JP4858630B2 - ガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法 - Google Patents
ガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4858630B2 JP4858630B2 JP2010132288A JP2010132288A JP4858630B2 JP 4858630 B2 JP4858630 B2 JP 4858630B2 JP 2010132288 A JP2010132288 A JP 2010132288A JP 2010132288 A JP2010132288 A JP 2010132288A JP 4858630 B2 JP4858630 B2 JP 4858630B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- image data
- color
- inspection apparatus
- cassette
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims description 241
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 236
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 78
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 46
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 41
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 38
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 34
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 23
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 10
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 42
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 25
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 15
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 12
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 10
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 9
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 239000005341 toughened glass Substances 0.000 description 4
- 238000006124 Pilkington process Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 2
- 238000007500 overflow downdraw method Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000003426 chemical strengthening reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007499 fusion processing Methods 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
Images
Description
また本発明のガラス基板検査装置において、前記色抽出手段は、前記画像データのRGB値に基づきHSV値を算出し、前記HSV値に基づき前記特定の色の画像データを抽出する。
また本発明のガラス基板検査装置において、前記色抽出手段は、前記画像データにおいて、前記RGB値または前記HSV値が所定範囲内である領域の面積を算出し、前記面積が所定値以上であるとき、前記領域の画像データを前記特定の色の画像データとして抽出する。
また本発明のガラス基板検査装置は、前記撮像した画像データを表示する表示手段と、
前記撮像した画像データが前記表示手段において同じ位置に表示されるように前記画像データの位置補正を行う位置補正手段と、を有し、前記色抽出手段は、前記位置補正後の画像データから前記特定の色の画像データを抽出する。
以下に図面を参照して本発明の第一の実施形態について説明する。図1は、第一の実施形態のガラス基板検査装置のハードウェア構成の一例を示す図である。
以下に図面を参照して本発明の第二の実施形態について説明する。本発明の第二の実施形態は、照明台座に配置されたカセットの種類を判別し、カセットの種類に基づき特定する色の画像を抽出する点で第一の実施形態と相違する。以下の第二の実施形態の説明では、第一の実施形態との相違点についてのみ説明し、第一の実施形態と同様の機能構成を有するものには第一の実施形態の説明で用いた符号と同様の符号を付与し、その説明を省略する。
200、200A 解析装置
210 演算処理装置
211 画像データ取得部
212 位置補正部
213 ペース処理部
214 色抽出部
215 素材判定部
216 板厚算出部
217 端面状態検出部
218 カセット判別部
300 撮像装置
310 照明装置
320 カメラ
330 照明台座
331 スリット
Claims (16)
- 光源からの光を入射させるための光源用開口部と、光を撮像手段へ導くための撮像用開口部と、を有するカセットに収納されたガラス基板に、
前記光源からの光を照射して撮像した画像データに基づき前記ガラス基板の検査を行うガラス基板検査装置であって、
前記画像データを解析する解析手段を有し、
前記解析手段は、
前記画像データから特定の色の画像データを抽出する色抽出手段と、
前記色抽出手段により抽出された前記特定の色の画像データを含む第一の所定領域の画像データの色の変化に基づき前記ガラス基板の板厚を算出する板厚検出手段と、を有するガラス基板検査装置。 - 前記解析手段は、
前記色抽出手段により抽出された前記画像データの色に基づき前記ガラス基板の素材を判別する素材判別手段を有する請求項1記載のガラス基板検査装置。 - 前記色抽出手段は、
前記画像データのRGB値に基づき前記特定の色の画像データを抽出する請求項1又は2記載のガラス基板検査装置。 - 前記色抽出手段は、
前記画像データのRGB値に基づきHSV値を算出し、前記HSV値に基づき前記特定の色の画像データを抽出する請求項3記載のガラス基板検査装置。 - 前記色抽出手段は、
前記画像データにおいて、前記RGB値または前記HSV値が所定範囲内である領域の面積を算出し、前記面積が所定値以上であるとき、前記領域の画像データを前記特定の色の画像データとして抽出する請求項4記載のガラス基板検査装置。 - 前記撮像した画像データを表示する表示手段と、
前記撮像した画像データが前記表示手段において同じ位置に表示されるように前記画像データの位置補正を行う位置補正手段と、を有し、
前記色抽出手段は、
前記位置補正後の画像データから前記特定の色の画像データを抽出する請求項1ないし5の何れか一項に記載のガラス基板検査装置。 - 前記板厚検出手段は、
前記第一の所定領域内の前記画像データの色の階調の変化を検出した結果に基づき前記ガラス基板の板厚を算出する請求項1ないし6の何れか一項に記載のガラス基板検査装置。 - 前記板厚検出手段は、
前記第一の所定領域内の前記色の階調が変化する点を二点検出し、前記二点間の幅を前記ガラス基板の板厚として算出する請求項7記載のガラス基板検査装置。 - 前記ガラス基板の素材と前記画像データの色とを対応付けた表が格納された記憶手段を有し、
