JP2007121120A - ウエハ外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 表面欠陥の検出率を向上させる。
【解決手段】 被検体Bの表面B1に対してその周囲の異なる複数方向から検査光Xを斜めに照射して反射させ、これら反射光Yの映像情報を集めて表面欠陥の有無を検出することにより、一方向の検査光Xのみでは乱反射として検出されなかった表面欠陥が、異なる複数方向からの検査光で乱反射して検出される可能性がある。
【選択図】 図1
【解決手段】 被検体Bの表面B1に対してその周囲の異なる複数方向から検査光Xを斜めに照射して反射させ、これら反射光Yの映像情報を集めて表面欠陥の有無を検出することにより、一方向の検査光Xのみでは乱反射として検出されなかった表面欠陥が、異なる複数方向からの検査光で乱反射して検出される可能性がある。
【選択図】 図1
Description
本発明は、例えば半導体ウエハなどの被検体の製造途中又は完成後に発生したひび割れやピンホールや研磨傷などの表面欠陥を光学的手段を使用して検出するためのウエハ外観検査装置に関する。
詳しくは、光源から検査光を被検体の表面へ向け斜めに照射して反射させ、この反射光を映像化することで被検体の表面欠陥を検出するウエハ外観検査装置に関する。
詳しくは、光源から検査光を被検体の表面へ向け斜めに照射して反射させ、この反射光を映像化することで被検体の表面欠陥を検出するウエハ外観検査装置に関する。
従来、この種のウエハ外観検査装置として、赤外光源から照射された赤外線を拡散器によって空間的に均一にし、この赤外線を被検体の表面へ向け斜めに照射して反射させ、この反射光を赤外線レンズに入射し、赤外線カメラで光電変換、増幅、信号処理してモニタに表示することにより、クラックなどの表面欠陥の有無を検出可能にしたものがある(例えば、特許文献1参照)。
しかし乍ら、このような従来のウエハ外観検査装置では、被検体の表面に対する検査光の照射方向が一方向のみで更に照射角度も固定されるため、表面欠陥の形状や大きさによっては検出し難いものもあって、高い検出率が得られないという問題があった。
本発明のうち請求項1記載の発明は、表面欠陥の検出率を向上させることを目的としたものである。
請求項2記載の発明は、請求項1に記載の発明の目的に加えて、従って、瞬時に表面欠陥の有無の判断を行うことを目的としたものである。
請求項3記載の発明は、請求項1または2に記載の発明の目的に加えて、表面欠陥の検出率を更に向上させることを目的としたものである。
請求項2記載の発明は、請求項1に記載の発明の目的に加えて、従って、瞬時に表面欠陥の有無の判断を行うことを目的としたものである。
請求項3記載の発明は、請求項1または2に記載の発明の目的に加えて、表面欠陥の検出率を更に向上させることを目的としたものである。
前述した目的を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、被検体の表面に対してその周囲の異なる複数方向から検査光を斜めに照射して反射させ、これら反射光の映像情報を集めて表面欠陥の有無を検出することを特徴とするものである。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明の構成に、前記被検体の周囲に複数の光源を配置し、これら光源から検査光を順次照射して反射させる構成を加えたことを特徴とする。
請求項3記載の発明は、請求項1または2記載の発明の構成に、前記光源と被検体の表面とを結ぶ光路の途中に反射鏡を配置し、この光源から平行に照射される検査光を該反射鏡で被検体の表面へ向け斜めにはね返す構成を加えたことを特徴とする。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明の構成に、前記被検体の周囲に複数の光源を配置し、これら光源から検査光を順次照射して反射させる構成を加えたことを特徴とする。
請求項3記載の発明は、請求項1または2記載の発明の構成に、前記光源と被検体の表面とを結ぶ光路の途中に反射鏡を配置し、この光源から平行に照射される検査光を該反射鏡で被検体の表面へ向け斜めにはね返す構成を加えたことを特徴とする。
本発明のうち請求項1記載の発明は、被検体の表面に対してその周囲の異なる複数方向から検査光を斜めに照射して反射させ、これら反射光の映像情報を集めて表面欠陥の有無を検出することにより、一方向の検査光のみでは乱反射として検出されなかった表面欠陥が、異なる複数方向からの検査光で乱反射して検出される可能性がある。
従って、表面欠陥の検出率を向上させることができる。
その結果、被検体の表面に対する検査光の照射方向が一方向のみで更に照射角度も固定される従来のものに比べ、表面欠陥の検出漏れが減って信頼性が向上する。
従って、表面欠陥の検出率を向上させることができる。
