JP5842812B2 - 表示パネルおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
そこで、本発明は、隣接する画素電極の接続部分が断線し難い表示パネルを提供することを目的とする。
本発明の一態様である表示パネルは、薄膜トランジスタ素子を含む駆動部が複数、マトリクス状に配置されてなるトランジスタアレイ基板と、前記トランジスタアレイ基板上に形成され、前記複数の駆動部に対応する各領域の一部分にコンタクトホールが形成された層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜上に前記複数の駆動部に対応してマトリクス状に配置された複数の画素電極を備え、前記複数の駆動部には、欠陥の駆動部が一部に含まれており、前記複数の画素電極のうち、欠陥の駆動部にそれぞれ対応するものを第1画素電極と、欠陥でない駆動部にそれぞれ対応するものを第2画素電極と称した場合、前記第2画素電極の各々は、一部が対応するコンタクトホールに入り込むように形成されており、前記第2画素電極のそれぞれのコンタクトホールに入り込んでいる部分が、対応する駆動部の給電パッドとコンタクトすることで、前記第2画素電極のそれぞれが、対応する駆動部に電気的に接続されており、前記第1画素電極のそれぞれは、対応する駆動部と電気的に非接続に保たれており、前記第1画素電極のそれぞれは、隣接する第2画素電極の何れかと導電性材料からなる接続部により接続され、前記接続部のそれぞれは、前記第1画素電極から前記隣接する第2画素電極に至る当該接続部のそれぞれが形成された全領域で、前記層間絶縁膜に接した状態で形成されているとした。
ここで、本発明の別の態様として、前記複数の画素電極および前記接続部のそれぞれは、同一材料からなり、前記第1画素電極、前記隣接する第2画素電極、および前記接続部のそれぞれは、一体形成されているとしてもよい。
本態様の表示パネルでは、前記接続部により接続された前記第1画素電極と前記隣接する第2画素電極の間には、例えば自然酸化膜のような、接続界面に存在し電気抵抗成分となる接続界面が存在しない。したがって、前記第1画素電極から、前記接続部により接続された前記隣接する第2画素電極への映像信号は、接続境界が存在する場合に比べ、減衰が少ない。その結果、欠陥の駆動部に対応した画素においても良好な発光を得ることができる。
ここで、本発明の別の態様として、前記絶縁部は、前記複数の画素電極を区画する隔壁であるとしてもよい。
ここで、本発明の別の態様として、少なくとも一つの第1画素電極は分割されており、分割された第1画素電極のそれぞれは、当該第1画素電極に隣接する、別々の第2画素電極に接続されているとしてもよい。
ここで、本発明の別の態様として、前記第1画素電極のそれぞれは、対応する駆動部の前記薄膜トランジスタ素子における、当該第1画素電極のそれぞれへの給電経路が切断されることにより、対応する欠陥の駆動部と電気的に非接続に保たれているとしてもよい。
ここで、本発明の別の態様として、前記層間絶縁膜は、前記トランジスタアレイ基板上に形成されたパッシベーション膜と、前記パッシベーション膜上に形成された平坦化膜を含むとしてもよい。
ここで、本発明の別の態様として、前記第1画素電極のそれぞれは、列方向に隣接した第2画素電極に接続されているとしてもよい。
表示パネルにおける発光色が列ごとに異なることを前提とした場合、本態様の表示パネルでは、前記第1画素電極のそれぞれは、同一の発光色の第2画素電極に接続されているため、ユーザへの違和感を低減することができる。
ここで、本発明の別の態様として、前記表示パネルは、有機エレクトロルミネッセント表示パネルであるとしてもよい。
ここで、本発明の一態様である表示パネルの製造方法は、基板を準備する準備工程と、前記基板上に、薄膜トランジスタ素子を含む駆動部を複数マトリクス状に配置することで、トランジスタアレイ基板を形成するトランジスタアレイ基板形成工程と、前記トランジスタアレイ基板上に、前記複数の駆動部に対応する各領域の一部分にコンタクトホールが形成された層間絶縁膜を形成する層間絶縁膜形成工程と、前記層間絶縁膜上に、前記複数の駆動部に対応して複数の画素電極をマトリクス状に配置する画素電極形成工程を含み、前記複数の駆動部には、欠陥の駆動部が一部に含まれており、前記複数の画素電極のうち、欠陥の駆動部にそれぞれ対応するものを第1画素電極と、欠陥でない駆動部にそれぞれ対応するものを第2画素電極と称した場合、前記第2画素電極の各々を、一部が対応するコンタクトホールに入り込むように形成し、前記第2画素電極のそれぞれのコンタクトホールに入り込んでいる部分を、対応する駆動部の給電パッドとコンタクトさせることで、前記第2画素電極のそれぞれを、対応する駆動部に電気的に接続し、前記第1画素電極のそれぞれを、対応する駆動部と電気的に非接続にし、前記第1画素電極のそれぞれを、隣接する第2画素電極の何れかと導電性材料からなる接続部により接続し、前記接続部のそれぞれを、前記第1画素電極から前記隣接する第2画素電極に至る当該接続部のそれぞれが形成された全領域で、前記層間絶縁膜に接するよう形成するとした。
その際、本発明の別の態様として、前記画素電極形成工程は、前記層間絶縁膜上に、電極材料からなる膜を形成する電極材料膜形成工程と、前記電極材料膜上にレジスト膜を形成するレジスト膜形成工程と、前記レジスト膜を、前記複数の画素電極に対応した所定形状にパターニングするレジスト膜パターニング工程と、前記所定形状にパターニングされたレジスト膜のうち、前記第1画素電極のそれぞれと、隣接する前記第2画素電極の何れかとの間に当たる部分に、レジスト材料を追加することで、前記第1画素電極のそれぞれから前記何れかの第2画素電極に至る領域に当たる部分を埋めるレジスト材料追加工程と、前記電極材料膜をエッチングすることで、前記第1画素電極、前記隣接する第2画素電極、および前記接続部のそれぞれを一体形成するエッチング工程を有するとしてもよい。
また、レジストパターニング後にレジスト修正を行っているため、欠陥の薄膜トランジスタ素子の位置に応じた露光用マスクを用意する必要はないので、コストの観点から有用である。
ここで、本発明の別の態様として、前記絶縁部は、前記複数の画素電極を区画する隔壁であるとしてもよい。