前記素材判別手段は、
前記表を参照して前記ガラス基板の素材を判別する請求項2に記載のガラス基板検査装置。 - 前記撮像用開口部は、前記ガラス基板を透過した光を撮像手段へ導く請求項1ないし9の何れか一項に記載のガラス基板検査装置。
- 前記画像データに基づき前記カセットの種類を判別するカセット判別手段を有する請求項1ないし10の何れか一項に記載のガラス基板検査装置。
- 前記色抽出手段は、
前記カセット判別手段により判別されたカセットの種類に対応した色の画像データを抽出する請求項11記載のガラス基板検査装置。 - 前記光源用開口部は光透過性の底板で覆われており、前記撮像用開口部は光透過性の蓋で覆われている請求項1ないし12の何れか一項に記載のガラス基板検査装置。
- 前記光源となる照明手段と、
前記照明手段を覆う照明台座と、を有し、
前記照明台座には、前記光源からの光を通過させるスリットが設けられている請求項1ないし13の何れか一項に記載のガラス基板検査装置。 - 前記ガラス基板は、中心に形成された円孔を有する磁気記録媒体用のガラス基板である請求項1ないし14の何れか一項に記載のガラス基板検査装置。
- 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、
請求項1ないし15の何れか一項に記載のガラス基板検査装置による検査工程を含む磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010132288A JP4858630B2 (ja) | 2010-06-09 | 2010-06-09 | ガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010132288A JP4858630B2 (ja) | 2010-06-09 | 2010-06-09 | ガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011153247A Division JP4877427B2 (ja) | 2011-07-11 | 2011-07-11 | ガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011258274A JP2011258274A (ja) | 2011-12-22 |
JP4858630B2 true JP4858630B2 (ja) | 2012-01-18 |
Family
ID=45474272
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010132288A Active JP4858630B2 (ja) | 2010-06-09 | 2010-06-09 | ガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4858630B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102044788B1 (ko) * | 2012-10-30 | 2019-11-18 | 삼성디스플레이 주식회사 | 글라스 기판 검사 장치 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4248216B2 (ja) * | 2002-09-30 | 2009-04-02 | 株式会社ミツトヨ | 画像測定機のカラー画像作成装置およびカラー画像合成方法 |
JP2007256116A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Brother Ind Ltd | 3次元形状検出装置 |
JP2011070729A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-07 | Hoya Corp | 磁気ディスク用基板の検査装置及び検査方法 |
-
2010
- 2010-06-09 JP JP2010132288A patent/JP4858630B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011258274A (ja) | 2011-12-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5228490B2 (ja) | 画像解析によって欠陥検査を行う欠陥検査装置 | |
TWI484161B (zh) | 缺陷檢查系統及使用於該缺陷檢查系統之缺陷檢查用攝影裝置、缺陷檢查用畫像處理裝置、缺陷檢查用畫像處理程式、記錄媒體及缺陷檢查用畫像處理方法 | |
JP5302701B2 (ja) | タイヤ形状検査方法,タイヤ形状検査装置 | |
JP2005127989A (ja) | 傷検出装置および傷検出プログラム | |
JP2007285754A (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
TWI693629B (zh) | 基板檢查裝置、基板處理裝置及基板檢查方法 | |
JPWO2009054404A1 (ja) | 撮影画像に基づいた検査方法及び検査装置 | |
JP6031751B2 (ja) | ガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法 | |
JP2011169743A (ja) | 検査装置および検査方法 | |
EP3447725B1 (en) | Apparatus for inspecting appearance of article and method for inspecting appearance of article using same | |
JP4858630B2 (ja) | ガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法 | |
JP7324116B2 (ja) | 異物検査装置および異物検査方法 | |
JPWO2005050132A1 (ja) | パターンのムラ欠陥検査方法及び装置 | |
JP4108829B2 (ja) | 厚み欠陥検査装置及びその検査方法 | |
JP4877427B2 (ja) | ガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法 | |
JP2011044094A (ja) | 表示装置 | |
JP5620139B2 (ja) | タイヤの外観検査方法及び外観検査装置 | |
JP2007285868A (ja) | 輝度勾配検出方法、欠陥検出方法、輝度勾配検出装置および欠陥検出装置 | |
JP4820971B2 (ja) | 表面検査方法 | |
JP2018132355A (ja) | スクリーン版の検査方法 | |
JP2004325452A (ja) | ハニカムコアおよびスキンの間の接着の検査のための方法および器具の改善 | |
JP2006145228A (ja) | ムラ欠陥検出方法及び装置 | |
JPH08178863A (ja) | レンチキュラーレンズシートの欠陥検査方法 | |
JP2000258348A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP3803677B2 (ja) | 欠陥分類装置及び欠陥分類方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110908 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111004 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111017 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4858630 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141111 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |