JP2782759B2

JP2782759B2 - ハンダ付け外観検査装置

Info

Publication number: JP2782759B2
Application number: JP1038993A
Authority: JP
Inventors: 茂樹小林
Original assignee: Omron Corp
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 1989-02-17
Filing date: 1989-02-17
Publication date: 1998-08-06
Anticipated expiration: 2013-08-06
Also published as: JPH02216407A

Description

【発明の詳細な説明】＜産業上の利用分野＞この発明は、基板上に実装された部品につきハンダ付
けの良否を検査するのに用いられるハンダ付け外観検査
装置に関する。

＜従来の技術＞例えば基板上の表面実装部品につきその実装状態の良
否を検査するのに、従来は目視による検査が行われてお
り、殊にハンダ付け状態の良否は、ハンダの有無，量，
溶解性，短絡，導通不良などをこの目視検査で判定して
いる。ところがこのような目視検査では、検査ミスの発
生が避けられず、判定結果も検査する者によりまちまち
であり、また検査処理能力にも限界がある。

そこで近年、この種の検査が自動的に行える自動検査
装置が各種提案された。

第10図は、３次元の形状情報を検出できる自動検査装
置の一例を示す。同図の装置は、レーザ光源からスリッ
ト光１を基板２上のハンダ付け部位へ照射して、ハンダ
付け部位を含む基板２の表面に表面形状に沿って歪を受
けた光切断線３を生成するものである。この光切断線３
の反射光像は撮像装置４で撮像され、その撮像パターン
の歪状態をチェックすることにより、ハンダ付け部位の
立体形状が検出される。

ところがこの検査方法の場合、スリット光１が照射さ
れた部分の形状情報が得られるのみで、それ以外の部分
の立体形状を把握するのは困難である。

この問題を解消する方法として、ハンダ付け部位の表
面へ入射角が異なる光を照射してハンダ付け部位の各反
射光像のパターンを撮像することにより、ハンダ付け部
位が有する曲面要素の配向性を検出するという方法が存
在している。この方法は、一定パターンの光束を検査対
象に当てたとき、その反射光束のパターンが検査対象の
立体的形状に応じた変形を受けることに着目したもの
で、その変形パターンから検査対象の形状を推定すると
いうものである。

第11図は、この方法の原理説明図であり、投光部５と
撮像部６とから成る検出系と、検査対象であるハンダ付
け部位７との位置関係を示している。

同図において、投光部５よりハンダ付け部位７の表面
へ入射角ｉで光束８を投光すると、角度ｉ′（＝ｉ）の
反射光束９が真上位置の撮像部６に入射して検出され
る。これにより前記光束８で照明されたハンダ付け部位
７の曲面要素は基準面10に対してｉの角度をなして配向
していることが検出されたことになる。従って異なる方
向に配向する多数の曲面要素から成るハンダ付け部位７
に対して、入射角が異なる複数の投光装置による投光を
行えば、それぞれの入射角に対応する曲面要素の群が撮
像部６により検出され、これによりハンダ付け部位７の
各曲面要素がそれぞれどんな配向をしているか、すなわ
ちハンダ付け部位の表面性状がどのようであるかを検出
できる。

また投光部５が、入射角がｉ＋Δｉからｉ−Δｉまで
２Δｉの幅をもつ光束８を投光するならば、その幅に対
応した幅を有する反射光束９が撮像部６により検出され
ることになる。すなわちこの場合は、基準面10となす傾
斜角がｉ＋Δｉからｉ−Δｉまでの幅の角度をもつ曲面
要素を検出できることになる。

さらに投光部５が、第12図に示す如く、基準面10に対
して水平に設置された円環状の光源であれば、ハンダ付
け部位７の表面が基準面10に垂直な軸に対してどのよう
な回転角をもっていても、投光部５とハンダ付け部位７
との距離は一定であり、曲面要素の回転角方向の配向性
は消去されるので，基準面10となす傾斜角だけが検出さ
れることになる。