ここで、本発明の別の態様として、前記画素電極形成工程は、前記エッチング工程前に、前記所定形状にパターニングされたレジスト膜のうち、少なくとも一つの第1画素電極の中央部に当たる部分をレーザにより除去するレジスト膜除去工程を含み、前記レジスト材料追加工程では、前記所定形状にパターニングされたレジスト膜のうち、前記少なくとも一つの第1画素電極のそれぞれと、隣接する2つの前記第2画素電極との間に当たる部分のそれぞれに、レジスト材料を追加することで、前記少なくとも一つの第1画素電極のそれぞれから前記2つの第2画素電極のそれぞれに至る領域に当たる部分を埋め、前記エッチング工程では、前記少なくとも一つの第1画素電極を分割して形成するとともに、分割された第1画素電極のそれぞれを、当該第1画素電極に隣接する、別々の第2画素電極に接続するよう形成するとしてもよい。
ここで、本発明の別の態様として、前記絶縁材料膜形成工程の前に、前記各欠陥の駆動部の薄膜トランジスタ素子における、対応する第1画素電極への給電経路を切断する工程をさらに含むとしてもよい。
<実施の形態1>
−表示装置100の概略ブロック図−
図1(a)は、本発明の実施の形態1に係る表示パネル105を含む表示装置100の電気的な構成を示すブロック図である。図1(a)に示されるように、表示装置100は、制御回路101と、メモリ102と、走査線駆動回路103と、データ線駆動回路104と、画素回路が行列状に配置された表示パネル105を備える。表示パネル105は、例えばエレクトロルミネッセント(以下、「EL」と記す。)表示パネルであり、有機EL表示パネルとしてもよい。また、表示パネル105は、液晶表示パネルとしてもよい。
表示パネル105がEL表示パネルの場合には、データ線駆動回路104から供給された信号電圧は、スイッチングトランジスタ203を介して駆動トランジスタ204のゲート端子へと印加される。駆動トランジスタ204は、そのデータ電圧に応じた電流をソース−ドレイン端子間に流す。この電流が画素電極205へと流れることにより、その電流に応じた発光輝度が得られる。
−レイアウト−
続いて、表示パネル105における、ゲート線200、データ線201、電源線202、および駆動部209のレイアウトについて説明する。図2は、表示パネル105における、ゲート線200、データ線201、電源線202、および駆動部209のレイアウトを示す模式平面図である。
図3は、表示パネル105における画素電極205のレイアウトを示す模式平面図である。図3に示されるように、複数の画素電極205は、マトリクス状に配置されている。複数の画素電極205は、図2で示した複数の駆動部209と1対1に対応する形態で設けられている。したがって、複数の画素電極205の中には、欠陥でない駆動部にそれぞれ対応する画素電極(第2画素電極)と、欠陥の駆動部にそれぞれ対応する画素電極(第1画素電極)が存在することになる。以降の説明では、列(Y軸)方向に隣接した二つの画素電極(画素電極205aと画素電極205b)に着目して説明する。図3において、画素電極205aが駆動部209aに対応する画素電極を表し、画素電極205bが駆動部209bに対応する画素電極を表している。
先ほど説明したように、駆動部209bの駆動トランジスタ204bから給電パッド211bへと伸びる配線が切断されているため、画素電極205bが画素電極205aに接続されることで、画素電極205bは、駆動部209aにより駆動されることになる。すなわち、駆動部209aにより両方の画素電極が駆動される。
−断面図−
図4(a)は、表示パネル105の構成を模式的に示す部分断面図(図2のA−A’断面)であり、欠陥でない駆動部209aにおける駆動トランジスタ204aに対応する部分を示す。図4(a)に示されるように、基板401上にゲート電極402aが設けられ、ゲート電極402aの設けられた基板401上にゲート絶縁膜403が設けられている。ゲート絶縁膜403上における、ゲート電極402aの上方に当たる部分には半導体層404aが設けられている。加えて、ゲート絶縁膜403上には、ソースドレイン電極配線(以下、「SD電極配線」と記す。)405a、406aが設けられている。これらSD電極配線405a、406aは、それぞれ一部が半導体層404aに乗り上げており、当該半導体層404a上で間隔を隔てて位置している。さらに、SD電極配線405a、406aを覆うように層間絶縁膜407が形成されている。層間絶縁膜407は、例えば2層構造であり、薄膜トランジスタ素子を保護するために、SD電極配線405a、406aを覆うように形成されたパッシベーション膜408と、薄膜トランジスタ素子が形成された領域と形成されていない領域の表面段差を平坦に調整するために、パッシベーション膜408上に形成された平坦化膜409からなる。
さらにSD電極配線405b、406bを覆うように層間絶縁膜407が形成されている。層間絶縁膜407は、例えば2層構造であり、パッシベーション膜408と、パッシベーション膜408上に形成された平坦化膜409からなる。
しかしながら、本実施の形態では、平坦化膜409は厚膜であるため、接続部221abとゲート線200の間隔が大きくなるので、接続部221abとゲート線200の間の寄生容量を小さくすることができる。これにより、映像信号の遅延やクロストークによる画質劣化を防止することができる。
同様に、第1画素電極と、当該第1画素電極に接続された第2画素電極、およびこれらを接続する接続部として画素電極205a、画素電極205b、および接続部221abを例に挙げて、これらの構成について説明したが、他の第1画素電極と、当該他の第1画素電極に接続された第2画素電極、およびこれらを接続する接続部についても同様の構成となる。
表示パネル105の製作工程について説明する。ここでは特に、トランジスタアレイを形成する工程から画素電極を形成する工程までを説明する。図6は、表示パネル105の製作工程を示す図である。
まず、ステップS101のトランジスタアレイ形成工程では、基板上に複数の駆動部をマトリクス状に形成することで、トランジスタアレイ基板を形成する。
なお、欠陥がショート状態の場合には、画素電極への給電経路をカットする必要があるが、欠陥がオフ状態である場合には、必ずしも画素電極への給電経路をカットする必要はない。オフ状態の場合には対応する画素は滅点となり、その場合には、その周辺の画素が発光していても目立ち難いからである。
ステップS105の画素電極形成工程では、複数の駆動部に1対1に対応するように、複数の画素電極をマトリクス状に形成する。本実施の形態では、複数の画素電極の各々は、一部が対応するコンタクトホールに入り込むように形成され、当該一部が対応する給電パッドとコンタクトしている。
画素電極形成工程および画素電極接続工程について図7,8を用いて詳細に説明する。図7は、画素電極形成工程および画素電極接続工程の一例を示す工程図である。図8は、画素電極形成工程および画素電極接続工程のうち図7に示す工程に後続する部分の一例を示す工程図である。
