JPH02216407A

JPH02216407A - ハンダ付け外観検査装置

Info

Publication number: JPH02216407A
Application number: JP1038993A
Authority: JP
Inventors: Shigeki Kobayashi; 茂樹小林
Original assignee: Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 1989-02-17
Filing date: 1989-02-17
Publication date: 1990-08-29
Anticipated expiration: 2013-08-06
Also published as: JP2782759B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉この発明は、基板上に実装された部品につきハンダ付け
の良否を検査するのに用いられる基板検査装置に関する
。

〈従来の技術〉例えば基板上の表面実装部品につきその実装状態の良否
を検査するのに、従来は目視による検査が行われており
、殊にハンダ付け状態の良否は、ハンダの有無、量、溶
解性、短絡、導通不良などをこの目視検査で判定してい
る。ところがこのような目視楠査では、検査ミスの発生
が避けられず、判定結果も検査する者によりまちまちで
あり、また検査処理能力にも限界がある。

そこで近年、この種の検査が自動的に行える自動検査装
置が各種提案された。

第１０図は、３次元の形状情報を検出できる自動検査装
置の一例を示す。同図の装置は、レーザ光源からスリッ
ト光１を基板２上のハンダ付け部位へ照射して、ハンダ
付け部位を含む基板２の表面に表面形状に沿って歪を受
けた光切断線３を生成するものである。この光切断線３
の反射光像は撮像装置４で撮像され、その撮像パターン
の歪状態をチエツクすることにより、ハンダ付け部位の
立体形状が検出される。

ところがこの検査方法の場合、スリット光１が照射され
た部分の形状情報が得られるのみで、それ以外の部分の
立体形状を把握するのは困難である。

この問題を解消する方法として、ハンダ付け部位の表面
へ入射角が異なる光を照射してハンダ付け部位の各反射
光像のパターンを撮像することにより、ハンダ付け部位
が有する曲面要素の配向性を検出するという方法が存在
している。

この方法は、一定パターンの光束を検査対象に当てたと
き、その反射光束のパターンが検査対象の立体的形状に
応じた変形を受けることに着目したもので、その変形パ
ターンから検査対象の形状を推定するというものである
。

第１１図は、この方法の原理説明図であり、投光部５と
撮像部６とから成る検出系と、検査対象であるハンダ付
け部位７との位置関係を示している。

同図において、投光部５よりハンダ付け部位７の表面へ
入射角玉で光束８を投光すると、角度ｉ’　　（＝ｉ）
の反射光束９が真上位置の撮像部６に入射して検出され
る。これにより前記光束８で照明されたハンダ付け部位
７の曲面要素は基準面１０に対してｉの角度をなして配
向していることが検出されたことになる。従って異なる
方向に配向する多数の曲面要素から成るハンダ付け部位
７に対して、入射角が異なる複数の投光装置による投光
を行えば、それぞれの入射角に対応する曲面要素の群が
撮像部６により検出され、これによりハンダ付け部位７
の各曲面要素がそれぞれどんな配向をしているか、すな
わちハンダ付け部位の表面性状がどのようであるかを検
出できる。

また投光部５が、入射角がｉ＋Δｉからｉ−Δｉまで２
Δｌの幅をもつ光束８を投光するならば、その幅に対応
した幅を有する反射光束９が撮像部６により検出される
ことになる。すなわちこの場合は、基準面１０となす傾
斜角がｉ＋Δｉからｉ−Δｉまでの幅の角度をもつ曲面
要素を検出できることになる。

さらに投光部５が、第１２図に示す如く、基準面１０に
対して水平に設置された円環状の光源であれば、ハンダ
付け部位７の表面が基準面１０に垂直な軸に対してどの
ような回転角をもっていても、投光部５とハンダ付け部
位７との距離は一定であり、曲面要素の回転角方向の配
向性は消去されるので、基準面１０となす傾斜角だけが
検出されることになる。

またこの第１２図に示すように、投光部５をハンダ付け
部位７への入射角が異なる複数の円環状光源１１．１２
．１３をもって構成すれば、各光源による光束１４，１
５．１６の入射角に対応した配向をもつ曲面要素がそれ
だけ詳細に検出できることは前述したとおりである。

