JPH06167460A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】検査にかかる時間と人手を大幅に削減できる高
精度の検査が可能な検査装置を提供する。 【構成】検査位置に対し異なる仰角の方向にそれぞれ
赤，緑，青の各色相光を発する３個の光源９，１０，１
１が配置される。まず検査に先立ち、検査位置に教示用
の基準ウエハ１Ｓが搬入されると、撮像部６により各色
相光のウエハ１Ｓ表面での反射光が撮像される。制御処
理部７は、撮像された反射光像からウエハ上の各バンプ
２Ｓの検査領域について特徴パラメータを抽出し、判定
データファイルを作成する。つぎに被検査ウエハ１Ｔが
搬入されたとき、同様の方法でバンプ２Ｔの検査領域に
つき特徴パラメータが抽出されて被検査データファイル
が作成される。この被検査データファイルは前記判定デ
ータファイルと比較され、検査結果は表示部２０に所定
のフォーマットで表示される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ＬＳＩのチップを基
板へ直接的に接続するための電極としてウエハ上に形成
されたバンプについて、その外観などを画像処理技術を
用いて自動検査するのに用いられる検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のＬＳＩは、チップの周辺へワイヤ
ボンディングによりリード線を導出してパッケージ側の
リードに電気接続して成るものである。ところがこの種
の接続構造では、より多電極化のニーズに対応できない
という問題がある。

【０００３】そこで近年、チップの表面にバンプと称さ
れる接続用の電極を多数形成し、これらバンプを介して
チップを基板へ直接的に電気接続する方法がＣＯＧやフ
リップチップとして実用化された。

【０００４】このバンプは、金バンプやはんだボールで
あり、その直径は通常１００〜２００μｍ程度のもので
ある。このバンプの形状が不良であると、接続不良が発
生するため、バンプの品質検査が不可欠であるが、従
来、その種の検査は顕微鏡を用いた目視検査に頼ってい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】通常、チップ１個につ
き数百個のバンプが形成されるため、ウエハ１枚につい
てのバンプ数は数万個の単位となり、従来の目視検査で
はウエハ上のバンプ全てを検査することは実際上不可能
である。このためウエハ上のバンプをサンプリングして
検査するという検査方法による他はなく、不良品の発生
を完全に抑えることができないという問題がある。また
バンプの大きさ計測による品質分析も、少数個の標本の
マニュアル計測以外不可能であった。

【０００６】この発明は、上記問題に着目してなされた
もので、画像処理技術を用いてウエハ上のバンプの品質
を自動的に検査したり計測することにより、人手によら
ず高精度の検査および計測を実現できる検査装置を提供
することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明は、ウエハ上に
形成されたバンプの品質を自動検査するための検査装置
であって、請求項１の発明にかかる検査装置は、異なる
色彩光を発する複数の円環状の光源が検査位置から見て
それぞれ異なる仰角の方向に配された投光手段と、前記
検査位置に検査対象を位置決めする位置決め手段と、検
査対象の表面からの反射光像を撮像する撮像手段と、前
記撮像手段で得られた撮像パターンより検査対象のバン
プの品質を判断するため、あるいはバンプの計量的パラ
メータを計測するための演算処理手段とを備えたもので
ある。

【０００８】請求項２の発明にかかる検査装置は、複数
の円環状の光源が検査位置から見てそれぞれ異なる仰角
の方向に配置された投光手段と、前記投光手段の各光源
を順次点灯および消灯させる光源制御手段と、前記検査
位置に検査対象を位置決めする位置決め手段と、検査対
象の表面からの反射光像を撮像する撮像手段と、前記撮
像手段で得られた撮像パターンより検査対象のバンプの
品質を判断するため、あるいはバンプの計量的パラメー
タを計測するための演算処理手段とを備えたものであ
る。

【０００９】請求項３の発明にかかる検査装置は、異な
る色彩光を発する複数の光源が検査位置から見てそれぞ
れ異なる方位角の方向に配置された投光手段と、前記検
査位置に検査対象を位置決めする位置決め手段と、検査
対象の表面からの反射光像を撮像する撮像手段と、前記
撮像手段で得られた撮像パターンより検査対象のバンプ
の品質を判断するため、あるいはバンプの計量的パラメ
ータを計測するための演算処理手段とを備えたものであ
る。

