과 같은 방법으로 두개의 분리전극(105a), (105b)으로 나누어진다.

연결부(143)는 상기 화소전극(105)의 하나의 분리전극(105a)과 상기 화소전극(105)에 인접한 화소전극의 분리전극(105b)간에 구성된다.

제21도에는 제20도의 H-H선을 따라 취한 단면도이며 그곳에서 베이스막(102)은 유리기판(101)의 전체표면에 배치되고 전기적 도전막(144)은 베이스막(102)에 배치되고 게이트버스배선(103)과 동시에 형성된다.

절연막(111)은 전기적 도전막(144)의 전체표면을 포함하게 배치된다.

금속편(145a, 145b)은 게이트 절연막(111)을 그 사이에 삽입시키기 위하여 전기적 도전막(144)의 양끝위에 배치된다.

이 금속편(145a, 145b)은 소스버스배선(104)과 동시에 형성될 수 있으며 그 금속편(145a), (145b)위에 분리전극(105a), (105b)이 각각 배치되고 연결부(143)는 보호막(117)에 의하여 완전히 덮혀진다.

제12도에 관련된 예의것과 같은 방법으로 상기의 구조의 액정표시장치는 화소결함이 발생하는 위치를 확인하게 동작된다.

화소결함이 TFT(106a, 106b)나 게이트분기(108a, 108b)의 불량연결 때문에 분리전극(105a), (105b)중의 하나에서 발생할 때 화소결함은 연결부(143)의 사용에 의하여 쉽게 정정될 수 있다.

분리전극(105a)의 화소결함을 야기시키는 TFT(106a)나 게이트분리(108a)에서 결함이 발생하는 경우를 예시한다.

이 경우에 있어서 동시에 레이저빔은 표시장치의 외부로부터 도전막(144)이 금속편(145a, 145b)상에 중첩부까지 방출된다.

따라서 분리전극(105a)를 전기적으로 연결하므로서 분리전극(105a)에 인접한 화소전극의 분리전극(15b)에 전기적으로 연결될 수 있다.

이러한 방법으로서 화소결함이 연결부(143)의 사용으로 정정이 될 때 불량분리전극(105a)이 인접한 화소전극의 TFT(106b)에 의하여 구동된다.

따라서 분리전극(105a)이 그 고유의 표시작동을 수행할 수 없는 경우에도 화소결함의 발생을 피할수가 있다.

또한 본 실시예에서 희망하는대로 불량분리전극(105a)에서 TFT(106a)를 단선할 수 있다.

화소결함이 분리전극(105b)에서 발생하는 경우 그 결함은 상기한 바와 같은 방법으로 정정이 된다. 본 실시예에서 연결부(143)가 TFT(106a, 106b)에서 가장 멀리있는 위치에 설치되는 경우에도 그 위치가 분리전극(105a, 105b)에서 가장 멀리 있는 위치에 설치되는 경우에도 그 위치가 분리전극(105a, 105b)에 인접하다면 어느위치에서 설치가 가능해진다. 예를들면 제22도에 표시된 바와 같이 연결부(143)가 각 TFT(106a, 106b)의 근처에 설치될 수 있다.

화소결함이 연결부(143)의 사용에 의하여 정정될 수 있게 되는 경우 제12도에서 표시된 예시의 것과 같은 버스배선의 교차영역(142)의 결함에 의하여 발생된 선결함은 정정될 수 없다.

제23도는 상기의 선결함을 정정하기 위한 기능을 가진 액티브 행렬기판을 가진 또 하나의 표시장치이다.

이 액티브 행렬기판은 제20도의 예시의 연결부(143)가 제19도의 예시의 연결영역(172)과 결합한다.

상술한 바와 같이 본 발명의 액티브 행렬표시장치로서 스위칭소자나 버스배선의 결함에 의하여 발생된 화소결함이나 선결함은 표시장치가 표시를 수행하는 동안 쉽게 특정되고 정정이 된다.

따라서 검사공정과 정정공정이 편리해지며 생산이 쉽게 되어 저렴하게 이 표시장치를 생산할 수 있다. 상기의 예 4와 예 5에서 베이스막(102)을 각각 구비되었으나 베이스막(102)은 절대적으로 필요한 것은 아니다.

또한 상기의 예의 어느것이나 송신형 액정표시장치를 개시하고 있으나 본 발명은 물론 반사형 표시장치에도 적용이 가능하게 된다.

더욱이 상기의 예시가 TFT를 사용하는 액티브 행렬표시장치를 개시하는 경우지만 본 발명은 MIM소자, 다이오드나 배리스터와 같은 다양한 스위칭소자를 사용한 표시장치에도 적용이 가능하다.