いま半径がｒｎ　　（ただしｎ＝１．２１３　）の３個
の円環状の光源１１，１２．１３を基準面１０に対して
高さｈ　ｎ　　（ｎ　＝１１２１３　）の位置に水平に
設置すれば、ハンダ付け部位７への各光束１４，１５．
１６の入射角はそれぞれｉ、１（ｎ＝１．２．３　）と
なり、ハンダ付け部位７における傾斜角がそれぞれ１７
である各曲面要素を撮像部６により検出することができ
る。このとき各光源１１，１２．１３からハンダ付け部
位７の表面を経て撮像部６に至る全光路長に比して曲面
要素の大きさが十分に小さいので、次式により入射角、
すなわち検出しようとする曲面要素の（頃斜角を定めれ
ばよい。

上記の原理に基づきハンダ付け部位の外観を検査する方
法として、前記の各光源１１．１２゜１３に白色光源を
用いたものが提案されている（特開昭６１−２９３６５
７号）′、この検査方法においては、ハンダ付け部位に
対する入射角の異なる３個の光源１１，１２．１３によ
る反射光像を相互に識別するために、それぞれ光源１１
゜１２．１３を時間的に異なったタイミングで点灯させ
、また消灯させている。

ところがこの方法では、異なる投光タイミングで得た各
画像を貯蔵するためのメモリや、これら画像を同一視野
像として演算処理するための演算装置や、各発光体を瞬
間的に点灯動作させるための点灯装置などが必要であり
、技術面での煩雑さが多（、またそれがコスト面や信軌
性の面で問題となる。

そこでこのタイム・シェアリング方式の課題を一挙に解
消するため、この発明の発明者は、先般、新たな基板検
査装置を提案した。この基板検査装置は、その詳細は後
述するが、ハンダ付け部位の表面へ異なる色相光を入射
角を違えて照射するための投光部と、ハンダ付け部位の
表面からの反射光像を部品の真上位置で各色相別に撮像
する撮像部と、この撮像部で得た撮像パターンよりハン
ダ付け部位の有する各曲面要素の性状を検出してハンダ
付けの良否を判定する判定処理部とで構成されるもので
、前記投光部には、例えば赤色光、緑色光、青色光をそ
れぞれ発生する円環状をなす３個の光源が用いである。

各光源はそれぞれの光の合成により白色光となるような
対波長発光エネルギー分布を有しており、各光源による
光を合成したとき白色光となるように各光源の光量が調
整可能としである。

この基板検査装置によれば、ハンダ付け部位に対し異な
る入射角をもって各光源から赤色光。

緑色光、青色光を照射すると、ハンダ付け部位の表面か
らの赤色、緑色、青色の各反射光像がその真上位置の撮
像部により同時に分離して検出される。この場合に、各
光源による赤色光。

緑色光、青色光は合成されると白色光となるため、ハン
ダ付け部位の曲面性状に関する情報に加えて、基板上の
各部品に関する情報（例えば部品番号、極性、カラーコ
ードなど）や基板パターン情報（種々のマークなど）な
ど、基板実装部品の自動検査に不可欠な周辺情報が検出
できる。

〈発明が解決しようとする問題点〉しかしながらこのような基板検査装置の場合、ハンダ付
け部位の表面が緩やかな斜面であるときは、その反射光
は上向きとなって撮像部へ導かれるが、ハンダ付け部位
の表面が急峻な斜面（基板表面に対して４５°以上の角
度）であるときは、その反射光は撮像部に入射せず、ハ
ンダ付け部位の性状検査が困難となる。

この発明は、上記問題に着目してなされたもので、第２
の撮像部を付加して急峻なハンダ付け部位についてもそ
の検査を可能となすことにより、ハンダ付け部位の表面
の角度を問わず性状検査が可能な基板検査装置を提供す
ることを目的とする。

く問題点を解決するだめの手段〉上記目的を達成するため、この発明では、基板上の実装
部品につきハンダ付け部位の性状を検査するのに、前記
部品に対し異なる色相光を入射角を違えて照射するため
の複数の円環状光源を含む投光部と、前記検査部位の表
面からの反射光像を部品の真上位置の各円環状光源の中
心線上で各色相側に撮像するためのカラーカメラを含む
第１の撮像部と、前記検査部位の表面からの反射光像を
部品の周囲位置で撮像するためのカラーまたはモノクロ
カメラを含む第２の撮像部と、第１．第２の各撮像部で
得た撮像パターンによりハンダ付け部位の性状を検出し
てハンダ付けの良否を判定する判定処理部とで基板検査
装置を構成することにしている。