その結果、被検体の表面に対する検査光の照射方向が一方向のみで更に照射角度も固定される従来のものに比べ、表面欠陥の検出漏れが減って信頼性が向上する。
請求項2の発明は、請求項1の発明の効果に加えて、被検体の周囲に複数の光源を配置し、これら光源から検査光を順次照射して反射させることにより、これら反射光の映像情報が連続して集められ、それに基づいて表面欠陥の有無が容易に判断可能となる
従って、瞬時に表面欠陥の有無の判断を行うことができる。
従って、瞬時に表面欠陥の有無の判断を行うことができる。
請求項3の発明は、請求項1または2の発明の効果に加えて、光源と被検体の表面とを結ぶ光路の途中に反射鏡を配置し、この光源から平行に照射される検査光を該反射鏡で被検体の表面へ向け斜めにはね返すことにより、反射鏡の位置を移動して被検体の表面に向かう検査光の照射角度を変化させれば、これら異なる照射角度の検査光で乱反射する可能性が更に上がる。
従って、表面欠陥の検出率を更に向上させることができる。
従って、表面欠陥の検出率を更に向上させることができる。
本発明のウエハ外観検査装置Aは、図1〜図3に示す如く、被検体Bの表面B1へ向け検査光Xを照射する光源1と、この被検体Bの表面B1で反射した反射光Yを集光するレンズ2と、このレンズ2で集光した反射光を取り込んで映像信号に変換するカメラ3とを備え、このカメラ3から映像信号をモニター(図示せず)に出力することにより可視映像として表示するだけでなく、パーソナルコンピューター(図示せず)へ出力して、それに記憶された検出アルゴリズムにより演算して、被検体Bの表面欠陥の有無を自動的に検出するようになっている。
上記光源1は、例えばLED(発光ダイオード)面照明やスポット照明などからなり、点灯させることで被検体Bの表面B1へ向け検査光Xとして平行な光を照射するよう工夫されている。
本実施形態の好ましい一例によれば、上記光源1として図示せる如く、白色LEDなどの面照明を多数相互に接近して並列配置し、これら光源1の照射方向下流側に格子状の平行板1aを取り付けることで、被検体Bの表面B1へ向けて平行な光を照射するか、又はスポット照明を配置する。
また、光源1の明るさは、その反射状態を自動的に検出して調整するようにすることが望ましい。
本実施形態の好ましい一例によれば、上記光源1として図示せる如く、白色LEDなどの面照明を多数相互に接近して並列配置し、これら光源1の照射方向下流側に格子状の平行板1aを取り付けることで、被検体Bの表面B1へ向けて平行な光を照射するか、又はスポット照明を配置する。
また、光源1の明るさは、その反射状態を自動的に検出して調整するようにすることが望ましい。
上記被検体Bは、特開平8−220008号公報に開示されるように、微動台(図示せず)によって、検査する表面B1が上記集光レンズ2と対向するよう上向きにして保持され、この微動台を調整することにより、上記カメラ3に対し任意の水平及び垂直の位置に被検体Bの位置を設定してピント合わせができるようにしている。
そして、上記光源1から被検体Bの表面B1に対して、その周囲の異なる複数方向から検査光Xを斜めに照射し、夫々の検査光Xを該被検体Bの表面B1で上記集光レンズ2へ向けて反射させ、これら反射光Yを該レンズ2で集光してカメラ3により取り込み、各照射方向毎の映像信号を集めて検出アルゴリズムに基づき演算することにより、被検体Bに例えばひび割れやピンホールや研磨傷などの表面欠陥が有るか否かを自動的に判断すると共に、表面欠陥が有る場合にはその種類まで区分けするようにしている。
即ち、被検体Bの表面B1に対してその周囲の異なる複数方向から検査光Xを斜めに照射して反射させ、これら反射光Yの映像情報を集めて表面欠陥の有無を検出している。
以下、本発明の各実施例を図面に基づいて説明する。
以下、本発明の各実施例を図面に基づいて説明する。
この実施例1は、図1及び図2に示す如く、前記被検体Bの周囲に複数の光源1を配置すると共に、これら光源1と被検体Bの表面B1とを結ぶ各光路の途中に反射鏡4を夫々配置し、各光源1を予め設定された順序に従い順次点灯して平行に照射される検査光Xを、各反射鏡4で被検体Bの表面B1へ向け斜めにはね返すことにより、夫々順番に被検体Bの表面B1で反射させるようにしている。
図示例では、4個の光源1を周方向へ90度ずつ等間隔で配置し、それと同じ数で反射面が凸状の反射鏡4を配備することにより、これら光源1からの検査光Xを反射鏡4で反射して、被検体Bの表面B1へ向け夫々同じ角度で照射している。
また、その他の例として、光源1を5個以上配置したり、3個又は2個配置することも可能であり、反射鏡4も同様に数を増減したり、必要に応じて反射面が平面状や凹状の反射鏡4を使用することも可能である。
更に、上記光源1の照射順序としては、各光源1の1つずつを一方向へ順番に照射させる設定や、各光源1の一つおき、光源1が4個の場合には対向する2個の光源1を同時点灯させながら順番に照射させる設定や、隣り合う2個の光源1を同時点灯させながら順番に照射させる設定や、3個以上の光源1を同時点灯させながら順番に照射させる設定など、これら設定のうちどれか一つを行うか、或いは任意の設定を組み合わせて行う。