またこの第12図に示すように、投光部５をハンダ付け
部位７への入射角が異なる複数の円環状光源11,12,13を
もって構成すれば、各光源による光束14,15,16の入射角
に対応した配向をもつ曲面要素がそれだけ詳細に検出で
きることは前述したとおりである。

いま半径がr_n（ただしｎ＝1,2,3）の３個の円環状の
光源11,12,13を基準面10に対して高さh_n（ｎ＝1,2,3）
の位置に水平に設置すれば、ハンダ付け部位７への各光
束14,15,16の入射角はそれぞれi_n（ｎ＝1,2,3）とな
り、ハンダ付け部位７における傾斜角がそれぞれi_nであ
る各曲面要素を撮像部６により検出することができる。
このとき各光源11,12,13からハンダ付け部位７の表面を
経て撮像部６に至る全光路長に比して曲面要素の大きさ
が十分に小さいので、次式により入射角、すなわち検出
しようとする曲面要素の傾斜角を定めればよい。

上記の原理に基づきハンダ付け部位の外観を検査する
方法として、前記の各光源11,12,13に白色光源を用いた
ものが提案されている（特開昭61−293657号）。この検
査方法においては、ハンダ付け部位に対する入射角の異
なる３個の光源11,12,13による反射光像を相互に識別す
るために、それぞれ光源11,12,13を時間的に異なったタ
イミングで点灯させ、また消灯させている。

ところがこの方法では、異なる投光タイミングで得た
各画像を貯蔵するためのメモリや、これら画像を同一視
野像として演算処理するための演算装置や、各発光体を
瞬間的に点灯動作させるための点灯装置などが必要であ
り、技術面での煩雑さが多く、またそれがコスト面や信
頼性の面で問題となる。

そこでこのタイム・シェアリング方式の課題を一挙に
解消するため、この発明の発明者は、先般、新たな基板
検査装置を提案した。この基板検査装置は、その詳細は
後述するが、ハンダ付け部位の表面へ異なる色相光を入
射角を違えて照射するための投光部と、ハンダ付け部位
の表面からの反射光像を部品の真上位置で各色相別に撮
像する撮像部と、この撮像部で得た撮像パターンよりハ
ンダ付け部位の有する各曲面要素の性状を検出してハン
ダ付けの良否を判定する判定処理部とで構成されるもの
で、前記投光部には、例えば赤色光，緑色光，青色光を
それぞれ発生する円環状をなす３個の光源が用いてあ
る。各光源はそれぞれの光の合成により白色光となるよ
うな対波長発光エネルギー分布を有しており、各光源に
よる光を合成したとき白色光となるように各光源の光量
が調整可能としてある。

この基板検査装置によれば、ハンダ付け部位に対し異
なる入射角をもって各光源から赤色光，緑色光，青色光
を照射すると、ハンダ付け部位の表面からの赤色，緑
色，青色の各反射光像がその真上位置の撮像部により同
時に分離して検出される。この場合に、各光源による赤
色光，緑色光，青色光は合成されると白色光となるた
め、ハンダ付け部位の曲面性状に関する情報に加えて、
基板上の各部品に関する情報（例えば部品番号，極性，
カラーコードなど）や基板パターン情報（種々のマーク
など）など、基板実装部品の自動検査に不可欠な周辺情
報が検出できる。

＜発明が解決しようとする問題点＞しかしながらこのような基板検査装置の場合、ハンダ
付け部位の表面が緩やかな斜面であるときは、その反射
光は上向きとなって撮像部へ導かれるが、ハンダ付け部
位の表面が急峻な斜面（基板表面に対して45゜以上の角
度）であるときは、その反射光は撮像部に入射せず、ハ
ンダ付け部位の性状検査が困難となる。

この発明は、上記問題に着目してなされたもので、第
２の撮像部を付加して急峻なハンダ付け部位についても
その検査を可能となすことにより、ハンダ付け部位の表
面の角度を問わず性状検査が可能なハンダ付け外観検査
装置を提供することを目的とする。

＜問題点を解決するための手段＞上記目的を達成するため、この発明では、基板上の実
装部品につきハンダ付けの良否を検査するのに、基板上
の実装部品に対し光を照射する投光部と、検査部位の表
面から第１の光軸を沿って反射する前記投光部による光
を撮像する第１の撮像部と、前記検査部位の側面を検査
するために前記第１の光軸に対して傾斜した第２の光軸
に沿って反射する前記同じ投光部による光を撮像する第
２の撮像部と、前記第１または第２の撮像部で得られた
前記共通の投光部による反射光の撮像画像を取込んでそ
の画像パターンにより部品のハンダ付けの良否を判定す
る判定処理部とを備えている。

＜作用＞基板上の実装部品に対し投光部から光が照射される
と、ハンダ付け部位の表面が緩やかな斜面であるとき
は、前記投光部による光は第１の光軸に沿って反射し、
第１の撮像部に入射する。一方、ハンダ付け部位の表面
が急峻な斜面であるときは、前記投光部による光は第２
光軸に沿って反射し、その反射光は第２の撮像部に入射
する。従ってハンダ付け部位の表面が急峻な斜面である
場合も、その表面からの反射光の撮像画像を第２の撮像
部により生成することができ、ハンダ付け部位の性状を
正確に検出することが可能となる。

従ってハンダ付け部位の表面が、緩やかな斜面であっ
ても、急峻な斜面であっても、自動検査が可能である。

＜実施例＞第１図および第２図は、この発明の一実施例にかかる
基板検査装置の原理を示すもので、異なる径r₁,r₂,r₃を
もつ三個の円環状光源28,29,30を基準面52に対して異な
る高さh₁,h₂,h₃の各位置に配置して成る投光部24と、各
円環状光源の中心線45上であって被検査部品21Tの真上
に位置させた１台のカラーテレビカメラ32より成る第１
の撮像部25と、被検査部品21Tを中心としてその周囲の9
0度等角度の各位置に合計４台のカラーテレビカメラ53
〜56を配置して成る第２の撮像部57とから検出系が構成
されている。

前記投光部24の各円環状光源28,29,30は、部品21Tに
対して異なる色相光（この例では、赤色光，緑色光，青
色光）を入射角を違えて照射するためのもので、第１の
撮像部25におけるカラーテレビカメラ32では各光源によ
る光束46,47,48の入射角に対応した配向をもつ緩やかな
傾斜の曲面要素の検出が可能であり、また第２の撮像部
57におけるカラーテレビカメラ55では各光源による光束
49,50,51の入射角に対応した配向をもつ急峻な傾斜の曲
面要素の検出が可能である。なお図示例においては、第
２の撮像部57の他のカラーテレビカメラ53,54,56は同図
の曲面要素の検出には関与していない。

第３図は、上記検出系が用いられた基板検査装置の全
体構成を示している。

この基板検査装置は、基準基板20Sを撮像して得られ
た前記基準基板20S上にある各部品21Sの検査領域の特徴
パラメータ（判定データ）と、被検査基板20Tを撮像し
て得られた前記被検査基板20T上にある各部品21Tの検査
領域の特徴パラメータ（被検査データ）とを比較して、
こらの各部品21Tが正しく実装されかつハンダ付けされ
ているかどうかを検査するためのものであって、Ｘ軸テ
ーブル部22,Y軸テーブル部23,投光部24,第１の撮像部2
5,第２の撮像部57,判定処理部26などをその構成として
含んでいる。

Ｘ軸テーブル部22およびＹ軸テーブル部23は、それぞ
れ判定処理部26からの制御信号に基づいて動作するモー
タ（図示せず）を備えており、これらモータの駆動によ
りＸ軸テーブル部22が第１の撮像部25をＸ方向に移動さ
せ、またＹ軸テーブル部23が基板20S,20Tを支持するコ
ンベヤ27をＹ方向へ移動させる。