また請求項２に記載の発明では、実用的かつ安価な基板
検査装置を提供するため、投光部を構成する円環状光源
を３個とし、また第２の撮像部は特定の色相光につき撮
像するための４台のモノクロカメラで構成して、各モノ
クロカメラを部品周囲の四方位置に配置するようにして
いる。

〈作用〉基板上の実装部品に対し異なる入射角をもって各光源か
ら異なる色相光が照射されると、ハンダ付け部位の表面
が緩やかな斜面であるときは、各色相光は上方へ反射し
て、各色相光による反射光像が第１の撮像部のカラーカ
メラにより同時に分離して検出される。

一方、ハンダ付け部位の表面が急峻な斜面であるときは
、各色相光は側方へ反射し、その反射光像は第２の各撮
像部におけるいずれかカラーまたはモノクロカメラによ
り検出されることになる。

この場合に、第２の撮像部がカラーカメラで構成してあ
れば、各色相光による反射光像がそのカラーカメラによ
り同時に分離して検出されるが、第２の撮像部がモノク
ロカメラで構成してあれば、特定の色相光による反射光
像のみが検出される。

従ってハンダ付け部位の表面が、緩やかな斜面であって
も、急峻な斜面であっても、自動検査が可能である。

〈実施例〉第１図および第２図は、この発明の一実施例にかかる基
板検査装置の原理を示すもので、異なる径ｒｌ、　ｚ、
ｒ３をもつ三個の円環状光源２Ｂ、２９．３０を基準面
５２に対して異なる高さｈ＋　、ｈｚ、ｈｚの各位置に
配置して成る投光部２°４と、各円環状光源の中心線４
５上であって被検査部品２１Ｔの真上に位置させた１台
のカラーテレビカメラ３２より成る第１の撮像部２５と
、被検査部品２１Ｔを中心としてその周囲の９０度等角
度の各位置に合計４台のカラーテレビカメラ５３〜５６
を配置して成る第２の撮像部５７とから検出系が構成さ
れている。

前記投光部２４の各円環状光Ｂ２８，２９゜３０は、部
品２１Ｔに対して異なる色相光（この例では、赤色光、
緑色光、青色光）を入射角を違えて照射するためのもの
で、第１の撮像部２５におけるカラーテレビカメラ３２
では各光源による光束４６，４７．４８の入射角に対応
した配向をもつ緩やかな傾斜の曲面要素の検出が可能で
あり、また第２の撮像部５７におけるカラーテレビカメ
ラ５５では各光源による光束４９．５０．５１の入射角
に対応した配向をもつ象、峻な傾斜の曲面要素の検出が
可能である。

なお図示例においては、第２の撮像部５７の他のカラー
テレビカメラ５３，５４．５６は同図の曲面要素の検出
には関与していない。

第３図は、上記検出系が用いられた基板検査装置の全体
構成を示している。

この基板検査装置は、基準基板２０Ｓを撮像して得られ
た前記基準基板２Ｏ３上にある各部品２１Ｓの検査領域
の特徴パラメータ（判定データ）と、被検査基板２０Ｔ
を撮像して得られた前記被検査基板２ＯＴ上にある各部
品２１Ｔの検査領域の特徴パラメータ（被検査データ）
とを比較して、これらの各部品２１Ｔが正しく実装され
かつハンダ付けされているかどうかを検査するためのも
のであって、Ｘ軸テーブル部２２、Ｙ軸テーブル部２３
．投光部２４．第１の撮像部２５．第２の撮像部５７１
判定処理部２６などをその構成として含んでいる。

Ｘ軸テーブル部２２およびＹ軸テーブル部２３は、それ
ぞれ判定処理部２６からの制御信号に基づいて動作する
モータ（図示せず）を備えており、これらモータの駆動
によりＸ軸テーブル部２２が第１の撮像部２５をＸ方向
へ移動させ、またＹ軸テーブル部２３が基板２０３．２
０Ｔを支持するコンベヤ２７をＹ方向へ移動させる。

これら基板２０Ｓ、２０Ｔは、投光部２４からの照射光
を受けつつ第１．第２の各撮像部２５．５７により撮像
される。

投光部２４は、判定処理部２６からの制御信号に基づき
赤色光、緑色光、青色光をそれぞれ発生して検査対象へ
異なる入射角で照射するための円環状光源２Ｂ、２９．
３０を備えており、これら光源２Ｂ、２９．３０を発し
た三原色光の混合した光により前記基板２０３，２０７
への投光を施して、その反射光像を第１．第２の各撮像
部２５．５７で得て電気信号に変換する。