次に、斯かるウエハ外観検査装置Aの作用効果について説明する。
先ず、従来のウエハ外観検査装置は、被検体Bの表面B1に対して検査光Xの照射方向が一方向のみで更に照射角度も固定されるため、一方向の検査光Xだけでは表面欠陥に当たっても、それが微細なレベルであると、乱反射として検出されない恐れがある。
先ず、従来のウエハ外観検査装置は、被検体Bの表面B1に対して検査光Xの照射方向が一方向のみで更に照射角度も固定されるため、一方向の検査光Xだけでは表面欠陥に当たっても、それが微細なレベルであると、乱反射として検出されない恐れがある。
これに対し、本発明のウエハ外観検査装置Aは、被検体Bの周囲の異なる複数方向から平行な検査光Xを該被検体Bの表面B1へ向けて斜めに照射して反射させるため、一方向の検査光Xだけでは検出不能な表面欠陥が、別の照射方向によっては乱反射する可能性もあり、これら異なる照射方向の反射光Yの映像情報を集め、検出アルゴリズムにより演算して表面欠陥の有無を判断すれば、一方向だけの検出結果に比べて、表面欠陥の検出率を著しく向上できる。
更に本実施例の場合には、被検体Bの周囲に複数の光源1を配置し、これら光源1から検査光Xを予め設定された順序に従い順次照射して反射させたため、これら反射光Yの映像情報が連続して集められ、それに基づいて表面欠陥の有無が容易に判断可能となる。
その結果、瞬時に表面欠陥の有無の判断を行えるという利点がある。
その結果、瞬時に表面欠陥の有無の判断を行えるという利点がある。
この実施例2は、図3に示す如く、前記反射鏡4の位置を移動可能にして被検体Bの表面B1に向かう検査光Xの反射角度及び反射距離を変化させた構成が、前記図1及び図2に示した実施例1とは異なり、それ以外の構成は図1及び図2に示した実施例1と同じものである。
従って、図3に示す実施例2は、上述した実施例1の作動に加えて、被検体Bの表面B1に向かう検査光Xの反射角度及び反射距離を変化させることことにより、反射鏡4の位置が光源1に近い時には暗視野における乱反射光を観察でき、また反射鏡4の位置が光源1に遠く離れた時には明視野における正反射光を観察できて、これらの反射光Yの映像情報を集めて表面欠陥の有無を検出すれば、前記図1及び図2に示した実施例1よりも表面欠陥の検出率を更に向上できるという利点がある。
また、前記実施例1のように、被検体Bの表面B1に対してその周囲の異なる複数方向から検査光Xを照射して反射させなくても、被検体Bの表面B1に向かう検査光Xの反射角度及び反射距離を変化させるだけで、一方向で所定角度の検査光Xのみでは検出されなかった表面欠陥が、反射角度及び反射距離を変化したことで得られる反射光Yの映像情報のみを集めて表面欠陥の有無を自動的に判断しても、反射角度及び反射距離が一定の検出結果に比べて、表面欠陥の検出率が向上するという利点もある。
尚、前示実施例では、被検体Bの周囲に複数の光源1を配置して順次点灯させたが、これに限定されず、被検体Bの表面B1に対してその周囲の異なる複数方向から検査光Xを照射して反射させることが可能であれば、点灯中の光源1から照射される検査光Xを任意のタイミングで遮蔽する手段を設けるなど、他の構造であっても良い。
更に、光源1と被検体Bの表面B1とを結ぶ光路の途中に反射鏡4を配置したが、これに限定されず、図示せぬが反射鏡4なしで被検体Bの表面B1へ向け照射するように配置しても良い。
更に、光源1と被検体Bの表面B1とを結ぶ光路の途中に反射鏡4を配置したが、これに限定されず、図示せぬが反射鏡4なしで被検体Bの表面B1へ向け照射するように配置しても良い。
A ウエハ外観検査装置 B 被検体
B1 表面 X 検査光
Y 反射光 1 光源
1a 平行板 2 集光レンズ
3 カメラ 4 反射鏡
B1 表面 X 検査光
Y 反射光 1 光源
1a 平行板 2 集光レンズ
3 カメラ 4 反射鏡
Claims (3)
- 光源(1)から検査光(X)を被検体(B)の表面(B1)へ向け斜めに照射して反射させ、この反射光(Y)を映像化することで被検体(B)の表面欠陥を検出するウエハ外観検査装置において、
前記被検体(B)の表面(B1)に対してその周囲の異なる複数方向から検査光(X)を斜めに照射して反射させ、これら反射光(Y)の映像情報を集めて表面欠陥の有無を検出することを特徴とするウエハ外観検査装置。 - 前記被検体(B)の周囲に複数の光源(1)を配置し、これら光源(1)から検査光(X)を順次照射して反射させる請求項1記載のウエハ外観検査装置。
