JP2003269919A - 画像処理型測定機の照明装置 - Google Patents

画像処理型測定機の照明装置

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JP2003269919A
JP2003269919A JP2002065997A JP2002065997A JP2003269919A JP 2003269919 A JP2003269919 A JP 2003269919A JP 2002065997 A JP2002065997 A JP 2002065997A JP 2002065997 A JP2002065997 A JP 2002065997A JP 2003269919 A JP2003269919 A JP 2003269919A
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light
optical system
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illumination
processing type
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JP2002065997A
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Eisuke Moriuchi
栄介 森内
Seiji Shimokawa
清治 下川
Takaharu Akagi
敬治 赤木
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Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光の明るさや色調について安定した照明を実
現できる画像処理型測定機の照明装置を提供する。 【解決手段】 光源を含む照明光学系を有し、この照明
光学系からの光を被測定物に照射し、これによって得ら
れた被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを測
定する画像処理型測定機の照明装置において、前記照明
光学系で得られる明るさとそのときに前記光源に流す電
流との関係を記憶したテーブル６４，６５と、テーブル
６４，６５に記憶された明るさと電流との関係を基に、
照明光学系で得られる明るさが予め設定した設定値にな
るように光源に流す電流を制御する制御手段（ＣＰＵ５
１）とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学系によって得られ
た被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを測定
する画像処理型測定機の照明装置に関する。詳しくは、
被測定物に照射する光の明るさや色調を安定化できるよ
うにした画像処理型測定機の照明装置に関する。
【０００２】
【背景技術】拡大光学系によって被測定物の測定部位を
光学的に拡大し、その拡大画像から被測定物の寸法や形
状などを測定する画像処理型測定機、たとえば、顕微
鏡、投影機、三次元画像測定機などでは、被測定物の拡
大画像を得る上で被測定物に対する照明が極めて重要な
役割を果たす。
【０００３】画像処理型測定機における照明装置として
は、被測定物に対して略真上から光を被測定物に照射す
る垂直落射照明方式のほかに、拡大光学系の光軸に対し
て所定の角度で傾斜した方向から光を被測定物に照射す
る斜め照明方式、被測定物に対して略真下から照明光を
被測定物に照射する透過照明方式などが知られている。
最近、これら照明方式の光源としては、発光ダイオード
（ＬＥＤ）が用いられている。ＬＥＤは、メーカサイド
の製造誤差などの要因により、光度と色調のばらつきが
大きい。そのため、この種のＬＥＤは、光度と色調とを
ランク分けして販売されている（図１１参照）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、購入者にとっ
てみると、ランクを指定して購入しなければならないか
ら、コスト高になるとともに、たとえ、ランクを絞って
購入した場合でも、そのランク内のばらつきは、画像処
理型測定機にとってきわめて大きな影響を与える。たと
えば、ＬＥＤの明るさが異なると、画像処理型測定機間
でパートプログラムの互換性が確保できない。
【０００５】また、色の異なる赤、緑、青色ＬＥＤが発
光する各色光を合成し、被測定物を照明する場合、合成
色光の明るさを変えると、同じ色調が再現できない場合
がある。一般的に、ＬＥＤの明るさを制御する方法は、
素子に流す順電流を変化させ、発光光度、すなわち、照
明の明るさを制御させている。しかし、ＬＥＤの光度特
性は電流変化に対して非線形であるため（図１２参
照）、たとえば、異なる色のＬＥＤの電流値を等しいピ
ッチで変化させると、各色光の合成比率が変化するた
め、合成された色はある特定の色調を再現できない。こ