これら基板20S,20Tは、投光部24からの照射光を受け
つつ第1,第２の各撮像部25,57により撮像される。

投光部24は、判定処理部26からの制御信号に基づき赤
色光，緑色光，青色光をそれぞれ発生して検査対象へ異
なる入射角で照射するための円環状光源28,29,30を備え
ており、これら光源28,29,30を発した三原色光の混合し
た光により前記基板20S,20Tへの投光を施して、その反
射光像を第1,第２の各撮像部25,57で得て電気信号に変
換する。この実施例の場合、前記の各光源28,29,30は白
色光源に赤色，緑色，青色の各着色透明板を被せた構造
のものを用いているが、三原色の各色相光を発生させる
ものであれば、このような構成に限らず、３本のリング
状のカラー螢光灯（赤，緑，青）を用いたり、３本のリ
ング状のネオン管（赤，緑，青）を用いることもでき
る。

またこの投光部24は、その照明下で基板20S,20T上の
部品に関する情報（部品番号，極性、カラーコードな
ど）や基板パターン情報（種々のマークなど）を検出す
ることを可能となすため、各光源28,29,30が発する各色
相の光が混色されると完全な白色光となるような工夫を
施してある。すなわち各光源28,29,30は、混色により白
色光となるような対波長発光エネルギー分布を有する赤
色光スペクトル，緑色光スペクトル，青色光スペクトル
の光を発する光源をもって構成すると共に、各光源28,2
9,30から照射された赤色光，緑色光，青色光が混色して
白色光となるように、撮像コントローラ31により各色相
光の光量の調整を可能としている。

つぎに第１の撮像部25は、前記投光部24の上方で前記
光源28,29,30の中心線上に位置させたカラーテレビカメ
ラ32を備えており、前記基板20Sまたは20Tからの上方へ
の反射光はこのカラーテレビカメラ32によって三原色の
カラー信号R,G,Bに変換されて判定処理部26へ供給され
る。

また第２の撮像部57は、基板20Sまたは20Tを中心とす
るその周囲四方に位置させた合計４台のカラーテレビカ
メラ53,54,55,56を備えており、前記基板20Sまたは20T
からの側方への反射光はその方向に位置するカラーテレ
ビカメラによって三原色のカラー信号R,G,Bに変換され
て判定処理部26へ供給される。

判定処理部26は、A/D変換部33,メモリ38,ティーチン
グテーブル35,画像処理部34,判定部36,X,Yテーブルコン
トローラ37,撮像コントローラ31,CRT表示部41,プリンタ
42,キーボード40,フロッピディスク装置43,制御部（CP
U）39などから構成されるもので、ティーチングモード
のとき、基準基板20Sより各部品21Sの実装位置，実装部
品の種別や実装方向および，検査領域を検出すると共
に、基準基板20Sについてのカラー信号R,G,Bを処理しハ
ンダ付け状態が良好な各部品21Sの検査領域につき赤
色，緑色，青色の各色相パターンを検出して特徴パラメ
ータを生成し、判定データファイルを作成する。また判
定処理部26は、検査モードのとき、被検査基板20Tにつ
いてのカラー信号R,G,Bを処理し基板上の各部品21Tの検
査領域につき同様の各色相パターンを検出して特徴パラ
メータを生成し、被検査データファイルを作成する。そ
してこの被検査データファイルと前記判定データファイ
ルとを比較して、この比較結果から被検査基板20T上の
所定の部品21Tにつきハンダ付け部位の良，不良を自動
的に判定する。

第４図は、ハンダ付けが良好であるとき、部品が欠落
しているとき、ハンダ不足の状態にあるときのそれぞれ
ハンダ44の断面形態と、各場合の第１の撮像部25による
撮像パターン，赤色パターン，緑色パターン，青色パタ
ーンとの関係を一覧表で例示したものであり、いずれか
色相パターン間には明確な差異が現われるため、部品の
有無やハンダ付けの良否が判定できることになる。

なお、第２の撮像部57による撮像パターン，赤色パタ
ーン，緑色パターン，青色パターンも上記と同様であ
り、ここでは図示およびその説明を省略する。

第３図に戻って、A/D変換部33は前記第1,第２の各撮
像部25,57からカラー信号R,G,Bが供給されたときに、こ
れをアナログ・ディジタル変換して制御部39へ出力す
る。メモリ38は画像メモリなどを備え、制御部39はメモ
リ38より画像データを読み出して、画像処理部34に供給
する。画像処理部34は供給された画像データを画像処理
して前記被検査データファイルや判定データファイルを
作成し、これらを制御部39や判定部36へ供給する。

ティーチングテーブル35はティーチング時に制御部39
から判定データファイルが供給されたとき、これを記憶
し、また検査時に制御部39が転送要求を出力したとき、
この要求に応じて判定データファイルを読み出して、こ
れを制御部39や判定部36などへ供給する。

判定部36は、検査時に制御部39から供給された判定デ
ータファイルと、前記画像処理部34から転送された被検
査データファイルとを比較して、その被検査基板20Tに
つきハンダ付け状態の良否を判定し、その判定結果を制
御部39へ出力する。

撮像コントローラ31は、制御部39と投光部24および第
1,第２の各撮像部25,57とを接続するインターフェース
などを備え、制御部39の出力に基づき投光部24の各光源
28,29,30の光量を調整したり、第1,第２の各撮像部25,5
7のカラーテレビカメラ32,53〜56の各色相光出力の相互
バランスを保つなどの制御を行う。

X,Yテーブルコントローラ37は制御部39と前記Ｘ軸テ
ーブル部22およびＹ軸テーブル部23とを接続するインタ
ーフェースなどを備え、制御部39の出力に基づきＸ軸テ
ーブル部22およびＹ軸テーブル部23を制御する。

CRT表示部41はブラウン管（CRT）を備え、制御部39か
ら画像データ、判定結果、キー入力データなどが供給さ
れたとき、これを画面上に表示する。プリンタ42は制御
部39から判定結果などが供給されたとき、これを予め決
められた書式（フォーマット）でプリントアウトする。
キーボード40は操作情報，基準基板20Sや被検査基準20T
に関するデータなどを入力するのに必要な各種キーを備
えており、このキーボード40から入力された情報やデー
タなどは制御部39へ供給される。

制御部39は、マイクロプロセッサなどを備えており、
以下に述べる手順（第５図および第６図）に沿ってティ
ーチングおよび検査における動作を制御する。

まずティーチングに際して、制御部39は、第５図のス
タート時点において、装置各部を制御して投光部24や第
1,第２の各撮像部25,57をオンし、また撮像条件やデー
タの処理条件を整える。つぎにオペレータは、キーボー
ド40を操作して、ステップ１（図中「ST1」で示す）で
教示対象とする基板名の登録を行い、また基板のサイズ
をキー入力した後、つぎのステップ２で、基準基板20S
をＹ軸テーブル部23上にセットしてスタートキーを押操
作する。そしてステップ３でその基準基板20Sの原点と
右上および左下の各角部を第１の撮像部25にて撮像させ
て各点の位置により実際の基板20Sのサイズを入力した
後、制御部39は入力データに基づきＸ軸テーブル部22お
よびＹ軸テーブル部23を制御して基準基板20Sを初期位
置に位置出しする。

前記基準基板20Sは、部品実装位置に所定の部品21Sを
適正にハンダ付けして良好な実装状態が形成されたもの
であって、この基準基板20Sが初期位置に位置決めされ
ると、つぎのステップ４で第１の撮像部25が基準基板20
S上の領域を順次撮像して、部品の実装位置や実装部品
の種別などを教示してゆく。

かくして部品位置および種別の教示手順が完了する
と、つぎのステップ５において、この基準基板20Sを用
いて全ての部品につき検査領域を設定するための教示手
順を次々に実行する。

