KR920006031B1 - 기판등의 검사장치 및 그 동작방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

[발명의 명칭]

기판등의 검사장치 및 그 동작방법

[도면의 간단한 설명]

제1도는 종래의 자동 검사 장치에 있어서 검사 원리를 설명하기 위한 사시도.

제2도 및 제3도는 자동 검사 장치에 있어서 검사 원리를 나타내는 설명도.

제4도는 본 발명의 실시예에 있어서 기판 검사 장치의 전체 구성을 나타내는 블럭도.

제5도는 땜납 상태의 양호 및 부족과 패턴과의 관계를 나타내는 도면.

제6도 및 제7도는 티칭의 처리 순서를 나타내는 흐름도.

제8도는 검사 처리의 순서를 나타내는 흐름도.

제9도 및 제10도는 라벨의 부착 상태를 나타내는 부품의 평면도.

제11도는 기판상의 분할 영역과 처리의 순서를 나타내는 설명도.

제12a도, 제12b도, 제12c도, 제13a도, 제13b도 및 제13c도는 화상상에서 추출된 라벨의 화상과 그 외점구형을 나타내는 설명도.

제14a도 및 제14b도는 검사 영역의 설정 방법을 나타내는 설명도.

제15a도 및 제15b도 및 제15c도는 CRT표시부의 표시 화면을 나타내는 도면.

제16도는 투영 처리의 방법을 나타내는 설명도.

제17a도, 제17b도, 제18a도, 제18b도, 제18c도, 제18d도, 제18e도 및 제19도는 정방형 부품에 대하여 검사 영역의 설정 방법을 나타내는 도면,

제20a도 및 제20b도는 부품 사이즈의 설정 상태를 나타내는 도면.

제21a도 및 제21b도는 땜납 상태를 나타내는 단면도.

제22a도 및 제22b도는 땜납 촬상 패턴을 나타내는 설명도.

제23도는 적색 장치의 데이타 분포를 나타내는 그래프.

제24도는 CRT표시부의 표시 화면을 나타내는 설명도.

제25도는 수정 티칭의 순서를 나다내는 흐름도.

제26a도 및 제26b도는 각각 티칭시에 있어서 CRT표시부의 표시 화면을 나타내는 도 및 그 일부를 확대하여 나타내는 설명도.

제27a도 및 제27b도는 각각 수정 티칭시에 있어서 CRT 표시부의 표시 화면을 나타내는 도면 및 패턴 추출이 양호할때의 그 일부를 확대하여 나타내는 설명도.

제28도는 페턴 추출이 양호하지 않을때의 표시 화면의 일부를 확대하여 나타내는 설명도.

[발명의 상세한 설명]

[기술분야]

본 발명은 기판등의 검사장치 및 그 동작방법에 관한 것으로, 특히 표면이 다른 방향에 배향하고 있는 다수의 곡면요소에 대한 집합에서 되는 곡면체에서, 각 곡면요소의 배향성을 검출하는데 적용되는 곡면성상검사장치, 기판상에 장치된 부품의 땜납부의 형상등을 검사하는데 적망한 곡면석상 검사장치, 기판상에 장치된 부품을 촬상하여 얻어진 원화상에서 3원색의 색상 패턴을 추출하고, 그 추출결과를 교시 데이타와 비교하여 땜납부 상태등의 부품에 대한 장착상태의 양호 또는 부족을 판정하는 기판검사장치, 상기 기판검사장치에 대하여 부품의 장치, 장치부품의 종별, 부품의 상태에 대한 특징량 등을 기판의 검사에 앞서서 교시하기 위한 교시방법, 상기 기판검사장치에 대하여 장치부품의 검사영역을, 기판검사에 앞서 설정하기 위한 검사영역 설정방법, 상기 기판검사장치에서, 부품의 검사결과를 표시부의 화면상에 표시하기 위한 검사결과 표시방법 및 위상패턴의 추출상태에 대한 양호 또는 부족을 확인하는데 적당한 검사장치에 있어서의 표시장치에 관한 것이다.

[배경기술]

다배향성 곡면을 가지는 곡면체의 대표예로서, 기판상에 장치된 부품에 있어서 땜납부위 표면 형상을 들수 있다. 종래 땜납부위는 육안으로 검사하도록 되어 있으며, 땜납상태의 양호 또는 부족여부, 즉 땜납의 유무, 량, 용해성, 단락, 도통불량등이 눈금검사에 의하여 판정되고 있다.

그런데, 이러한 눈금검사에 의한 방법에서는 검사의 오차를 피할 수 없고, 잔정결과도 검사하는 자에 의하여 가지각색이며, 검사처리 능력에도 한계가 있다.

최근 이런 종류의 검사를 자동적으로 행할 수 있는 다양한 종류의 자동검사장치가 제안되고 있다.

땜납 부위의 표면형상은 3차원의 넓이를 가지는 입체형상이고, 이것을 검사하는데는 3차원의 형상정보를 검출할 수 있어야함이 절대적으로 필요하게 된다.

제1도는 3차원의 형상정보를 검출할 수 있는 자동검사장치의 일례를 나타내는 것으로, 슬릿(Slit)광(1)을 기판(2)상의 땜납부위로 조사하는 것이다. 슬릿광(1)의 조상에 의하여, 땜납부위를 포함하는 기판(2)의 표면에 생성되는 광 절단선(3)의 반사광상을 촬상장치(4)에서 촬상하고, 그 촬상패턴을 찾음으로서 땜납부위의 입체형상을 검출한다.

그런데, 이 검사방법에서는 슬릿광(1)이 조사된 부분에 대한 형상정보만이 얻어지므로, 그것 이외의 부분에 대한 입체형상을 파악하는 것은 곤란하다. 게다가 땜납부위의 표면은 그 배향방향이 기판(2)의 편방향에 대하여 일정하지 않으므로, 광원과 촬상장치(4)의 조합이 적어도 4조이상 필요하고, 이 때문에 장치가 복잡해지고, 조립작업시 많은 수고를 필요로 하며, 그 비용 또한 상당히 높아지는 문제가 있다.

그래서 이 문제를 해결하기 위하여, 검사대상인 곡면체의 표면으로 향하여 입사각이 다른 복수의 방향에서 광을 조사하고, 곡면체의 표면에서 각 반사광상을 촬상하고, 각각의 촬상패턴에서 곡면체가 가지는 곡면요소의 배향성을 검출하는 방법이 있다. 이 방법은 3차원 화상정보 검출방법의 1개인 「액티브 센싱법」에 속하는 것이다. 즉 이 방법은 일정의 패턴을 가진 광속을 검사대상에 투광했을때, 그 검사대상에서 얻어지는 반사광속의 패턴이 검사대상의 입체적 형상에 대응하여 번형을 받는 것에 착안한 것이고, 그 변형패턴에서 검사대상의 형상을 추정하는 방법이다.

제2도는 이 방법의 원리설명도로써, 투광장치(5)와 촬상장치(6)에서 이루는 검출계와, 검사대상인 곡면체(7)의 위치관계를 나타내고 있다.

어느 위치에 배치된 투광장치(5)에서 곡면체(예를들면 땜납부위)(7)의 표면에 대하여 광속(8)을 투광했을때에, 그 반사광속(9)이 진상에 위치된 촬상장치(6)에 입사하여 검출시킨 것으로 하면, 곡면체(7)의 광속(8)에 의하여 조명된 부분의 곡면요소는 수평의 기준면(10)에 대하여 θ의 각도로서 배향하고 있는 것이 검출된다(θ는 입사각). 따라서 곡면체(7)의 표면성상이 땜납면과 같이 다른 방향으로 배향하고 있는 다수의곡면화소에서 되는 경우에는 입사각이 다른 복수의 투광장치를 사용하여 곡면체(7)의 표면에 투광하면, 각각의 입사각에 대응하는 곡면요소군이 촬상장치(6)에 의하여 검출되고 이것에 의하여 곡면체(7)표면의 각곡면요소가 각각 어떤 배향을 하고 있는지, 즉 땜납 부위의 표면성상이 어떻게 있는지를 검출할 수 있다.

투광장치(5)가θ의 폭을 가지는 광속(8)을 투광하는 것이면, 그 폭에 대응한 폭을 가지는 반사광속(9)이 촬상장치(6)에 의하여 검출된다. 즉 이경우에는 각도에θ의 폭을 가지는 곡면요소가 검출될 수 있게된다.

투광장치(5)가 제3도에 나타나듯이 기준면(10)에 대하여 수평으로 설치된 령상의 발광체(11), (12) 및(13)를 포함하는 것이면, 곡면체(7)가 기준면(10)에 수직인 축에 대하여 어떠한 회전각을 가지고 있어도 투광장치(5)와 곡면체(7)의 거리는 일정하고 곡면요소의 회전각 방향의 배향성은 소거됨으로 곡면체(7)의 기준면(10)에서 이루는 경사각만이 검출된다.

제3도에 나타나듯이, 투광장치(5)를 곡면체(7)로의 입사각이 다른 복수의 링상 발광체(11), (12) 및 (13)로 구성하면, 각 발광체에 의한 광속(14), (15) 및 (16)의 입사각에 대응하는 배향을 갖는 곡면요소가 상세히 검출될 수 있는 바, 이것은 상술한 바와 같다.

반경이 rm(m=1, 2, 3)인 3개의 링상발광체(11), (12) 및 (13)를 기준면(10)에서의 높이 hm(m=1, 2, 3)의 위치에 수평으로 설치하고, 이들의 발광체(11), (12), (13)에서의 광속(14), (15), (16) 이 곡면체(7) 안으로 입사되는 입사각을 θm(m=1, 2, 3)으로 하면, 곡면체(7)에 있어서 경사각이 각각 θm인 곡면요소를 촬상장치(6)에 의하여 검출할 수 있다. 각 발광체(11), (12), (13)에서 곡면체(7)의 표면을 지나 촬상장치(6)에 이르는 전광로 길이에 비하여 곡면요소의 크기는 충분히 작으므로, 다음식에 의하여 입사각, 즉 검출하고저 하는 곡면요소의 경사각을 정할 수 있다.

cosm=hm / (hm²+ rm²)^1/2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . (1)

상기의 원리에 의하여 땜납부위의 외관을 검사하는 방법으로서, 발광체(11), (12), (13)로서 백색광원을 사용한 것이 제안되어 있다(일본특허출원 공개(특개소) 제 61-293657호). 이 검사방법에서는 땜납면에 대하는 입사각이 다른 3개의 발광체(11), (12), (13)에 의한 반사광상을 서로 식별하기 위하여, 각각 발광체(11), (12), (13)를 시간적으로 다른 타이밍으로서 점등하고 소등한다.