この後、図7(b)に示されるように、電極材料膜411上に、レジスト層412を形成した後、図7(c)に示されるように、レジスト層412上に所定形状の開口部を持つマスク413を重ね、マスク413の上から感光させる。その後、余分なレジストを現像液(例えばTMAH(Tetra methyl ammonium hydroxide)水溶液)で洗い出すことで、レジスト層412のパターニングが完了する。パターニングされたレジスト層412は、図7(d)に示されるように、ゲート線200の上方に当たる部分が除去されており、レジスト部分412aとレジスト部分412bからなる。その後、電極材料膜411をウェットエッチング液でウェットエッチングすると、図7(e)に示されるように、電極材料膜411のうちレジスト層412a、412bで覆われた部分のみが残存する。その後、当該部分上のレジスト層412a、412bを例えば有機系剥離液で除去する。これにより、図7(f)に示されるように、画素電極205a、205bが形成される。以上が画素電極形成工程の説明である。
−表示パネル105の構成−
ここでは、表示パネル105の一例としてEL表示パネルの構成について説明する。
なお、図9には示されていないが、トランジスタアレイ基板301上に形成されたパッシベーション膜408および平坦化膜409には、複数の駆動部に相当する各領域の一部分にコンタクトホールが形成されている。画素電極205a、205bは、対応するコンタクトホールに沿って形成されることで、対応する給電パッドとコンタクトしている。
−各部構成−
トランジスタアレイ基板301は、基板上に複数の駆動部がマトリクス状に配置されてなる。
平坦化膜409は、ポリイミド系樹脂またはアクリル系樹脂等の絶縁材料からなる。
画素電極205a、205bは、アルミニウム(Al)、あるいはアルミニウム合金で形成されている。また、例えば、銀(Ag)、銀とパラジウムと銅との合金、銀とルビジウムと金との合金、モリブデンとクロムの合金(MoCr)、ニッケルとクロムの合金(NiCr)等で形成されていても良い。表示パネル105がトップエミッション型である場合には、画素電極205a、205bは、光反射性の材料で形成されていることが好ましい。なお、画素電極205a、205b以外の画素電極205もこれらと同様の材料からなる。
以上、本発明に係る表示パネルについて、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は上記実施の形態に限られないことは勿論である。例えば、以下のような変形例が考えられる。
<変形例1>
接続部の構成を替えた一変形例について説明する。本変形例において、表示パネルにおける、ゲート線200、データ線201、電源線202、および駆動部209のレイアウトは、図2と同一であるとする。
図10は、変形例1に係る表示パネルにおける画素電極の模式平面図である。図10に示されるように、複数の画素電極231は、マトリクス状に配置されている。複数の画素電極231は、図2で示した複数の駆動部209と1対1に対応する形態で設けられている。したがって、図3で示された構成と同様、複数の画素電極231の中には、欠陥でない駆動部に対応する画素電極(第2画素電極)と欠陥の駆動部に対応する画素電極(第1画素電極)が存在することになる。図10において、画素電極231aが駆動部209aに対応する画素電極を表し、画素電極231bが駆動部209bに対応する画素電極を表している。
−断面図−
図11は、変形例1の表示パネルの構成を模式的に示す部分断面図(図10のD−D’断面)である。図11に示されるように、基板401上にゲート線200が設けられ、ゲート線200の設けられた基板401上にゲート絶縁膜403が設けられている。さらに、ゲート絶縁膜403上にパッシベーション膜408および平坦化膜409がこの順に積層されている。ここまでは、図5で示される構成と同一である。ただし、変形例1では、平坦化膜409上に画素電極が間隔を隔てて設けられ、これらの電極を繋ぐように別途接続部が設けられているのではなく、画素電極231a、231b、および接続部231abは、同一材料からなり、かつ、一体形成されている。
−製作工程−
変形例1の表示パネルの製作工程について説明する。図12は、変形例1に係る表示パネルの製作工程を示す図である。
ステップS205の画素電極形成工程では、複数の駆動部に1対1に対応するように、複数の画素電極をマトリクス状に形成する。複数の画素電極は、フォトリソ法を用いて形成される。フォトリソ法を用いて複数の画素電極を形成する際には、一般的に、レジスト層をパターニングした後にレジスト修正工程が設けられる。この工程は、パターニングされたレジスト層の断線等を検出し修正する工程であり、ディスペンサによりレジスト材料を追加したり、パターニングされたレジスト層の一部をレーザにより除去したりする。本変形例では、このレジスト修正工程において、画素電極231aと画素電極231bの間にレジスト材料を追加する。これにより、画素電極231a、231bと接続部231abを一体形成している。詳細は、図13、14を用いて説明する。
レジスト層のパターニングの後、図14(a)に示されるように、レジスト部分412aとレジスト部分412bの間の隙間部分(電極材料膜411が露出した部分)にディスペンサ414によりレジスト材料を追加することで、図14(b)に示されるように、当該隙間部分をレジスト材料412abで埋める。
以上のように変形例1の製造方法では、電極材料膜411をエッチングする際には、画素電極231a、画素電極231b、および接続部231abが、一体形成されるよう、パターニングされたレジスト層を予め修正している。この修正は、レジスト層の断線等を検出し修正するレジスト修正工程という既存工程で行われる。
接続部を形成する工程を別途追加する必要はないので、製造工程を簡略化しつつ、隣接する画素電極が一体形成された構造を実現することができる。
<変形例2>
欠陥の駆動部に対応する画素電極の形状を替えた一変形例について説明する。変形例2も、変形例1と同様、レジスト修正工程で、パターニングされたレジスト層を修正する。これにより、欠陥の駆動部に対応する画素電極の形状を替える。本変形例において、表示パネルにおける、ゲート線200、データ線201、電源線202、および駆動部209のレイアウトは、図2と同一であるとする。