の色調変化は、光学素子の収差の影響を受け、測定精度
を低下させる要因となる。
【０００６】本発明の目的は、このような従来の問題を
解消し、光の明るさや色調について安定した照明を実現
できる画像処理型測定機の照明装置を提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の画像処理型測定機の照明装置は、次の構成
を採用している。請求項１に記載の画像処理型測定機の
照明装置は、光源を含む照明光学系を有し、この照明光
学系からの光を被測定物に照射し、これによって得られ
た被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを測定
する画像処理型測定機の照明装置において、前記照明光
学系で得られる明るさとそのときに前記光源に流す電流
との関係を記憶した記憶手段と、前記記憶手段に記憶さ
れた明るさと電流との関係を基に、照明光学系で得られ
る明るさが予め設定した設定値になるように前記光源に
流す電流を制御する制御手段とを備えたことを特徴とす
る。この構成によれば、記憶手段には、照明光学系で得
られる明るさとそのときに光源に流す電流との関係が記
憶されているから、この記憶手段に記憶された明るさと
電流との関係を基に、光源に流す電流を制御することに
より、照明光学系で得られる明るさ、つまり、被測定物
に照射される光の明るさを予め設定した設定値になるよ
うに制御することができる。従って、光源の光度のばら
つきによる影響を抑え、安定した明るさでの照明を実現
でき、画像処理型測定機間でのパートプログラムの互換
性も確保できる。
【０００８】請求項２に記載の画像処理型測定機の照明
装置は、請求項１に記載の画像処理型測定機の照明装置
において、前記照明光学系の光源は、発光ダイオードに
よって構成され、前記記憶手段には、前記照明光学系で
得られる明るさとそのときに前記発光ダイオードに流す
順電流との関係が、異なる明るさを基準として複数設定
されていることを特徴とする。この構成によれば、請求
項１で述べた効果に加え、メーカサイドにより、ランク
分けして販売されているＬＥＤについても、ランクの低
いものを購入しても、安定した明るさでの照明を実現で
きるから、安価にできる。
【０００９】請求項３に記載の画像処理型測定機の照明
装置は、請求項１に記載の画像処理型測定機の照明装置
において、前記照明光学系の光源は、赤、緑、青色の発
光ダイオードによって構成され、 前記記憶手段には、
前記各発光ダイオード毎に、その各発光ダイオードが点
灯した状態において前記照明光学系で得られる明るさと
そのときに前記発光ダイオードに流す順電流との関係
が、異なる明るさを基準として複数設定されていること
を特徴とする。この構成によれば、照明光学系の光源と
して、赤、緑、青色の発光ダイオードを備えているか
ら、これらのうちから任意の色の発光ダイオードを選択
することにより、被測定物に照射される光の色を任意の
色に変化させることができる。従って、被測定物の多様
化に対応でき、被測定物の画像を正確に取り込むことが
できる。しかも、記憶手段には、各発光ダイオード毎
に、その各発光ダイオードが点灯した状態において照明
光学系で得られる明るさとそのときに発光ダイオードに
流す順電流との関係が、異なる明るさを基準として複数
設定されているから、いずれの色の光を被測定物に照射
して測定を行っても、安定した明るさでの照明を実現で
きる。
【００１０】請求項４に記載の画像処理型測定機の照明
装置によれば、請求項１に記載の画像処理型測定機の照
明装置において、前記照明光学系の光源は、赤、緑、青
色の発光ダイオードによって構成され、前記記憶手段に
は、赤、緑、青色光による合成色光を得るために、前記
各発光ダイオードからの光の照度比率が一定の関係とな
るように、各発光ダイオードに流す電流が設定され、か
つ、合成色光の異なる明るさを基準として複数設定され
ていることを特徴とする。この構成によれば、請求項３
で述べた効果に加え、３つの色の発光ダイオードからの
光を合成することによって、任意の色を作ることができ
る。しかも、記憶手段には、赤、緑、青色光による合成
色光を得るために、各発光ダイオードからの光の照度比
率が一定の関係となるように、各発光ダイオードに流す
電流が設定され、かつ、合成色光の異なる明るさを基準
として複数設定されているから、合成色光の明るさを変
化させても、各発光ダイオードからの光の照度比率が一
定の関係に保たれるから、常に同じ色調を得ることがで
きる。
【００１１】請求項５に記載の画像処理型測定機の照明
装置は、請求項４に記載の画像処理型測定機の照明装置
において、前記記憶手段には、赤、緑、青色光による合
成白色光を得るために、前記各発光ダイオードからの光
の照度比率が一定の関係となるように、各発光ダイオー
ドに流す電流が設定され、かつ、合成白色光の異なる明
るさを基準として複数設定されていることを特徴とす
る。この構成によれば、３つの色の発光ダイオードから
の光を合成することによって、合成白色光を作ることが
でき、その合成白色光の明るさを変化させても、各発光
ダイオードからの光の照度比率が一定の関係に保たれる
から、常に同じ色調の合成白色光を得ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明に係る画像処理型測定機の
照明装置の好適な実施形態について、添付の図面を参照
しながら詳細に説明する。図１は本実施形態に係る画像
処理型測定機を示す正面図である。この画像処理型測定
機は、測定機本体１と、この測定機本体１に前後左右方
向へ移動可能に設けられ上面に被測定物を載置するステ
ージ２と、測定機本体１にステージ２に対して上下方向
へ昇降可能に設けられた光学系ユニット３とを備え、光
学系ユニット３で得られた被測定物の画像から被測定物
の寸法や形状などを測定する。
【００１３】光学系ユニット３は、図２に示すように、
筺体１１を有する。筺体１１の下面側の筒部１１Ａに
は、光軸Ｌ１方向（図１の上下方向）へ変位可能に設け
られた対物レンズホルダ１２を介して対物レンズ１３が
設けられている。筒部１１Ａと対物レンズホルダ１２と
の間には、対物レンズホルダ１２を光軸Ｌ１方向へ移動
させる駆動機構としてのアクチュエータ１４が設けられ
ている。アクチュエータ１４は、筒部１１Ａ側に固定さ
れたマグネット１５と、対物レンズホルダ１２側に固定
されたコイル１６とから構成されている。
【００１４】筺体１１の上面側には、ＣＣＤカメラ１７
および照明光導入筒１８がそれぞれ取り付けられてい
る。ＣＣＤカメラ１７は、対物レンズ１３の光軸Ｌ１上
に配置され、その対物レンズ１３から出射された光に基
づく被測定物の像を観察可能な観察光学系を構成してい
る。筺体１１内には、照明光導入筒１８に光ファイバな
どを介して接続される照明光学系３１から出射された光
を直角にかつ光軸Ｌ１に向かって反射させるミラー２１
と、光軸Ｌ１上においてミラー２１からの反射光を対物
レンズ１３に反射させるビームスプリッタ２２と、光軸
Ｌ１上においてビームスプリッタ２２とＣＣＤカメラ１
７との間に配置されたレンズ２３とがそれぞれ設けられ
ている。
【００１５】照明光学系３１は、図３に示すように、筺
体３２を備える。筺体３２の内部には、赤、緑、青色の
光を出す光源としての発光ダイオード（ＬＥＤ）３３
Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂが収納配置されている。なお、これ
ら各ＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂは、単体でもよく、
複数個の素子を１つにまとめてユニット化したものでも
よい。ＬＥＤ３３Ｇの光軸Ｌ２上には、ビームスプリッ
タ３５、レンズ３６およびビームスプリッタ３７が順に
配置されている。ビームスプリッタ３５には、光軸Ｌ２
に対して直角方向から、ＬＥＤ３３Ｂからの光が入射さ
れている。ビームスプリッタ３７には、光軸Ｌ２に対し
て直角方向から、ＬＥＤ３３Ｒからの光がミラー４０お
よびレンズ４１を介して入射されている。
【００１６】図４は本実施形態にかかる画像処理型測定
機の制御装置を示すブロック図である。同制御装置は、
制御手段としてのＣＰＵ５１を備える。ＣＰＵ５１に
は、表示制御部５２を介してＣＲＴ５３が、ＬＥＤドラ
イバ５４〜５６を介してＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂ
がぞれぞれ接続されている。また、指令入力部６１、Ｃ
ＣＤカメラ１７、ステージ２のＸＹ軸方向の位置および
光学系ユニット３（対物レンズ１３）のＺ軸方向の位置
を検出するＸ，Ｙ，Ｚエンコーダ６２、メモリ６３がそ
れぞれ接続されている。メモリ６３には、発光ダイオー
ド別照明制御テーブル６４と、合成色光照明制御テーブ
ル６５とが設けられている。
【００１７】発光ダイオード別照明制御テーブル６４に
は、図５に示すように、各ＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３
Ｂ毎に、その各ＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂが点灯し
た状態において照明光学系３１で得られる明るさとその
ときにＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂに流す順電流との
関係が、異なる明るさ（Ｗ１０〜Ｗ１００）を基準とし
て複数設定されている。合成色光照明制御テーブル６５
には、図６に示すように、赤、緑、青色光による合成色
光（合成白色光）を得るために、各ＬＥＤ３３Ｒ，３３
Ｇ，３３Ｂからの光の照度比率が一定の関係となるよう
に、各ＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂに流す電流が設定
され、かつ、合成白色光の異なる明るさ（Ｗ１０〜Ｗ１
００）を基準として複数設定されている。
【００１８】ちなみに、これらテーブル６４，６５の作
成方法としては、図７に示す方法により行うことができ
る。これは、照明光学系３１に対して、その光源の電流
を制御する制御装置７１を接続するとともに、照明光学
系３１からの光を受ける位置に色彩照度計などのセンサ
７２を配置し、そのセンサ７２で計測した照度をパソコ
ン（ＰＣ）７３に取り込む。パソコン７３は、センサ７
２からの照度が予め設定した照度に達した時点で、制御
装置７１から電流値（光源に流している電流値）を取り
込み、照度と電流値との関係を表すテーブルを作成す
る。たとえば、図８に示すように、照明光学系を有する
装置Ａ，Ｂ，Ｃについて、照度と電流値との関係を表す
テーブルを作成し、このテーブルを用いて光源電流を制
御する。
【００１９】以上の構成において、被測定物に対して、
赤、緑、青色光のいすれか単色を照射する場合には、図
５に示す発光ダイオード別照明制御テーブル６４を用い
て、いずれかのＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂに流す電
流を制御する。また、赤、緑、青色光による合成白色光
を照射する場合には、図６に示す合成色光照明制御テー
ブル６５を用いて、各ＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂに
流す電流を制御する。これらＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３
３Ｂから出射された光は、筺体１１内において、ミラー
２１で反射されたのち、ビームスプリッタ２２で反射さ
れて対物レンズ１３を通じてステージ２上に載置された
被測定物に照射される。被測定物からの光は、対物レン
ズ１３およびビームスプリッタ２２を通ったのち、レン
ズ２３の倍率に拡大または縮小され、ＣＣＤカメラ１７
に結像される。
【００２０】ここで、ＣＰＵ５１は、ＣＣＤカメラ１７
で撮像された各画素のコントラスト値を基にアクチュエ
ータ１４を駆動させ、対物レンズ１３を光軸Ｌ１方向へ
変位させてフォーカスを合わせる。この状態において、
ＣＣＤカメラ１７で撮像された被測定物の画像から被測
定物の寸法や形状などを測定する。
【００２１】従って、本実施形態によれば、メモリ６３
の発光ダイオード別照明制御テーブル６４には、照明光
学系３１で得られる明るさとそのときに各ＬＥＤ３３
Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂに流す電流との関係が記憶されてい
るから、この発光ダイオード別照明制御テーブル６４に
記憶された明るさと電流との関係を基に、各ＬＥＤ３３
Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂに流す電流を制御することにより、
被測定物に照射される光の明るさを予め設定した設定値
になるように制御することができる。
【００２２】よって、光源の光度のばらつきによる影響
を抑え、安定した明るさでの照明を実現でき、画像処理
型測定機間でのパートプログラムの互換性も確保でき
る。また、このことは、各ＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３
Ｂが劣化しても、発光ダイオード別照明制御テーブル６
４および合成色光照明制御テーブル６５の値を、図７の
方法により測定して書き換えれば、ＬＥＤ３３Ｒ，３３
Ｇ，３３Ｂの校正も可能である。
【００２３】特に、メーカサイドにより、ランク分け
（光度ランクおよび色調ランク分け）して販売されてい
るＬＥＤについても、ランクの低いものを購入しても、
安定した明るさでの照明を実現できるから、安価にでき
る。
【００２４】また、照明光学系３１の光源として、赤、
緑、青色の光を出すＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂを備
えているから、これらのうちから任意の色のＬＥＤ３３
Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂを選択することにより、更に、３つ
のＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂからの光を合成するこ
とによって、被測定物に照射される光の色を任意の色に
変化させることができる。従って、被測定物の多様化に
対応でき、被測定物の画像を正確に取り込むことができ
る。
【００２５】しかも、合成色光照明制御テーブル６５に
は、赤、緑、青色光による合成白色光を得るために、各
ＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂからの光の照度比率が一
定の関係となるように、各ＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３
Ｂに流す電流が設定され、かつ、合成白色光の異なる明
るさを基準として複数設定されているから、合成白色光
の明るさを変化させても、各ＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３
３Ｂからの光の照度比率が一定の関係に保たれるから、
常に同じ色調（白色）の合成白色光を得ることができ
る。
【００２６】ちなみに、図６に示すデータを用いて、各
ＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂに流す電流を変化させ、
照明光学系３１の明るさを段階的に変化させたときの色
度座標値を測定した。その測定結果を図９に示す。この
図からも、光源のばらつきによる影響を抑え、安定した
色調での照明を実現できることが判る。
【００２７】以上、本発明について好適な実施形態を挙
げて説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種
々の改良並びに設計の変更が可能なことは勿論である。
たとえば、前記実施形態では、照明光を被測定物の真上
から照射する、落射照明に適用した例を示したが、本発
明は、これに限らず、透過照明、斜め照明、リング照明
などにも応用することができる。
【００２８】透過照明としては、たとえば、図１０に示
すＬＥＤユニットを用いることができる。このＬＥＤユ
ニットは、単一の白色ＬＥＤ３３Ｗと、これら白色ＬＥ
Ｄ３３Ｗからの光を直角方向（ステージ２へ向かって上
方）へ反射させるミラー８２と、このミラー８２の反射
側に配置されたレンズ８４と、これらを保持する筺体８
５とを備える。この場合には、白色ＬＥＤ３３Ｗに流す
電流とそのときの光の明るさとを対応させた照明制御テ
ーブルを設けておき、この照明制御テーブルに基づいて
白色ＬＥＤ３３Ｗに流す電流を制御すればよい。なお、
図１０に示すＬＥＤユニットにおいて、光源としては、
複数の白色ＬＥＤを用いてもよく、あるいは、３色の光
を出すＬＥＤを用いてもよい。
【００２９】また、前記実施形態では、光源として、３
色の光を出すＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂを備え、こ
れらＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂからの光を合成して
合成白色光を作るようにしたが、各ＬＥＤ３３Ｒ，３３
Ｇ，３３Ｂからの光の比率を変えて白色光以外の任意の
色を作るようにしてもよい。また、光源としては、３色
の光を出すＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂを必ずしも備
える必要がなく、一色のみのＬＥＤでもよく、更に、Ｌ
ＥＤに限らず、他の光源、たとえば、ハロゲンランプな
どでもよい。
【００３０】また、前記実施形態では、各ＬＥＤ３３
Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂ毎に、その各ＬＥＤ３３Ｒ，３３
Ｇ，３３Ｂが点灯した状態において照明光学系３１で得
られる明るさとそのときにＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３
Ｂに流す順電流との関係が、異なる明るさ（Ｗ１０〜Ｗ
１００）を基準として複数設定された発光ダイオード別
照明制御テーブル６４、あるいは、赤、緑、青色光によ
る合成色光（合成白色光）を得るために、各ＬＥＤ３３
Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂからの光の照度比率が一定の関係と
なるように、各ＬＥＤ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂに流す電
流が設定され、かつ、合成白色光の異なる明るさ（Ｗ１
０〜Ｗ１００）を基準として複数設定された合成色光照
明制御テーブル６５を用いたが、これらの関係を近似式
として記憶させてもよく、あるいは、グラフとして記憶
させるようにしてもよい。
【００３１】また、前記実施形態では、筺体１１の照明
導入筒１８に光ファイバなどを介して照明光学系３１を
接続するようにしたが、筺体１１の照明導入筒１８に照
明光学系３１を直接固定するようにしてもよい。また、
前記実施形態では、アクチュエータ１４によって、対物
レンズ１３を筺体１１に対して光軸Ｌ１軸方向へ移動さ
せるようにしたが、図２に示す光学系全体、つまり、光
学系ユニット３の全体をモータなどで光軸Ｌ１軸方向へ
移動させるようにしてもよい。また、本発明は、前記実
施形態で述べた構造の画像処理型測定機に限らず、顕微
鏡、投影機、三次元画像測定機などの他の形式の光学式
測定機にも適用できる。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の画像処理
型測定機の照明装置によれば、光の明るさや色調につい
て安定した照明を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る画像処理型測定機を示
す正面図である。
【図２】同上実施形態に係る光学系部分の断面図であ
る。
【図３】同上実施形態に係る照明装置の断面図である。
【図４】同上実施形態に係る画像処理型測定機のブロッ
ク図である。
【図５】同上実施形態において、発光ダイオード別照明
制御テーブルを示す図である。
【図６】同上実施形態において、合成色光照明制御テー
ブルを示す図である。
【図７】同上実施形態において、発光ダイオード別照明
制御テーブルおよび合成色光照明制御テーブルを作成す
る際の装置構成を示す図である。
【図８】図７の装置によって得られたテーブルの例を示
す図である。
【図９】図６に示すデータを用いて明るさを変化させた
ときの色度座標値を測定した結果を示す図である。
【図１０】同上実施形態において、照明光学系の他の例
を示す図である。
【図１１】ＬＥＤの光度ランク、色調ランクを例示した
図である。
【図１２】ＬＥＤの順電流と相対光度との関係を示す図
である。
【符号の説明】
３１ 照明光学系 ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂ，３３Ｗ ＬＥＤ（光源） ５１ ＣＰＵ（制御手段） ６３ メモリ ６４ 発光ダイオード別照明制御テーブル ６５ 合成色光照明制御テーブル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 赤木 敬治 神奈川県川崎市高津区坂戸１−20−１ 株 式会社ミツトヨ内 Ｆターム(参考） 2F065 AA01 AA20 AA21 AA51 BB05 EE04 FF04 FF67 GG07 GG23 HH13 JJ03 JJ26 LL02 LL12 LL37 NN02 NN20 PP02 PP12 PP23 PP24 QQ31 RR06 UU01 2H052 AC04 AC26 AC28 AC30 AC33 5F041 AA10 AA41 DA92 EE12 EE23 FF11

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 光源を含む照明光学系を有し、この照明
    光学系からの光を被測定物に照射し、これによって得ら
    れた被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを測
    定する画像処理型測定機の照明装置において、 前記照明光学系で得られる明るさとそのときに前記光源
    に流す電流との関係を記憶した記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された明るさと電流との関係を基
    に、照明光学系で得られる明るさが予め設定した設定値
    になるように前記光源に流す電流を制御する制御手段と
    を備えたことを特徴とする画像処理型測定機の照明装
    置。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載の画像処理型測定機の照
    明装置において、 前記照明光学系の光源は、発光ダイオードによって構成
    され、 前記記憶手段には、前記照明光学系で得られる明るさと
    そのときに前記発光ダイオードに流す順電流との関係
    が、異なる明るさを基準として複数設定されていること
    を特徴とする画像処理型測定機の照明装置。
  3. 【請求項３】 請求項１に記載の画像処理型測定機の照
    明装置において、 前記照明光学系の光源は、赤、緑、青色の発光ダイオー
    ドによって構成され、 前記記憶手段には、前記各発光ダイオード毎に、その各
    発光ダイオードが点灯した状態において前記照明光学系
    で得られる明るさとそのときに前記発光ダイオードに流
    す順電流との関係が、異なる明るさを基準として複数設
    定されていることを特徴とする画像処理型測定機の照明
    装置。
  4. 【請求項４】 請求項１に記載の画像処理型測定機の照
    明装置において、 前記照明光学系の光源は、赤、緑、青色の発光ダイオー
    ドによって構成され、前記記憶手段には、赤、緑、青色
    光による合成色光を得るために、前記各発光ダイオード
    からの光の照度比率が一定の関係となるように、各発光
    ダイオードに流す電流が設定され、かつ、合成色光の異
    なる明るさを基準として複数設定されていることを特徴
    とする画像処理型測定機の照明装置。
  5. 【請求項５】 請求項４に記載の画像処理型測定機の照
    明装置において、 前記記憶手段には、赤、緑、青色光による合成白色光を
    得るために、前記各発光ダイオードからの光の照度比率
    が一定の関係となるように、各発光ダイオードに流す電
    流が設定され、かつ、合成白色光の異なる明るさを基準
    として複数設定されていることを特徴とする画像処理型
    測定機の照明装置。
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