この実施例の場合、前記の各光源２８，２９゜３０は白
色光源に赤色、緑色、青色の各着色透明板を被せた構造
のものを用いているが、三原色の各色相光を発生させる
ものであれば、このような構成に限らず、３本のリング
状のカラー螢光灯（赤、緑、青）を用いたり、３本のリ
ング状のネオン管　（赤、緑、青）を用いることもでき
る。

またこの投光部２４は、その照明下で基板２０３．２０
Ｔ上の部品に関する情報（部品番号、極性、カラーコー
ドなど）や基板パターン情報（種々のマークなど）を検
出することを可能となすため、各光源２Ｂ、２９．３０
が発する各色相の光が混色されると完全な白色光となる
ような工夫を施しである。すなわち各光源２Ｂ、２９．
３０は、混色により白色光となるような対波長発光エネ
ルギー分布を有する赤色光スペクトル、緑色光スペクト
ル、青色光スペクトルの光を発する光源をもって構成す
ると共に、各光源２Ｂ、２９．３０から照射された赤色
光、緑色光、青色光が混色して白色光となるように、撮
像コントローラ３１により各色相光の光量の調整を可能
としている。

つぎに第１の撮像部２５ば、前記投光部２４の上方で前
記光源２８，２９．３０の中心線上に位置させたカラー
テレビカメラ３２を備えており、前記基板２０３または
２０Ｔからの上方への反射光はこのカラーテレビカメラ
３２によって三原色のカラー信号Ｒ，Ｇ、Ｂに変換され
て判定処理部２６へ供給される。

また第２の撮像部５７は、基板２０３または２０Ｔを中
心とするその周囲四方に位置させた合計４台のカラーテ
レビカメラ５３，５４゜５５．５６を備えており、前記
基板２Ｏ３または２０Ｔからの側方への反射光はその方
向に位置するカラーテレビカメラによって三原色のカラ
ー信号Ｒ，Ｇ、Ｂに変換されて判定処理部２６へ供給さ
れる。

判定処理部２６は、Ａ／Ｄ変換部３３．メモリ３８．テ
ィーチングテーブル３５２画像処理部３４．判定部３６
．Ｘ、Ｙテーブルコントローラ３７．撮像コントローラ
３１．ＣＲＴ表示部４１．プリンタ４２．キーボード４
０．フロッピディスク装置４３．制御部（ＣＰＵ）３９
などから構成されるもので、ティーチングモードのとき
、基準基板２０３より各部品２１３の実装位置、実装部
品の種別や実装方向および。

検査領域を検出すると共に、基準基板２０ｓについての
カラー信号Ｒ，Ｇ、Ｂを処理しハンダ付け状態が良好な
各部品２１３の検査領域につき赤色、緑色、青色の各色
相パターンを検出して特徴パラメータを生成し、判定デ
ータファイルを作成する。また判定処理部２６は、検査
モードのとき、被検査基板２０Ｔについてのカラー信号
Ｒ，Ｇ、　Ｂを処理し基板上の各部品２１Ｔの検査領域
につき同様の各色相パターンを検出して特徴パラメータ
を生成し、被検査データファイルを作成する。そしてこ
の被検査データファイルと前記判定データファイルとを
比較して、この比較結果から被検査基板２ＯＴ上の所定
の部品２１Ｔにつきハンダ付け部位の良、不良を自動的
に判定する。

第４図は、ハンダ付けが良好であるとき、部品が欠落し
ているとき、ハンダ不足の状態にあるときのそれぞれハ
ンダ４４の断面形態と、各場合の第１の撮像部２５によ
る撮像パターン。

赤色パターン、緑色パターン、青色パターンとの関係を
一覧表で例示したものであり、いずれか色相パターン間
には明確な差異が現われるため、部品の有無やハンダ付
けの良否が判定できることになる。

なお、第２の撮像部５７による撮像パターン。

赤色パターン、緑色パターン、青色パターンも上記と同
様であり、ここでは図示およびその説明を省略する。

第３図に戻って、Ａ／Ｄ変換部３３は前記第１、第２の
各撮像部２５．５７からカラー信号Ｒ，Ｇ、Ｂが供給さ
れたときに、これをアナログ・ディジタル変換して制御
部３９へ出力する。

