JP4248216B2 - 画像測定機のカラー画像作成装置およびカラー画像合成方法 - Google Patents

画像測定機のカラー画像作成装置およびカラー画像合成方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4248216B2
JP4248216B2 JP2002287257A JP2002287257A JP4248216B2 JP 4248216 B2 JP4248216 B2 JP 4248216B2 JP 2002287257 A JP2002287257 A JP 2002287257A JP 2002287257 A JP2002287257 A JP 2002287257A JP 4248216 B2 JP4248216 B2 JP 4248216B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
color
electrical signal
signal data
red
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2002287257A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004126768A (ja
Inventor
信一 上野
康雄 杉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP2002287257A priority Critical patent/JP4248216B2/ja
Publication of JP2004126768A publication Critical patent/JP2004126768A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4248216B2 publication Critical patent/JP4248216B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • G01B11/005Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
    • G01B11/007Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines feeler heads therefor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Image Input (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Color Television Image Signal Generators (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学系によって得られた被測定物の画像から被測定物の寸法や形状を測定する画像測定機のカラー画像作成装置およびカラー画像合成方法に関する。詳しくは、白黒電荷結合素子(白黒CCD)で撮影した撮影画像をカラー画像に合成する画像測定機のカラー画像作成装置およびカラー画像合成方法に関する。
【0002】
【背景技術】
光学系によって被測定物の測定部位を光学的に結像し、その像を観察するための光学顕微鏡や、像から被測定物の形状や寸法等を検査、測定するための画像処理型測定機、例えば、測定顕微鏡、工具顕微鏡、投影機、三次元画像測定機等が知られている。これらの三次元画像測定機等では、被測定物の画像を鮮明に得ることが必須条件であり、この条件を満たすために、被測定物の撮影に白黒CCD(白黒電荷結合素子)を用いることが行われる。
撮影に白黒CCDを使用した場合、高い分解能(解像度)で画像が得られるため、被測定物上の点、線、円等の位置検出を高い精度で測定することができ、しかも低価格ですむ。これに対して、カラーCCDを使用した場合、被測定物の光反射率の表面物性と色彩の両方の情報を含んでいるため、画像信号の明るさの違いや色の違いを利用して、光反射率や色の異なる領域の境界線を観察したり、特定の色の領域を観察したりすることができる。従って、よりリアルな画像を映すことで、被測定物の状態を明確に把握することができる。
従来、被測定物の画像を得るため、白黒CCDを用いて、カラー画像で観察するという技術思想の下に開発されたものの一つとして、例えば、スキャナ装置が知られている(特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開2002−77534号公報(第2、3頁、図7)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
前記特許文献1のスキャナ装置では、フラットベッド上に置かれた原稿に対して、赤、緑および青色の像を生成するためのカラーLEDアレイから光が照射され、これらの光は、フラットベッドで反射された後、レンズモジュールで結像され、これらの赤、緑および青色の像は、白黒CCDで赤、緑および青色の像の信号として変換される構成となっている。