그러나, 이러한 점등 제어방법에서는 다른 투광 타이밍에서 얻은 각 화상을 저장하기 위한 메모리, 이들의 화상을 동일 시야상으로서 연산 처리하기 위한 연산장치, 각 발광체를 순간적으로 점등 동작시키기 위한 점등장치등이 필요하고, 기술면에서 복잡성이 많고, 그것이 가격면이나 신뢰성의 면에서 과제로 되어 있다.

그래서, 이러한 시간분배(time sharing)방식에 있어서의 문제를 모두 해결하는 것으로, 와이어와 같은 선상물체를 검사하는 장치로서 제안된 방법이 있다(일본특허출원 공개(특개소)제 62-127617호). 이 방법에서는 검사대상에 대하는 입사각이 다른 3개의 발광체로서 적, 녹 및 청의 3원색 광원을 사용하고 있으며, 검사 대상에서의 적색, 녹색 및 청색의 각 반사광상을 컬러텔레비젼 카메라와 같은 색상감지형의 촬상장치에 의하여 동일 타이밍으로서 촬상하고, 색 분리하여 검출하는 것이다.

이 방법을 땜납부위의 자동 검사장치에 적용하면, 땜납부위의 곡면성상을 단시간으로서 검출하는 것은 이론상 가능하게 되지만, 기판상의 각 부위에 관한 정보(예를들면 부품 번호, 극성, 컬러코드등)나 기판패턴정보(여러가지 마크등)와 같은 기판장치부품의 자동검사에 절대적으로 필요한 주변정보를 검출하는 연구가 되어 있지 않으므로, 이 상태에서의 이 장치를 실용화하기는 곤란하다.

그런데 기판검사장치를 사용하는 경우, 피검사기판의 검사에 앞서서, 소정위치로 소정의 부품이 바르게 장치되어 있는 기판(이것을 「기준기판」이라 한다)에 관하는 각종의 데이타를 키보드에서 키 입력하는 교시작업이 필요하게 되어 있다. 이 교시작업은 「티칭(taching)」이라 불리는 것이고, 기준 기판상에 장치되는부품의 위치, 종류, 검사영역등에 관하는 데이타나 각 부품의 검사 영역내의 장치상태(예를들면 땜납상태)의 특징량에 관하는 데이타가 교시된다.

그러나, 이러한 키 입력에 의한 교시방법에서는 키 입력할 데이타가 현저하게 많으므로, 그 입력작업에 많은 시간과 노력이 필요하고, 그 작업부담은 큰 것이었다.

이 문제를 해소하는 교시방법으로서, 기판의 표면을 흑색도료를 착색하고, 실장 부품을 백색도료로 착색한 것을 위치결정기판(기준기판)으로 미리 제작하여 두고, 이 위치결정기판을 기판검사장치로 촬상시킴으로서, 피검사기판의 검사를 위한 기준으로 되는 데이타(부품위치등)를 교시하도록 한 것이 제안되어 있다(일본특허출원공개(특개소)제 62-180251호).

그러나, 이 교시방법에 의하면, 위치결정기판의 제작에 있어서 도장작업이 필요할 뿐만아니라 도장된 기판은 이미 재이용이 불가능하게 되어 비경제적이다. 또한 정확하게 도장하지 않으면, 부품위치등을 정확하게 교시할 수 없다. 이 방법에 의하면, 부품위치 이외의 함목의 교시, 예를들면 부품의 종별등을 교시하는 것은 쉽지 않은 등의 문제가 있다.

다른쪽 땜납 상태의 특징량을 교시하는 경우에 종래는 각 부품이 정상으로 땜납되어 있는 1때의 기준기판을 미리 준비하고, 이 기준기판을 사용하여 각 부품의 땜납상태의 특징량을 추출하고 그 후 그 추출량에 고정폭을 가져 정상적인 땜납상태를 규정하는 특징량의 범위를 결정했다. 그러나 교시용에 준비된 기준기판의 각 부품의 정상적인 땜납 상태를 대표하는데 적합한것이라는 보증은 거의 없고, 따라서 그렇지 않은 경우는교시되는 특징량은 평균적인 것이 아닌 치우친 것으로 되며, 땜납상태의 검사에서, 장치불량을 묵인하거나, 허용할 수 있는 장치상태를 엄격한 판단하에 불량으로 판별하는 등의 문제가 자주 발생하는 문제가 있다.

티칭이나 검사에서 부품의 장치상태의 특징량을 구하기 위하여는 기판상의 장치부품을 촬상하여 얻은 원화상에서 3원색의 색상 패턴을 추출한다. 적정한 기판검사를 하는데는 이 패턴추출을 정확하게 행하는 것이 그 전제로 된다. 종래는 이 추출의 양호 및 부족여부를 확인하기 위하여 구해진 특징량을 표시부에 수치로서, 표시하거나, 기판상의 장치부품을 촬상하여 얻은 검사의 영역의 원화상을 위치에 추출결과에 의한 화상을 표시하는 등의 방법이 제안되고 있다.

그러나 전자의 방법에서는 수치에 의한 표시이므로, 추출상태를 구체적으로 파악하는 것이 곤란하다. 또한 후자의 방법에서는 원화상이 화면에서 소실되므로 추출결과를 원화상과 대비하는 것이 곤란하다. 어떠한 방법도 추출상태의 양호 및 부족여부를 쉽게 확인할 수 없다는 문제점이 있었다.

검사영역의 설정에 대하여 서술하면, 종래는 검사영역을 고정좌표에 의하여 고정적으로 정하고 있으며, 검사에서 검사개소를 포함하는 기판상의 영역이 촬상되면, 그 화상의 일부영역이 상기 고정좌표를 사용하여 검사영역으로서 추출되고, 그 추출된 검사영역내만이 처리하게 된다. 처리시간을 단축하기 위하여 가능한한 상기의 검사영역이 작게 설정되어 있다. 그러나 기판을 반송하고, 위치 결정하기 위한 구동기구계의 정도, 기판의 가공정도 및 패던 인쇄정도 등이 충분히 높게 되지 않으면, 검사할 장소가 설정된 검사영역 밖으로 벗어나게 되는 문제가 있다.

이 문제를 해소하기 위하여 종래는 기준으로 되는 패턴을 기판상에 설정하고, 검사시에 구해진 이 기준패턴의 위치와 티칭시에 구해진 기준패턴의 위치와의 벗어난 량을 산출하여 검사영역의 위치를 보정하는 등의 연구를 하고 있다.

그런데, 이러한 방법에서는 기준으로 되는 패턴이 필요함으로 모두의 기판상에 남은 패턴을 인쇄할 필요가 있으며, 만일 기준패턴의 위치를 검출하는 처리로 오차가 생기면, 그것이 모두의 검사영역에 대한 위치에 영향을 준다는 문제가 있다.

상기 기판검사장치에 의하여 피검사기판을 촬상하여 각 부품의 실장상태의 양호 및 부족여부, 즉 부품의 결락에 대한 유무나 땜납상태의 양호 및 부족여부등을 검사한 경우, 각 부품의 검사결과는 CRT표시부의 화면상에 표시되고, 필요에 따라 프린터로서 인자된다.

기판검사장치에 있어서 검사결과 표시방법으로서 종래부터 CRT표시부에 불량부품의 번호, 불량장소 및 불량내용을 표시하는 방법이나 기판상의 각 부품에 대한 위치를 표시하여 불량 부품만을 다른색채로서 표시하는 방법등이 채용되고 있다.

그러나 전자의 방법에서는 불량부품의 번호와 그 부품의 기판상위치에 대한 대응부착이 곤란하고, 후자의 방법에서는 불량부품의 위치는 확인할 수 있지만, 그 부품의 불량내용이 불명료함으로, 검사원이 기판을 검증하여 불량내용을 보아 확인할 필요가 있는 등의 문제가 있다.

[발명의 개시]

본 발명은 투광장치를 구성하는 복수의 발광체에 대한 조사등을 합성하면 백색광으로 되도록 연구함으로서 땜납부위등의 곡면체에 대한 곡면형상을 단시간에 검출할 수 있고, 실제의 검사에 불가결한 주변정보의 검출을 가능하게 한 곡면성상 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 부품의위치나 부품의 종별을 교시하는데 라벨을 사용함으로서, 교시용의 기준기판에 대한 제작이 쉽고, 그 기판의 재이용이 가능한 기판검사장치에 있어서 교시방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 복수의 기준기관을 사용하여 부품의 상태에 대한 특징량을 구함으로서, 확실하고 안정된 부품의 상태에 대한 검사를 실현할 수 있고, 기판검사장치에 있어서 교시방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한 본 발명은 기판을 촬상하여 얻어진 화상을 처리하여 부품의 검사영역을 설정함으로서 보정처리등을 필요로 하지 않고, 고속이면서 안정하며 검사영역의 설정이 가능한 기판검사장치에 있어서 검사영역 설정방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 1화면상에 불량부품의 위치 및 불량내용을 동시에 표시하는 방식을 채용함으로서, 육안에 의한 기판의 검증을 필요로 하지 않고, 불량부품의 위치 및 불량내용의 확인을 가능하게한 기판검사장치에 있어서 검사결과 표시방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 패턴의 추출결과에 대한 표시방법을 연구함으로서 추출상태의 양호 및 부족여부를 쉽고, 정확하게 확인할 수 있는 기판검사장치에 있어서 표시방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 의한 곡면성상 검사장치는 광의 합성에 의하여 백색광으로 되도록 대파장 발광 에너지분포를 가지는 적색광, 녹색광 및 청색광을 각각 발생하고, 이들의 광을 검사할 곡면체의 표면으로 입사각이 서로 다르도록 투사하는 위치에 배치된 링상의 3종류에 대한 발광체를 포함하는 투광수단, 상기의 발광체에서 출사되는 광을 합성했을때에 백색광으로 되도록 각 발광체의 광량을 조정하기 위한 광량조절수단, 검사할 곡면체의 표면에서 반사광상을 촬상하여 색상별의 촬상패턴을 얻는 촬상수단 및 상기 촬상수단에서 얻어진 촬상패턴에서 상기 곡면체의 곡면요소에 대한 성상을 검출하는 처리수단을 갖추고 있는 것을 특징으로 한다.

검사할 곡면체의 표면에 다른입사각에서 링상의 각 발광체에서 적색광, 녹색광 및 청색광이 조사된다. 곡면체의 표면에서 적색, 녹색 및 청색의 반사광상이 색상별로 동시에 검출되도록 구성되어 있으므로, 얻어진 색상패턴을 사용하여 곡면체의 성상을 단시간에 검출할 수 있다. 발광체에서 출사되는 적색광, 녹색광 및 청색광은 합성되면 백색광이 되도록 설정되어 있으모로, 부품의 패턴검사에서 필요 불가결한 주변정보, 예를들면 기판상의 각 부품에 관하는 정보(부품번호, 극성, 컬러코드등)나 기판패턴정보(여러가지 마크)등의 검출도 가능하고, 이렇게 하여 땜납 상태검사의 자동화를 실현할 수 있다.

기판상에 장치된 부품의 상태를 검사하는 기판검사 장치에 부품의 위치 및 부품의 종별을 기판의 검사에 앞서서 교시하기 위한 본 발명에 의한 교시방법은 부품의 위치에 각각라벨을 부착한 기준기판을 상기 기판 검사장치에 공급하고, 라벨을 촬상시킴으로서 라벨의 부착위치에 의하여 부품의 위치를 교시하고, 라벨의 색채 또는 형상에 의하여 부품의 종별을 교시하는 것이다.

피검사기판의 검사에 앞서서, 기판상의 부품위치에 부품의 종별에 따른 색, 또는 형상의 라벨을 부착하여 기준기판을 제작한다. 이 기준기판은 기판검사장치에 공급되어 라벨이 촬상됨으로서 라벨의 부착위치, 형상, 색채가 판독된다. 라벨의 점부 위치에서 부품의 위치를 교시시키고, 라벨의 색채 또는 형상에서 부품의 종별이 교시된다.

이 교시방법에 의하면, 교시용의 기준기판은 라벨을 첨부할 뿐으로 간단하게 제작할 수 있으며, 라벨을 벗기면 그 기판의 재이용이 가능하게 되어 경제적이다. 이 교시방법에 의하면, 부품위치뿐만 아니라 부품의 종별을 교시하는 것도 용이하다.

본 발명에 의한 또하나의 교시방법은 기판상에 장치된 부품의 상태를 검사하는 기판검사장치의 부품의 상태의 특징량을 기판검사에 앞서서 교시하는 것이다. 이 교시방법에서는 부품이 정상적으로 장치된 복수의 기준기판을 상기 기준검사장치에 순차공급한다. 그리고 공급된 복수의 기준기판을 촬상하고, 그 화상에서 부품의 상태에 대한 특징량을 추출하고, 이들 특징량을 통계처리하고, 그 산출치를 특징으로 하여 설정하도록 상기 기판검사장치를 동작시킨다.

본 발명의 교시방법에 의하면, 복수의 기준기관에 대한 화상에서 부품의 상태에 대한 특징량을 추출하고, 그들을 통계처리한 값을 특징량으로서 기판검사장치에 교시하고 있음으로 예로서 각각의 기준기판에 있어서 부품의 상태가 불균형하더라도 통계처리에 의하여 특징량이 평균화된다. 이것에 의하여 부품의 상태에 대한 검사에서 불량부품의 간과나 정상부품을 불량으로 오판하는 것이 적게되며, 확실하고 안정된 기판검사를 행할 수 있다.

본 발명은 기판상의 부품을 검사하는 기판검사장치에, 부품의 검사영역을 기판검사에 앞서서 설정하기 위한 검사영역 설정방법을 제공하고 있다. 본 발명은 공급된 기판을 촬상하여 부품위치의 화상을 생성하고, 이 화상에 대하여 기판상의 랜드(land)영역을 포함하는 처리영역을 초기설정하고, 그 처리영역내에서 투명처리를 실시함으로서 상기 랜드영역을 추출하고 추출한 영역에 외접하는 영역을 소정폭으로 확대하여 부품의 검사영역을 설정하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 검사영역 설정방법에 의하면, 기판검사에 앞서, 기판을 검사장치에 공급하여 부품위치를 촬상하고, 그 화상에 소정의 화상처리를 실시하여 부품의 검사영역을 설정하고 있으므로, 기판의 인쇄패턴에 어긋나도, 확실하게 검사장소를 포함하는 검사영역을 설정할 수 있고, 고속이고 안정된 검사영역의 설정이 가능하다. 기판상에 기준으로 되는 패턴을 설치하거나 그 기준패턴을 사용한 보정처리를 행하는 것도 불필요하고, 검사영역의 추출에 벗어남이 생긴다하더라도 그것이 모두의 검사영역에 대한 설정에 악영향을 미칠 염려가 없다.

본 발명에 의한 검사 결과 표시 방법은 기판상에 장치된 복수의 부품을 촬상하고, 각 부품의 상태를 검사하고, 각 부품의 검사결과를 표시부의 화면상에 표시하는 기판검사장치에서, 상기 표시부의 화면상의 1영역에, 기판상의 각 부품에 대한 위치를 소정의 색채로서 표시하고 실장 불량으로 판단된 부품의 위치를 다른 부품위치와는 다른 색채로서 표시하고 다른 영역에 상기 불량 부품의 불량 내용을 동시에 표시하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 검사 결과 표시 방법에 의하면, 표시부의 화면에는 기판상의 각 부품에 대한 위치가 소정의 색채로서 표시된다. 불량으로 판정된 부품에 대하여는 그 부품 위치가 정상 부품과는 다른 색채로서 표시되고, 불량 내용도 같은 화면상에 표시된다. 이 때문에 불량 부품과, 그 부품의 기판상 위치의 대응 부착이 쉽고, 그 부품의 불량 내용도 즉시 파악할 수 있으므로 검사원이 기판을 검증하여 눈으로 확인하는 작업을 행할 필요가 없다.

본 발명은 또하나의 표시 방법을 제공하고 있는바, 이 표시 방법은 기판상의 장치 부품을 촬상하여 얻은 원화상에서 3원색의 색상 패턴을 추출하고, 그 추출 결과를 교시 데이타와 비교하여 부품의 상태에 대한 양호 및 부족 여부를 판정하는 기판 검사 장치에서 표시부의 화면상에 상기 원화상과 추출 결과에 의한 화상을 인접시켜 표시하고, 추출 결과에 의한 화상을 각 색상 패턴에 대응하는 유사 컬러를 사용하여 착색하는것을 특징으로 한다.

표시부의 화면에는 기판상의 부품을 촬상하여 얻어진 검사 영역의 원화상과, 색상 패턴을 그들에 대응하는 유사 킬러로서 각각 착색한 추출 결과에 의한 화상을 인접하여 표시하고 있으므로, 검사원은 추출 상태를 구체적으로 파악할 수 있고, 양 화상의 색을 인접 대비할 수 있으므로, 추출 상태의 양호 및 부족 여부를 쉽게 확인할 수 있다.

[발명을 실시하기 위한 최량의 형태]

제4도는 본 발명의 실시예에 대한 기판 검사 장치의 구성을 나타내고 있다.

이 기판 검사 장치는 기준 기판(위치 결정 기판)(20S)을 촬상하고 그 촬상 데이타를 처리하여 얻어지는 기준기판(20S)상에 있는 각 부품(21S)의 검사 영역에 대한 특징 파라메터(판정 데이타)와, 피검사 기판(20T)을 촬상하여 얻어지는 상기 피검사 기판(20T)상에 있는 각 부품(21T)의 검사 영역에 대한 특징 파라메터(피검사 데이타)를 비교하여 이들 각 부품(21T)이 바르게 장치되고 땜납되어 있는지의 여부를 검사하기 위한 것이고, X축 테이블부(22), Y축 테이블부(23), 투광부(24), 촬상부(25) 및 처리부(26)를 포함하고 있다.

X축 테이블부(22) 및 Y축 테이블부(23)는 각각 처리부(26)에서의 제어 신호에 의하여, 제어되는 모터(도시생략)를 갖추고 있으며, 이들 모터의 구동에 의하여 X축 테이블부(22)가 촬상부(25)를 X방향으로 이동시키고, Y축 테이블부(23)가 기판(20S) 또는 (20T)을 지지하는 컨베어(27)를 Y방향으로 이동시킨다.

기판(20S) 및 (20T)은 투광부 (20T)에 의하여 조사되고 촬상부(25)에 의하여 촬상된다.

투광부(24)는 처리부(26)에서의 제어 신호에 의하여 각각 적색광, 녹색광 및 청색광을 발생하여 검사 대상으로 다른 입사각에서 조사하기 위한 링상의 발광체(28), (29) 및 (30)를 갖추고 있다. 이들의 발광체(28), (29) 및 (30)에서 출사되는 3원색 광의 혼합광에 의하여 기판(20S) 또는 (20T)가 조명된다. 그 반사광상은 촬상부(25)에 의하여 전기 신호로 변환된다. 이 실시예에서는 발광체(28), (29) 및 (30)는 백색 광원에 각각 적색, 녹색 및 청색의 착색 투명판(색필더)을 덮은 구조를 사용하고 있지만, 3원색의 색상 광을 발생시키는 것이면, 이러한 구성에 한하지 않고, 예를들면 3개의 링상의 대온관(적, 녹, 청)을 사용하는 것도 가능하다.

이 투광부(24)는 조명하에서 기판(20S), (20T)상의 부품에 관하는 정보(부품 번호, 극성, 컬러 코드등)나 기판 괘턴 정보(여러가지의 마크등)를 검출하는 것을 각 색상의 광이 혼색되면 완전한 백색광으로 되듯이 설정되어 있다. 즉 발광체(28), (29) 및 (30)는 혼색에 의하여 백색광으로 되도록 대파장 발광 에너지 분포(파장을 횡축으로 하는 발광 에너지 분포이고, 그 피크가 1(100%)에서 설정된다)를 가지는 적색광 스팩트럼, 녹색광 스펙트럼 및 청색광 스펙트럼 광을 발하는 발광체로서 각각 구성되고, 발광체(28), (29) 및 (30)에서 투사된 적색광, 녹색광 및 청색광이 혼색하여 백색광으로 되도록, 촬상 제어기(31)에 의하여 발광체(28), (29) 및 (30)에서 출력되는 색상광의 광량이 조정된다.

촬상부(25)는 투광부(24)의 위쪽에 위치하는 컬러 텔레비젼 카메라(32)를 갖추고 있으며, 기판(20S) 또는 (20T)에서의 반사광은 이 컬러 텔레비젼 카메라(32)에 의하여 3원색의 컬러 신호 R, G, B로 변환되어처리부(26)로 공급된다.

처리부(26)는 A/D변환부(33), 화상 처리부(34), 티칭 테이블(35), 판정부(36), 촬상 제어기(31), X, Y테이블 제어기(37), 키보드(40), CRT표시부(41), 프린터(42), 플로피 디스크 장치(43), 메모리(38) 및 제어부(CPU)(39)에서 구성되는 것이고, 티칭(교시) 모드일때, 후술하는 방법으로써 기준 기판(20S)상의 각부품(21S)의 실장 위치, 실장 부품의 종별, 방법 및 검사 영역을 검출하고, 기준 기판(20S)에 대하여 컬러신호, R, G, B를 처리함으로서, 땜납 상태가 양호한 부품(21S)의 검사 영역에 대하여 적색, 녹색 및 청색의 위상 패턴을 검출하여 특징 파라메터를 생성하고, 이것에 의하여 판정 데이타 파일을 제작한다. 또 처리부(26)는 검사 모드일때, 피검사 기판(20S)에 대하여 컬러 신호 R, G, B를 처리하고, 기판상의 각 부품(21T)의 검사 영역에 대하여 같은 위상 패턴을 검출하여 특징 파라메터를 생성하고, 이것에 의하여 피검사 데이타 파일을 제작한다. 그리고 이 피검사 데아타 파일과 상기 판정 데이타 파일을 비교하여 이 비교 효과에서 피검사 기판(20T)상의 소정 부품(21T)에 대하여 땜납 부분의 양호 및 불량 여부를 자동적으로 판정한다.

제5도는 땜납이 양호할때, 부품이 결락하고 있을때 및 땜납 부족의 상태에 있을때의 각각 땜납(44)의 단면 형태와, 상기 각 경우에 있어서, 촬상 패턴, 적색 패턴, 녹색 패턴 및 청색 패턴의 관계를 일람표에 나타낸 것이고, 이들의 색상 패턴 사이에는 명확한 차이가 나타나므로, 부품의 유무나, 땜납의 양호 또는 부족 여부가 판정 가능하게 된다.

제4도로 돌아가, A/D변환부(33)는 촬상부(25)에서 컬러 신호 R, G, B가 공급되었을때에, 이것을 디지탈신호로 변환하여 제어부(39)에 공급한다. 메모리(38)는 RAM을 포함하고, 제어부(39)의 작업 영역으로써 사용된다. 화상 처리부(34)는 제어부(39)를 거쳐 공급된 화상 데이타를 화상 처리하여 상기 피검사 데이타 파일이나 판정 데이타 파일을 작성하고, 이들을 제어부(39)나 판정부(36)로 공급한다.

티칭 테이블(35)은 티칭 모드에서 제어부(39)에서 판정 데이타 파일이 공급되었을때, 이것을 기억하고, 검사 모드에서 제어부(39)가 전송 요구를 출력했을때, 이 요구에 따라 판정 데이타 파일을 판독하여, 이것을 제어부(39)나 판정부(36)등으로 공급한다.

판정부(36)는 검사 모드에서 제어부(39)에서 공급되는 판정 데이타 파일과 화상 처리부(34)에서 전송되는 피검사 데이타 파일을 비교하여 그 피검사 기판(20T)에 대하여 땜납 상태의 양호 및 불량 여부를 판정하고, 그 판정 결과를 제어부(39)에 출력한다.

촬상 제어기(31)는 제어부(39)와 투광부(24) 및 촬상부(25)를 접속하는 인터페이스등을 갖추고, 제어부(39)에서의 지령에 따라 투광부(24)의 발광체(28), (29) 및 (30)의 광량을 조정하거나, 촬상부(25)의 컬러텔레비젼 카메라(32)의 색상광 출력 상호의 밸런스를 지니는 등의 제어를 행한다.

X, Y 테이블 제어기(37)는 제어부(39)와 X축 테이블부(22) 및 Y축 테이블부(23)를 접속하는 인터페이스등을 갖추고, 제어부(39)의 출력에 의하여 X축 테이블부(22) 및 Y축 테이블부(23)를 제어한다.

CRT 표시부(41)는 음극선관(CRT)을 갖추고, 제어부(39)에서 화상 데이타, 판정 결과, 키입력 데이타등이 공급되었을때, 이것을 화면상에 표시한다. 프린터(42)는 제어부(39)에서 판정 결과등이 공급되었을때, 이것을 미리 정해진 포맷에서 프린트 아웃(print out)한다. 키보드(40)는 조작 정보, 기준 기판(20S)이나 피검사 기판(20T)에 관하는 데이타 등을 입력하는데 필요한 각종 키를 갖추고 있으며, 이 키보드(40)에서 입력된 정보나 데이타등온 제어부(39)로 공급된다.

제어부(39)는 마이크로프로세서등을 포함하고 있으며, 다음에 서술하는 순서에 따라 티칭 및 검사에 동작을 제어한다,

우선 티칭 동작의 일례에 대하여 제6도를 참조하여 설명한다 제어부(39)는 티칭의 스타트에서, 투광부(24)나 촬상부(25)를 ON시키고, 촬상 조건이나 데이타의 처리 조건을 정한다. 오퍼레이터는 스텝 1(도면에서는 ST1으로 나타낸다)에서 키보드(40)를 조작하여, 교시 대상의 기판명에 대한 등록과 기판의 사이즈입력을 행한다. 이후, 다음의 스텝(2)에서, 오퍼레이터는 기준 기판(20S)을 Y축 테이블부(23)상에 셋트하여 스타트키를 누른다. 그리고 스텝(3)에서 그 기준 기판(20S)의 원점으로서 우상 및 좌하의 각 각부를 촬상부(25)에서 촹상시키고, 그것을 CRT(41)상에 표시시킨다. 오퍼레이터가 상기의 각 각부 위치에 커서(cursor)를 맞추어 특정키를 누르면, 커서의 위치 좌표가 상기 각부의 좌표로서 입력된다. 제어부(39)는 이입력된 좌표 데이타에 의하여 X축 테이블부(22) 및 Y축 테이블부(23)를 제어하여 기준 기판(20S)을 초기위치에 위치 결정한다.

기준 기판(20S)은 소정의 부품 위치에 소정의 부품(21S)을 적당하게 땜납함으로서 양호한 상태가 형성된것이고, 각 부품(21S)상면의 거의 중앙에는 제9도 및 제10도에 나타내듯이 라벨(50), (51)이 점착되어 있다.

이들 라벨(50), (51)은 각각 부품(2lS)의 위치, 부품의 종류 및 방향(부품의 방향)을 교시하기 위하여 사용되고 있다. 이 실시예의 경우, 양측변에 다수의 리드(52)를 갖춘 SOP(Small Outlined Package)와 같은 장방형의 부품(21S)에 대하여는 황색의 반원형에 대한 라벨(50)이 그 원호부를 장치 방향(부품(21S)의 특정 방향)으로 향하여 부착되고(제9도), 4번으로 다수의 리드(52)를 갖춘 QFP(Quad Flat Package)와 같은 정방형의 부품(21S)에 대하여는 적색의 원형 라벨(51)이 부착되고(제10도), 각 칩과, 같은 칩 부품(도시생략)에 대하여는 색 또는 형상을 달리한 다른 레벨이 부착된다. 이 실시예에서는 라벨의 붙이는 위치에 의하여 부품의 위치가 라벨의 색 및 형상에 의하여 부품의 종별이 라벨의 붙이는 방향에 의하여 부품의 방향이 각각 교시된다. 라벨의 색과 형상의 양쪽을 부품 종별의 식별에 사용하고 있는 것을 단독정보에 의한 오식별을 방지하기 때문이다.

본 실시예에서는 부품 위치에 소정의 부품(21S)이 적정하게 반전 부착된 기준 기판(20S)이 상면에 각각라벨(50) 또는 (51)을 부착하고 있다. 그러나 부품이 장치되어 있지 않는 기판을 사용하여 그 기판상의 부품 위치에 라벨(50) 또는 (51)을 직접 붙이도록 하여도 좋다. 후자에 의한 경우는 부품 위치 교시용의 기준기판외에, 후술하는 특징 파라메터를 교시하기 위한 기준 기판을 별도로 준비할 필요가 있다.

제6도로 돌아가, 기준 기판(20S)이 초기 위치에 위치 결정되면, 다음의 스텝(4)에서 부품의 위치나 부품의 종별등에 대하여 교시 처리가 개시된다.

제7도는 이 교시 처리의 상세를 나타내고 있으며, 스텝 4-1에서 제어부(39)의 촬상 영역 계수용의 카운터(i)에 1이 초기 설정되고, 이 카운터(i)의 내용에 대응하는 기준 기판(20S)상의 영역이 촬상되어 초기 화면이 생성된다(스텝 4-2).

제11도에 나타나듯이 기판(20S)상의 영역은 종횡Ex×Ey의 다수 구형 영역(53)에 분할되고, 각 구형영역(53)이 1화면의 크기에 대응하고 있다. 우선 최초로 좌하의 영역(53)의 화면이 생성되어 스텝 4-3에서 스텝 4-10의 처리가 실행된다. 그것 이후는 도중의 화살표에 따라서 각 구형영역(53)에 대하여 같은 처리가 반복 실행된다.

우선 스텝 4-3에서는 화상 처리부(34)에서 적색 영역의 추출이 행하여진다.

지금 화상상의 화소 위치를 좌표(x, y)로서 나타내고, 좌표(x, y)의 화소에 대한 각 컬럼 신호의 3원색의 탄색 레벨치(명도)를 각각 R(x, y), G(x, y), B(x, y)로 하면, 적색, 녹색, 청색의 각 색상치r(x, y), g(x, y), b(x, y)는 각각 제(2), (3), (4)식으로 부여된다.

스텝 4-3등의 적색 영역의 추출 처리는 R(x, y)≥T이고, (x, y)≥T₂(Tl, T2는 미리 정해진 고정치이다)를 채우는 요소를 추출함으로서 실행된다.

제12a도에서 제12c는 화상(54)상에서 추출된 적색 영역(55)을 나타내고 있다. 이중 제12a도는 화상(54)의 중앙부이고 제12b도 및 12c는 화상(54)의 주변부이고, 각각 적색 영역(55)이 추출되어 있는 것을 나타내고 있다.

다음에 스텝 4-4에서, B추출한 적색 영역(55)의 윤곽 추적을 행함으로서 이 적색 영역(55)에 외접하는 구형 abcd를 생성하고, 이 외접 구형의 2변의 길이가 함께 라벨(51)의 반경(L)보다 큰지 또는 크지 않은지의 여부를 판정한다. 이것에 의하여 이 적색 영역(55)의 크기가 일정 이상인지 아닌지의 여부, 즉 적색 영역(55)이 적색의 라벨(51)의 화상에 상당하는 것인지 아닌지의 여부가 판정된다.

스텝 4-4의 판정이 아니오(No)이면 스텝 4-5를 스킵하여 스텝 4-6으로 진행하지만, 스텝 4-4에서 예(YES)일때는 제어부(39)는 다음의 스텝 4-5에서, 적색 영역(55)의 중심 좌표를 제12a도 내지 제12c도에 나타내는 각 경우에 따라 산출한다.

즉 제12a도는 추출된 적색 영역(55)이 화상(4)의 어느 변에서도 접하고 있지 않은 경우를 나타내고 있으며, 이 경우에는 외접 구형, abcd의 중심 위치를 라벨(51)의 중심 위치로 한다.

제 12b도는 추출된 적색 영역(55)이 화상(54)의 어느 일변에 접하는 경우이고, 이 경우는 외접 구형abcd의 점a에서 선분 ab의 방향으로 2L의 길이를 취하여 구형 ab'c'd를 만들고 이 구형의 중심 위치를 라벨(51)의 중심 위치로 한다.

제12c는 추출된 적색 영역(55)이 화상(54)의 2변에 접하는 경우이고, 이 경우는 외접 구형 abcd의 일점a에서 선분 ab, ad의 각 방향으로 2L의 길이를 취하여 구형 ab′c'd를 만들고 이 구형의 중심 위치를 라벨(51)의 중심 위치로 한다.

라벨(51)의 중심 위치 좌표가 구해지면, 제어부(39)는 이 좌표를 기준 좌표(20S)에 있어서 좌표계로 변환하여 이것을 부품 위치로 한다.

다음에 화상 처리부(34)는 스텝 4-6에서, 황색 영역의 추출을 행한다. 이 황색 영역의 추출 처리는 R(x, y)≥T₃, (x, y)≥T₄, G(x, y)≥T₅, g(x, y)≥T_b, B(x, y)＜T₇, b(x, y)＜T₈, (T₃∼T₈)은 미리 설정된 고정치이다)를 채우는 화소를 추출함으로서 실행된다.

제13a도에서 제13c는, 화상(56)상에서 추출된 황색 영역(57)을 나타내고 있으며, 이중 제13a도는 화상(56)중앙부이고, 제13b도 및 제13c는 화상(56)의 주변부에서 각각 황색 영역(57)이 추출되어 있는 상태를 나타내고 있다.

다음에, 스텝 4-7에서, 이 황색 영역(57)의 윤곽 추적을 행함으로서 외접 구형 abcd를 생성하고, 이 외접 구형의 1변 길이가 라벨(50)의 반경(L)보다 크고 다른 1변의 길이가 L/2보다 큰지 아닌지를 판정하고, 이것에 의하여 이 황색 영역(57)의 크기가 일정 이상인지 아닌지 즉 이 황색 영역(57)이 황색 라벨(50)의 화상에 상당하는 것인지 아닌지를 판정한다.

스텝 4-7의 판정이 아니오(No)이면 스텝 4-8을 스킵하여 스텝 4-9로 나아간다. 스텝 4-7에서 예(YES)일때에 제어부(39)는 다음의 스텝 4-8에서, 황색 영역(57)의 중심 좌표를 제13a도 내지 제13c도의 각 경우에 따라 산출한다.

제13a도는 추출된 황색 영역(57)이 화상(56)의 어느변에도 접하여 있지 않은 경우를 나타내고 있으며, 이 경우에는 외접 구형, abcd의 중심 위치를 라벨(50)의 중심 위치로 한다.

제13b도는 추출된 황색 영역(57)이 화상(56)의 어느것인가의 1변에 접하는 경우를 나타내고 있으며, 이 경우에는 외접 구형 abcd의 일변이 L, 다른 일변이 L/2로 되도록 구형(파선으로 나타낸다)을 만들고, 이구형의 중심 위치를 라벨(50)의 중심 위치로 한다.

제13c도는 추출된 황색 영역(57)이 화상(56)의 2변에 접하는 경우를 나타내고 있으며, 이 경우에도 외접구형 abcd의 일변이 L, 다른 일변이 L/2로 되도록 구형(파선으로 나타낸다)을 만들고, 이 구형의 중심 위치를 라벨(50)의 중심 위치로 한다.

라벨(50)의 중심 위치 좌표가 구해지면 제어부(39)는 이 좌표를 기준 기판(20S)에 있어서 좌표계로 변환하여 이것을 부품 위치로 한다.

제어부(39)는 황색 영역(57)에 대하여는 그 중심위치(G)의 좌표를 산출하고, 그 중심 위치(G)와 상기의 중심 위치(O)의 위치 관계에서 황색의 라벨(50)의 원호부가 어느것의 방향을 향하고 있는지를 검출한다. 예를들면 외접구형 abcd의 중심 위치(O)에 대한 좌표를(x_o, y_o), 황색 영역(57)의 중심 위치(G)의 좌표를(x, y)로 한 경우, y_o=y_c, y_o＜x_G로 되면, 황색의 라벨(50)의 원호부는 좌방향(X축상에서 부방향)을 향하고 있는 것으로 판단된다.

이렇게 하여 적색 영역(51)이나 황색 영역(50)의 추출 및 그들의 중심 위치에 대한 산출이 완료되면, 스텝 4-9로서 상기 카운터(i)를 1가산하고, 이 카운터(i)의 내용에 의하여 기준 기판(20S)상의 모든 구형 영역(53)에 대한 처리가 종료되었는지의 여부를 판정한다(스텝 4-10). 그 판정이 아니오(NO)이면 스텝 4-2로 돌아가고, 카운터(i)의 계수치에 의하여 지정되는 기준 기판(20S)상의 구형 영역(53)에 대하여 상기와 같은 처리가 실행된다.

제15a도는 상기 처리의 진행시에 있어서의 CRT 표시부(41)의 표시 화면을 나타내고 있으며, 도면중의 소정 영역(58)에는 황색 라벨(50)이 부착된 장방형의 부품(21S)의 검출 위치(59)(+로서 나타낸다)와, 적색 라벨(51)이 부착된 정방형의 부품(21S)의 검출 위치(60)(·로서 나타낸다)가 표시되어 있다.

스텝 4-10의 판정이 예(YES)로 되면 부품 위치 및 종별의 교시 처리가 완료되고, 제6도의 스텝(5)으로 나아가 기준 기판(20S)은 반출된다.

제6도에 있어서 다음의 스텝(6)에서 오퍼레이터는 소정의 위치에 소정 부품이 적정하게 장치된 기준 기판(20S)을 Y축 테이블부(23)상에 셋트하여 키보드(40)의 스타트키를 누르고, 검사 영역을 설정하기 위한 교시 처리를 개시시킨다. 이 실시예에서는 검사 영역 설정을 위한 기준기판(20S)으로서 먼저의 스텝(4)의 교시 처리로서 사용한 것을 재이용하고 있지만, 이것에 한정되지 않는 것은 물론이다.

우선 스텝(7)에서, 제어부(39)의 부품 계수용의 카운터(j)에 1이 초기 설정된다. 제어부(39)는 먼저의 교시로서 얻어진 부품 위치 데이타에 의하여 X축 테이블부(22) 및 Y축 테이블부(23)를 제어하여 1번째의 부품(21S)을 텔레비젼 카메라(32)의 시야내에 위치 결정하여 그 부품을 촬상시킨다.

제14a도 및 제14b도는 이 촬상에 의하여 얻은 SOP 등의 장방형 부품에 대한 화상(61)에 대하여 검사 영역의 설정 방법을 구체적으로 나타내는 것이다. 이 방법은 화상(61)에 대하여, SOP 부품의 양측부에 대응하여 제14a도에 쇄선으로 나타내는 구형상의 처리 영역(62A), (62B)을 초기 설정하고, 각 처리 영역(62A), (62B)내에서 사영 처리를 행하여 기판상의 랜드부(63)를 가동 추출하고, 그후, 제14b도에 나타나듯이 랜드부(63)를 포함하는 외접 구형(68A), (68B)을 각각 구하고, 그것을 4방으로 소정폭 확대하여 구형상의 검사영역(64A), (64B)으로서 설정하는 것이다. 이 검사 영역의 설정 처리에 대하여는 후에 서술한다.