この検査領域設定のための教示が完了すると、つぎに
特徴パラメータの教示手順へ移行する。

まずステップ６で制御部39の基板枚数計数用のカウン
タｎに「１」が初期設定された後、つぎのステップ７で
オペレータが、１枚目の基準基板20SをＹ軸テーブル部2
3上にセットして、キーボード40のスタートキーを押操
作すると、ステップ８において、制御部39は先の教示で
得られた部品位置データに基づきＸ軸テーブル部22およ
びＹ軸テーブル部23を制御して、カラーテレビカメラ3
2,53〜56の視野を順次各部品に位置決めして撮像を行わ
せる。

それぞれの撮像動作で得られた三原色のカラー信号R,
G,BはA/D変換部33でA/D変換され、その変換結果はメモ
リ38にリアルタイムで記憶される。ついで制御部39は、
先の教示で得られた各部品の検査領域内の各ランド領域
を抽出した後、前記メモリ38より各色相に対応する画像
データを画像処理部34へ転送させ、この画像処理部34に
て各色相の画像データを各色相別の適当なしきい値で２
値化するなどして、各ランド部の正常なハンダ付け状態
を赤色，緑色，青色のパターンとして検出し、さらにこ
れらパターンの特徴を特徴パラメータとして算出する。

１枚目の基準基板20Sにつき各部品毎に複数種の特徴
パラメータの抽出が完了すると、その基板が搬出された
後、前記カウンタｎが１加算されて２枚目の基準基板20
Sが指定され（ステップ10）、前記と同様の手順で特徴
パラメータの抽出処理が実行される。

このようにして所定枚数（ｎ枚）の基準基板20Sにつ
き特徴パラメータの抽出処理が終了すると、ステップ９
の判定が“YES"となってステップ11へ進む。ステップ11
では、制御部39は、各部品についての平均的な特徴量を
得るため、ｎ枚の基準基板20Sについての各特徴パラメ
ータを統計処理して平均値データを得、この平均値デー
タに基づき判定データファイルを作成して、これをティ
ーチングテーブル35に記憶させ、必要に応じてデータの
修正を施してティーチングを終了する。

以上でティーチングが完了すると、この基板検査装置
はハンダ付け後の被検査基板20Tの自動検査が可能な状
態となる。

かくしてオペレータは、第６図に示す検査モードに移
行し、ステップ1,2で検査すべき基板名を選択して基板
検査の開始操作を行うことになる。

つぎのステップ３は、基板検査装置への被検査基板20
Tの供給をチェックしており、“YES"の判定でコンベヤ2
7が作動して、Ｙ軸テーブル部23に被検査基板20Tが搬入
され、基板検査が開始される（ステップ4,5）。

ステップ５において、制御部39はＸ軸テーブル部22お
よびＹ軸テーブル部23を制御して、被検査基板上の１番
目の部品21Tに対しカラーテレビカメラ32,53〜56の視野
を位置決めして撮像を行わせ、検査領域内の各ランド領
域を自動抽出すると共に、各ランド領域の特徴パラメー
タを算出して、被検査データファイルを作成する。つい
で制御部39は、前記被検査データファイルを判定部36に
転送させ、この被検査データファイルと前記判定データ
ファイルとを比較させて、１番目の部品21Tにつきハン
ダ付けの良否を判定させる。

このような検査が被検査基板20T上の全ての部品21Tに
つき繰り返し実行され、その結果、ハンダ付け不良があ
ると、その不良部品と不良内容とがCRT表示部41に表示
され或いはプリンタ42に印字された後、被検査基板20T
は検査位置より搬出される（ステップ7,8）。

かくして同様の検査手順が全ての被検査基板20Tにつ
き実行されると、ステップ９の判定が“YES"となって基
板検査が完了する。

第７図は、基板検査装置における検出系の他の実施例
を示している。

同図の実施例は、第２の撮像部57として前記カラーテ
レビカメラ53〜56に変えてモノクロテレビカメラ58〜61
（59および61は図示せず）を用いたものである。各モノ
クロテレビカメラ58〜61は特定の色相光（例えば青色
光）による反射光像のみを撮像するためのもので、各カ
メラの光入射位置にはその色相光のみを通過させるバン
ドパスフィルタ62が配備してある。