前記スキャナ装置では、フラットベッド上に置かれた原稿に対して、常に同一条件で、つまり、それぞれ、赤、緑および青色が持つ色合いで照明光を照射している。そのため、照明のばらつきや、カラーLEDアレイの経時変化により、赤、緑および青色の比率が変化したときや、原稿に応じて照明光の明るさを変えたとき等に対応できず、その結果、色バランスが崩れやすく、合成色の色が一定にならないという問題がある。
【0005】
本発明の目的は、白黒CCDを使用して色バランスがよく合成色の色が一定のカラー画像を得ることができる画像測定機のカラー画像作成装置およびカラー画像合成方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の画像測定機のカラー画像作成装置は、次の構成を採用する。
本発明の請求項1に記載の画像測定機のカラー画像作成装置は、赤色、緑色、青色の照明光を選択的に出力可能な照明光学系を有し、この照明光学系からの照明光を被測定物に照射して得られる被測定物の画像から被測定物の寸法や形状を測定する画像測定機のカラー画像作成装置において、前記被測定物の画像を電気信号に変換する白黒電荷結合素子と、前記被測定物に赤色の照明光を照射したときに前記白黒電荷結合素子で得られる赤色画像電気信号データ、前記被測定物に緑色の照明光を照射したときに前記白黒電荷結合素子で得られる緑色画像電気信号データ、および、前記被測定物に青色の照明光を照射したときに前記白黒電荷結合素子で得られる青色画像電気信号データをそれぞれ記憶する画像電気信号データ記憶手段と、前記画像電気信号データ記憶手段に記憶された赤色画像電気信号データ、緑色画像電気信号データ、および、青色画像電気信号データを合成してカラー画像とする際のカラーバランス比率を予め設定記憶したカラーバランス比率記憶手段と、前記カラーバランス比率記憶手段に記憶されたカラーバランス比率に基づいて、前記画像電気信号データ記憶手段に記憶された赤色画像電気信号データ、緑色画像電気信号データ、および、青色画像電気信号データを合成する画像電気信号データ合成手段と、を備え、前記照明光学系は、前記白黒電荷結合素子の光路前段に設けられた対物レンズの光軸の回りに配置され、赤色、緑色、青色の発光色を有する3種類からなる複数の発光素子を光源として備え、前記光源を構成する発光素子のうち同一種類の発光素子群は、前記光軸と略直交する同一の平面内に、当該光軸の周囲に沿ってリング状に配列され、前記発光素子の発光方向前方には、当該発光素子から出射され、互いに異なる発光色を有する出射光を合成し、所定の色合いを有する照明光を生成するミラー群が設けられ、前記生成された照明光の進行方向前方には、当該照明光を前記光軸に沿った所定の位置に集光する反射鏡が設けられ、前記発光色が異なるリング状に配列された発光素子群は、互いに前記光軸方向に沿って所定の間隔を隔てて配置され、かつ、発光方向を前記光軸から離れる方向へ向けて配置されていることを特徴とするものである。
【0007】
この本発明によれば、白黒電荷結合素子で撮影された被測定物の画像をカラー画像にする際に、赤色画像電気信号データ、緑色画像電気信号データ、および、青色画像電気信号データを基に、予め設定され各色ごとの標準の照度となったカラーバランス比率に基づいて合成されるので、各色照明光の明るさの違い(差異)等に影響されずに合成することができる。従って、白黒電荷結合素子で撮影した画像を色バランスがよく合成色の色が一定となったよりリアルな画像で映すことができるようになって観察がしやすくなり、その結果、被測定物の形状等を明確に把握することができる。
また、例えばカラーCCDカメラでは、CCD上に設置されたカラーフィルター、または3CCDカメラにおけるプリズムブロック等により、赤色、緑色、および青色に分光されるため、その分、画面が暗くなるが、本発明では、カラーフィルターやプリズムブロックを使用しないので、明るい画像を得ることができる。
【0008】
請求項2に記載の画像測定機のカラー画像作成装置は、請求項1に記載のカラー画像作成装置において、前記カラーバランス比率記憶手段のカラーバランスの比率は、白色の対象物上で、前記赤色、緑色、青色をそれぞれ照射して得られる赤色データ、緑色データ、および、青色データのグレースケールの平均がほぼ同じとなるように演算して求められるものであることを特徴とするものである。
この構成によれば、それぞれの色についてグレースケールの平均がほぼ同じとなるようにカラーバランスの比率が求められ、常に各色の濃さを一定にすることができるので、被測定物へ照明光を照射する際の各色照明の明るさの違い(差異)、被測定物に応じて照明光の明るさを変えたとき等にも柔軟に対応でき、その結果、赤色画像電気信号データ、緑色画像電気信号データ、および、青色画像電気信号データを合成する際に、常に合成色の色を一定にすることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る画像測定機のカラー画像作成装置の好適な実施形態を挙げ、図面に基づいて詳しく説明する。
図1には、画像測定機1が示されており、この画像測定機1は、本発明のカラー画像作成装置51(図5参照)を備えて構成されている。カラー画像作成装置51は、白黒電荷結合素子である白黒CCDカメラ11(図5参照)で撮影した被測定物であるワークWの画像をカラーに合成して、カラーで観察できるようにしたものである。