メモリ３８はＲＡＭなどを備え、制御部３９の作業エリ
アとして使われる。画像処理部３４は制御部３９を介し
て供給された画像データを画像処理して前記被検査デー
タファイルや判定データファイルを作成し、これらを制
御部３９や判定部３６へ供給する。

ティーチングテーブル３５はティーチング時に制御部３
９から判定データファイルが供給されたとき、これを記
憶し、また検査時に制御部３９が転送要求を出力したと
き、この要求に応じて判定データファイルを読み出して
、これを制御部３９や判定部３６などへ供給する。

判定部３６は、検査時に制御部３９から供給された判定
データファイルと、前記画像処理部３４から転送された
被検査データファイルとを比較して、その被検査基板２
０Ｔにつきハンダ付け状態の良否を判定し、その判定結
果を制御部３９へ出力する。

撮像コントローラ３１は、制御部３９と投光部２４およ
び第１．第２の各撮像部２５．５７とを接続するインタ
ーフェースなどを備え、制御部３９の出力に基づき投光
部２４の各光源２８．２９．３０の光量を調整したり、
第１゜第２の各撮像部２５．５７のカラーテレビカメラ
３２．５３〜５６の各色相光出力の相互バランスを保つ
などの制御を行う。

Ｘ、Ｙテーブルコントローラ３７は制御部３９と前記Ｘ
軸テーブル部２２およびＹ軸テーブル部２３とを接続す
るインターフェースなどを備え、制御部３９の出力に基
づきＸ軸テーブル部２２およびＹ軸テーブル部２３を制
御する。

ＣＲ７表示部４１はブラウン管（ＣＲＴ）を備え、制御
部３９から画像データ、判定結果、キー人力データなど
が供給されたとき、これを画面上に表示する。プリンタ
４２は制御部３９から判定結果などが供給されたとき、
これを予め決められた書式（フォーマット）でプリント
アウトする。キーボード４０は操作情報、基準基板２Ｏ
３や被検査基準２０Ｔに関するデータなどを入力するの
に必要な各種キーを備えており、このキーボード４０か
ら入力された情報やデータなどは制御部３９へ供給され
る。

制御部３９は、マイクロプロセッサなどを備えており、
以下に述べる手順（第５図および第６図）に沿ってティ
ーチングおよび検査における動作を制御する。

まずティーチングに際して、制御部３９は、第５図のス
タート時点において、装置各部を制御して投光部２４や
第１．第２の各撮像部２５゜５７をオンし、ま゛た撮像
条件やデータの処理条件を整える。つぎにオペレータは
、キーボード４０を操作して、ステップ１（図中ｒｓＴ
ＬＪで示す）で教示対象とする基板名の登録を行い、ま
た基板のサイズをキー人力した後、つぎのステップ２で
、基準基板２Ｏ３をＹ軸テーブル部２３上にセットして
スタートキーを押操作する。

そしてステップ３でその基準基板２０３の原点と右上お
よび左下の各角部を第１の撮像部２５にて撮像させて各
点の位置により実際の基板２Ｏ３のサイズを入力した後
、制御部３９は入力データに基づきＸ軸テーブル部２２
およびＹ軸テーブル部２３を制御して基準基板２０Ｓを
初期位置に位置出しする。

前記基準基板２０３は、部品実装位置に所定の部品２１
３を適正にハンダ付けして良好な実装状態が形成された
ものであって、この基準基板２Ｏ３が初期位置に位置決
めされると、つぎのステップ４で第１の撮像部２５が基
準基板２０Ｓ上の領域を順次描像して、部品の実装位置
や実装部品の種別などを教示してゆく。

かくして部品位置および種別の教示手順が完了すると、
つぎのステップ６において、この基準基板２Ｏ３を用い
て全ての部品につき検査領域を設定するための教示手順
を次々に実行する。

この検査領域設定のための教示が完了すると、つぎに特
徴パラメータの教示手順へ移行する。

まずステップ６で制御部３９の基板枚数計数用のカウン
タｎに「１」が初期設定された後、つぎのステップ７で
オペレータが、１枚目の基準基板２０３をＹ軸テーブル
部２３上にセットして、キーボード４０のスタートキー
を押操作すると、ステップ１５において、制御部３９は
先の教示で得られた部品位置データに基づきＸ軸テーブ
ル部２２およびＹ軸テーブル部２３を制御して、カラー
テレビカメラ３２．５３〜５６の視野を順次各部品に位
置決めして撮像を行わせる。

それぞれの撮像動作で得られた三原色のカラー信号Ｒ，
Ｇ、ＢはＡ／Ｄ変換部３３でＡ／Ｄ変換され、その変換
結果はメモリ３８にリアルタイムで記憶される。ついで
制御部３９は、先の教示で得られた各部品の検査領域内
の各ランド領域を抽出した後、前記メモリ３８より各色
相に対応する画像データを画像処理部３４へ転送させ、
この画像処理部３４にて各色相の画像データを各色相別
の適当なしきい値で２値化するなどして、各ランド部の
正常なハンダ付け状態を赤色、緑色、青色のパターンと
して検出し、さらにこれらパターンの特徴を特徴パラメ
ータとして算出する。

１枚目の基準基板２Ｏ３につき各部品毎に複数種の特徴
パラメータの抽出が完了すると、その基板が搬出された
後、前記カウンタｎが１加算されて２枚目の基準基板２
Ｏ３が指定され（ステップ１０）、前記と同様の手順で
特徴パラメータの抽出処理が実行される。

このようにして所定枚数（ｎ枚）の基準基板２０３につ
き特徴パラメータの抽出処理が終了すると、ステップ９
の判定が”　ＹＥＳ″となってステップ１１へ進む、ス
テップ１１では、制御部３９は、各部品についての平均
的な特徴量を得るため、ｎ枚の基準基板２０ｓについて
の各特徴パラメータを統計処理して平均値データを得、
この平均値データに基づき判定データファイルを作成し
て、これをティーチングテーブル３５に記憶させ、必要
に応じてデータの修正を施してティーチングを終了する
。

以上でティーチングが完了すると、この基板検査装置は
ハンダ付け後の被検査基板２０Ｔの自動検査が可能な状
態となる。

かくしてオペレータは、第６図に示す検査モードに移行
し、ステップ１．２で検査すべき基板上を選択して基板
検査の開始操作を行うことになる。

つぎのステップ３は、基板検査装置への被検査基板２０
Ｔの供給をチエツクしており、”ＹＥＳ”の判定でコン
ベヤ２７が作動して、Ｙ軸テーブル部２３に被検査基板
２０Ｔが搬入され、基板検査が開始される（ステップ４
．５）。

ステップ５において、制御部３・９はＸ軸テーブル部２
２およびＹ軸テーブル部２３を制御して、被検査基板上
の１番目の部品２１Ｔに対しカラーテレビカメラ３２．
５３〜５６の視野を位置決めして撮像を行わせ、検査領
域内の各ランド領域を自動抽出すると共に、各ランド領
域の特徴パラメータを算出して、被検査データファイル
を作成する。ついで制御部３９は、前記被検査データフ
ァイルを判定部３６に転送させ、この被検査データファ
イルと前記判定データファイルとを比較させて、１番目
の部品２１Ｔにつきハンダ付けの良否を判定させる。

このような検査が被検査基板２ＯＴ上の全ての部品２１
Ｔにつき繰り返し実行され、その結果、ハンダ付け不良
があると、その不良部品と不良内容とがＣＲ７表示部４
１に表示され或いはプリンタ４２に印字された後、被検
査基板２０Ｔは検査位置より搬出される（ステップ７゜
８）。

かくして同様の検査手順が全ての被検査基板２０Ｔにつ
き実行されると、ステップ９の判定が“ＹＥＳ’″とな
って基板検査が完了する。

第７図は、基板検査装置における検出系の他の実施例を
示している。

同図の実施例は、第２の撮像部５７として前記カラーテ
レビカメラ５３〜５６に変えてモノクロテレビカメラ５
８〜６１（５９および６１は図示せず）を用いたもので
ある。各モノクロテレビカメラ５８〜６１は特定の色相
光（例えば青色光）による反射光像のみを撮像するため
のもので、各カメラの光入射位置にはその色相光のみを
通過させるバンドパスフィルタ６２が配備しである。

この第２の実施例によるとき、第２の撮像部５７を４台
のモノクロテレビカメラ５８〜６１で構成したから、第
１の実施例に比較して設備費用が大幅に軽減できて実用
化も容易である。