- 前記光源(1)と被検体(B)の表面(B1)とを結ぶ光路の途中に反射鏡(4)を配置し、この光源(1)から平行に照射される検査光(X)を該反射鏡(4)で被検体(B)の表面(B1)へ向け斜めにはね返す請求項1または2記載のウエハ外観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005313818A JP2007121120A (ja) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | ウエハ外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005313818A JP2007121120A (ja) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | ウエハ外観検査装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180105438A (ko) * | 2017-03-15 | 2018-09-28 | 주식회사 태루 | 의료용 주사바늘 검사장치 |
JP2019124640A (ja) * | 2018-01-18 | 2019-07-25 | 新電元工業株式会社 | 外観検査装置および外観検査方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57178135A (en) * | 1981-04-27 | 1982-11-02 | Toshiba Corp | Specular surface defect observing device |
JPS6269151A (ja) * | 1985-09-24 | 1987-03-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエハ異物検査装置 |
JPH06167460A (ja) * | 1992-05-29 | 1994-06-14 | Omron Corp | 検査装置 |
JPH08338713A (ja) * | 1995-06-13 | 1996-12-24 | Sony Corp | 画像処理装置用照明装置 |
JPH11242002A (ja) * | 1998-02-25 | 1999-09-07 | Lintec Corp | 観測装置 |
JP2005009995A (ja) * | 2003-06-18 | 2005-01-13 | Sharp Corp | 照明方法、表面状態検出方法および表面状態検出装置 |
JP2005214978A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | ウェーハを検査するための装置及び方法 |
-
2005
- 2005-10-28 JP JP2005313818A patent/JP2007121120A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57178135A (en) * | 1981-04-27 | 1982-11-02 | Toshiba Corp | Specular surface defect observing device |
JPS6269151A (ja) * | 1985-09-24 | 1987-03-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエハ異物検査装置 |
JPH06167460A (ja) * | 1992-05-29 | 1994-06-14 | Omron Corp | 検査装置 |
JPH08338713A (ja) * | 1995-06-13 | 1996-12-24 | Sony Corp | 画像処理装置用照明装置 |
JPH11242002A (ja) * | 1998-02-25 | 1999-09-07 | Lintec Corp | 観測装置 |
JP2005009995A (ja) * | 2003-06-18 | 2005-01-13 | Sharp Corp | 照明方法、表面状態検出方法および表面状態検出装置 |
JP2005214978A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | ウェーハを検査するための装置及び方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180105438A (ko) * | 2017-03-15 | 2018-09-28 | 주식회사 태루 | 의료용 주사바늘 검사장치 |
KR101961705B1 (ko) | 2017-03-15 | 2019-07-17 | 주식회사 태루 | 의료용 주사바늘 검사장치 |
JP2019124640A (ja) * | 2018-01-18 | 2019-07-25 | 新電元工業株式会社 | 外観検査装置および外観検査方法 |
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