【0013】
まず、画像測定機1を説明する。画像測定機1は、測定機本体2と、測定機本体2に設けられた照明光学系を有する撮像ユニット10と、測定機本体2等を制御する制御装置50と、測定結果を表示するCRT等の表示部57(図5参照)とを備え、撮像ユニット10で得られたワークWの画像から当該ワークWの寸法や、エッジ部等の形状を測定し、表示することができるようになっている。
【0014】
測定機本体2は基台4を備え、この基台4上には、上面に前記ワークWを載置するテーブル3が設けられている。テーブル3は、図示しないY軸駆動機構によってY軸方向(図1中、紙面直交方向;奥行き方向)に駆動される。また、基台4の両側縁ほぼ中央部には、上方に延びる支持アーム5が設けられ、これらの支持アーム5には、その両上端部にX軸ガイド6が架けわたされている。X軸ガイド6の例えば前面には、前記撮像ユニット10が設けられている。撮像ユニット10は、図示しないX軸駆動機構によって、X軸ガイド6に沿ってX軸方向(Y軸方向と直交方向;左右方向)に駆動される。
【0015】
撮像ユニット10の内部には、図1には図示しないがワークWの画像を電気信号に変換する前記白黒CCDカメラ11(図5参照)が設けられ、この白黒CCDカメラ11の下方には対物レンズ7が設けられている。そして、この対物レンズ7は、前記テーブル3の上面と対向している。また、撮像ユニット10の内部には、照明光学系を構成するリング照明装置15(図2〜4参照)の他、フォーカシング機構(図略)および白黒CCDカメラ11のZ軸方向(X軸、Y軸方向と垂直面内で直交する方向;上下方向)の位置を移動させるZ軸駆動機構(図略)が設けられている。
【0016】
前記リング照明装置15は、図2〜4に示すような構造となっている。
すなわち、リング照明装置15は、画像測定機1の前記テーブル3上のワークWを照らす照明に用いられ、前記対物レンズ7に取り付けられている。リング照明装置15は、対物レンズ7を囲み、当該対物レンズ7の光軸7Aの回りに全体リング状に形成されたケース16と、このケース16の内側で対物レンズ7に近接する側に取り付けられた光源ボックス17とを備えて構成されている。光源ボックス17の内部には、光源としての複数の発光ダイオード20と、ミラー群30とが設けられ、光源ボックス17の回りには、集光するための反射鏡40が配置されている。また、図3中対物レンズ7は、ワークWと所定の測定距離を離して垂直方向の位置を決められており、この際、対物レンズ7に取り付けられたリング照明装置15と、ワークWとの距離(作動距離)に応じた照明角度θ1でワークWに照明光を照射している。
【0017】
ケース16は、金属板材等から加工され、その中央部を図3中上下に貫通するレンズ挿通孔16Aを備えて、図3中下方に開口したリング状に形成されている。ケース16のレンズ挿通孔16Aは、対物レンズ7を余裕を持って挿通できる内径寸法を備えており、ケース16には、対物レンズ7を挿通した状態でリング照明装置15を対物レンズ7に取り付けるための図示しない取付部が設けられている。この取付部としては、例えば、対物レンズ7に向かって進退可能に支持された3本のねじが適用できる。
【0018】
光源ボックス17は、ケース16と同様の金属板材等から加工され、略矩形の角部が面取りされた平面略八角形状の箱状部材であり、対物レンズ7から離れた側の4面には、光軸7Aと略直交する平面に沿ったスリット18が設けられている。
光源ボックス17の内部には、3種類の発光色(赤色;R色、緑色;G色、青色;B色)を有する発光ダイオード20が、それぞれの種類ごとに配列されている。各色の発光ダイオード20は、光軸7Aに沿って、赤色発光ダイオード21、緑色発光ダイオード22および青色発光ダイオード23が、図3中上から順に所定の間隔を隔て、かつ、それぞれが光軸7Aと略直交する平面内に、光軸7Aを中心として平面略矩形状に配列されている。赤、緑、青各色の発光ダイオード21,22,23は、平面略矩形状の各辺に沿って7個ずつ並べられ、それぞれが各辺に略直交し光軸7Aから離れる方向に発光方向を向けて配置されている。
各色の発光ダイオード20は、発光する照明光の発散角が所定の角度(例えば、20°)になるよう発光方向先端に集光レンズが取り付けられたもので、図示しない制御回路および電源に接続されている。
【0019】
各色の発光ダイオード20の発光方向前方には、3種類のミラー31,32,33から構成されるミラー群30が配置されており、それぞれのミラー31,32,33は、略長方形の平板状に形成され、それらの長手方向が赤、緑、青各色の発光ダイオード21,22,23の列と略平行にされ、長手方向の長さが平面略矩形状に配列された発光ダイオード20の各辺の長さと略等しくされている。また、ミラー31,32,33は、光軸7Aに沿った断面方向に関して、光軸7Aと略45°傾斜して設置されている。
【0020】
ミラー31は、反射ミラーであり、赤色発光ダイオード21から出射された出射光を光軸7Aに沿ってワークWの方向へ反射するように設置されている。
ミラー32,33はそれぞれ、ダイクロイックミラーであり、所定の波長より短い波長の光を反射し、当該所定の波長より長い波長の光を透過する特性、または所定の波長より短い波長の光を透過し、当該所定の波長より長い波長の光を反射する特性を有している。すなわち、ミラー32,33は、光の波長に応じた反射から透過、または、透過から反射の特性移行の回数が所定の波長における1回のみのダイクロイックミラーである。
【0021】
ミラー32は、ミラー31で反射された赤色の光を透過し、緑色発光ダイオード22から出射された赤色の光よりも波長の短い緑色の出射光を光軸7Aに沿ってワークWの方向へ反射するように設置されている。
ミラー33は、ミラー32を透過した赤色の光およびミラー32で反射された緑色の光を反射し、青色発光ダイオード23から出射された赤色や緑色の光よりも波長の短い青色の出射光を透過するように設置されている。
【0022】
ミラー33で反射された赤色および緑色の光と、ミラー33を透過した青色の光とが、合成された照明光の進行方向、すなわち、光軸7Aと略直交する平面上で光軸7Aから離れる方向の前方には、反射鏡40が設置されている。この反射鏡40は、光源ボックス17の平面矩形状の各辺とケース16との間に設けられ、ケース16内に設けられた図示しない駆動装置によって、光軸7Aに沿って光源ボックス17との相対位置を移動可能とされている。
【0023】
反射鏡40は、金属製の反射鏡本体41からなり、光軸7Aと対向する側の側面が鏡面仕上げされ、光を反射する反射面42とされている。この反射面42は、照明光をワークWの方向へ反射するように、光軸7Aに沿った断面方向に関して、光軸7Aから離れる方向に凸状の曲率が形成されている。また、光軸7Aと略直交する平面方向に関しても、略矩形状に配列された発光ダイオード20の発光方向と略平行に、光軸7Aから離れる方向に進行する照明光を、光軸7Aの方向へ反射するように、光軸7Aから反射鏡40までの距離の略2倍の半径を有し、光軸7Aから離れる方向に凸状の曲率が形成されている。
【0024】
以上のリング照明装置15は次のように操作される。
まず、ワークWの大きさや形状、測定範囲に応じて設定される測定距離に対物レンズ7を位置調整し、リング照明装置15を対物レンズ7に取り付ける。
ワークWの色合いに応じて、照明光の色合いを調節するには、光源として配列された赤、緑、青各色の発光ダイオード21,22,23のうち、適切な色の発光ダイオード20を選択し、点灯または消灯制御を行う。
すなわち、赤、緑、青各色の発光ダイオード21,22,23を全て点灯すれば、ミラー群30によって合成される照明光は白色となり、いずれか1色のみを点灯すれば、当該1色の照明光となる。また、赤、緑、青各色の発光ダイオード21,22,23のうち、いずれか2色を選択し点灯すれば、当該選択された2色が合成された照明光となる。さらに、選択したいずれかの発光ダイオード21,22,23を部分的に点灯または消灯すれば、中間色の照明光を合成することもできる。
【0025】
また、リング照明装置15は、ワークWの被測定面の形状により適切な照明角度を考慮し、例えば、表面に凹凸の多いワークWにおいて凹凸のエッジを検出したい場合には大きな照明角度θ2に設定する調節手段を備えている。すなわち、照明装置本体としてのケース16および光源ボックス17に対して相対移動可能に取り付けられた反射鏡40を、図3中二点鎖線で示すように、光軸7Aに沿ってワークWから離れる方向へ移動するとともに、対物レンズ7へのリング照明装置15の取付位置をワークWに近い位置とする。このようにすることで、光源ボックス17のミラー群30で合成され、光源ボックス17のスリット18を通過した照明光は、反射鏡40の反射面42の中でワークWに近い位置、つまり、曲率が設けられた反射面42の光軸7Aに対する傾斜角度の小さい位置で反射される。従って、反射された照明光は、光軸7Aに対して大きな照明角度θ2でワークWに照射されることとなる。
【0026】
前記制御装置50は、図5に示すような構成となっている。
すなわち、制御装置50は前記画像測定機のカラー画像作成装置51を含み構成され、カラー作成装置51は、中央処理装置(CPU)52と、このCPU52に接続された画像電気信号データ記憶手段53、カラーバランス比率記憶手段54、画像電気信号データ合成手段55を備えて構成されている。
カラー作成装置51によるカラー合成は、図6の模式図に示すように、光学ユニット10を含み構成される光学部Aの、赤色発光ダイオード21による照明光、緑色発光ダイオード22による照明光、および青色発光ダイオード23による照明光を照射したとき、撮影・合成部Bの白黒CCDカメラ11で得られる3枚の白黒画像61,62,63を合成して1枚のカラー画像64とするものである。
【0027】
CPU52には、カラー作成装置51とともに前記制御装置50を構成する表示制御部56が接続され、この表示制御部56を経由して合成されたカラー画像がCRT等の表示部57に表示されるようになっている。
なお、画像電気信号データ記憶手段53には、インターフェース(I/F)57を介して前記白黒CCDカメラ11が接続されている。
【0028】
画像電気信号データ記憶手段53には、図7に示すように、ワークWに赤色発光ダイオード21による照明光を照射したときに白黒CCDカメラ11で得られる赤色画像電気信号データ65、ワークWにG色発光ダイオード22による照明光を照射したときに白黒CCDカメラ11で得られる緑色画像電気信号データ66、および、ワークWにB色発光ダイオード23による照明光を照射したときに白黒CCDカメラ11で得られる青色画像電気信号データ67が、それぞれ記憶・保存されている。
【0029】
赤色画像電気信号データ65では、前述のように、赤色発光ダイオード21により赤色の照明を当てたとき、白黒CCDカメラ11で撮影された白黒画像61において、他に比べて明るい左上略1/3の部分65Aが、カラーバランス比率に基づいて合成されるとき、赤色となる部分である。従って、3枚の白黒画像61,62,63を合成してカラー画像64を作成したとき、図7の下部に示すように当該部分65Aが赤色となって表現されることになる。
緑色撮影画像66では、緑色発光ダイオード22により緑色の照明を当てたとき、白黒CCDカメラ11で撮影された白黒画像62において、左上方および上上方に比べてやや明るい下側略1/3の部分66Aが、カラーバランス比率に基づいて合成されるとき、緑色となる部分である。従って、3枚の白黒画像61,62,63を合成してカラー画像64を作成したとき、当該部分66Aが緑色となって表現されることになる。
青色撮影画像67では、青色発光ダイオード23により青色の照明を当てたとき、白黒CCDカメラ11で撮影された白黒画像63において、他に比べて明るい右上略1/3の部分67Aが、カラーバランス比率に基づいて合成されるとき、青色となる部分である。従って、3枚の白黒画像61,62,63を合成してカラー画像64を作成したとき、当該部分67Aが緑色となって表現されることになる。
【0030】
前記カラーバランス比率記憶手段54には、前記画像電気信号データ記憶手段53に記憶された前記赤色画像電気信号データ65、緑色画像電気信号データ66、および、青色画像電気信号データ67を合成する際のカラーバランス比率が保存されている。このカラーバランスの比率は、後でも述べるように、白色の対象物上で、前記赤色、緑色、青色の照明光をそれぞれ照射して得られる赤色データ、緑色データ、および、青色データのグレースケールの平均がほぼ同じとなるように演算して求められる。
【0031】
前記カラーバランス比率記憶手段54に記憶される赤色、緑色、青色のカラーバランスの比率は、図8に示すような手順によって求められる。
すなわち、まずステップ1(S1)でスタートして、S2で、リング照明装置15の赤色発光ダイオード21、緑色発光ダイオード22および青色発光ダイオード23により、赤色、緑色、青色の各発光色を照射できるようにリング照明装置15を白い紙の上に移動させ、S3で、赤色の照明を当てた画像データを作成するとともに、制御装置50の前記CPU52の記憶部に保存する。引き続き、S4で、緑色の照明を当てた画像データを作成するとともに、上記CPU52の記憶部に保存し、S5で、青色の照明を当てた画像データを作成するとともに、上記CPU52の記憶部に保存する。次に、S6で、各画像データにおける赤、緑、青各色のグレースケール(白と黒との間の灰色の全領域を表示するために、白と黒との割合を変化させた一連の色のない色調)の平均が同じになる比率、つまり、カラーバランス比率を計算して求め、S7で終了する。
ここで、カラーバランス比率の決め方の一例として、赤、緑、青各色の各グレースケール(平均)値のうち、最も低い(暗い)画像の値を1とし、他は、その最も低い画像の値に対する比率として求める方法がある。このようにすることにより、広い階調の合成画像を得ることができる。
【0032】
また、カラーバランス比率を求めるのは、赤、緑、青各色は、それぞれ1画素ごとに8bit(256色)の色情報を有しているので、リング照明装置15により赤色、G色、B色の発光色をそれぞれ照射したとき、画像データの中に、照明のばらつき等によりグレースケールの違いを生じることがある。そこで、赤、緑、青各色ごとに、画像全体の平均が同じとなるようにしておく必要があるからである。さらに、ワークWに応じて照明光の明るさを変えたときに、各照明光が一定の割合で明るさが変化するとは限らないため、設定した明るさでカラーバランス比率を求める必要があるからである。
【0033】
画像電気信号データ合成手段55は、白黒CCDカメラ11で撮影された3枚の白黒画像61,62,63を、カラーバランス比率記憶手段54に記憶されている赤色、緑色、青色のカラーバランスの比率に基づいて、画像電気信号データ記憶手段53に保存されている赤色画像電気信号データ65、緑色画像電気信号データ66、および、青色画像電気信号データ67からカラー画像64を合成するものである。
【0034】
画像電気信号データ合成手段55によるカラー画像の合成方法は、図9に示すような手順によって行われる。
すなわち、まずステップ1(S1)でスタートして、S2で、白黒CCDカメラ11で撮影された画像の合成したい範囲を指定する。ここで、合成したい範囲を指定する方法は、始点と終点とを撮影し、表示している画面上に始点と終点とを指定することにより行われる。例えば、現在見ている範囲内で指定すると、指定したその範囲が合成される。また、一度で指定できないようなもっと広い範囲を指定したい場合は、測定機1を駆動し白黒CCDカメラ11を移動して指定する。そして、この場合には、合成される画像は、複数枚が順次撮像されることになる。