図15は、変形例2に係る表示パネルにおける画素電極の模式平面図である。図15に示されるように、複数の画素電極241は、マトリクス状に配置されている。複数の画素電極241は、図2で示した複数の駆動部209と1対1に対応する形態で設けられている。したがって、図3で示された構成と同様、複数の画素電極241の中には、欠陥でない駆動部にそれぞれ対応する画素電極(第2画素電極)と、欠陥の駆動部にそれぞれ対応する画素電極(第1画素電極)が存在することになる。以降の説明では、画素電極241a、画素電極241b、および画素電極241cに着目して説明する。図15において、画素電極241a、241cが欠陥でない駆動部に対応する画素電極を表し、画素電極241bが欠陥の駆動部に対応する画素電極を表している。
同様に、画素電極241b1が画素電極241cに接続されることで、画素電極241b1は、画素電極241cに対応する欠陥でない駆動部により駆動されることになる。すなわち、画素電極241cに対応する駆動部により両方の画素電極が駆動されることになる。
加えて、例えば、画素電極241aと画素電極241bの境界が映像の切れ目に当たる場合、画素電極241bの一部である部分画素電極241b2のみが画素電極241aに接続されているので、画素電極241bの全体が画素電極241aに接続されている場合に比べ、ユーザの違和感を軽減することができる。
表示パネルの製作工程について説明する。図16は、変形例2に係る画素電極形成工程の一例を示す工程図(図15のE−E’断面に相当)である。図17は、画素電極形成工程のうち図16に示す工程に後続する部分の一例を示す工程図である。
図16(a)は、基板401上に第一プレート層415、ゲート絶縁膜403、第二プレート層416、パッシベーション膜408、平坦化膜409、および電極材料膜411がこの順に形成された状態を示している。
その後、電極材料膜411をウェットエッチング液でウェットエッチングすると、レジスト材料で覆われた部分のみが残存する。ここでは、図17(b)に示されるように、電極材料膜411のうちレジスト部分417a、417bで覆われた部分のみが残存することになる。
以上のように変形例2の製造方法では、電極材料膜をエッチングする際には、画素電極241bが分割して形成されるよう、パターニングされたレジスト層を予め修正している。この修正は、レジスト修正工程という既存工程で行われる。つまり、パターニングされたレジスト層を、レジスト修正工程という既存工程で修正することで、画素電極が分割されてなる構造を実現している。したがって、工程数を増やすことなく、欠陥の駆動部に対応する画素電極が分割された構造を実現することができる。
<変形例3>
欠陥の駆動部に対応する画素電極の形状を替えた一変形例について説明する。変形例3も、変形例1、2と同様、レジスト修正工程で、パターニングされたレジスト層を修正する。これにより、欠陥の駆動部に対応する画素電極の形状を替える。本変形例において、表示パネルにおける、ゲート線200、データ線201、電源線202、および駆動部209のレイアウトは、図2と同一であるとする。
図18は、変形例3に係る表示パネルにおける画素電極の模式平面図である。図18に示されるように、複数の画素電極251は、マトリクス状に配置されている。複数の画素電極251は、図2で示した複数の駆動部と1対1に対応する形態で設けられている。したがって、図3で示された構成と同様、複数の画素電極251の中には、欠陥でない駆動部にそれぞれ対応する画素電極(第2画素電極)と、欠陥の駆動部にそれぞれ対応する画素電極(第1画素電極)が存在することになる。図18において、画素電極251aが駆動部209aに対応する画素電極を表し、画素電極251bが駆動部209bに対応する画素電極を表している。
駆動部209bの駆動トランジスタ204bから給電パッド211bへと伸びる配線が切断されているため、画素電極251bが画素電極251aに接続されることで、画素電極251bは、駆動部209aにより駆動されることになる。すなわち、駆動部209aにより両方の画素電極が駆動される。
図18において、図3、10の構成と異なる点は、画素電極251bに対応するコンタクトホール212bが、当該画素電極251bにより覆われていないことである。つまり、本変形例では、画素電極251aがコンタクトホール261aを覆っている(つまり、一部が対応するコンタクトホールに入り込むように形成されている)のに対し、画素電極251bはコンタクトホール212bを覆っておらず、コンタクトホール212bに相当する部分が欠けた形状になっている。
−製作工程−
表示パネルの製作工程について説明する。図19は、変形例3に係る表示パネルの製作工程を示す図である。
本変形例では、ステップS302のトランジスタアレイ検査工程の後、配線カット工程を経ることなく、ステップS303の層間絶縁膜形成工程に進む。
その後、ステップS304の画素電極形成工程では、複数の駆動部に1対1に対応するように、複数の画素電極をマトリクス状に形成する。画素電極形成工程には、先ほど説明したように、レジスト修正工程が含まれる。本変形例では、このレジスト修正工程で、パターニングされたレジスト層のうちコンタクトホール212bに相当する部分を除去している。画素電極形成工程の詳細については図20,21を用いて説明する。図20は、変形例3に係る画素電極形成工程の一例を示す工程図(図19のF−F’断面に相当)である。図21は、画素電極形成工程のうち図20に示す工程に後続する部分の一例を示す工程図である。
その後、電極材料膜411をウェットエッチング液でウェットエッチングすると、レジスト材料で覆われた部分のみが残存する。ここでは、図21(b)に示されるように、電極材料膜411のうちコンタクトホール212bに当たる部分はレジスト部分421cで覆われていないため、図21(c)に示されるように、電極材料膜411における当該部分は、除去されることになる。その後、レジスト部分421aおよびレジスト部分421cを例えば有機系剥離液で除去する。これにより、図21(d)に示されるように、画素電極251aおよび画素電極251bが形成される。ここで、画素電極251bは、コンタクトホール212bに延在して形成されておらず、給電パッド211bと接していない。このため、給電パッド211bと画素電極251bは電気的に接続されないことになる。
ここでは特に説明しなかったが、レジスト修正工程で、図14(a)、(b)で示されるように、隣接する画素電極の間に当たる部分にレジスト材料を追加することで、画素電極251a、画素電極251b、および接続部251abが一体形成されるようにしてもよい。こうすることで、欠陥の駆動部と画素電極を電気的に非接続にしつつ、別途工程を追加することなく、画素電極251a、画素電極251b、および接続部251abを一体形成することができる。