【００１０】請求項４の発明にかかる検査装置は、複数
の光源が検査位置から見てそれぞれ異なる方位角の方向
に配置された投光手段と、前記投光手段の各光源を順次
点灯および消灯させる光源制御手段と、前記検査位置に
検査対象を位置決めする位置決め手段と、検査対象の表
面からの反射光像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段
で得られた撮像パターンより検査対象のバンプの品質を
判断するため、あるいはバンプの計量的パラメータを計
測するための演算処理手段とを備えたものである。

【００１１】

【作用】請求項１および請求項３の発明にかかる検査装
置では、複数の光源より異なる色彩の光を同時に照射す
ると、各光源は検査位置から見て異なる仰角または方位
角の方向に位置するので、バンプの形状に応じた全光源
反射光像の撮像パターンを撮像手段により得ることがで
きる。この撮像パターンは演算処理手段で演算処理され
てバンプの品質が判別される。

【００１２】請求項２および請求項４の発明にかかる検
査装置では、複数の光源より光を順次照射すると、各光
源は検査位置から見て異なる仰角または方位角の方向に
位置するので、バンプの形状に応じた各光源による反射
光像の撮像パターンを撮像手段により時系列的に得るこ
とができる。各撮像パターンは順次演算処理手段で合成
演算処理されてバンプの品質が判別される。

【００１３】

【実施例】図１は、この発明の一実施例にかかる検査装
置の全体構成を示す。この検査装置は、基準ウエハ１Ｓ
を撮像して得られた前記基準ウエハ１Ｓ上にある各バン
プ２Ｓの検査領域の特徴パラメータと、被検査ウエハ１
Ｔを撮像して得られた前記被検査ウエハ１Ｔ上にある各
バンプ２Ｔの検査領域の特徴パラメータとを比較して、
各バンプ２Ｔの品質を検査するためのもので、Ｘ軸テー
ブル部３，Ｙ軸テーブル部４，投光部５，撮像部６，制
御処理部７などをその構成として含んでいる。

【００１４】前記Ｘ軸テーブル部３およびＹ軸テーブル
部４は、それぞれ制御処理部７からの制御信号に基づい
て動作するモータ（図示せず）を備えており、これらモ
ータの駆動によりＸ軸テーブル部３が撮像部６をＸ方向
へ移動させ、またＹ軸テーブル部４がウエハ１Ｓ，１Ｔ
を支持するコンベヤ８をＹ方向へ移動させる。

【００１５】前記投光部５は、異なる径を有しかつ制御
処理部７からの制御信号に基づき緑色光，赤色光，青色
光を同時に照射する３個の円環状光源９，１０，１１に
より構成されており、各光源９，１０，１１を検査位置
の真上位置に中心を合わせかつ検査位置から見て異なる
仰角に対応する方向に位置させている。

【００１６】この実施例では、各光源９，１０，１１と
して白色光源に緑色，赤色，青色の各着色透明板を被せ
た構造のものが用いてあるが、これに代えて、緑色光，
赤色光，青色光をそれぞれ発生する３本の円環状のカラ
ー蛍光灯やネオン管を用いてもよく、また、緑色光，赤
色光，青色光をそれぞれ発生する発光ダイオードなどか
ら成る点状光源を複数個、同心円状に配列させたものを
用いてもよい。また投光部５は、異なる色彩光を発する
２個または４個以上の光源をもって構成してもよい。

【００１７】つぎに撮像部６は、カラーテレビカメラが
用いられ、検査位置の真上位置に下方に向けて位置決め
してある。これにより検査対象であるウエハ１Ｓ，１Ｔ
の表面の反射光が撮像部６により撮像され、三原色のカ
ラー信号Ｒ，Ｇ，Ｂに変換されて制御処理部７へ供給さ
れる。

【００１８】制御処理部７は、Ａ／Ｄ変換部１２，メモ
リ１３，ティーチングテーブル１４，画像処理部１５，
判定部１６，ＸＹテーブルコントローラ１７，撮像コン
トローラ１８，表示部２０，プリンタ２１，キーボード
２２，フロッピディスク装置２３，制御部２４などで構
成されるもので、ティーチングモードのとき、検査位置
に搬入された基準ウエハ１Ｓについてのカラー信号Ｒ，
Ｇ，Ｂを処理し、基準ウエハ１Ｓの各バンプの検査領域
について赤，緑，青の色相や明度などの特徴パラメータ
を適用して判定データファイルを作成する。

【００１９】また検査モードのとき、被検査ウエハ１Ｔ
についてのカラー信号Ｒ，Ｇ，Ｂを処理し、被検査ウエ
ハ１Ｔ上の各バンプ２Ｔの検査領域につき赤，緑，青の
各色パターンを検出して特徴パラメータを生成し、被検
査データファイルを作成する。そしてこの被検査データ
ファイルと前記判定データファイルとを比較して、この
比較結果から被検査ウエハ１Ｔ上の各バンプ２Ｔにつき
形状の良否などの品質を自動的に判定する。

【００２０】図２は、バンプの形状が良好であるとき、
バンプが欠落しているとき、バンプ形状が不良であると
きのバンプ４４〜４６の断面形態と、各場合の撮像部６
による撮像パターン，赤色パターン，緑色パターン，青
色パターンとの関係を一覧表で例示している。

【００２１】同図の撮像パターンにおいて、３０Ｇ，３
０Ｒ，３０Ｂはバンプ表面で緑色光，赤色光，青色光が
それぞれ正反射して撮像部６へ入射することにより生成
される緑色領域，赤色領域，青色領域である。３０ＢＬ
はいずれの光の正反射光も撮像部６に入射しないかまた
は入射光量が少ないために生成される黒色領域である。
３１Ｇは緑色の散乱反射光が撮像部６へ入射することに
より生成される淡い緑色領域である。従って緑色パター
ンには緑色領域３０Ｇ，３１Ｇが、赤色パターンには赤
色領域３０Ｒが、青色パターンには青色領域３０Ｂが、
それぞれ抽出されて現れる。

【００２２】同図によれば、バンプの形状が良好である
ときの各色パターンと、バンプが欠落しているときおよ
びバンプの形状が不良であるときのそれぞれの各色パタ
ーンとは、明確に相違するため、検査対象にかかる各色
パターンを正常な色パターンと比較することによりバン
プの有無やバンプの形状の良否を判定することが可能で
ある。

【００２３】またバンプの欠落がなくかつバンプの形状
が不良でない場合であっても、黒色領域３０ＢＬの外周
縁は上方から見たバンプの外形に対応しているので、例
えば黒色パターンを用いてＸ方向またはＹ方向の直径Ｄ
_X ，Ｄ_Y や外側の低緑色領域３１Ｇ内の面積を算出すれ
ば、バンプのサイズを求めることができ、バンプの大き
さの度数分析評価やサイズの良否を判定できる。またＸ
方向の直径Ｄ_X とＹ方向の直径Ｄ_Y との比率や円形度
（４π×面積／周囲長² ）を算出すれば、バンプの形状
の歪み度合いを判定できる。

【００２４】さらに各光源９，１０，１１の幅、光源間
の距離、各光源９，１０，１１の高さが決まっているの
で、各光源９，１０，１１の幅および光源間の距離を各
色パターンより計測することにより、バンプの高さを算
出でき、バンプの高さの良否判定を行うことが可能であ
る。

【００２５】図１に戻って、Ａ／Ｄ変換部１２は前記撮
像部６からのカラー信号Ｒ，Ｇ，Ｂをディジタル信号に
変換して制御部２４へ出力する。メモリ１３はＲＡＭな
どを備え、制御部２４の作業エリアとして使用される。
画像処理部１５は制御部２４を介して供給された画像デ
ータを画像処理して前記被検査データファイルや判定デ
ータファイルを作成し、これらを制御部２４や判定部１
６へ供給する。

【００２６】ティーチングテーブル１４はティーチング
時に制御部２４から判定データファイルが供給されたと
き、これを記憶し、また検査時に制御部２４が転送要求
を出力したとき、この要求に応じて判定データファイル
を読み出してこれを制御部２４や判定部１６などへ供給
する。