【0035】
次に、S3で、赤色発光ダイオード21により赤色の照明を当てて作成した赤色画像電気信号データ65を画像電気信号データ記憶手段53に保存する。引き続き、S4で、G色発光ダイオード22によりGの照明を当てて作成した緑色画像電気信号データ66を画像電気信号データ記憶手段53に保存し、S5で、B色発光ダイオード23によりBの照明を当てて作成した青色画像電気信号データ67を画像電気信号データ記憶手段53に保存する。次いで、S6で、赤色画像電気信号データ65、緑色画像電気信号データ66および青色画像電気信号データ67の3枚のデータを順次取り込み、カラーバランス比率記憶手段54に記憶される赤色、緑色、青色のカラーバランスの比率に基づいてカラー合成し、S7で終了する。
【0036】
本実施形態によれば、次のような効果が得られる。
(1) 白黒CCDカメラ11で撮影されたワークWの白黒画像をカラー画像に合成する際に、赤色画像電気信号データ65、緑色画像電気信号データ66、および、青色画像電気信号データ67を基に、予め設定され各色ごとの標準の照度となったカラーバランス比率に基づいて合成されるので、各色照明光の明るさの違い等に影響されずに合成することができる。従って、白黒CCDカメラ11で撮影した画像を色バランスがよく合成色の色が一定となったよりリアルな画像で映すことができるようになって観察がしやすくなり、その結果、被測定物の形状等を明確に把握することができる。
【0037】
(2) 白黒CCDカメラ11で撮影されたワークWの白黒画像が、赤色画像電気信号データ65、緑色画像電気信号データ66、および、青色画像電気信号データ67を基に合成されるので、例えばカラーCCDカメラで、CCD上に設置されたカラーフィルタ、または3CCDカラーカメラで使用されるプリズムブロックのために画面が暗くなるという問題が生じることなく、明るい画像を得ることができる。
【0038】
(3) 赤色、緑色、青色の照明光は、当該赤色、緑色、青色のそれぞれの発光色を有する3種類の発光ダイオード20で構成されているので、その特長である高速応答性や長寿命性等を備えた光源とすることができるとともに、応答性が高速なので、リアルタイムでのカラー画像を得ることができる。
【0039】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前述の実施形態では、リング照明装置15を撮像ユニット10に設けられた対物レンズ7に取り付けたが、これに限らず、測定装置等の本体や測定台に取り付けてもよく、また、これらの測定装置等とは別にリング測定装置を支持する部材を設け、この部材に取り付けてもよい。
【0040】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明の画像測定機のカラー画像作成装置およびカラー画像合成方法によれば、白黒電荷結合素子で撮影された被測定物の画像をカラー画像にする際に、赤色画像電気信号データ、緑色画像電気信号データ、および、青色画像電気信号データを基に、予め設定され各色ごとの標準の照度となったカラーバランス比率に基づいて合成されるので、各色照明光の明るさの違い等に影響されずに合成することができる。従って、白黒電荷結合素子で撮影した画像を色バランスがよく合成色の色が一定となったよりリアルな画像で映すことができるようになって観察がしやすくなり、その結果、被測定物の形状等を明確に把握することができる。
また、例えばカラーCCDカメラでは、CCD上に設置されたカラーフィルター、または3CCDカメラにおけるプリズムブロック等により、赤色、緑色、および青色に分光されるため、その分、画面が暗くなるが、本発明では、カラーフィルターやプリズムブロックを使用しないので、明るい画像を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る画像測定機を示す正面図である。
【図2】前記実施形態に係るリング照明装置を示す斜視図である。
【図3】前記実施形態に係るリング照明装置の断面図である。
【図4】前記実施形態に係るリング照明装置の底面図である。
【図5】前記実施形態に係る画像作成装置を含む制御装置を示すブロック図である。
【図6】前記実施形態に係る画像作成装置を示す模式図である。
【図7】前記実施形態に係る画像作成装置のカラー合成を示す模式図である。
【図8】前記実施形態に係る画像作成装置のカラーバランス比率を求める手順図である。
【図9】前記実施形態に係る画像作成装置のカラー合成の手順図である。
【符号の説明】
1 画像測定装置
7 対物レンズ
10 撮像ユニット
11 白黒CCDカメラ(白黒電荷結合素子)
15 リング照明装置(照明光学系)
20 発光ダイオード
21 赤色発光ダイオード
22 緑色発光ダイオード
23 青色発光ダイオード
50 制御装置
51 カラー画像作成装置
52 CPU
53 画像電気信号データ記憶手段
54 カラーバランス比率記憶手段
55 画像電気信号データ合成手段
61〜63 白黒画像
64 カラー画像
65 赤色画像電気信号データ
66 緑色画像電気信号データ
67 青色画像電気信号データ

