KR920015445A - 듀얼톤 감광막을 이용한 반도체 장치의 식각방법 - Google Patents
듀얼톤 감광막을 이용한 반도체 장치의 식각방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도 (a)-(f)는 본 발명의 1실시예에 따른 제조공정도이다.
Claims (4)
- 식각을 하기 위한 제1층과 제2층이 차례로 형성된 반도체 장치에 있어서, 전면에 듀얼톤 감광막을 도포하고 상기 듀얼톤 감광막을 선택적으로 제거할수 있도록 그 상부에 마스크를 사용하여 넓은 영역의 자외선을 상기 듀얼톤 감광막에 조사하는 공정과, 상기 듀얼론 감광막을 현상액으로 현상하여 제1소정부분의 듀얼톤감광막만 남기고 제거하는 공정과, 상기 제1소정부분의 듀얼톤감광막을 이용하여 상기 제2층 및 제1층을 식각하는 공정과, 상기 남아있는 상기 듀얼톤감광막에 근자외선을 마스크없이 조사해서 제2소정부분의 듀얼톤 감광막만 남기고 제거하는 공정과, 상기 제2소정 부분의 듀얼톤 감광막을 이용하여 상기 제2층을 식각하는 공정으로 이루어진 듀얼톤 감광막을 이용한 반도체 장치의 식각방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1소정부분의 듀얼톤 감광막은 상기 제2 소정부분의 듀얼톤 감광막을 포함하도록 한 것을 특징으로 하는 듀얼톤 감광막을 이용한 반도체 장치의 식각방법.
- 제1층과 제2층이 차례로 도포된 반도체 장치의 상기 제1층 및 제2층을 서로 다른 사이즈로 식각하기 위한 감광막에 있어서, 전체는 음성 및 양성 감광제로 이루어지며, 상기 제1층과 제2층을 제1소정범위의 동일 사이즈로 1차 식각하기 위한 제1마스크로 사용되도록 상기 제1소정범위 이외의 부분은 상기 음성 및 양성 감광제중 하나의 감광제가 반응된 부분으로 되며, 상기 제1소정범위에서 제한된 제2소정범위의 사이즈로 상기 제2층을 식각하기 위한 제2 마스크로 사용되도록 상기 제2소정범위를 제외한 상기 제1소정범위는 상기 음성 및 양성감광제가 반응되지 않은 부분으로 되고 상기 제2 소정범위는 상기 음성 및 양성 감광제가 모두 반응된 부분으로 되는 것을 특징으로 하는 듀얼톤 감광막.
- 제3항에 있어서, 상기 제1소정범위, 상기 제2소정범위, 상기 제1소정범위 이외의 상기 부분은 마스크를 사용하여 자외선을 조사해서 이루어진 것을 특징으로 하는 듀얼톤 감광막.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910000706A KR940005283B1 (ko) | 1991-01-17 | 1991-01-17 | 듀얼톤 감광막을 이용한 반도체 장치의 식각방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1019910000706A KR940005283B1 (ko) | 1991-01-17 | 1991-01-17 | 듀얼톤 감광막을 이용한 반도체 장치의 식각방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR920015445A true KR920015445A (ko) | 1992-08-26 |
| KR940005283B1 KR940005283B1 (ko) | 1994-06-15 |
Family
ID=19309943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019910000706A KR940005283B1 (ko) | 1991-01-17 | 1991-01-17 | 듀얼톤 감광막을 이용한 반도체 장치의 식각방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR940005283B1 (ko) |
-
1991
- 1991-01-17 KR KR1019910000706A patent/KR940005283B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR940005283B1 (ko) | 1994-06-15 |
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