なお、ここでは、画素電極251bの形状が、コンタクトホールに当たる部分が欠けた形状(すなわち、画素電極251bがコンタクトホールに入り込んでいない)であるとして説明したが、給電パッド211bに接しなければ、画素電極251bの一部がコンタクトホールに入り込んでいてもよい。
<変形例4>
各駆動部の構成を変えた一変形例について説明する。本変形例では、各駆動部は、一つの薄膜トランジスタ素子からなる。
変形例4に係る表示パネルにおける、ゲート線200a、電源線202a、駆動部501、および画素電極601のレイアウトについて説明する。図22は、変形例4に係る表示パネルにおける、ゲート線200a、電源線202a、駆動部501、および画素電極601のレイアウトを示す模式平面図である。
先ほど説明したように、駆動部501bから給電パッド503bへと伸びる配線が切断されているため、画素電極601bが画素電極601aに接続されることで、画素電極601bは、駆動部501aにより駆動されることになる。すなわち、駆動部501aにより両方の画素電極が駆動される。
行方向に配置された複数の駆動部からなる駆動部の行の片側には、ゲート線200aが形成されている。一方、列方向に配置された複数の駆動部からなる駆動部の列の片側には、電源線202aが形成されている。
図23(a)は、変形例4に係る表示パネルの構成を模式的に示す部分断面図(図22のG−G’断面)である。図23(a)に示されるように、基板601上にゲート電極602aが設けられ、ゲート電極602aの設けられた基板601上にゲート絶縁膜603が設けられている。ゲート絶縁膜603上における、ゲート電極602aの上方に当たる部分には半導体層604aが設けられている。加えて、ゲート絶縁膜603上には、SD電極配線605a、606a、給電パッド503aが設けられている。これらSD電極配線605a、606aは、それぞれ一部が半導体層604aに乗り上げており、当該半導体層604a上で間隔を隔てて位置している。さらに、SD電極配線605a、606a、給電パッド503aを覆うように層間絶縁膜607が形成されている。層間絶縁膜609は、例えば2層構造であり、パッシベーション膜607および平坦化膜608からなる。層間絶縁膜609には、コンタクトホール504aが形成されており、このコンタクトホール504aに沿って画素電極601aが形成され、給電パッド503aとコンタクトしている。
さらに、SD電極配線605b、606b、および給電パッド503bを覆うように層間絶縁膜609が形成されている。層間絶縁膜609は、例えば2層構造であり、パッシベーション膜607および平坦化膜608からなる。層間絶縁膜609には、コンタクトホール504bが形成されており、このコンタクトホール504bに沿って画素電極601bが形成され、給電パッド503bとコンタクトしている。
さらに、平坦化膜409が厚膜であるので、ゲート線200aと接続部601abの間隔が大きくなる。このため、寄生容量を小さくすることができる。これにより、映像信号の遅延やクロストーク等による画質劣化を防止することができる。
<その他の変形例>
(1)表示パネルが有機EL表示パネルの場合、画素電極と有機発光層との間には、必要に応じて、ホール注入層、ホール輸送層またはホール注入兼輸送層が介挿されていてもよい。共通電極と有機発光層との間には、必要に応じて、電子注入層、電子輸送層または電子注入兼輸送層が介挿されていてもよい。
(2)表示パネルの一例として液晶表示パネルの構成についても簡単に説明する。液晶表示パネルでは、トランジスタアレイ基板上にパッシベーション膜が形成され、パッシベーション膜上に平坦化膜が形成されている。この平坦化膜上に、複数の画素電極が形成されている。ここまでは、EL表示パネルと同様の構成である。EL表示パネルとの違いは、複数の画素電極に対向するように共通電極が設けられ、複数の画素電極と共通電極の間が液晶で充填されている点である。
(3)本明細書において、マトリクス状は、ハニカム状も含む概念である。したがって、隣接する画素電極には、行方向および列方向に限らず、斜め方向も含まれる。よって、欠陥の画素電極が斜め方向に隣接する画素電極に接続されてもよい。
(4)欠陥の駆動部に対応する画素電極は、列方向に隣接する画素電極に接続したが、行方向に隣接する画素電極に接続してもよい。特に表示パネルが単色を表示するものである場合には、必ずしも列方向に隣接する画素電極に接続する必要はない。
(5)層間絶縁膜407はパッシベーション膜のみからなるとしてもよい。その場合、少なくとも画素電極205aと画素電極205bの間の領域は、接続部205abが断線し難い構成となるよう、平坦である必要がある。上述した変形例においても同様のことがいえる。
(6)複数の画素電極の各々は、層間絶縁膜上に形成された部分と対応するコンタクトホールに入り込んだ部分とからなる。各部分は、必ずしも一体形成されている必要はなく、各々異なる材料かなるとしてもよい。
(7)表示装置100の外観を示さなかったが、例えば、図24に示すような外観を有する。
101 制御回路
102 メモリ
103 走査線駆動回路
104 データ線駆動回路
105 表示パネル
200 ゲート線
201 データ線
202 電源線
203 スイッチングトランジスタ
204 駆動トランジスタ
205 画素電極
206 保持容量
207 共通電極
208 画素回路
209 駆動部
Claims (7)
- 薄膜トランジスタ素子を含む駆動部が複数、マトリクス状に配置されてなるトランジスタアレイ基板と、
前記トランジスタアレイ基板上に形成され、前記複数の駆動部に対応する各領域の一部分にコンタクトホールが形成された層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に前記複数の駆動部に対応してマトリクス状に配置された複数の画素電極を備え、
前記複数の駆動部には、欠陥の駆動部が一部に含まれており、
前記複数の画素電極のうち、欠陥の駆動部にそれぞれ対応するものを第1画素電極と、欠陥でない駆動部にそれぞれ対応するものを第2画素電極と称した場合、
前記第2画素電極の各々は、一部が対応するコンタクトホールに入り込むように形成されており、
前記第2画素電極のそれぞれのコンタクトホールに入り込んでいる部分が、対応する駆動部の給電パッドとコンタクトすることで、前記第2画素電極のそれぞれが、対応する駆動部に電気的に接続されており、
前記第1画素電極のそれぞれは、対応する駆動部と電気的に非接続に保たれており、
前記第1画素電極のそれぞれは、隣接する第2画素電極の何れかと導電性材料からなる接続部により接続され、
前記接続部のそれぞれは、前記第1画素電極から前記隣接する第2画素電極に至る当該接続部のそれぞれが形成された全領域で、前記層間絶縁膜に接した状態で形成され、
前記第1画素電極の少なくとも一つの第1画素電極は分割されており、
分割された第1画素電極のそれぞれは、当該第1画素電極に隣接する、別々の第2画素電極に接続されている
表示パネル。 - 前記複数の画素電極および前記接続部のそれぞれは、同一材料からなり、
前記第1画素電極、前記隣接する第2画素電極、および前記接続部のそれぞれは、一体形成されている
請求項1に記載の表示パネル。 - 前記第1画素電極のそれぞれは、対応する駆動部の前記薄膜トランジスタ素子における、当該第1画素電極のそれぞれへの給電経路が切れていることにより、対応する欠陥の駆動部と電気的に非接続に保たれている
請求項1又は2に記載の表示パネル。 - 前記第1画素電極のそれぞれは、対応するコンタクトホールに当たる部分が欠けた形状である
請求項1〜3の何れか1項に記載の表示パネル。 - 基板を準備する準備工程と、
前記基板上に、薄膜トランジスタ素子を含む駆動部を複数マトリクス状に配置することで、トランジスタアレイ基板を形成するトランジスタアレイ基板形成工程と、
前記トランジスタアレイ基板上に、前記複数の駆動部に対応する各領域の一部分にコンタクトホールが形成された層間絶縁膜を形成する層間絶縁膜形成工程と、
前記層間絶縁膜上に、前記複数の駆動部に対応して複数の画素電極をマトリクス状に配置する画素電極形成工程を含み、
前記複数の駆動部には、欠陥の駆動部が一部に含まれており、
前記複数の画素電極のうち、欠陥の駆動部にそれぞれ対応するものを第1画素電極と、欠陥でない駆動部にそれぞれ対応するものを第2画素電極と称した場合、
前記第2画素電極の各々を、一部が対応するコンタクトホールに入り込むように形成し、
前記第2画素電極のそれぞれのコンタクトホールに入り込んでいる部分を、対応する駆動部の給電パッドとコンタクトさせることで、前記第2画素電極のそれぞれを、対応する駆動部に電気的に接続し、
前記第1画素電極のそれぞれを、対応する駆動部と電気的に非接続にし、
前記第1画素電極のそれぞれを、隣接する第2画素電極の何れかと導電性材料からなる接続部により接続し、
前記接続部のそれぞれを、前記第1画素電極から前記隣接する第2画素電極に至る当該接続部のそれぞれが形成された全領域で、前記層間絶縁膜に接するよう形成し、
前記画素電極形成工程は、
接続部の材料として画素電極と同一材料を用い、
前記層間絶縁膜上に、電極材料からなる膜を形成する電極材料膜形成工程と、
前記電極材料膜上にレジスト膜を形成するレジスト膜形成工程と、
前記レジスト膜を、前記複数の画素電極に対応した所定形状にパターニングするレジスト膜パターニング工程と、
前記所定形状にパターニングされたレジスト膜のうち、前記第1画素電極のそれぞれと、隣接する前記第2画素電極の何れかとの間に当たる部分に、レジスト材料を追加することで、前記第1画素電極のそれぞれから前記何れかの第2画素電極に至る領域に当たる部分を埋めるレジスト材料追加工程と、
前記所定形状にパターニングされたレジスト膜のうち、少なくとも一つの第1画素電極の中央部に当たる部分をレーザにより除去するレジスト膜除去工程と、
前記レジスト膜除去工程後に前記電極材料膜をエッチングすることで、前記第1画素電極、前記隣接する第2画素電極、および前記接続部のそれぞれを一体形成するエッチング工程を有し、
前記レジスト材料追加工程では、前記所定形状にパターニングされたレジスト膜のうち、前記少なくとも一つの第1画素電極のそれぞれと、隣接する2つの前記第2画素電極との間に当たる部分のそれぞれに、レジスト材料を追加することで、前記少なくとも一つの第1画素電極のそれぞれから前記2つの第2画素電極のそれぞれに至る領域に当たる部分を埋め、
前記エッチング工程では、前記少なくとも一つの第1画素電極を分割して形成するとともに、分割された第1画素電極のそれぞれを、当該第1画素電極に隣接する、別々の第2画素電極に接続するように形成する、
表示パネルの製造方法。 - 前記層間絶縁膜形成工程の前に、前記各欠陥の駆動部の薄膜トランジスタ素子における、対応する第1画素電極への給電経路を切断する工程をさらに含む
請求項5に記載の表示パネルの製造方法。 - 基板を準備する準備工程と、
前記基板上に、薄膜トランジスタ素子を含む駆動部を複数マトリクス状に配置することで、トランジスタアレイ基板を形成するトランジスタアレイ基板形成工程と、
前記トランジスタアレイ基板における各薄膜トランジスタ素子の欠陥の有無を検査する検査工程と、
前記検査の結果に基づいて、前記トランジスタアレイ基板における欠陥の駆動部の位置情報を取得する位置情報取得工程と、
取得した位置情報が示す欠陥の駆動部の配線または薄膜トランジスタ素子の少なくとも一部を切断することで、当該駆動部を電気的に非導通とする切断工程と、
前記トランジスタアレイ基板上に、前記複数の駆動部に対応する各領域の一部分にコンタクトホールが形成された層間絶縁膜を形成する層間絶縁膜形成工程と、
前記層間絶縁膜上に、前記複数の駆動部に対応して複数の画素電極をマトリクス状に配置する画素電極形成工程を含み、
前記複数の駆動部には、欠陥の駆動部が一部に含まれており、
前記複数の画素電極のうち、欠陥の駆動部にそれぞれ対応するものを第1画素電極と、欠陥でない駆動部にそれぞれ対応するものを第2画素電極と称した場合、
前記第2画素電極の各々を、一部が対応するコンタクトホールに入り込むように形成し、
前記第2画素電極のそれぞれのコンタクトホールに入り込んでいる部分を、対応する駆動部の給電パッドとコンタクトさせることで、前記第2画素電極のそれぞれを、対応する駆動部に電気的に接続し、
前記第1画素電極のそれぞれを、対応する欠陥の駆動部を電気的に非導通にすることで、対応する欠陥の駆動部と電気的に非接続にし、
前記画素電極形成工程は、
前記層間絶縁膜上に、電極材料からなる膜を形成する工程と、
前記電極材料膜上にレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜を、前記複数の画素電極に対応した所定形状にパターニングする工程と、
前記所定形状にパターニングされたレジスト膜のうち、前記第1画素電極のそれぞれと、隣接する前記第2画素電極の何れかとの間に当たる部分に、レジスト材料を追加することで、前記第1画素電極のそれぞれから前記何れかの第2画素電極に至る領域に当たる部分を埋めるレジスト材料追加工程と、
前記所定形状にパターニングされたレジスト膜のうち、少なくとも一つの第1画素電極の中央部に当たる部分をレーザにより除去するレジスト膜除去工程と、
前記レジスト膜除去工程後に前記電極材料膜をエッチングすることで、前記第1画素電極、前記隣接する第2画素電極、および前記接続部のそれぞれを一体形成するエッチング工程を有し、
前記レジスト材料追加工程では、前記所定形状にパターニングされたレジスト膜のうち、前記少なくとも一つの第1画素電極のそれぞれと、隣接する2つの前記第2画素電極との間に当たる部分のそれぞれに、レジスト材料を追加することで、前記少なくとも一つの第1画素電極のそれぞれから前記2つの第2画素電極のそれぞれに至る領域に当たる部分を埋め、
前記エッチング工程では、前記少なくとも一つの第1画素電極を分割して形成するとともに、分割された第1画素電極のそれぞれを、当該第1画素電極に隣接する、別々の第2画素電極に接続するよう形成する
表示パネルの製造方法。
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Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130082997A1 (en) * | 2011-09-30 | 2013-04-04 | Apple Inc. | System and method for detection of dimensions of display panel or other patterned device |
KR102145850B1 (ko) * | 2014-05-30 | 2020-08-20 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광 디스플레이 장치와 픽셀의 리페어 방법 |
US20160147323A1 (en) * | 2014-11-21 | 2016-05-26 | Interface Optoelectronics Corporation | Touch control panel structure and method of manufacturing the same |
CN107703657A (zh) * | 2017-11-23 | 2018-02-16 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 阵列基板缺陷修补方法 |
CN110741428B (zh) * | 2018-02-28 | 2021-12-21 | 京瓷株式会社 | 显示装置、玻璃基板及玻璃基板的制造方法 |
US20220037449A1 (en) * | 2018-09-21 | 2022-02-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Display device |
CN111180467A (zh) * | 2020-01-06 | 2020-05-19 | 昆山国显光电有限公司 | 阵列基板、显示面板及阵列基板的制造方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6448038A (en) * | 1987-08-18 | 1989-02-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Active matrix array |
JPH02203389A (ja) * | 1989-01-31 | 1990-08-13 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板及びアクティブマトリクス表示装置 |
JPH1172805A (ja) * | 1997-06-25 | 1999-03-16 | Victor Co Of Japan Ltd | 表示用マトリクス基板及びその製造方法、表示用マトリクス 回路 |
JP2001356364A (ja) * | 2000-06-09 | 2001-12-26 | Fujitsu Ltd | 液晶パネルの欠陥修正方法 |
JP2002131779A (ja) * | 2000-10-26 | 2002-05-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶画像表示装置及びその製造方法 |
JP2007156407A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Lg Phillips Lcd Co Ltd | 平板表示装置とその製造方法、製造装置、画質制御方法及び画質制御装置 |
JP2008262013A (ja) * | 2007-04-12 | 2008-10-30 | Sony Corp | 表示装置の製造方法およびtftアレイ基板の製造方法 |
JP2010145875A (ja) * | 2008-12-20 | 2010-07-01 | Videocon Global Ltd | 液晶表示装置及びその製造方法 |
JP2010249883A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-11-04 | Panasonic Corp | 画像表示装置及びその修正方法 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63276032A (ja) | 1987-05-07 | 1988-11-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アクテイブマトリツクスアレイ |
US4877174A (en) | 1988-12-21 | 1989-10-31 | International Business Machines Corporation | Tab device excise and lead form apparatus |
US5343216A (en) | 1989-01-31 | 1994-08-30 | Sharp Kabushiki Kaisha | Active matrix substrate and active matrix display apparatus |
US5151807A (en) | 1989-01-31 | 1992-09-29 | Sharp Kabushiki Kaisha | Active matrix substrate and active matrix display apparatus |
JPH02223928A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-06 | Hitachi Ltd | 欠陥救済方法 |
JPH02262125A (ja) | 1989-03-31 | 1990-10-24 | Sony Corp | アクティブマトリクス型液晶表示装置 |
KR920006894A (ko) | 1990-09-27 | 1992-04-28 | 쓰지 하루오 | 액티브 매트릭스 표시장치 |
JP2654259B2 (ja) | 1991-02-21 | 1997-09-17 | シャープ株式会社 | アクティブマトリクス表示装置 |
EP0482737B1 (en) | 1990-09-27 | 1995-08-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Active matrix display device |
JPH05163488A (ja) | 1991-12-17 | 1993-06-29 | Konica Corp | 有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子 |
US5443922A (en) | 1991-11-07 | 1995-08-22 | Konica Corporation | Organic thin film electroluminescence element |
JPH095785A (ja) | 1995-06-21 | 1997-01-10 | Advanced Display:Kk | Tftアレイ基板並びにこれを用いた液晶表示装置およびtftアレイ基板の製造方法 |
JPH095786A (ja) | 1995-06-21 | 1997-01-10 | Advanced Display:Kk | Tftアレイ基板並びにこれを用いた液晶表示装置およびtftアレイ基板の製造方法 |
US6259424B1 (en) | 1998-03-04 | 2001-07-10 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Display matrix substrate, production method of the same and display matrix circuit |
TW525305B (en) | 2000-02-22 | 2003-03-21 | Semiconductor Energy Lab | Self-light-emitting device and method of manufacturing the same |
US7220611B2 (en) * | 2003-10-14 | 2007-05-22 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display panel and fabricating method thereof |
JP4083752B2 (ja) | 2005-01-31 | 2008-04-30 | 三菱電機株式会社 | アクティブマトリクス基板及びその製造方法 |
JP2007072116A (ja) | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 液晶表示装置 |
JP2007241183A (ja) | 2006-03-13 | 2007-09-20 | Mitsubishi Electric Corp | 表示装置および表示装置の修復方法 |
JP2007298791A (ja) | 2006-05-01 | 2007-11-15 | Mitsubishi Electric Corp | 液晶表示装置及びその欠陥修復方法 |
JP2008241821A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Mitsubishi Electric Corp | 半透過型液晶表示装置 |
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6448038A (en) * | 1987-08-18 | 1989-02-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Active matrix array |
JPH02203389A (ja) * | 1989-01-31 | 1990-08-13 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板及びアクティブマトリクス表示装置 |
JPH1172805A (ja) * | 1997-06-25 | 1999-03-16 | Victor Co Of Japan Ltd | 表示用マトリクス基板及びその製造方法、表示用マトリクス 回路 |
JP2001356364A (ja) * | 2000-06-09 | 2001-12-26 | Fujitsu Ltd | 液晶パネルの欠陥修正方法 |
JP2002131779A (ja) * | 2000-10-26 | 2002-05-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶画像表示装置及びその製造方法 |
JP2007156407A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Lg Phillips Lcd Co Ltd | 平板表示装置とその製造方法、製造装置、画質制御方法及び画質制御装置 |
JP2008262013A (ja) * | 2007-04-12 | 2008-10-30 | Sony Corp | 表示装置の製造方法およびtftアレイ基板の製造方法 |
JP2010145875A (ja) * | 2008-12-20 | 2010-07-01 | Videocon Global Ltd | 液晶表示装置及びその製造方法 |
JP2010249883A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-11-04 | Panasonic Corp | 画像表示装置及びその修正方法 |
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