Claims (2)

  1. 赤色、緑色、青色の照明光を選択的に出力可能な照明光学系を有し、この照明光学系からの照明光を被測定物に照射して得られる被測定物の画像から被測定物の寸法や形状を測定する画像測定機のカラー画像作成装置において、
    前記被測定物の画像を電気信号に変換する白黒電荷結合素子と、
    前記被測定物に赤色の照明光を照射したときに前記白黒電荷結合素子で得られる赤色画像電気信号データ、前記被測定物に緑色の照明光を照射したときに前記白黒電荷結合素子で得られる緑色画像電気信号データ、および、前記被測定物に青色の照明光を照射したときに前記白黒電荷結合素子で得られる青色画像電気信号データをそれぞれ記憶する画像電気信号データ記憶手段と、
    前記画像電気信号データ記憶手段に記憶された赤色画像電気信号データ、緑色画像電気信号データ、および、青色画像電気信号データを合成してカラー画像とする際のカラーバランス比率を予め設定記憶したカラーバランス比率記憶手段と、
    前記カラーバランス比率記憶手段に記憶されたカラーバランス比率に基づいて、前記画像電気信号データ記憶手段に記憶された赤色画像電気信号データ、緑色画像電気信号データ、および、青色画像電気信号データを合成する画像電気信号データ合成手段と、を備え
    前記照明光学系は、
    前記白黒電荷結合素子の光路前段に設けられた対物レンズの光軸の回りに配置され、赤色、緑色、青色の発光色を有する3種類からなる複数の発光素子を光源として備え、
    前記光源を構成する発光素子のうち同一種類の発光素子群は、前記光軸と略直交する同一の平面内に、当該光軸の周囲に沿ってリング状に配列され、
    前記発光素子の発光方向前方には、当該発光素子から出射され、互いに異なる発光色を有する出射光を合成し、所定の色合いを有する照明光を生成するミラー群が設けられ、
    前記生成された照明光の進行方向前方には、当該照明光を前記光軸に沿った所定の位置に集光する反射鏡が設けられ、
    前記発光色が異なるリング状に配列された発光素子群は、互いに前記光軸方向に沿って所定の間隔を隔てて配置され、かつ、発光方向を前記光軸から離れる方向へ向けて配置されていることを特徴とする画像測定機のカラー画像作成装置。
  2. 請求項1に記載の画像測定機のカラー画像作成装置において、前記カラーバランス比率記憶手段のカラーバランスの比率は、白色の対象物上で、前記赤色、緑色、青色をそれぞれ照射して得られる赤色データ、緑色データ、および、青色データのグレースケールの平均がほぼ同じとなるように演算して求められるものであることを特徴とする画像測定機のカラー画像作成装置。
JP2002287257A 2002-09-30 2002-09-30 画像測定機のカラー画像作成装置およびカラー画像合成方法 Expired - Fee Related JP4248216B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002287257A JP4248216B2 (ja) 2002-09-30 2002-09-30 画像測定機のカラー画像作成装置およびカラー画像合成方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002287257A JP4248216B2 (ja) 2002-09-30 2002-09-30 画像測定機のカラー画像作成装置およびカラー画像合成方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004126768A JP2004126768A (ja) 2004-04-22
JP4248216B2 true JP4248216B2 (ja) 2009-04-02