【００２７】判定部１６は、検査時に制御部２４から供
給された判定データファイルと、前記画像処理部１５か
ら転送された被検査データファイルとを比較して、被検
査ウエハ１Ｔの各バンプ２Ｔにつきバンプ形状の良否な
どを判定し、その判定結果を制御部２４へ出力する。

【００２８】撮像コントローラ１８は、制御部２４と投
光部５および撮像部６とを接続するインターフェイスな
どを備え、制御部２４の出力に基づき投光部５の各光源
９〜１１の光量を調整したり、撮像部６の各色相光出力
の相互バランスを保つなどの制御を行う。

【００２９】ＸＹテーブルコントローラ１７は制御部２
４と前記Ｘ軸テーブル部３およびＹ軸テーブル部４とを
接続するインターフェイスなどを備え、制御部２４の出
力に基づきＸ軸テーブル部３およびＹ軸テーブル部４を
制御する。

【００３０】表示部２０は、制御部２４から画像デー
タ、検査結果、キー入力データなどが供給されたとき、
これを表示画面上に表示し、またプリンタ２１は、制御
部２４から検査結果などが供給されたとき、これを予め
決められた書式（フォーマット）でプリントアウトす
る。

【００３１】図３（１）（２）は、１枚の被検査ウエハ
１Ｔの検査を完了したとき、表示部２０に表示またはプ
リンタ２１で印字されるフォーマットを示す。図３
（１）は、ウエハ全体の外観を表しており、被検査ウエ
ハ１Ｔ上の全てのチップ３３が表示されている。もし不
良のバンプが検出されれば、その不良のバンプを含むチ
ップ３３については着色された状態の表示がなされる。

【００３２】図３（２）は、不良のバンプが存在するチ
ップ３３を表しており、チップ３３の各バンプが白丸３
４で表示してある。このうち、不良のバンプについては
白丸が塗りつぶされた状態（図中、黒丸３５で示す）で
表示され、これにより不良のバンプの位置を確認でき
る。

【００３３】なおウエハ上の各チップには、検査開始前
にＩＤ番号が付されており、表示部２０にはＩＤ番号順
または指定された順に不良のバンプを含むチップが表示
される。

【００３４】図１に戻って、キーボード２２は、操作情
報や基準ウエハ１Ｓや被検査ウエハ１Ｔに関するデータ
などを入力するのに必要な各種キーを備えており、キー
入力データは前記制御部２４へ供給される。制御部２４
は、マイクロプロセッサなどを備えており、後述する手
順に従って、ティーチングおよび検査における検査装置
の動作を制御する。

【００３５】なお上記実施例では、投光部５には異なる
色彩光を照射する複数個の円環状光源９，１０，１１を
用いているが、これに限らず、単色光または白色光を照
射する複数個の円環状光源を用いて投光部５を構成する
こともできる。

【００３６】この場合、各光源は、前記実施例と同様、
検査位置の真上位置であって検査位置から見て異なる仰
角の方向に位置させるが、ティーチングおよび検査に際
しては、前記撮像コントローラ１８の制御の下に各光源
を時系列的に順次点灯させかつ消灯させる。各光源が点
灯する毎に、撮像部６は対象物での反射光像を撮像する
ことにより光源数に相当する撮像パターンを得、その複
数の撮像パターンから判定データファイルや被検査デー
タファイルを生成する。なおこの実施例の構成は、図１
に示した実施例と同様であり、ここでは図示および詳細
な説明は省略する。

【００３７】図４は、この発明の他の実施例にかかる検
査装置の構成を示す。図示例の検査装置は、投光部５を
除き、図１の実施例と同様の構成のものであって、Ｘ軸
テーブル部３，Ｙ軸テーブル部４，撮像部６，制御処理
部７などを含んでいる。

【００３８】前記投光部５は、同一長さを有しかつ制御
処理部７からの制御信号に基づき異なる色彩光、例えば
橙色，赤色，紫色，藍色，青色，緑色，黄緑色，黄色の
各光を同時に照射する８個の棒状の光源９ａ〜９ｈによ
り構成される。各光源９ａ〜９ｈは、検査位置から見て
それぞれ異なる方位角に対応する各方向に、上端を検査
位置の真上位置の周囲に揃えかつ同じ傾きの姿勢で放射
状に配置されている。

【００３９】図５は、各光源９ａ〜９ｈの配置状態を平
面的に見た図であり、各光源９ａ〜９ｈは方位角が０
°，４５°，９０°，１３５°，１８０°，２２５°，
２７０°，３１５°の各方向に放射状に配置されてい
る。

【００４０】この実施例における各光源９ａ〜９ｈは、
白色光源にそれぞれ異なる色彩の着色透明板を被せた構
造のものであるが、これに代えて、異なる色彩光をそれ
ぞれ発生するカラー蛍光灯や発光ダイオードなどを用い
てもよい。

【００４１】なお、この実施例の投光部５は、真っ直ぐ
な形態の光源９ａ〜９ｈを用いて構成されているが、こ
れに限らず、例えば図６に示すような、円弧状に曲がる
形態の光源２６を用いて投光部５を構成してもよい。ま
た各光源は、棒状のものに限らず、図７および図８に示
すように、点状光源２７を真っ直ぐまたは円弧に沿って
一列に並べた構成のものであってもよい。この場合、各
光源２７は列毎に異なる色彩光を発するものを用いるこ
とは勿論である。

【００４２】図９は、バンプの形状が良好であるとき、
バンプに横方向に突出した不良があるとき、バンプに縦
方向に突出した不良があるとき、バンプに陥没した不良
があるときのバンプの各断面形態と、各場合の撮像部６
による撮像パターンとの関係を一覧表で例示している。

【００４３】同図の撮像パターンにおいて、２８ＯＲ，
２８Ｒ，２８Ｐ，２８Ｄ，２８Ｂ，２８Ｇ，２８ＹＧ，
２８Ｙはバンプ表面で橙色，赤色，紫色，藍色，青色，
緑色，黄緑色，黄色の各光がそれぞれが正反射して撮像
部６へ入射することにより生成される橙色領域，赤色領
域，紫色領域，藍色領域，青色領域，緑色領域，黄緑色
領域，黄色領域である。２９Ｇは混色散乱光が反射して
撮像部６へ入射することにより生成される低明度領域、
また２８ＢＬは黒色領域である。

【００４４】まず形状が良好なバンプ４０の場合、バン
プ表面はやや平坦な半球状であるため、光源の配置パタ
ーンと相似形の撮像パターンが得られるのに対し、バン
プに突出部が生じている場合（図中４１，４２で示す）
は、突出部に対応する位置に、突出部の大きさに相応す
る小パターンＰが現れる。またバンプに凹みが生じてい
る場合（図中４３で示す）は、正常なバンプについての
撮像パターンに対し、各色彩領域が点対称の位置に反転
した撮像パターンとなる。

【００４５】同図によれば、バンプの形状が良好である
ときの撮像パターンと、バンプが不良のときの各撮像パ
ターンとは、明確に相違するため、検査対象にかかる撮
像パターン情報を正常な撮像パターン情報と比較するこ
とによりバンプの良否を判定することが可能である。

【００４６】また撮像パターンにおける黒色領域２８Ｂ
Ｌの外縁は上方から見たバンプの外形に対応しているの
で、Ｘ方向またはＹ方向の直径Ｄ_X ，Ｄ_Y や黒色領域２
８ＢＬ内の面積を算出すれば、バンプのサイズを求める
ことができ、バンプの大きさの度数分析評価やサイズの
良否を判定できる。さらにＸ方向の直径Ｄ_X とＹ方向の
直径Ｄ_Y との比率や円形度（４π×面積／周囲長² ）を
算出すれば、バンプの形状の歪み度合いを判定できる。

【００４７】さらにまた各光源９ａ〜９ｈの長さ、光源
間の距離、各光源９ａ〜９ｈの高さが決まっているの
で、各光源９ａ〜９ｈの長さおよび光源間の距離を撮像
パターンより計測することにより、バンプの高さを算出
でき、バンプの高さの良否判定を行うことが可能であ
る。

【００４８】なお上記実施例では、投光部５には異なる
色彩光を照射する複数個の棒状光源９ａ〜９ｈを用いて
いるが、これに限らず、単色光または白色光を照射する
同様の形態をもつ複数個の光源を用いて投光部５を構成
することもできる。

【００４９】この場合、各光源は、前記実施例と同様、
検査位置の真上位置であって検査位置から見て異なる方
位角の方向に位置させるが、ティーチングおよび検査に
際しては、前記撮像コントローラ１８の制御の下に各光
源を時系列的に順次点灯させかつ消灯させる。各光源が
点灯する毎に、撮像部６は対象物での反射光像を撮像す
ることにより光源数に相当する撮像パターンを得、その
複数の撮像パターンから判定データファイルや被検査デ
ータファイルを生成する。なおこの実施例の構成は、図
４に示した実施例と同様であり、ここでは図示および詳
細な説明は省略する。

【００５０】図１０は、上記第１〜第４の実施例におけ
るティーチングの手順を示す。まず同図のステップ１に
おいて、オペレータはキーボード２２を操作して教示対
象とするウエハ名の登録を行い、またウエハサイズをキ
ー入力した後、つぎのステップ２で、基準ウエハ１Ｓを
Ｙ軸テーブル部４上にセットしてスタートキーを押操作
する。つぎにステップ３でその基準ウエハ１Ｓの原点と
右上および左下の各角部を撮像部６にて撮像させて各点
の位置により実際の基準ウエハ１Ｓのサイズを入力した
後、制御部２４は入力データに基づきＸ軸テーブル部３
およびＹ軸テーブル部４を制御して基準ウエハ１Ｓを初
期位置に位置出しする。

【００５１】前記基準ウエハ１Ｓは、バンプ形成位置に
所定のバンプ２Ｓが適正に形成された良好な形状を有す
るものであって、この基準ウエハ１Ｓが初期位置に位置
決めされると、つぎのステップ４で撮像部６が基準ウエ
ハ１Ｓ上の領域を撮像してバンプの形成位置を教示す
る。

【００５２】つぎのステップ５では、良好な形状を持つ
バンプの画像を撮像し、ステップ４で形成位置が教示さ
れたバンプ２Ｓについてのバンプ情報を教示データとし
て保存する。

【００５３】同様の手順が基準ウエハ１Ｓ上の全てのバ
ンプについて繰り返し実行されると、ステップ６の判定
が「ＹＥＳ」となってステップ７へ移行し、修正ティー
チングを実行する。この修正ティーチングは、ステップ
４，５で生成された教示データによって全ての検査箇所
を実際に自動検査し、その検査結果に不十分な箇所があ
れば、該当箇所についてのみ教示データを修正するため
のもので、その修正データによる満足な結果が得られた
とき、それを教示データとして保存する（ステップ
８）。

【００５４】図１１は、自動検査の手順を示すもので、
同図のステップ１，２で検査すべきウエハ名を選択して
バンプ自動検査の開始操作を行う。つぎのステップ３
は、検査装置への被検査ウエハ１Ｔの供給をチェックし
ており、「ＹＥＳ」の判定でコンベヤ８が作動して、Ｙ
軸テーブル部４に被検査ウエハ１Ｔが搬入され、自動検
査が開始される（ステップ４，５）。

【００５５】ステップ５において、制御部２４はＸ軸テ
ーブル部３およびＹ軸テーブル部４を制御して、被検査
ウエハ１Ｔ上の１番目のバンプ２Ｔに対し撮像部６の視
野を位置決めして撮像を行わせ、検査領域内の各ウィン
ドウ領域を自動抽出すると共に、各ウィンドウ領域の特
徴パラメータを算出して、被検査データファイルを作成
する。ついで制御部２４は、前記被検査データファイル
を判定部１６に転送させ、この被検査データファイルと
前記判定データファイルとを比較させて、１番目のバン
プ２Ｔにつき形状の良否などの品質を判定させる。

【００５６】このような検査が被検査ウエハ１Ｔ上の全
てのバンプ２Ｔにつき繰り返し実行され、その結果、不
良のバンプがあると、その不良バンプと不良内容とが、
図３に示したフォーマットにより表示部２０あるいはプ
リンタ２１に出力された後、被検査ウエハ１Ｔは観測位
置より搬出される（ステップ６〜８）。かくして同様の
検査手順が全ての被検査ウエハ１Ｔにつき実行される
と、ステップ９の判定が「ＹＥＳ」となって検査が完了
する。

【００５７】なお、上記２つの実施例では、１枚のウエ
ハについてバンプの自動検査を行っているが、ウエハを
切断してチップ単位で検査を行うことも可能であり、こ
の場合は、検査結果として図３（２）のフォーマットの
みが表示部２０，プリンタ２１に出力される。

【００５８】

【発明の効果】この発明は上記の如く、ウエハ上に形成
されたバンプの品質を検査する際に、検査位置から見て
異なる仰角または方位角の方向に配置された複数の光源
により得られた反射光像を撮像し、この撮像パターンに
より検査対象であるバンプの形状を自動的に判断するよ
うにしたから、検査に要する労力と時間とが大幅に節減
され、また高精度の検査が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例である検査装置の全体構成
を示す説明図である。

【図２】バンプの形状の良否とパターンとの関係を示す
説明図である。

【図３】表示部に表示されるフォーマットを示す説明図
である。

【図４】この発明の他の実施例にかかる検査装置の全体
構成を示す説明図である。

【図５】投光部における光源の配置例を示す説明図であ
る。

【図６】光源の他の構成例を示す説明図である。

【図７】光源の他の構成例を示す説明図である。

【図８】光源の他の構成例を示す説明図である。

【図９】図４の実施例におけるバンプの形状の良否とパ
ターンとの関係を示す説明図である。

【図１０】ティーチングの手順を示すフローチャートで
ある。

【図１１】自動検査の手順を示すフローチャートであ
る。

【符号の説明】

１Ｓ，１Ｔ ウエハ ２Ｓ，２Ｔ バンプ ３ Ｘ軸テーブル部 ４ Ｙ軸テーブル部 ５ 投光部 ６ 撮像部 ７ 制御処理部 ９，１０，１１，９ａ〜９ｈ 光源 ２４ 制御部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハ上に形成されたバンプの品質を自
   動検査するための検査装置であって、 異なる色彩光を発する複数の円環状の光源が検査位置か
   ら見てそれぞれ異なる仰角の方向に配置された投光手段
   と、 前記検査位置に検査対象を位置決めする位置決め手段
   と、 検査対象の表面からの反射光像を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段で得られた撮像パターンより検査対象のバ
   ンプの品質を判断するため、あるいはバンプの計量的パ
   ラメータを計測するための演算処理手段とを備えて成る
   検査装置。
2. 【請求項２】 ウエハ上に形成されたバンプの品質を自
   動検査するための検査装置であって、 複数の円環状の光源が検査位置から見てそれぞれ異なる
   仰角の方向に配置された投光手段と、 前記投光手段の各光源を順次点灯および消灯させる光源
   制御手段と、 前記検査位置に検査対象を位置決めする位置決め手段
   と、 検査対象の表面からの反射光像を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段で得られた撮像パターンより検査対象のバ
   ンプの品質を判断するため、あるいはバンプの計量的パ
   ラメータを計測するための演算処理手段とを備えて成る
   検査装置。
3. 【請求項３】 ウエハ上に形成されたバンプの品質を自
   動検査するための検査装置であって、 異なる色彩光を発する複数の光源が検査位置から見てそ
   れぞれ異なる方位角の方向に配置された投光手段と、 前記検査位置に検査対象を位置決めする位置決め手段
   と、 検査対象の表面からの反射光像を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段で得られた撮像パターンより検査対象のバ
   ンプの品質を判断するため、あるいはバンプの計量的パ
   ラメータを計測するための演算処理手段とを備えて成る
   検査装置。
4. 【請求項４】 ウエハ上に形成されたバンプの品質を自
   動検査するための検査装置であって、 複数の光源が検査位置から見てそれぞれ異なる方位角の
   方向に配置された投光手段と、 前記投光手段の各光源を順次点灯および消灯させる光源
   制御手段と、 前記検査位置に検査対象を位置決めする位置決め手段
   と、 検査対象の表面からの反射光像を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段で得られた撮像パターンより検査対象のバ
   ンプの品質を判断するため、あるいはバンプの計量的パ
   ラメータを計測するための演算処理手段とを備えて成る
   検査装置。