この第２の実施例によるとき、第２の撮像部57を４台
のモノクロテレビカメラ58〜61で構成したから、第１の
実施例に比較して設備費用が大幅に軽減できて実用化も
容易である。また第２の撮像部57で得る撮像パターンの
数が減少するから、その分画像処理の高速化とメモリ容
量の減少をはかることができる。

第８図は、検出系の第３の実施例を示している。

同図の実施例は、第２の撮像部57としてカラーテレビ
カメラ53〜56を用いているが、投光部24を構成するいず
れか１本の光源（この例では緑色光を発する光源29）を
省略して２本の円環状光源28,30のみを用いるようにし
たものである。

この第３の実施例によるとき、第１の実施例に比較し
て、第1,第２の各撮像部25,57で得る撮像パターンの数
が減少するから、その分画像処理の高速化とメモリ容量
の減少とをはかることができ、同様に設備費用の節減が
可能である。

第９図は、検出系の第４の実施例を示している。

同図の実施例は、第２の撮像部57としてモノクロテレ
ビカメラ58〜61およびバンドパスフィルタ62を用いると
共に、投光部24を構成するいずれか１本の光源（この例
では緑色光を発する光源29）を省略して２本の円環状光
源28,30のみを用いるようにしたものである。

この第４の実施例によるとき、第２の撮像部57を４台
のモノクロテレビカメラ58〜61で構成したから、第１の
実施例に比較して設備費用が大幅に軽減でき、しかも第
1,第２の各撮像部25,57で得る撮像パターンの数が減少
するから、その分画像処理の高速化とメモリ容量の減少
とをはかることができ、一層設備費用の節減が可能であ
る。

なお、上記第２〜第４の各実施例についても判定処理
部26の構成やティーチング，検査の各手順は第１の実施
例と同様であり、ここではその説明を省略する。

＜発明の効果＞この発明は上記の如く構成したから、ハンダ付け部位
の表面からの同じ投光部による反射光は、この表面が緩
やかな斜面であるときは、第１の撮像部で撮像され、表
面が急峻であるときは、第２の撮像部で撮像される。こ
れによりハンダ付け部位の表面の角度を問わず、反射光
の撮像画像を生成することが可能となり、全てのハンダ
付け部位に対する自動検査を実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例にかかる基板検査装置の原
理説明図、第２図はこの発明の基板検査装置におけるカ
メラ配置を示す平面図、第３図はこの発明の一実施例に
かかる基板検査装置の全体構成を示す説明図、第４図は
ハンダ付け状態の良否とパターンとの関係を示す説明
図、第５図はティーチングの手順を示すフローチャー
ト、第６図は検査の手順を示すフローチャート、第７図
〜第９図はこの発明の他の実施例を示す説明図、第10図
は従来の自動検査装置を示す原理説明図、第11図および
第12図は自動検査装置の原理を示す原理説明図である。 20T……基板、21T……部品 24……投光部、25……第１の撮像部 26……判定処理部 28〜30……円環状光源 32……カラーテレビカメラ 58〜61……モノクロテレビカメラ 57……第２の撮像部

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】基板上の実装部品につきハンダ付けの良否
を検査するためのハンダ付け外観検査装置において、基板上の実装部品に対し光を照射する投光部と、検査部位の表面から第１の光軸を沿って反射する前記投
光部による光を撮像する第１の撮像部と、前記検査部位の側面を検査するために前記第１の光軸に
対して傾斜した第２の光軸に沿って反射する前記同じ投
光部による光を撮像する第２の撮像部と、前記第１または第２の撮像部で得られた前記共通の投光
部による反射光の撮像画像を取り込んでその画像パター
ンにより部品のハンダ付けの良否を判定する判定処理部
とを備えて成るハンダ付け外観検査装置。
【請求項２】前記投光部は、検査部位に対し異なる入射
角の光を照射する複数の環状光源により構成されている
特許請求の範囲第１項に記載されたハンダ付け外観検査
装置。