また第２のＩ最像部５７で得る撮像パターンの数が減少
するから、その分画像処理の高速化とメモリ容量の減少
をはかることができる。

第８図は、検出系の第３の実施例を示している。

同図の実施例は、第２の撮像部５７としてカラーテレビ
カメラ５３〜５６を用いているが、投光部２４を構成す
るいずれか１本の光源（この例では緑色光を発する光源
２９）を省略して２本の円環状光源２８．３０のみを用
いるようにしたものである。

この第３の実施例によるとき、第１の実施例に比較して
、第１．第２の各１像部２５．５７で得る撮像パターン
の数が減少するから、その分画像処理の高速化とメモリ
容量の減少とをはかることができ、同様に設備費用の節
減が可能である。

第９図は、検出系の第４の実施例を示している。

同図の実施例は、第２の撮像部５７としてモノクロテレ
ビカメラ５８〜６１およびバンドパスフィルタ６２を用
いると共に、投光部２４を構成するいずれか１本の光源
（この例では緑色光を発する光源２９）を省略して２本
の円環状光源２８．３０のみを用いるようにしたもので
ある。

この第４の実施例によるとき、第２の撮像部５７を４台
のモノクロテレビカメラ５８〜６１で構成したから、第
１の実施例に比較して設備費用が大幅に軽減でき、しか
も第１．第２の各撮像部２５．５７で得る撮像パターン
の数が減少するから、その分画像処理の高速化とメモリ
容量の減少とをはかることができ、−層設備費用の節減
が可能である。

なお、上記第２〜第４の各実施例についても判定処理部
２６の構成やティーチング、検査の各手順は第１の実施
例と同様であり、ここではその説明を省略する。

〈発明の効果〉この発明は上記の如く構成したから、たとえハンダ付け
部位の表面が急峻であっても、第２の撮像部により反射
光像を生成できるため、ハンダ付け部位の表面の角度を
問わず、全てのハンダ付け部位の自動検査が可能となる
。

また第２の撮像部をモノクロテレビカメラで構成すれば
設備費用が大幅に軽減されて実用化が容易であるなど、
幾多の顕著な効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例にかかる基板検査装置の原
理説明図、第２図はこの発明の基板検査装置におけるカ
メラ配置を示す平面図、第３図はこの発明の一実施例に
かかる基板検査装置の全体構成を示す説明図、第４図は
ハンダ付け状態の良否とパターンとの関係を示す説明図
、第５図はティーチングの手順を示すフローチャート、
第６図は検査の手順を示すフローチャート、第７図〜第
９図はこの発明の他の実施例を示す説明図、第１０図は
従来の自動検査装置を示す原理説明図、第１１図および
第１２図は自動検査装置の原理を示す原理説明図である
。２０Ｔ・・・・基板　　　　２１Ｔ・・・・部品２４・
・・・投光部　　　　２５・・・・第１の撮像部２６・
・・・判定処理部２８〜３０・・・・円環状光源３２・・・・カラーテレビカメラ５８〜６１・・・・モノクロテレビカメラ５７・・・・
第２の撮像部

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基板上の実装部品につきハンダ付け部位の性状を
検査するための基板検査装置において、前記部品に対し
異なる色相光を入射角を違えて照射するための複数の円
環状光源を含む投光部と、前記検査部位の表面からの反射光像を部品の真上位置の
各円環状光源の中心線上で各色相別に撮像するためのカ
ラーカメラを含む第１の撮像部と、前記検査部位の表面からの反射光像を部品の周囲位置で
撮像するためのカラーまたはモノクロカメラを含む第２
の撮像部と、第１，第２の各撮像部で得た撮像パターンによりハンダ
付け部位の性状を検出してハンダ付けの良否を判定する
判定処理部とを備えて成る基板検査装置。
（２）基板上の実装部品につきハンダ付け部位の性状を
検査するための基板検査装置において、前記部品に対し
異なる色相光を入射角を違えて照射するための３個の円
環状光源を含む投光部と、前記検査部位の表面からの反射光像を部品の真上位置の
各円環状光源の中心線上で各色相別に撮像するためのカ
ラーカメラを含む第１の撮像部と、前記検査部位の表面からの反射光像を部品周囲の四方位
置で特定の色相光につき撮像するための４台のモノクロ
カメラを含む第２の撮像部と、第１，第２の各撮像部で得た撮像パターンによりハンダ
付け部位の性状を検出してハンダ付けの良否を判定する
判定処理部とを備えて成る基板検査装置。