여기에서는 SOP 부품에 대하여 검사 영역의 설정방법을 나타내고 있지만, 다른 부품에 대하여도 이것에 준한 방법으로서 검사 영역의 설정을 행하는 것은 물론이다.

이렇게 하여 1번째의 부품에 대하여 검사 영역의 설정이 완료된후, 다음의 스텝(9)에서 오퍼레이터가 키보드(40)의 넥스트키를 누르면, 상기 카운터 내용에 의하여 모든 부품에 대하여 검사 영역의 실정이 행하여졌는지 아닌지가 판정된다(스텝 11). 스텝(11)의 판정이 아니오(No)이면, 다음의 부품이 촬상되어 상기와같은 처리가 실행된다.

제15b도는 상기 처리의 진행시에 있어서 CRT 표시부(41)의 표시 화면을 나타내고 있으며, 영역(58)에는 부품검출 위치(59), (60)에서 그 부품의 검사 영역이 설정된 때마다, 위치(59), (60)의 표시가 그 부품의 형상 및 크기에 따른 표시(65), (66)로 절환되어 간다.

이렇게 하여 모든 부품에 대하여 같은 처리가 반복하여 실행되는 결과, 스텝(11)의 판정이 예(YES)로 되면, 기준 기판(20S)이 반출되어(스텝 12), 다음에 특징 파라메터의 교시 처리로 이행된다.

우선 스텝(13)에서 제어부(39)의 기판 때수 계수용의 카운터(n)에 1이 초기 설정된후, 다음의 스텝(14)에서 오퍼레이터가 1때째의 기준 기판(20S)(소정 위치에 소징의 부품이 적정하게 장치되고 땜납된것)을 Y축 테이블부(23)상에 셋트하여 키보드(40)의 스타트키를 누르면, 스텝(15)에서, 제어부(39)는 먼저의 교시로서 얻어진 부품 위치 데이타나 검사 영역 데이타에 의하여 X축 테이블부(22) 및 Y축 테이블부(23)를 제어하여 텔레비젼 카메라(32)의 시야를 순차 각 부품에 위치 결정하여 촬상을 행한다.

촬상에 의하여 얻어진 3원색의 컬러 신호 R, G, B는 A/D변환부(33)에서 디지탈 데이타로 변환되고, 메모리(38)에 실시간(real time)으로 기억된다. 다음에 제어부(39)는 먼저의 교시로서 얻어진 각 부품의 검사영역의 각 랜드부를 추출하고, 그들의 랜드부에 관계하는 각 색상의 화상 데이타를 메모리(38)에서 판독하여 화상 처리부(34)로 전송한다. 화상 처리부(34)에서는 각 화상의 화상 데이타를 각 색상마다 적당한 임계치로서 2값화하는 등으로 각 랜드부의 정상인 땜납 상태를 적색, 녹색 및 청색의 패턴으로서 검출하고, 이들 패턴의 특징을 특징 파라에터로서 산출한다.

제21a도는 기준 기판(20S)상에 장치된 부품(21S)에 대하여 랜드부(70)에 리드(52)가 적정하게 땜납된 상태를 나타내고 있으며, 랜드부(70)상에 충분한 양의 땜납(71)이 남아, 랜드부(70)의 선단부(70a)까지 복귀하고 있다.

이러한 정상적인 땝납 부위를 촬상하면, 제22a도에 나타나듯이 3원색의 패턴이 나타나고, 특히 선단부(70a)의 적색 영역은 땜납(71)의 존재에 의하여 적색으로 빛나게 된다.

그리고 이 선단부(70a)의 적색 영역에 대하여 적색 상치를 구하여 이것을 특징 파라메터의 하나로 한다.

1때째의 기준 기판(20S)에 대하여 각 부품마다 복수종의 특징 파라메터에 대한 추출이 완료되면, 그 기판이 반출된다. 그후, 상기 카운터(n)가 1가산되어 2때째의 기준 기판(20S)이 지정되고, 상기와 같은 순서로서 특징 파라메터의 추출 처리가 종료되면, 스탭(16)의 판정이 예(YES)로 되어 스텝(18)으로 나아간다. 스텝(18)에서 제어부(39)는 각 부품에 대하여 평균적인 특징량을 얻기 위해 n때의 기준 기판(20S)에 대하여 각 특징 파라메터를 통계 처리하여 평균치 및 표준 편차를 산출하고, 평균치 ±정수 X표준 편차에 상당하는 범위를 정상 범위로 하는 판정 데이타 파일을 작성하여 이것을 티칭 테이블(35)에 기억시키고, 필요에 따라 데이타의 수정을 실시하여 티칭을 종료한다.

제23도는 랜드부(70)의 선단부(70a)의 적색상치에 관하고, n때의 기준 기판(20S)에서 구해진 데이타의 분포를 나타내고 있으며, 통계 처리에 의하여 산출한 적색상치의 평균치와 표준 편차에서 이 특징 파라메터의 정상 범위를 규정하고 있다.

이상에서 티칭이 완료되면, 이 기판 검사 장치는 땜납후의 피검사 기판(20T)의 자동 검사가 가능한 상태로 된다.

오퍼레이터는 제8도에 나타내는 검사 모드로 이동하고, 스텝(21), (22)에서 검사할 기판명을 선택하여 기판 검사의 스타트 조작을 행하게 된다.

다음의 스텝(23)에서는 기판 검사 장치로의 피검사기판(20T)의 공급을 체크하고 있으며, 공급이 있으면 컨베어(27)가 작동하여 Y축 테이블부(23)에 피검사 기판(20T)이 반입되고, 기판 검사가 스타트된다(스텝24, 25),

스탭(25)에서 제어부(29)는 X축 테이블부(22) 및 Y축 테이블부(23)를 제어하여, 피검사 기판상의 1번째의 부품(21T)에 대하여 텔례비젼 카메라(32)의 시야를 위치결정하여 촬상을 행하고, 검사 영역내의 각 랜드 영역을 자동 검출함과 동시에, 각 랜드 영역의 특징 파라메터를 산출하여 피검사 데이타 파일을 작성한다. 다음에 제어부(39)는 상기 피검사 데이타 파일을 판정부(36)에 전송하고, 이 피검사 데이타 파일과 상기 판정 데이타 파일을 비교하여 1번째의 부품(21T)에 대하여 땜납의 양호 또는 불량의 여부를 판정시킨다.

제21b도는 땜납 불량의 존재하는 부품(21T)을 나타내고 있으며, 랜드부(70)상에 적은 량의 땜납(71)이 남아 있을 뿐이고, 랜드부(70)의 선단부(70a)는 땜납(71)이 결락하여, 노출한 상태로 되어 있다.

이러한 상태의 땜납 부위를 촬상하면, 제22b도에 나타나듯이 정상 상태와 같은 3원색의 땜납이 나타내지만, 선단부(70a)의 적색 영역은 땜납(71)의 결락에 의하여 적색의 발휘가 둔하게 된다.

따라서 이러한 불량품의 선단부(70a)의 적색 영역에 대하여의 적색장치를 특징 파라메터로서 구하면, 그값은 제23도에 나타내는 정상 범위에서 벗어나게 된다. 이러한 검사가 피검사 기판(20T)상의 모든 부품(21T)에 대하여 반복 실행되며, 그 결과 땜납 불량이 있으면, 그 불량 부품과 불량 내용이 CRT 표시부(41)에 표시되고, 프린터(42)에 의하여 인자되고 그후 피검사 기판(20T)은 검사 위치에서 반출된다(스텝 27, 28).

제15c도는 판정 결과를 표시한 CRT 표시부(41)의 표시 화면을 나타내고 있다. 이 도에서, 영역(58)에는 상술한 부품 표시(65), (66)가 행하여지고, 땜납 불량의 부품(65a)이 특정의 색채로서 착색 표시되어 있으며, 그 아래의 화면 영역(67)에는 오퍼레이터가 지정한 땜납 불량의 부품에 대하여 불량 내용이 구체적으로 표시되어 있다. 오퍼레이터에 의하여 지정된 부품은 땜납 불량의 부품(65a)을 나타내는 색채와는 다른 색채로서 화면상에 명시된다.

제14a도 및 제14b도를 참조하여 간단하게 설명한 검사 영역의 설정 방법(제6도, 스텝8)의 상세에 대하여 아래에 서술한다.

제16도는 한쪽의 처리 영역(62A)에 있어서 사영 처리의 방법을 나타내고 있다. 처리 영역(62A)(62B)은 그 종횡 2변이 미리 소정 길이에 초기 설정되어 있으며, 좌상(61)에 대하여 먼저의 교시 순서로서 구해진 부품의 방향에 따라 그 방향이 결정된다.

지금 화상(61)을 구성하는 각 화소의 위치를 좌표(x, y)로서 나타내고, 좌표(x, y)에 대한 3원색의 컬러신호의 탄색 레벨치를 각각 R(x, y), G(x, y) 및 B(x, y)로 하면, 적색, 녹색 및 청색의 색상치 r(x, y), g(x, y) 및 b(x, y)는 상술한 제(2)식 내지 제(4)식으로 각각 부여된다. 처리 영역(62A)내에 있어서 랜드부(63)를 추출하기 위하여 처리 영역(62A)에 포함되는 모든 각 화소에 대하여 각 탄색 레벨값과 각 색상치를 산출하여, 그들의 값에 의하여 랜드부(63)를 구성하는 화소인지 아닌지를 판별한다.

즉 착안하는 화소가 R(x, y)T₁₀이고 (x, y)T₁₁일때, 또는 G(x, y)T₁₂이고 g(x, y)T₁₃일때, 또는B(x, y)T₁₄이고 b(x, y)T₁₅일때 그 화소는 랜드부(63)를 구성하는 화소로 간주하고, 그 화소에 W(x, y)=1의 무게를 부여하고, 그것 이외일때는 그 화소는 랜드부(63) 이외의 화소로 간주하고, 그 화소에 W(x, y)=0의 무게를 부여한다. T₁₀, T₁₁, T₁₂, T₁₃, T₁₄, T₁₅는 미리 설정된 고정치이다. 그리고 화상(61)의 각 행 및 각 열에 대하여 W(x, y)의 총화를 다음식에 의하여 산출한다.

여기서 (x₀, y₀)는 처리 영역(62A)에 있어서 좌상의 각부(Q)의 좌표를, Lx, Ly는 처리 영역(62A)의 2변길이를 각각 나타낸다. 제16도에는 X_PRO(X) 및 y_PRO(y)를 그래프로서 나타내고 있다.

다음에 X_PRO(X) 및 Y_PRO(y)의 최대치를 각각 {X_PRO(X)}_MAX, {Y_PRO(y)}_MAX로 하고, 다음에 의하여 임계치 Tx, Ty를 각각 구한다.

X_PRO(x)와 임계치(Tx)를 비교하고, 양자가 일치하는 x좌표를 작은 순으로 x1(1), x2(1), x1(2), xz(Z), …x1(i), x2(i)로 하고, Y_PRO(y)와 임계치(Ty)를 비교하고, 양자가 일치하는 y좌표를 작은 순으로y1(1), y2(1), y1(2), y2(2), …y1(j), y2(j)로 한다(i, j는 상술의 카운터와는 관계없다).

다음에 제(9)식, 제(10)식에 의하여 길이 Li 및 Lj를 구하고, 좌표(x1(i), y1(j)와 길이 Li, Lj로서 규정되는 구형 영역(x1(i), y1(j), Li, Lj)중, 다음의 제 (11)식, 제 (12)식을 만족하는 것을 랜드부(63)로 설정한다.

Wx, Wy는 고정치이다.

마찬가지로 하여 다른쪽의 처리 영역(62B)에 대하여도 랜드부(63)를 추출한후, 각 랜드부(63)에 외접하는 구형(68A), (68B)을 구하고, 각 구형(68A), (68B)을 소정폭마㎛ 확대하여 구형상의 검사 영역(64A), (68B)을 설정한다.

제17a도 및 제17b도는 정방형 부품의 화상(69)에 대하여 검사 영역의 설정 방법을 구체적으로 나타내고있다. 이 경우는 부품의 화상(69)의 4변에 대응하여 쇄선으로 나타내는 구형상의 처리 영역(71A) 내지 (71D)을 초기 설정하여 각 처리 영역내에서 상기와 같은 사영 처리를 행하여 기판상의 랜드부(70)를 자동 추출하고, 그후, 각 변에 대하여 랜드부(70)를 포함하는 외점 구형을 구하고, 그것을 4방으로 소정폭 확대하여 제17b도에 나타내는 구형상의 검사 영역(72A) 내지 (72D)를 설정한다. 상기의 처리 영역(71A) 내지(71D)이나 후술하는 처리 영역(73A) 내지 (73H)는 그 종횡 2변이 미리 소정의 길이로 초기 설정되어 있는것은 물론이다.

제18a도에서 제18e도는 정방형 부품의 형상이 크고, 하나의 화상(69)(CRT의 화면)중에 부품 전체상이 수습되지 않는 경우의 검사 영역 설정 방법을 나타내고 있다.

이 경우는 먼저 서술한 교시로서 얻어진 부품의 중심(O)이 화면의 중심으로 위치하는 촬상 상태(제18a도에 나타내는 상태)에서 X축 테이블부(22) 및 Y축 테이블부(23)를 구동시켜 텔레비젼 카메라(32)의 시야를 이동시킴으로서 제18b도에 나타나듯이, 화면내에 부품의 우상각부와 우변 및 상변의 각 랜드부(70)의 열이 들어가도록 조정한다. 이때, X, Y의 각 방향에 대한 이동 거리 x_T, y_T를 기억하여 둔다. 이 상태의 화상(69)에 대하고, 부품의 우변 및 상변의 각 위치에 쇄선으로 나타내는 구형상의 처리 영역(73A), (73B)을 초기 설정하여 각 처리 영역내에서 사영 처리를 행하여 기판상의 랜드부(70)를 자동 추출하고, 그후, 각 변에 대하여 랜드부(70)를 포함하는 외접 구형을 구하고, 그것을 4방으로 소정폭 확대하여 제19도에 나타내는 구형상의 검사 영역(74A), (74B)을 설정한다.

다음에 Y축 테이블부(23)를 구동하여 텔레비젼 카메라(32)의 시야를 2y_T이동시킴으로서, 제18C도에 나타나듯이, 화면내에 부품의 우하각부와 우변 및 하변의 각 랜드부(70)의 열이 들어가도록 조정하고, 처리영역(73C), (73D)에 대하여 상기와 같은 처리를 실행한다.

이어서 X축 테이블부(22)를 구동하여 텔레비젼 카메라(32)의 시야를 -2x_T이동시킴으로서, 제18d도에 나타나듯이 화면내에 부품의 좌하 각부와 좌변 및 하변의 각 랜드부(70)의 열이 들어가도록 조정하고, 처리영역(73E), (73F)에 대하여 상기와 같은 처리를 실행한다.

Y축 테이블부(23)를 구동하여 텔레비젼 카메라(32)의 시야를 +2y_T이동시킴으로서, 제18e도에 나타나듯이, 화면내에 부품의 좌상각부와 우번 및 상변의 각 랜드부(70)의 열이 들어가도록 조정하고, 처리 영역(73G), (73H)에 대하여 상기와 같은 처리를 실행한다.

이렇게 하여 1개의 부품에 대하여 검사 영역의 설정이 종료하면, 필요에 따라 오퍼레이터가 수정 작업을 행한후, 랜드 영역에 의하여 각 부품의 부품 본체(패케이지 부분)의 사이즈(제20a도 및 제20b도에 굵은 선(75), (76)으로서 나타낸다)가 구하여지고, CRT표시부(41)의 표시 화면에 그 사이즈에 따른 부품 표시가 행하여진다.

상술했듯이, 제15b도는 이때의 CRT표시부(41)의 표시 화면을 나타내고 있으며, 소정의 화면 영역(58)내의 부품 검출 위치(59), (60)의 표시가 그 부품의 검사 영역에 대한 설정 처리가 완료할때마다 부품 사이즈에 따른 부품 표시(65), (66)로 절체되어간다.

검사 결과 표시 화면의 예는 상술하듯이 제15c도에 나타나 있다. 제24도를 검사 결과 표시 화면의 다른예를 나타내는 것이다.

제24도에서, CRT표시부(41)의 표시 화면은 복수의 화면 영역으로 나누어져 있으며, 기판상의 부품 위치를 표시하기 위한 영역(58)외에, 그 하측 위치에 시스텝의 상태를 나타내기 위한 화면 영역(81)과, 키 조작 가이드나 불량 부품의 불량 내용을 표시하기 위한 화면 영역(82)이 설치되고, 우측 위치에는 모드의 명칭을 나타내는 화면 영역(83), 기판 메뉴나 서브 메뉴의 내용을 표시하는 화면 영역(84), (85), 날짜를 표시하는화면 영역(86), 시스텝 메세지를 표시하는 화면 영역(87)등이 설치되어 있다.

화면 영역(58)에는 기판상의 부품 위치가 부품 형상에 따른 형상의 표시(65), (66)에 의하여 나타내고 있으며, 검사로서 양부품 이라고 판정된 것에 대하여는 소정의 색상(예를들면 백색)으로서 착색 표시되는 것에 대하여 불량 부품이라고 판단된 것에 대하여는 다른 색상의 색(예를들면 적색)에 의한 형상의 표시(65a)로 절환한다.

화면 영역(82)은 불량 부품의 불량 내용으로서 부품 번호, 땜납 불량의 리드 번호, 땜납 브리지나 땜납볼이 존재하는 리드간의 번호, 장치 불량의 유무를 나타내는 코드, 땜납 불량의 내용을 나타내는 코드 또는 문자등을 표시하는 것이다. 이 실시예의 경우, 키보드(40)의 소정키를 누를때마다 화면이 절체되어 다른 불량 부품의 불량 내용이 순차 표시되도록 되어 있다. 이 경우, 화면 영역(82)에 표시중의 불량 부품에 대하여는 화면 영역(58)에 대하여 다른 색상의 색(예를들면 황색)으로서 그 표시(65b)가 행하여지고 있으며, 따라서 불량 부품과 그 부품 위치의 대응 부착이나 불량 내용의 확인이 일층 쉽게 되어 있다.

본 실시예는 불량 내용을 1부품마다 1화소로서 표시하는 방식을 채용하고 있지만, 이것에 한하지 않고, 1화소중에 모든 불량 부품에 대하여 불량 내용을 표로하여 일제히 표시하는 것도 가능하다.

기판상의 부품에 관하여 검출한 땜납 상태의 다른 표시 방법에 대하여 설명한다.

우선, 제6도의 스텝(15)에 있어서 특징 추출 처리에서 얻어진 화상 데이타의 표시에 대하여 서술한다. 상술과 같이 특징 추출 처리에서는 랜드부의 정상적인 땜납 상태가 적색, 녹색 및 청색의 패턴으로서 검출되고, 이들의 패턴 특징 파라메터로서 산출된다.

랜드부의 땜납 상태를 적색, 녹색 및 청색의 패턴으로서 검출하기 위하여 적색 패턴의 검출은 상술하듯이R(x, y)T₁이고 (x, y)T₂를 만족하는 화소를 추출함으로서 행한다. 녹색 패턴의 검출은 G(x, y)T₂₃이고 g(x, y)T₂₄를 만족하는 화소를 검출함으로서 행하고, 청색 패턴의 검출은 B(x, y)T₂₅이고 b(x, y)T₂₆을 만족하는 화소를 추출함으로서 행한다. T₂₃내지 T₂₄은 오퍼레이터에 의하여 설정된 고정치이다.

이렇게 하여 각 랜드부를 구성하는 적색, 녹색 및 청색의 각 패턴을 검출하면, 각 색의 패턴 영역을 대응하는 일정의 색상의 색(이것을 유사 컬러라 한다)에서 각각 대표되어 그 부품의 화상을 CRT표시부(41)에 표시시킨다. 예를들면, 적색의 유사 컬러는 일정의 위상적 색으로 좋고 다른 색으로도 양호하다.

제26a도는 CRT표시부(41)의 표시 화면을 나타내고 있으며, 랜드부(63)는 제 26b도의 확대도에 나타나듯이 적색의 유사 컬러에 의한 패턴 영역 P_R(좌하의 사선으로 나타낸다)과, 녹색의 유사 컬러에 의한 패턴 영역 P_G(횡선으로 나타낸다)와, 청색의 유사 컬러에 의한 페턴 영역 P_B(우하의 사선으로 나타낸다)에 의하여 구성되어 있다.

상술했듯이 소정 때수(n때)의 기준 기판(20S)에 대하여 특징 파라메터의 추출 처리가 종료하면, 스텝(16)에서 예(YES)로 되어 스텝(18)으로 진행한다. 스텝(18)에서, 제어부(39)는 각 부품에 대하여 평균적인 특징량을 얻으므로, n때의 기준 기판(20S)에 대하여 특징 파라메터를 통계 처리하여 평균치 데이타를 얻고, 이 평균치 데이타에 의하여 판정 데이타 파일을 작성하여 이것을 티칭 테이를(35)에 기억시키는 것은 상술한 대로이다.

판정 데이타 파일의 제작이 종료하면, 이 데이타를 사용하여 기판 검사가 행하여진다. 이 검사에 의하여 땜납 상태의 양부 판정에 오판정이 있던 경우에는 상기의 티칭 내용에 수정을 가할 필요가 있다. 이 수정을 위한 모드를 수정 티칭이라 하고, 제25도에 그 순서가 나타내어 있다.

우선 오퍼레이터는 제25도의 스텝(31)에서 수정 티칭을 행할 기판명을 키 입력하고, 다음에 스텝(32)에서 검사 대상의 기판(20T)을 콘베어(27)에 남겨 스타트 키를 누른다.

스텝(33)에서, 오퍼레이터는 예를들면 불량 판정시에 검사를 중단시키기 위한 코맨드를 입력하여 기판 검사를 개시시킨다.

그결과, 판정부(36)가 있는 부품에 대하여 땜납 불량으로 판정했을때는 스텝(35)에서 검사의 진행이 멈추고, 오퍼레이터는 그 불량 판정이 오판정인지 아닌지의 확인과, 오판정인 경우의 원인 규명을 행하기 위하여 손조작에 의한 필요한 처리를 실행하게 된다.

즉 오퍼레이터는 우선 불량 판정으로된 부품에 대하여 각 색상 패턴의 추출 상태를 CRT표시부(41)에 표시시키기 위하여 소정의 코맨드를 입력하면(스텝33), CRT표시부(41)의 화면에는 제27a도에 나타나듯이 부품의 표시가 나타난다(스텝35).

이 표시는 기판(20T)상의 부품을 촬상하여 얻어지는 각 랜드부의 원화상(70)과, 이 원화상(70)에서 3원색의 각 색상 패턴을 추출하여 얻어지는 각 랜드부의 화상(91) 및 랜드 부분의 화상(92)을 포함하고 있으며, 추출 결과에 의한 화상(91), (92)은 색상 패턴을 그것에 대응하는 유사 컬러로서 표현하여 표시되고 있다. 랜드 부분의 화상(92)은 땜납 브리지나 땜납볼이 존재하여 있지 않으면 흑색으로 표시된다.

랜드부의 추출 결과에 의한 화상(91)은 원화상(70)에 인접하는 위치, 즉 랜드부의 선단 위치에 표시되고, 랜드부간의 추출 결과에 의한 화상(92)은 인접하는 화상(91) 사이에 표시된다.

제27b도는 패턴의 추출이 양호한 경우의 랜드부에 대하여 원화상(70)과 추출 결과에 의한 화상(91)을 확대하여 나타내는 것이고, 추출 결과에 의한 화상(91)에는 원화상(70)의 적색 영역(P_R1)과 녹색 영역(P_G1)과 청색 영역(P_B1)에 각각 대응하여 이들의 각 색에 대응하는 유사 컬러에 의한 패턴 영역 P_R, P_C, P_B가 나타내어 있다.

제28도는 패턴의 추출이 양호하지 않는 경우의 랜드부에 대하여 원화상(70)과 추출 결과에 의한 화상(91)을 확대하여 나타내는 것이고, 원화상(70)의 적, 녹, 청의 각 색 영역 P_R1, P_G1, P_B1과, 추출 결과에 의한 각 색상의 유사 컬러에 의한 패턴 영역 P_R, P_G, P_B은 완전히 대응되지 않고, 특히 이 예의 경우는 적색 영역(P_R1)과, 흑색의 유사 컬러에 의한 패턴 영역(P_R)이 불일치로 되어 있다. 이러한 표시가 나타냈을때, 상기 고정치 T₁, T₂의 설정이 부적절이다라고 판단할 수 있고, 이들의 값을 재설정하여 같은 화상 비교를 행하게 된다.

이렇게 하여 불량 판정의 모든 부품에 대하여 같은 보정 처리를 실행하고, 스텝(34)에서 종료 코맨드의 입력이 확인되면, 스텝(36)에서 기판(20T)이 반출된다.

이상에서 수정 티칭이 완료하면, 이 기판 검사 장치는 피검사 기판(20T)의 정확한 자동 검사가 가능한 상태로 되고, 제8도에 나타내는 검사 처리로 이동한다.

[산업상의 이용분야]

본 발명에 의한 기판등의 검사 장치 및 그 동작 방법은 상술과 같이, 특히 기판상에 실장된 전자 부품의 땜납의 양부를 자동적으로 판정하는 장치에 적용되고, 전자기기의 기판 조립 공정, 부품 공정등의 자동화, 생략화에 유용하다.

Claims (6)

1. 광의 합성에 의하여 백색광으로 되도록 대파장 발광에너지 분포를 가지는 적색광, 녹색광 및 청색광을 각각 발생하고, 이들의 광을 검사할 곡면체의 표면으로 입사각이 서로 다르도록 투사하는 위치에 배치된 링상의 3종류의 발광체(28, 29, 30)를 포함하는 투광 수단(24)과, 상기의 발광체에서 출사되는 광을 합성했을때에 백색광으로 되도록 각 발광체의 광량을 조정하기 위한 광량 조절 수단(31, 39)과, 검사할 곡면체의 표면에서 반사광상을 촬상하여 색상별의 촬상 패턴을 얻는 촬상 수단(25, 32, 33, 34) 및, 상기 촬상 수단에서 얻어진 촬상 패턴에서 상기 곡면체의 곡면 요소의 성상을 검출하는 처리 수단(26, 35, 36, 38, 39)을 갖춘 곡면성상 검사 장치.
2. 기판(20T)상에 장치된 부품(21T)의 상태를 검사하는 기판 검사 장치에, 부품의 위치 및 부품의 종별을 기판의 검사에 앞서서, 교시하기 위한 교시 방법으로써, 부품(21S)의 위치에 각각 라벨(50, 51)을 부착한 표준 기판(20S)을 상기 기판 검사 장치에 공급하고, 라벨을 촬상시킴으로서 라벨의 점착 위치에 의하여 부품의 위치를 교시하고, 라벨의 색채 또는 형상에 의하여 부품의 종별을 교시하는 기판 검사 장치에 있어서의 교시 방법.
3. 기판(20T)상에 장치된 부품(21T)의 상태를 검사하는 기판 검사 장치에, 부품의 상태의 특징량을 기판 검사에 앞서서 교시하기 위한 교시 방법으로써, 부품(21S)이 정상으로 장치된 복수의 기준 기판(20S)을 상기 기판 검사 장치에 순차 공급하고, 공급된 복수의 기준 기판을 촬상하고, 그 화상에서 부품의 상태의 특징량을 추출하고, 이들 특징량을 통계 처리하고, 그 산출치를 특징량으로서 설정하도록 상기 기판 검사장치를 동작시키는 기판 검사 장치에 있어서의 교시 방법.
4. 기판(20T)상의 장치 부품(21T)을 검사하는 기판 검사 장치에, 부품의 검사 영역을 기판 검사에 앞서서 설정하기 위한 검사 영역 설정 방법으로써, 공급된 기판(20T)을 촬상하여 부품 위치의 화상을 생성하고, 이 화상에 대하여 기판상의 랜드 영역(63, 70)을 포함하는 처리 영역(62A, 62B, 71A∼71D, 73A∼73H)을 초기 설정하고, 그 처리 영역내에서 사영 처리를 시행함으로서 상기 랜드 영역을 추출하고, 추출한 랜드 영역에 외장하는 영역(68A, 68B)을 소정폭 확대하여 부품의 검사 영역(64A, 64B, 72A∼72D, 74A, 74B)을 설정하는 기판 검사 장치에 있어서의 검사 영역 설정 방법.
5. 기판(20T)상에 장치된 복수의 부품(21T)을 촬상하고, 각 부품의 상태를 검사하고, 각 부품의 검사결과를 표시부(41)의 화면상에 표시하는 기판 검사 장치에서, 상기 표시부의 화면상의 한 영역(58)에, 기판상의 각 부품에 대한 위치(65, 66)를 소정의 색채로서 표시하고 불량이라 판단한 부품의 위치(65a, 65b)를 다른 부품 위치와는 다른 색채로서 표시하고, 다른 영역(67, 68)에, 상기 불량 부품에 불량 내용을 동시에 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치에 있어서 검사 결과 표시 방법.
6. 기판(20T)상의 장치 부품(21T)을 촬상하여 얻은 원화상에서 3원색의 색상 패턴을 추출하고, 그 추출결과를 표시 데이타와 비교하여 부품의 상태에 대한 양부를 판정하는 기판 검사 장치에서, 표시부(41)의 화면상에, 상기 원화상(70)과 추출 결과에 의한 화상(91)을 인접시켜 표시하고, 추출 결과에 의한 화상을 각색상 패턴에 대응하는 유사 컬러(P_R1, P_B1, P_G1)를 사용하여 착색하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치에 있어서의 표시 방법.