또한 본 발명은 표시매체로서 엷은막광조사층, 분산형 EL광조사층, 프라즈마발광체 및 기타등을 사용한 다양한 표시장치에도 적용이 가능하다. 본 발명의 범위와 정신으로부터 벗어나지 않고 그 분야에서 익숙한 자에 의하여 쉽게 만들어지고 여러가지 또는 변경을 하는 것이 명백하다. 따라서 첨부된 청구범위에 한정되지 아니하며 오히려 그 청구범위는 본 발명에 내재하는 특허 가능한 신규성이 모든 특징을 포함하는 것으로 고려되며 모든 특징은 본 발명이 관계되는 기술에서 익숙한 자에 의하여 균등물로 간주된다.

Claims (15)

1. 액티브 행렬기판은 절연기판상에 행렬로 배치된 화소전극과, 복수의 분리전극ㅇ로 구성된 상기 각 화소전극과, 서로 인접한 상기 분리전극의 두 개의 각 부위가 중첩되는 것에 전기적으로 도전막을 포함한 것에 있어서 두 개 분리전극의 상기 각 부위와 상기 전기적으로 도전막이 비도전상태에서 절연막을 그 사이에 개재시키기 위하여 배치되어 한개의 연결부로 되는 액티브 행렬표시기판.
2. 제1항에 있어서 한쌍의 금속편은 각각 두개 분리전극의 상기 부위의 하나와 상기 절연막에 배치되고 또한 상기 연결부에서 두개 분리전극의 상기 부위의 다른것과 절연막간에 배치되는 액티브 행렬표시기판.
3. 제2항에 있어서 구멍은 한쌍의 금속편의 하나와 상기 전기적으로 도전막 간에 배치된 상기 절연막의 부위에 배치된 액티브 행렬표시기판.
4. 액티브 행렬표시 장치는 적어도 한개가 투명한 한쌍의 기판과, 한쌍의 기판간에서 대전되는 표시매체와, 인가전압에 따라 변조된 표시매체의 광 특성과, 상기 기판의 하나에 행렬로 배치된 화소전극과, 복수분리전극으로 구성된 상기 각 화소전극과, 서로 인접한 두개의 분리전극의 각 부위가 중첩되는 곳에 전기적으로 도전막을 포함한 것에 있어서 두개 분리전극의 각 부위와 전기적으로 도전막이 절연막을 비도전 상태에서 그 사이에 삽입하기 위하여 배치되어 연결되고 상기 연결부는 그 연결이 상기 표시매체로부터 격리되는 것에 의하여 보호막으로 도포된 액티브 행렬표시장치.
5. 제4항에 있어서 한쌍의 금속편은 상기 두개의 분리전극의 상기 부위의 하나와 절연막간에 각각 배치되고 또한 상기 연결부에서 두 개의 분리전극의 상기 부위의 다른 것과 절연막간에 배치된 액티브 행렬표시장치.
6. 제5항에 있어서 구멍은 한쌍의 금속편의 하나와 상기적으로 도전막간에 배치된 절연막의 부위에 배치된 액티브 행렬표시장치.
7. 액티브 행렬표시 장치는 상기 기판의 하나에 행렬로 배치된 화소전극과, 서로 인접한 두개의 분리전극의 각각의 부위가 중첩된 것의 전기적 도전막을 포함한 것에 있어서 두개 전극이 서로 인접한 부위에 비도전 상태에서 절연막을 그 사이에 삽입토록 하기 위하여 상기 두개 화소전극이 서로 중첩되고 비도전 상태에서 상기 절연막을 삽입하도록 하기 위하여 상기 전기적인 도전막은 두개 분리전극의 부위의 하나에 전기적으로 연결되며 상기 두개의 분리전극의 다른 부위에 대향되게 배치되고 하나의 연결부로 되고 상기 연결부가 그 표시매체로부터 격리되는 것에 의하여 보호막으로 상기 연결부가 도포된 액티브 행렬표시장치.
8. 액티브 행렬표시 장치는 적어도 하나가 투명한 한쌍의 기판과, 상기 한쌍의 기판간에 대전된 표시매체와, 인가전압에 따라 변조된 표시매체의 광 특성과, 기판의 하나의 내측표면에 행렬로 배치된 화소와, 복수의 분리전극으로 구성된 상기 화소전극의 각각을 포함한 것에 있어서 각 분리전극은 상층 분리전극과 하층분리전극을 포함하며, 두개 분리전극이 서로 인접 배치된 부위에서 상기 분리전극의 하나의 하층 분리전극과 상기 분리전극의 다른것의 상층 분리전극은 비도전 상태에서 절연막을 삽입시키기 위하여 서로 중첩되고 전기적인 도체막은 비도전 상태에서 절연막을 그 사이에 삽입하기 위하여 두개 분리전극의 상층 분리전극의 각각에 대향하도록 배치되어 하나의 연결부로 되며, 상기 연결부는 상기 표시매체에서 격리토록 보호막으로 도포되는 액티브 행렬표시장치.
9. 제8항에 있어서 한쌍의 금속편은 두개의 상층 분리전극과 절연막간에 상기 연결부에 배치되는 액티브 행렬표시장치.
10. 제8항에 있어서 한쌍의 금속편은 두개의 상층 분리전극과 절연막간에 상기 연결부에 배치되는 액티브 행렬표시장치.
11. 액티브 행렬표시 장치는 적어도 하나가 투명한 한쌍의 기판과, 그 기판간에 대전된 표시매체와, 인가전압에 의하여 변조된 표시기판의 광 특성과, 상기 한쌍의 기판의 하나에 행렬로 배치된 화소전극과, 한쌍의 분리전극으로 구성된 각 화소전극과, 한쌍의 분리전극간에 배치된 제1버스배선과, 상기 제1버스배선과 교차하는 제2버스배선을 포함한 것에 있어서 연결영역은 상기 제1버스 배선의 양측에 배치되고 그곳에 병렬로 연장하는 한쌍의 전기도체층과, 비도전 상태에서 절연막을 그 사이에 각각 삽입하기 위하여 전기도체층의 부위에 중첩된 한쌍의 전기도체편과, 도전상태에서 상기 전기 도체편위에 각각 중첩된 분리전극부위와, 절연막을 그 사이에 삽입하기 위하여 제1버스 배선과 교차하는 스패어 배선과, 비도전상태의 절연막을 그 사이에 삽입하기 위하여 상기 도전체층에 중첩된 스패어 배선과, 상기 표시매체에서 격리되게 하기 위하여 보호막으로 도포된 상기 연결영역을 포함한 액티브 행렬표시 장치.
12. 액티브 행렬표시 장치는 적어도 하나가 투명한 한쌍의 기판과, 그 기판간에서 대전된 표시매체와, 인가전압에 따라 변조되는 표시매체의 광 특성과, 한쌍의 기판의 하나에 행렬로 배치된 화소전극과, 한쌍의 분리전극으로 구성된 각 화소전극과, 한쌍의 분리전극간에 배치된 제1버스배선과, 제1버스배선과 교차하는 제2버스배선을 포함하는 것에 있어서 연결영역은 제1버스 배선의 양측에 배치되고 그곳에 병렬로 연장하는 한쌍의 도체층과, 비도전 상태에의 각각 절연막을 그 사이에 삽입하기 위하여 도체층의 한쪽 끝에 중첩된 제2버스배선의 한쌍의 분기끝과, 절연막을 그 사이에 삽입하기 위하여 제1버스 배선과 교차하는 스패어 배선과, 비도전상태의 절연막을 그 사이에 삽입하기 위하여 도체층에 중첩된 스패어 배선과, 표시매체에서 격리되게 하기 위하여 보호막으로 도포된 상기 연결영역을 포함한 액티브 행렬표시 장치.
13. 제11항에 있어서 상기 연결영역에서 상기 도체층의 각각의 한쪽끝과 제2버스배선의 한쌍의 분기끝의 각각은 비도전 상태에서 절연막을 그 사이에 삽입시키기 위하여 서로가 중첩되는 액티브 행렬 표시장치.
14. 액티브 행렬표시 장치는 적어도 하나가 투명한 한쌍의 기판과, 상기 기판간에서 대전된 표시매체와 인가전압에 따라 변조된 표시매체의 광 특성과, 상기 한쌍의 기판의 하나에 행렬로 배치된 화소전극과, 한쌍의 분리전극으로 구성된 각 화소전극과, 한쌍의 분리전극간에 배치된 제1버스배선을 포함한 것에 있어서 연결부는 서로 인접한 각 화소전극을 구성한 두개의 분리전극에 중첩된 도전막과, 비도전상태에서 절연막을 그 사이에 삽입시키기 위하여 도전막의 양쪽 끝에 중첩된 한쌍의 금속편과, 도전상태에서 상기 금속편에 각각 중첩된 분리전극 부위와, 표시매체에서 격리되도록 보호막에 의하여 덮여진 상기 연결부를 포함한 액티브 행렬표시장치.
15. 제11항 내지 제13항중 어느 하나에 있어서 연결부는 서로 인접한 화소전극을 구성한 분리 전극에 중첩된 도전막과, 비도전상태에서 절연막을 그 사이에 삽입시키기 위하여 도전막의 양쪽끝에 중첩된 한쌍의 금속편과, 도전상태에서 금속편에 중첩된 상기 분리전극부와, 표시매체에서 격리되게 하기 위하여 보호막으로 도포된 상기 연결부를 포함한 액티브 행렬표시장치.

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