Family

ID=32280119

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002287257A Expired - Fee Related JP4248216B2 (ja) 2002-09-30 2002-09-30 画像測定機のカラー画像作成装置およびカラー画像合成方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4248216B2 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100902170B1 (ko) * 2008-05-19 2009-06-10 (주)펨트론 표면형상 측정장치
JP2011054110A (ja) * 2009-09-04 2011-03-17 Mitsutoyo Corp 画像処理型測定機および画像処理測定方法
JP4858630B2 (ja) * 2010-06-09 2012-01-18 旭硝子株式会社 ガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法
JP4877427B2 (ja) * 2011-07-11 2012-02-15 旭硝子株式会社 ガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法
TWI721385B (zh) * 2018-07-08 2021-03-11 香港商康代影像技術方案香港有限公司 產生印刷電路板合成彩色影像之技術
CN115460386B (zh) * 2022-08-31 2024-05-17 武汉精立电子技术有限公司 一种利用黑白相机获取彩色图像的方法及系统

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004126768A (ja) 2004-04-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6325816B2 (ja) 拡大観察装置、拡大画像観察方法、拡大画像観察プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体
US10508902B2 (en) Three-dimensional measurement device
JP4565115B2 (ja) 多焦点撮像装置
JP6325815B2 (ja) 拡大観察装置、拡大画像観察方法、拡大画像観察プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体
JP6487156B2 (ja) 拡大観察装置、拡大画像観察方法、拡大画像観察プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体
JP3855756B2 (ja) 3次元色形状検出装置及び3次元スキャナー
JP2014055810A (ja) 形状測定装置及びこれに組み込まれるプログラム並びにこれを記憶した記録媒体
JP2001280916A (ja) 3次元計測装置
WO2012157419A1 (ja) 撮像装置およびこれを備える顕微鏡システム
JP2002150315A (ja) 画像処理装置および記録媒体
JP2003269919A (ja) 画像処理型測定機の照明装置
JP2009510959A (ja) 単色光源により画像センサをスペクトル統合校正するための方法
JP2007033216A (ja) 白色干渉計測装置及び白色干渉計測方法
JP6279048B2 (ja) 形状測定装置
CA3072858A1 (en) Scanning microscope for 3d imaging using msia
JP2017122614A (ja) 画像生成方法及び検査装置
JP4248216B2 (ja) 画像測定機のカラー画像作成装置およびカラー画像合成方法
JPH10513287A (ja) 物体のイメージ、画像を記録、撮像のための方法及び装置
US7834996B2 (en) Inspection apparatus and method
JP5540664B2 (ja) 光軸調整システム、光軸調整装置、光軸調整方法、及びプログラム
KR20080114550A (ko) 자외선 현미경 장치
JP6355334B2 (ja) 拡大観察装置、拡大画像観察方法、拡大画像観察プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体
JP2022098072A (ja) 三次元形状計測方法、三次元形状計測装置およびロボットシステム
JP2017227609A (ja) 三次元測定装置及びその制御方法
JP4546180B2 (ja) 立体物イメージスキャナ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050726

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20070703

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20070809

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080930

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081007

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081119

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090106

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090113

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120123

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4248216

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150123

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees