JP2014085220A - 外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 大きいサイズの被検査物についても外観検査を行うことができ、且つ微小な外観欠陥についても十分に検出することができ、さらに透明な被検査物や黒色の被検査物についても容易に外観欠陥を検出することができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】 各々ほぼ1/4球状である一対のドーム片31から成るほぼ半球状のドームユニット3が被検査物Sの配置位置を覆っており、外側に均等配置された複数の光源41,42からの光が各ドーム片31で散乱又は拡散されて被検査物Sを均一に照明する。一対のドーム片31は、向かい合う端面が離間した状態で配置され、互いの端面はドーム片31の頂部から両側に伸びて下端に達し、頂部から両側の下端まで隙間30が形成され、間隙30を通してラインカメラ2が被検査物Sを撮像する。ラインカメラ2の一列の画素22が延びる方向は、平面視において直線状に延びる隙間30の方向に一致している。
【選択図】 図1
【解決手段】 各々ほぼ1/4球状である一対のドーム片31から成るほぼ半球状のドームユニット3が被検査物Sの配置位置を覆っており、外側に均等配置された複数の光源41,42からの光が各ドーム片31で散乱又は拡散されて被検査物Sを均一に照明する。一対のドーム片31は、向かい合う端面が離間した状態で配置され、互いの端面はドーム片31の頂部から両側に伸びて下端に達し、頂部から両側の下端まで隙間30が形成され、間隙30を通してラインカメラ2が被検査物Sを撮像する。ラインカメラ2の一列の画素22が延びる方向は、平面視において直線状に延びる隙間30の方向に一致している。
【選択図】 図1
Description
本願の発明は、物品の外観を検査する外観検査装置に関するものであり、物品の表面に傷、クラック又は凹凸などの欠陥が無いかどうか検査する装置に関するものである。
各種製品の製造現場において、出荷検査などの際に製品の外観を検査することが行われている。外観検査は、傷、クラック又は凹凸などの欠陥(以下、外観欠陥と総称する)が無いかどうか検査する工程である。外観検査は、作業者の目視による場合も多いが、熟練度によるばらつきが大きいこと、微小な外観欠陥については発見が難しいこと、作業者の目に対する負担が大きいこと、といった問題がある。このため、外観検査装置が用いられることも多い。
外観検査装置は、光学的な手法によるものが一般的であり、物品の外観を撮像手段で撮像し、得られた画像を処理して外観欠陥の有無を判断している。多くの場合、検査対象の物品(以下、被検査物と呼ぶ)をドーム状のカバー(以下、ドーム体と呼ぶ)で覆って内部を均一に照明し、照明された被検査物の表面の画像をカメラで撮影することで外観検査が行われる。
外観検査装置は、光学的な手法によるものが一般的であり、物品の外観を撮像手段で撮像し、得られた画像を処理して外観欠陥の有無を判断している。多くの場合、検査対象の物品(以下、被検査物と呼ぶ)をドーム状のカバー(以下、ドーム体と呼ぶ)で覆って内部を均一に照明し、照明された被検査物の表面の画像をカメラで撮影することで外観検査が行われる。
このような光学的な手法による外観検査は、明視野法と暗視野法に大別される。明視野法は、被検査物を様々な方向から均一に照明して外観欠陥を検出する方法である。照明により被検査物の表面は明るく照らし出されるが、傷やクラックなどがあった場合、その部分で照明のされ方が異常となるから、それを検出するようにする。
一方、暗視野法は、同様に被検査物を照明するものの、正常な場合には被検査物に反射してカメラに入射する光が実質的に無い状態で照明する方法である。カメラに入射する光が実質的にないので、カメラから被検査物を見ると、正常な場合、暗く見える。被検査物の表面に外観欠陥があると、その部分で光が異常反射し、その光がカメラに捉えられる。即ち、異常反射した光は、正常であれば反射しない方向に反射し、この光がカメラに捉えられる。このため、暗い画像の中に外観欠陥の部分が明るく光って見えることになり、外観欠陥を検出することができる。以下、このように外観欠陥によって異常反射した光を、不正常光線と呼ぶ。
一方、暗視野法は、同様に被検査物を照明するものの、正常な場合には被検査物に反射してカメラに入射する光が実質的に無い状態で照明する方法である。カメラに入射する光が実質的にないので、カメラから被検査物を見ると、正常な場合、暗く見える。被検査物の表面に外観欠陥があると、その部分で光が異常反射し、その光がカメラに捉えられる。即ち、異常反射した光は、正常であれば反射しない方向に反射し、この光がカメラに捉えられる。このため、暗い画像の中に外観欠陥の部分が明るく光って見えることになり、外観欠陥を検出することができる。以下、このように外観欠陥によって異常反射した光を、不正常光線と呼ぶ。
このうち、特許文献1には、明視野法の装置が開示されている。ここでは、ドーム体としてドーム状の減光板が用いられている。減光板内には、自動車のような被検査物が配置されており、減光板の外側には複数の光源が配置されている。減光板の内面には、カメラが幾つか取り付けられている。光源からの光は減光板を透過する際に減光されて均一に被検査物を照明し、照明された被検査物の表面が各カメラで撮像され、外観欠陥がないかどうか検査される。
また、特許文献2には、暗視野法の装置が開示されている。特許文献2では、ドーム体として積分球(厳密には半積分球)が使用されている。この装置は、積分球の中心位置に被検査物を配置する。そして、出射端がリング状に束ねられた光ファイバで光を導き、出射端から光を出射させ積分球の内面で反射させながら被検査物を照明する構造となっている。積分球の頂部には開口が設けられていてそこにカメラが填め込まれており、照明された被検査物の表面の映像が撮像されるようになっている。カメラは積分球の頂部に配置されているので、被検査物の表面が正常な状態であれば(正常な平坦面であれば)、表面に反射した光がカメラに向かうことはない。しかし、表面に傷などの外観欠陥があると、その部分で異常反射して光がカメラに向かう。この光がカメラで捉えられることで、その外観欠陥が検出される。
特許文献1のような明視野法による装置では、微小な外観欠陥が検出しにくいという課題がある。明視野法は、前述したように被検査物の表面を明るく照明した上で外観欠陥による不正常光線を捉えるものである。明るい画像の中に異常な光り方をする部分を見つけるものであるので、微小な欠陥については発見しづらい。
また、明視野法による場合、表面が鏡面加工された面や金属の表面である場合、特に外観検査が難しくなる。鏡面加工された面や金属の表面の場合、光源の像が表面に映り込んでしまい、光源による明暗と外観欠陥による明暗との見分けが難しくなる。
また、明視野法による場合、表面が鏡面加工された面や金属の表面である場合、特に外観検査が難しくなる。鏡面加工された面や金属の表面の場合、光源の像が表面に映り込んでしまい、光源による明暗と外観欠陥による明暗との見分けが難しくなる。
一方、特許文献2の装置では、暗視野法によるため、明視野法に比べると微小な欠陥の発見が容易である。バックグラウンドの視野が暗いため、微小な欠陥による小さな輝点や弱い輝点も発見し易いからである。しかしながら、暗視野法の装置では、透明な物体や黒色の物体については検査が特に難しくなるという問題がある。透明な物体や黒色(特につや消し)の物体では、反射が元々少ないので、外観欠陥があってもカメラに入射する不正常光線の量が少なく、このため外観欠陥の検出は難しい。特に暗視野法では、正常反射する場合には光がカメラに入射しない角度で被検査物を照明する。したがって、明視野法に比べると、被検査物を照明する光線の全体量が少ない。このため、透明な物体や黒色の物体については外観欠陥の検出が特に難しくなる。特許文献2の装置は、ドーム体の頂部に大きなカメラを取り付けており、この部分からは光が被検査物を照明しない。したがって、特許文献2の装置では、全体の光量が少ない問題はより深刻である。
さらに、特許文献2の装置には、小さい被検査物しか対象とすることができないという欠点がある。以下、この点について図16を使用して説明する。図16は、従来の暗視野法の装置の欠点について示した図である。このうち、図16(1)は、特許文献2の装置における光線の状態について示した正面概略図であり、図16(2)は、被検査物が置かれる面の照明状態を示した平面概略図である。
特許文献2の装置において、光源(光ファイバの出射端)400から出た光は、ドーム体300に反射し、被検査物S又はその載置面を照明する。このうち、図16(1)に示すように、カメラ200の直下の領域では被検査物S又は載置面に反射してカメラ200に入射し得る光は実質的に存在しない。その外側の領域で反射した光がカメラ200に入射し得るのみである。したがって、カメラ200から載置面を見ると、図16(2)に示すように、直下に円形の暗い領域A1があり、その周囲が円環状に明るく光っている領域A2がある(明るく光る領域がカメラ200の視野の範囲内である場合)。図16(2)において、カメラ200の視野の輪郭を線Bで示す。
特許文献2の装置において、光源(光ファイバの出射端)400から出た光は、ドーム体300に反射し、被検査物S又はその載置面を照明する。このうち、図16(1)に示すように、カメラ200の直下の領域では被検査物S又は載置面に反射してカメラ200に入射し得る光は実質的に存在しない。その外側の領域で反射した光がカメラ200に入射し得るのみである。したがって、カメラ200から載置面を見ると、図16(2)に示すように、直下に円形の暗い領域A1があり、その周囲が円環状に明るく光っている領域A2がある(明るく光る領域がカメラ200の視野の範囲内である場合)。図16(2)において、カメラ200の視野の輪郭を線Bで示す。
図16(2)において、中央の暗い領域A1内に被検査物Sが載置される限り、そしてその被検査物Sの表面が載置面と平行な平坦面である限り、表面に存在する傷などの欠陥を光の異常反射によって検出することができる。しかしながら、図16(2)に破線で示すように、被検査物Sが大きいもので、中央の暗い領域A1からはみ出してしまう場合、そのはみ出した部分では暗視野法による外観欠陥の検出はできない。即ち、特許文献2の装置では、小さい被検査物を対象とする場合に限られてしまう。
図17は、図16に示す特許文献2の装置の欠点を解消した構造として考えられる構造の一例を示した正面概略図である。図16に示した欠点を解消した構造として、図17に示すように、ドーム体300の頂部の開口を大きくし、外周部の低い領域でのみ光が反射する構造のドーム体300を使用することが考えられる。このようにすると、図16(2)に示す中央の暗い領域A1は大きく広がるので、より大きな被検査物Sについても暗視野法で外観検査を行うことができる。しかしながら、図17のような構造だと、被検査物Sに照射される光線の量がさらに低下するため、外観欠陥の発見がしづらくなる問題がさらに顕著になる。
また、図17のような構造だと、被検査物Sに対して小さな入射角で入射する光が実質的に無くなる。このため、比較的浅い傷について検出が難しくなるという欠点もある。即ち、図16(1)のように広い角度領域で被検査物Sを覆うドーム体の場合、図17中に破線で示すように小さな入射角θで被検査物Sに入射する光Lがあるため、浅い傷Dでも傷Dの斜面に反射した光Lがカメラ200の方向に向かう。しかし、図17のようにドーム体300の頂部開口を大きくしてしまうと、小さい入射角θで入射する光Lが無くなるため、浅い傷Dについては検出が難しくなる。
本願発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、大きいサイズの被検査物についても外観検査を行うことができ、且つ微小な外観欠陥についても十分に検出することができ、さらに透明な被検査物や黒色の被検査物についても容易に外観欠陥を検出することができる外観検査装置を提供する意義を有するものである。
上記課題を解決するため、本願の請求項1記載の発明は、被検査物に光を照射する照射機構と、ラインカメラとを備えており、
照射機構は、被検査物の配置位置を覆うドームユニットを備えており、ドームユニットは、内面の各点から光を出射させて被検査物の表面に照射するものであり、
ドームユニットは、一対のドーム片より成るものであって、各ドーム片は、向かい合う端面が離間した状態で配置されており、互いの向かい合う端面は、ドーム片の頂部から両側に伸びて下端に達していて、一対のドーム片によって頂部から両側の下端まで隙間が形成されており、この隙間は、平面視において直線状に延びており、
ラインカメラは、被検査物の配置位置から見て一対のドーム片の頂部の先方の位置であって、一対のドーム片が成す間隙を通して被検査物を見通せる位置に配置されており、ラインカメラの一列の画素が延びる方向は、前記平面視において直線状に延びる隙間の方向に一致しているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項2記載の発明は、前記請求項1の構成において、前記照射機構及び前記ラインカメラに対して前記被検査物を相対的に移動させる移動機構が設けられており、この移動機構は、前記被検査物の表面に沿った方向であって、前記平面視において直線状に延びる間隙の方向に垂直な方向に、前記被検査物を相対的に移動させる機構であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項3記載の発明は、前記請求項1又は2の構成において、前記照射機構及び前記ラインカメラに対して前記被検査物を相対的に回転させる回転機構が設けられており、この回転機構は、前記平面視において直線状に延びる間隙の方向に平行な軸の回りに前記被検査物を相対的に回転させる機構であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項4記載の発明は、前記請求項1、2又は3の構成において、前記ドーム片は、1/4球体状又はほぼ1/4球体状を成しており、前記ドームユニットは、ほぼ半球状を成して前記被検査物を覆うものであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項5記載の発明は、前記請求項1乃至4いずれかの構成において、前記間隙の幅が前記ラインカメラの各画素の幅以上となるよう前記一対のドーム片を保持する部材が設けられているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項6記載の発明は、前記請求項1乃至5いずれかの構成において、前記一対のドーム片は、光を透過しつつ内面から光を散乱又は拡散させる材質で形成されており、前記一対のドーム片の外側には、前記被検査物の配置位置に対して均等な位置に複数の光源が配置されているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項7記載の発明は、前記請求項6の構成において、前記複数の光源を内部に配置しつつ前記一対のドーム片を覆う遮光カバーが設けられており、遮光カバーにはスリットが形成されており、このスリットが延びる方向は、前記平面視において直線状に延びる間隙の方向に一致しており、
前記ラインカメラは、このスリット及び前記間隙を通して被検査物を見通せる位置に配置されているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項8記載の発明は、前記請求項1乃至7いずれかの構成において、前記ラインカメラは、多数の画素が一列のみ配置されたものであるか、又は多数の画素が複数列配置されていて各列の読み出し信号を平均して一列のみの画素の信号として出力するものであるという構成を有する。
照射機構は、被検査物の配置位置を覆うドームユニットを備えており、ドームユニットは、内面の各点から光を出射させて被検査物の表面に照射するものであり、
ドームユニットは、一対のドーム片より成るものであって、各ドーム片は、向かい合う端面が離間した状態で配置されており、互いの向かい合う端面は、ドーム片の頂部から両側に伸びて下端に達していて、一対のドーム片によって頂部から両側の下端まで隙間が形成されており、この隙間は、平面視において直線状に延びており、
ラインカメラは、被検査物の配置位置から見て一対のドーム片の頂部の先方の位置であって、一対のドーム片が成す間隙を通して被検査物を見通せる位置に配置されており、ラインカメラの一列の画素が延びる方向は、前記平面視において直線状に延びる隙間の方向に一致しているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項2記載の発明は、前記請求項1の構成において、前記照射機構及び前記ラインカメラに対して前記被検査物を相対的に移動させる移動機構が設けられており、この移動機構は、前記被検査物の表面に沿った方向であって、前記平面視において直線状に延びる間隙の方向に垂直な方向に、前記被検査物を相対的に移動させる機構であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項3記載の発明は、前記請求項1又は2の構成において、前記照射機構及び前記ラインカメラに対して前記被検査物を相対的に回転させる回転機構が設けられており、この回転機構は、前記平面視において直線状に延びる間隙の方向に平行な軸の回りに前記被検査物を相対的に回転させる機構であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項4記載の発明は、前記請求項1、2又は3の構成において、前記ドーム片は、1/4球体状又はほぼ1/4球体状を成しており、前記ドームユニットは、ほぼ半球状を成して前記被検査物を覆うものであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項5記載の発明は、前記請求項1乃至4いずれかの構成において、前記間隙の幅が前記ラインカメラの各画素の幅以上となるよう前記一対のドーム片を保持する部材が設けられているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項6記載の発明は、前記請求項1乃至5いずれかの構成において、前記一対のドーム片は、光を透過しつつ内面から光を散乱又は拡散させる材質で形成されており、前記一対のドーム片の外側には、前記被検査物の配置位置に対して均等な位置に複数の光源が配置されているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項7記載の発明は、前記請求項6の構成において、前記複数の光源を内部に配置しつつ前記一対のドーム片を覆う遮光カバーが設けられており、遮光カバーにはスリットが形成されており、このスリットが延びる方向は、前記平面視において直線状に延びる間隙の方向に一致しており、
前記ラインカメラは、このスリット及び前記間隙を通して被検査物を見通せる位置に配置されているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項8記載の発明は、前記請求項1乃至7いずれかの構成において、前記ラインカメラは、多数の画素が一列のみ配置されたものであるか、又は多数の画素が複数列配置されていて各列の読み出し信号を平均して一列のみの画素の信号として出力するものであるという構成を有する。
以下に説明する通り、本願の請求項1記載の発明によれば、一対のドーム片が成す間隙の方向に一致させてラインカメラが配置され、間隙を通して被検査物をラインカメラが撮像するので、被検査物の照明する光線の角度範囲をより広くでき、様々な外観欠陥について漏れなく検出ができる。また、照射光量をより多くすることができるので、透明な物体や黒色の物体についても容易に外観検査が行える。さらに、間隙は一対のドーム片の頂部から両端部まで延びているので、不正常光線のコントラストが低下して外観欠陥の検出がしにくくなる問題が避けられる。
また、請求項2記載の発明によれば、移動機構が設けられているので、被検査物のサイズに関係なく上記請求項1の効果を得ることができる。
また、請求項3記載の発明によれば、回転機構が設けられているので、表面が曲面である被検査物についても上記各効果を得ることができる。
また、請求項4記載の発明によれば、上記効果に加え、ドームユニットがほぼ半球状を成しているので、被検査物を効率良く照明することができ、また不正常光線のコントラストをより高くすることができる。このため、透明体や黒色体の被検査物を検査する場合や、微小な外観欠陥を検出する場合により有利である。
また、請求項5記載の発明によれば、上記効果に加え、間隙の幅がラインカメラの各画素の幅以上であるので、ラインカメラの各画素の視野が遮蔽されることで効率が低下する問題がない。
また、請求項6記載の発明によれば、上記効果に加え、撮像エリアをより均一に照明することができるので、照明不足の箇所が出来ることにより外観欠陥を見逃してしまうような問題が防止できる。
また、請求項7記載の発明によれば、上記効果に加え、遮光カバーが設けられているので、光源からの直射光がラインカメラに入射してしまうことが抑制される。このため、不正常光線のコントラストの低下がさらに抑制され、より微小な外観欠陥についても十分に検出することができる。
また、請求項8記載の発明によれば、上記効果に加え、ラインカメラの幅方向の視野が十分に狭くなるので、視野の周辺部で不正常光線のコントラストが低下してしまう問題が抑制され、被検査物の表面が曲面である場合も不正常光線のコントラストの低下の問題は生じない。このため、微小な外観欠陥の検出可能性向上の効果が著しい。
また、請求項2記載の発明によれば、移動機構が設けられているので、被検査物のサイズに関係なく上記請求項1の効果を得ることができる。
また、請求項3記載の発明によれば、回転機構が設けられているので、表面が曲面である被検査物についても上記各効果を得ることができる。
また、請求項4記載の発明によれば、上記効果に加え、ドームユニットがほぼ半球状を成しているので、被検査物を効率良く照明することができ、また不正常光線のコントラストをより高くすることができる。このため、透明体や黒色体の被検査物を検査する場合や、微小な外観欠陥を検出する場合により有利である。
また、請求項5記載の発明によれば、上記効果に加え、間隙の幅がラインカメラの各画素の幅以上であるので、ラインカメラの各画素の視野が遮蔽されることで効率が低下する問題がない。
また、請求項6記載の発明によれば、上記効果に加え、撮像エリアをより均一に照明することができるので、照明不足の箇所が出来ることにより外観欠陥を見逃してしまうような問題が防止できる。
また、請求項7記載の発明によれば、上記効果に加え、遮光カバーが設けられているので、光源からの直射光がラインカメラに入射してしまうことが抑制される。このため、不正常光線のコントラストの低下がさらに抑制され、より微小な外観欠陥についても十分に検出することができる。
また、請求項8記載の発明によれば、上記効果に加え、ラインカメラの幅方向の視野が十分に狭くなるので、視野の周辺部で不正常光線のコントラストが低下してしまう問題が抑制され、被検査物の表面が曲面である場合も不正常光線のコントラストの低下の問題は生じない。このため、微小な外観欠陥の検出可能性向上の効果が著しい。
次に、本願発明を実施するための形態(以下、実施形態)について説明する。
図1は、本願発明の第一の実施形態に係る外観検査装置の正面断面概略図、図2は図1に示す外観検査装置の斜視概略図である。図1及び図2に示すように、実施形態の外観検査装置は、照射機構1と、ラインカメラ2とを備えている。
照射機構1は、外観検査のために被検査物Sに光を照射する機構である。照射機構1は、被検査物Sの配置位置を覆うドームユニット3を備えている。ドームユニット3は、一対のドーム片31で形成されている。
図1は、本願発明の第一の実施形態に係る外観検査装置の正面断面概略図、図2は図1に示す外観検査装置の斜視概略図である。図1及び図2に示すように、実施形態の外観検査装置は、照射機構1と、ラインカメラ2とを備えている。
照射機構1は、外観検査のために被検査物Sに光を照射する機構である。照射機構1は、被検査物Sの配置位置を覆うドームユニット3を備えている。ドームユニット3は、一対のドーム片31で形成されている。
各ドーム片31は、本実施形態では、ほぼ1/4球体の形状となっている。各ドーム片31の形状について、図3を使用してより詳しく説明する。図3は、各ドーム片31の形状について示した斜視概略図である。
各ドーム片31は、図3に示すように、半球体Hについて頂部を含む一定の幅の領域を取り除くことで形成した形状を有する。より具体的に説明すると、一定の肉厚を有する半球体Hについて頂点を通る鉛直な面(以下、頂部鉛直面と呼ぶ)を観念する。そして、図3に示すように、頂部鉛直面と平行であって頂部鉛直面から距離dだけ左側に離間した鉛直面(以下、左鉛直面)P1を観念する。また、頂部鉛直面と平行であって頂部鉛直面から距離dだけ右側に離間した鉛直面(以下、右鉛直面)P2を観念する。半球体Hを左鉛直面P1及び右鉛直面P2で切断すると、半円環状の部材が取り出される。この部材を取り除いて得られた二つの部材が、本実施形態の一対のドーム片31の形状に相当している。一対のドーム片31は、2d分の間隙を形成しつつ端面が向かい合う状態となる。
各ドーム片31は、図3に示すように、半球体Hについて頂部を含む一定の幅の領域を取り除くことで形成した形状を有する。より具体的に説明すると、一定の肉厚を有する半球体Hについて頂点を通る鉛直な面(以下、頂部鉛直面と呼ぶ)を観念する。そして、図3に示すように、頂部鉛直面と平行であって頂部鉛直面から距離dだけ左側に離間した鉛直面(以下、左鉛直面)P1を観念する。また、頂部鉛直面と平行であって頂部鉛直面から距離dだけ右側に離間した鉛直面(以下、右鉛直面)P2を観念する。半球体Hを左鉛直面P1及び右鉛直面P2で切断すると、半円環状の部材が取り出される。この部材を取り除いて得られた二つの部材が、本実施形態の一対のドーム片31の形状に相当している。一対のドーム片31は、2d分の間隙を形成しつつ端面が向かい合う状態となる。
このような形状であるドーム片31は、全体として光拡散性を有する材料で形成されている。例えば、乳白色のアクリル樹脂で形成され、射出成型などの方法により図3に示す形状で製作されたものが使用される。
このような一対のドーム片31の保持について、図4を使用して説明する。図4は、一対のドーム片31の保持構造について示した斜視概略図である。一対のドーム片31は、フランジ32によって保持されている。図4に示すように、各ドーム片31は、下端部において外側に突出した鍔部311を有している。フランジ32は、各鍔部311の内縁が成す円弧とほぼ同径の円形の開口320を有している。
このような一対のドーム片31の保持について、図4を使用して説明する。図4は、一対のドーム片31の保持構造について示した斜視概略図である。一対のドーム片31は、フランジ32によって保持されている。図4に示すように、各ドーム片31は、下端部において外側に突出した鍔部311を有している。フランジ32は、各鍔部311の内縁が成す円弧とほぼ同径の円形の開口320を有している。
図4に示すように、開口320の縁に沿って段差が形成されている。一対のドーム片31は、鍔部311を開口320の縁の段差に載せた状態でフランジ32に保持されている。フランジ32は、一対のドーム片31を固定するクランプ等の不図示の固定具を備えている。固定具は、一対のドーム片31が所定の大きさの間隙を成した状態で一対のドーム片31をフランジ32に固定するものである。所定の間隙とは、図3に示す2d分の間隙である。2d分の間隙とすることで、一対のドーム片31は同心の状態で固定されたことになる。
照射機構1は、このような一対のドーム片31から成るドームユニット3を介して光を照射することで、様々な方向から均一に被検査物Sを照明するものとなっている。より具体的に説明すると、照射機構1は、ドームユニット3の外側に配置された複数の光源41,42を備えている。
本実施形態では、各光源41,42としてLEDが用いられている。例えば、(30)W程度の照明用の高輝度白色LEDが使用できる。本実施形態では、角型のLEDを光源41,42として使用しているが、丸型であっても良いことは勿論である。
複数の光源41,42は、保持板43によって保持されている。保持板43は一対のものであり、下端がフランジ32に固定されて上方に延びている。各保持板43は、図1及び図2に示すように途中で折れ曲がっており、ドームユニット3の斜め上に被さっている。各光源41,42は、ドームユニット3に向けて光を放出する姿勢でいずれかの保持板43に固定されている。本実施形態では、片側の(一つの)保持板43に四つの光源41,42が固定されており、合計で八つの光源41,42が使用されている。
本実施形態では、各光源41,42としてLEDが用いられている。例えば、(30)W程度の照明用の高輝度白色LEDが使用できる。本実施形態では、角型のLEDを光源41,42として使用しているが、丸型であっても良いことは勿論である。
複数の光源41,42は、保持板43によって保持されている。保持板43は一対のものであり、下端がフランジ32に固定されて上方に延びている。各保持板43は、図1及び図2に示すように途中で折れ曲がっており、ドームユニット3の斜め上に被さっている。各光源41,42は、ドームユニット3に向けて光を放出する姿勢でいずれかの保持板43に固定されている。本実施形態では、片側の(一つの)保持板43に四つの光源41,42が固定されており、合計で八つの光源41,42が使用されている。
図5は、複数の光源41,42の配置について示した平面概略図である。図1、図2及び図5に示すように、各ドーム片31の頂部とほぼ同じ高さの位置に六つの光源(以下、中腹部光源)41が固定されており、それより高い位置に二つの光源(以下、高所部光源)42が固定されている。図5に示すように、中腹部光源41は、ドームユニット3の中心軸Cに対して60度間隔で(即ち、均等間隔で)配置されている。高所部光源42は、ドームユニット3の中心軸Cに対して180度間隔で(即ち、均等間隔で)配置されている。尚、ドームユニット3の中心軸Cとは、ドームユニット3を成す一対のドーム片31の中心(球面の中心)を通る鉛直な仮想線を指す。
ラインカメラ2は、一対のドーム片31の頂部の上方に配置されている。図6は、ラインカメラの撮像部の概略図である。図6に拡大して示すように、ラインカメラ2は、一列のみの画素22から成る撮像部21を有するカメラである。例えば、一つの画素22が55μm角〜10μm角程度の大きさで、これが例えば8000個程度、一列に並べられた撮像部21を有するものがラインカメラ2として使用できる。このようなラインカメラ2としては、例えばダルサ社製のP3−80−08K40が使用できる。
図7は、ラインカメラによる撮像エリアについて示した斜視概略図である。この実施形態では、ラインカメラ2の撮像部21に比べて大きな被検査物Sを対象とすることを想定しており、図7に示すように、撮像エリアIは、撮像部21よりも大きくなっている。尚、ラインカメラ2は不図示のレンズを装着しており、撮像エリアIの像を縮小又は拡大しながら撮影することができるようになっている。
図7は、ラインカメラによる撮像エリアについて示した斜視概略図である。この実施形態では、ラインカメラ2の撮像部21に比べて大きな被検査物Sを対象とすることを想定しており、図7に示すように、撮像エリアIは、撮像部21よりも大きくなっている。尚、ラインカメラ2は不図示のレンズを装着しており、撮像エリアIの像を縮小又は拡大しながら撮影することができるようになっている。
このようなラインカメラ2は、ドームユニット3の構造との関係で配置が最適化されている。この点について、図8を使用して説明する。図8は、ドームユニット3の構造とラインカメラ2の配置について示した平面概略図である。図8に示すように、ラインカメラ2の撮像部21の長さ方向(画素22が一列に並んでいる方向)は、一対のドーム片31が成す間隙(以下、ドーム間隙と呼ぶ)30が平面視において延びる方向に沿ったものとなっている。撮像部21の中心は、ドームユニット3の中心軸Cに一致している。そして、撮像部21の長さ方向は、ドーム間隙30の方向に平面視において一致している。以下、平面視におけるこの方向を基準方向と呼ぶ。
このように配置されたドームユニット3とラインカメラ2の間には、図1及び図2に示すように、遮光カバー5が配置されている。遮光カバー5は、一対のドーム片31の外面からの直射光がラインカメラ2に入射するのを防止するものである。
図2に示すように、遮光カバー5は、直方体の箱状であり、開口を下方に向けた状態で配置されている。遮光カバー5の大きさはフランジ32より少し小さい程度であり、フランジ32の上面に固定されている。
遮光カバー5の上板部には、図2に示すようにスリット51が形成されている。スリット51は図2に示すように細長い長方形である。スリット51が延びる方向は、ドーム間隙30の方向に平面視において一致している。従って、スリット51の方向は、ラインカメラ2の画素22の配列方向に一致している。尚、スリット51の中心は、ドームユニット3の中心軸C上にある。
図2に示すように、遮光カバー5は、直方体の箱状であり、開口を下方に向けた状態で配置されている。遮光カバー5の大きさはフランジ32より少し小さい程度であり、フランジ32の上面に固定されている。
遮光カバー5の上板部には、図2に示すようにスリット51が形成されている。スリット51は図2に示すように細長い長方形である。スリット51が延びる方向は、ドーム間隙30の方向に平面視において一致している。従って、スリット51の方向は、ラインカメラ2の画素22の配列方向に一致している。尚、スリット51の中心は、ドームユニット3の中心軸C上にある。
図1に示すように、本実施形態の外観検査装置は、照射機構1による照射位置に対して所定位置で被検査物Sを保持する保持機構6を備えている。この保持機構6は、照射機構1及びラインカメラ2に対して被検査物Sを相対的に移動させる機構となっている。
具体的に説明すると、保持機構6は、被検査物Sが載置されるステージ61と、ステージを移動させる移動機構62とを備えている。ステージ61は、水平な姿勢で配置されており、フランジ32よりも少し大きい。移動機構62は、ステージ61を水平方向に直線移動させる機構である。この際の移動方向は、図8に示すように、基準方向に対して直交する方向である。従って、移動方向は、スリット51が延びる方向に直交し、ラインカメラ2の画素配列方向に直交している。
具体的に説明すると、保持機構6は、被検査物Sが載置されるステージ61と、ステージを移動させる移動機構62とを備えている。ステージ61は、水平な姿勢で配置されており、フランジ32よりも少し大きい。移動機構62は、ステージ61を水平方向に直線移動させる機構である。この際の移動方向は、図8に示すように、基準方向に対して直交する方向である。従って、移動方向は、スリット51が延びる方向に直交し、ラインカメラ2の画素配列方向に直交している。
移動機構62の詳細は図示が省略されているが、例えば、両側にリニアガイドを設け、中央にボールネジを設け、ボールネジをサーボモータで回転させて直線運動に変換する構成が採用できる。ステージ61の下面の両端部にリニアガイドに連結されるスライダを取り付け、下面中央にボールネジに螺合される被駆動部を取り付ける。
尚、図1に示すように、装置は、全体の動作を制御する制御部7を有している。制御部7は、ラインカメラ2や移動機構62などの各部の動作を最適に制御するものである。また、本実施形態の装置は、必要に応じ、画像データを処理するコンピュータや画像を表示するモニタなどに接続される。
尚、図1に示すように、装置は、全体の動作を制御する制御部7を有している。制御部7は、ラインカメラ2や移動機構62などの各部の動作を最適に制御するものである。また、本実施形態の装置は、必要に応じ、画像データを処理するコンピュータや画像を表示するモニタなどに接続される。
次に、上記構成に係る本実施形態の外観検査装置の動作について説明する。
本実施形態の装置により外観検査される被検査物Sは、表面が平坦で一様な反射をするものであることが好ましい。また、後述するように、本実施形態の装置では、従来検査が難しかった透明体についても好適に検査が可能である。このようなことから、被検査物Sとしては例えば平板状のガラスを対象とすることができ、携帯電話用のカバーガラスなどを被検査物Sとすることができる。
本実施形態の装置により外観検査される被検査物Sは、表面が平坦で一様な反射をするものであることが好ましい。また、後述するように、本実施形態の装置では、従来検査が難しかった透明体についても好適に検査が可能である。このようなことから、被検査物Sとしては例えば平板状のガラスを対象とすることができ、携帯電話用のカバーガラスなどを被検査物Sとすることができる。
このような被検査物Sが、ステージ61上の所定位置に載置される。制御部7は、各光源41,42を点灯させ、ドームユニット3を介して被検査物Sを照明する。各光源41,42からの光は、各ドーム片31を透過する際に散乱ないし拡散し、各ドーム片31の内面から様々な方向に出射する。この光は、被検査物Sの表面や被検査物Sで覆われていないステージ61の表面に照射され、これら表面で反射する。反射した光は、各ドーム片31の内面に達し、この光の一部は内面で再び散乱ないし拡散し、再び被検査物Sに照射される。
このように被検査物Sに光照射がされた際、被検査物Sの表面に外観欠陥が無い場合、光は平坦な表面に正常反射し、反射の法則に従った方向に進む。この際、図1に示すように、ドームユニット3は頂部から両端部に延びるドーム間隙30を有しているので、撮像エリアにおいては被検査物Sの表面に垂直又は垂直に近い角度で入射する光(入射角がゼロ又はゼロに近い光)は実質的に無い。このため、撮像エリアで反射する光についても反射角がゼロ又はゼロに近い光は実質的に無い。そして、ドーム間隙30の上方位置にラインカメラ2が配置されており、ドーム間隙30を通して撮像エリアを見込む状態になっているので、被検査物Sの表面が正常な平坦面であれば、ラインカメラ2に対して入射する反射光は実質的にない。このため、ラインカメラ2が撮像した画像は、暗い画像となる。
一方、撮像エリアに位置した被検査物Sの表面に傷などの外観欠陥があると、その部分で光が異常反射する。このため、反射光がラインカメラ2に向かって進む状態となり、この光がラインカメラ2で捉えられることになる。したがって、外観欠陥が存在する状態では、ラインカメラ2が捉えた画像は、欠陥が存在する所が明るく光った状態になり、その形状は欠陥の形状に応じたものとなる。
このように被検査物Sに光照射しつつ被検査物Sの表面をラインカメラ2で撮影する際、制御部7は、移動機構62に制御信号を送り、ステージ61を所定の速度で移動させる。このため、撮像エリアに被検査物の表面の各領域が順次位置して撮像が行われる。移動の方向は、前述したように基準方向に垂直な水平方向である。
移動機構62による移動の速度は、ラインカメラ2における信号の読み出し周期との関係で最適化される。この点について、図9を使用して説明する。図9は、被検査物Sの移動速度とラインカメラ2における信号の読み出し周期との関係について示した平面概略図である。
移動機構62による移動の速度は、ラインカメラ2における信号の読み出し周期との関係で最適化される。この点について、図9を使用して説明する。図9は、被検査物Sの移動速度とラインカメラ2における信号の読み出し周期との関係について示した平面概略図である。
本実施形態において、ラインカメラ2は、各画素(撮像素子)にCCDを使用したものとなっている。図9において、ラインカメラ2による撮像エリアIを実線で示す。ある時刻tにおいて、CCDより成るラインカメラ2の各画素に光線が入射し、電荷が蓄積されたとする。ラインカメラ2は、時刻tから電荷の読み出しを始め、所定の読み出し周期Tで1フレームの画像信号の読み出しを完了する。1フレームの画像信号とは、一列に並んだ多数の画素の出力信号から成る一つの画像の信号である。
この際、時刻tからTだけ経過した時刻t+Tの時点で、一つの撮像エリアIの分だけ被検査物Sの移動が進んでいれば、撮像の重なりも不足もなく、被検査物Sの表面の隣接する領域について連続して撮像ができたことになる。即ち、撮像エリアの幅をw、読み出し周期をTとすると、w/Tが移動速度Vになる(読み出しに同期させた移動の速度)。図9において、時刻tにおける被検査物Sを実線で示し、時刻t+Tにおける被検査物Sを破線で示す。例えば8000画素程度のラインカメラの読み出し周期は20〜30μ秒程度で、撮像エリアの幅がラインカメラ2の各画素の幅と同程度で10μm程度の場合、移動速度を毎秒0.3〜0.5m程度にしておけば、読み出しに同期させた被検査物Sの移動ということになる。
尚、移動速度VがV>w/Tの場合、1フレームの読み出しが完了する前に次の領域が撮像エリアに入ってきてしまうので、撮像の不足(撮像されない領域)が生じてしまう。一方、V<w/Tの場合、1フレームの読み出しが終了した後にタイムラグがあって次の領域が撮像エリアに達することになるので、部分的に重なって撮像されることになる。前者の場合には外観欠陥の検出ミスにつながるので好ましくはないが、後者の場合にはそのような問題はなく、許容できる。つまり、V≦w/Tとすることが好ましい。
このようにしてラインカメラ2で撮像された被検査物Sの画像は、不図示の出力部を介して出力され、適宜利用される。例えば、画像処理プログラムがインストールされたコンピュータに送られ、外観欠陥の検出に利用される。画像処理プログラムは、画像データに対し一定の基準値を適用し、基準値以上に明るい部分がないかどうか判断する。明るい部分があれば、外観欠陥が存在する場所であるので、その場所の情報を出力し、コンピュータの記憶部に記憶する。
外観欠陥が存在する場所の情報については、移動機構62による被検査物Sの移動情報が利用される。制御部7には、1フレームの撮像エリアの幅が記憶されており、この情報が画像データとともに出力される。画像処理プログラムは、外観欠陥が存在すると判断された画像が何フレームめであるか判断し、撮像エリアの幅とフレーム番号に従って移動方向における外観欠陥の位置(座標)を特定する。移動方向に垂直な方向(基準方向)の位置(座標)については、その外観欠陥が発見されたフレーム内の位置(列の何番目の画素であるか)から直接特定する。このように、本実施形態の外観検査装置の出力を利用すれば、外観欠陥の有無を判断し、存在する場合にはその位置を特定することができる。尚、外観検査装置からの出力をモニタに映し出し、オペレータ(人間)が目で監視する場合もあり得る。
上述した実施形態の装置によれば、暗視野法によるものであるため、微小な欠陥についても見逃すことなく検出できる。その上、図1から解るように、一対のドーム片31の内面は、ほぼ半球状を成しており、より広い角度範囲で被検査物Sを覆っている。このため、様々な深さや形状の傷や凹凸などの欠陥を見逃すことなく検出することができる。ほぼ半球状とは、ドーム間隙30がある点で完全な半球ではないという意味である。
図10は、実施形態の装置において、被検査物Sに入射することがない光の角度範囲について示した正面概略図である。図10に示すように、本実施形態では、ドーム間隙30の部分と、各ドーム片31の下端とステージ61との隙間(以下、下側間隙と呼ぶ)60の部分については、光が出てこない。したがって、この角度範囲の光は被検査物Sに入射しない。しかしながら、この角度範囲の入射光によって検出される欠陥は、垂直に近い角度の側面を有する傷であったり、水平に近い角度の斜面を有する非常の浅い凹部であったりするに過ぎず、これらの欠陥が検出できなくても実用上問題になることはない。
図10は、実施形態の装置において、被検査物Sに入射することがない光の角度範囲について示した正面概略図である。図10に示すように、本実施形態では、ドーム間隙30の部分と、各ドーム片31の下端とステージ61との隙間(以下、下側間隙と呼ぶ)60の部分については、光が出てこない。したがって、この角度範囲の光は被検査物Sに入射しない。しかしながら、この角度範囲の入射光によって検出される欠陥は、垂直に近い角度の側面を有する傷であったり、水平に近い角度の斜面を有する非常の浅い凹部であったりするに過ぎず、これらの欠陥が検出できなくても実用上問題になることはない。
とは言うものの、間隙は小さい方が好ましい。間隙が小さい方が、検出できなくなる外観欠陥がより少なくなるからである。下側間隙60は、移動機構62の精度(移動の直線性の限界)を考慮すると、0.5mm以上とすることが好ましいものの、5.0mm以上になると、外観欠陥の検出に影響が出てくる。したがって、下側間隙60は0.5mm以上、5.0mm以下とすることが好ましい。
一方、ドーム間隙30は、ラインカメラ2の画素の幅によって規定される。通常は、ドーム間隙30は、ラインカメラ2の画素の幅よりも少し大きい程度とされる。ドーム間隙30は、ラインカメラ2の画素の幅よりも小さいと、各ドーム片31が各画素を遮蔽する状態になる。この状態でも外観検査は可能であるが、撮像可能な領域のうちの一部を使っていないことになり、無駄に信号の読み出しを行っていることになる(効率の低下)。また、一般的なラインカメラは、画素の幅方向には殆ど視野は広がらない。したがって、ドーム間隙30をラインカメラ2の画素の幅よりも少し大きい程度としておけば、視野を遮らずに十分に狭いものとすることができる。また、ラインカメラ2の画素の幅にドーム間隙30の幅を一致させても良く、この場合でも外観検査に支障はない。つまり、ドーム間隙30は、画素の幅以上としておけば良い。一例を示すと、一般的なラインカメラ2の各画素の幅は5μm〜10μm程度なので、ドーム間隙30は10μm以上とすることが好ましい。また、ドーム間隙30が大きくなると、前述したように外観欠陥の検出に影響が出てくるので、ドーム間隙30は1mm以下とすることが好ましい。
ドーム間隙30を狭くすることは、上述したように、被検査物Sに対して様々な角度で光を入射させ、形状や深さの点で様々に異なる外観欠陥をすべて検出できるようにする意義がある。この際、ラインカメラ2ではなく、エリアカメラを使用することも可能である。エリアカメラとは、多数の画素が縦横に配列されたカメラである。
エリアカメラを使用した場合でも、ドーム間隙30を通して被検査物Sを撮像することになるので、撮像領域は細長い領域となる。この場合、エリアカメラの縦横に並んだ多数の画素から所定の周期で信号が読み出されるものの、被検査物Sの表面状態を示している信号は、中央の細長い領域の画素のみとなる。つまり、1フレームの画像信号のうち、ごく僅かしか検査には利用していない。このため、効率が悪くなり、無駄に信号の読み出しを行っていることになる。ラインカメラによる場合、1フレームの信号読み出し周期がエリアカメラに比べて非常に短く、上記読み出しに同期させた移動の速度も非常に高速にできる(高スループット性)。また、エリアカメラはラインカメラに比べて一般的に解像度が低い。つまり、ラインカメラ2を使用する本実施形態の装置は、無駄な信号の読み出しが無くて高速・高効率であり、高分解能の撮像によって微小な外観欠陥の検出が可能になるという長所がある。
エリアカメラを使用した場合でも、ドーム間隙30を通して被検査物Sを撮像することになるので、撮像領域は細長い領域となる。この場合、エリアカメラの縦横に並んだ多数の画素から所定の周期で信号が読み出されるものの、被検査物Sの表面状態を示している信号は、中央の細長い領域の画素のみとなる。つまり、1フレームの画像信号のうち、ごく僅かしか検査には利用していない。このため、効率が悪くなり、無駄に信号の読み出しを行っていることになる。ラインカメラによる場合、1フレームの信号読み出し周期がエリアカメラに比べて非常に短く、上記読み出しに同期させた移動の速度も非常に高速にできる(高スループット性)。また、エリアカメラはラインカメラに比べて一般的に解像度が低い。つまり、ラインカメラ2を使用する本実施形態の装置は、無駄な信号の読み出しが無くて高速・高効率であり、高分解能の撮像によって微小な外観欠陥の検出が可能になるという長所がある。
尚、ラインカメラ2の各画素の配列の方向は、ドーム間隙30が延びる平面視方向に一致している必要があるが、この一致は、外観検査に支障が無い範囲の一致ということであり、幾何学的に完全な一致のみを意味する訳ではない。支障が無い範囲の一例について、図11を使用して説明する。図11は、ラインカメラ2の各画素の配列方向とドーム間隙30の方向との一致について示した平面概略図である。
前述したように、ラインカメラ2は、ドーム間隙30を通して被検査物Sを撮影する。したがって、図11に示すように、ラインカメラ2の各画素の配列方向がドーム間隙30の方向に対して多少斜めになっていても、平面視でドーム間隙30の間に収まっていれば、撮像は可能であり、外観検査に支障はない。また、ラインカメラ2の一部の画素がドーム間隙30をはみ出した状態であっても、そのはみ出した部分で効率は低下するものの、外観欠陥の検出は可能である。したがって、このような状態であっても「一致」と言い得る。はみ出した部分が例えば全体の3割(より好ましくは2割)を超えるようであれば、効率の低下は無視し得なくなるので、「一致」とは言えないとすることができる。
前述したように、ラインカメラ2は、ドーム間隙30を通して被検査物Sを撮影する。したがって、図11に示すように、ラインカメラ2の各画素の配列方向がドーム間隙30の方向に対して多少斜めになっていても、平面視でドーム間隙30の間に収まっていれば、撮像は可能であり、外観検査に支障はない。また、ラインカメラ2の一部の画素がドーム間隙30をはみ出した状態であっても、そのはみ出した部分で効率は低下するものの、外観欠陥の検出は可能である。したがって、このような状態であっても「一致」と言い得る。はみ出した部分が例えば全体の3割(より好ましくは2割)を超えるようであれば、効率の低下は無視し得なくなるので、「一致」とは言えないとすることができる。
また、上述したようにラインカメラ2が被検査物Sを撮像する際、遮光カバー5は、ドームユニット3の外面からの光がラインカメラ2に直接入射するのを防止している。各光源41,42が動作した際、各ドーム片31に達した光は、各ドーム片31を透過して内面から散乱又は拡散しながら出射する他、各ドーム片31の外面で散乱又は拡散したり、各ドーム片31の内部で散乱又は拡散したりする。これらの光は、各ドーム片31の外面から様々な方向に出射するが、遮光カバー5が無いと、一部がラインカメラ2に入射してしまうことがあり得る。これが生じると、外観欠陥を捉えた被検査物Sからの光に、各ドーム片31からの直射光が混ざる状態となり、外観欠陥の検出がしにくくなってしまう。即ち、暗いバックグラウンド画像の中に外観欠陥を示す明るい部分が確認される筈が、バックグラウンド画像が明るくなってしまうため、外観欠陥の部分のコントラストが低下してしまい、検出がしにくくなる。遮光カバー5は、このような直射光のラインカメラ2への入射を抑制するものであり、外観欠陥の部分のコントラスト低下を防止することで外観欠陥の検出をより容易にしたり、微小な外観欠陥についても確実に検出したりすることができるようにする意義を有している。
直射光の入射を抑制する観点では、遮光カバー5のスリット51はなるべく狭いものとすることが好ましい。但し、スリット51をあまり狭くしてしまうと、ドーム間隙30を通過してきた光(外観欠陥を捉えた光)まで遮蔽することになってしまうので、注意を要する。ラインカメラ2の視野の広がりが幅方向では殆ど無いとすると、ドーム間隙30と同様、スリット51は、ラインカメラ2の画素の幅と同じかそれより少し大きい幅としておけば良い。
上述した実施形態の装置において、図3に示すドームユニット3の構造は、ラインカメラ2の撮像エリアの照度を高くすることで外観欠陥の検出をより容易にする意義を有している。以下、この点について図12を使用して説明する。図12は、図3に示すドームユニット3の構造の意義について示した正面概略図である。
ドームユニット3の構造としては、各ドーム片31を1/4球体(完全な1/4球体)とすることが考えられる。この例が図12(2)に示されている。一対の1/4球体を、図12(2)に示すように、ドーム間隙30を形成しながら向かい合わせて配置する。このようにしても本願発明の実施は可能であるが、図3に示す構造と比較すると、撮像エリアをより高い照度で照明するという点では、図3に示す構造に劣る。
ドームユニット3の構造としては、各ドーム片31を1/4球体(完全な1/4球体)とすることが考えられる。この例が図12(2)に示されている。一対の1/4球体を、図12(2)に示すように、ドーム間隙30を形成しながら向かい合わせて配置する。このようにしても本願発明の実施は可能であるが、図3に示す構造と比較すると、撮像エリアをより高い照度で照明するという点では、図3に示す構造に劣る。
図12(1)には、図3に示すドームユニット3による撮像エリアの照明状態が概略的に示されている。本実施形態において、撮像エリアは、前述したように、ラインカメラ2の各画素がドーム間隙30を通して見込む非常に狭い領域である。撮像エリアは、中心軸C上にある。以下、撮像エリアにおける中心軸C上の点を、撮像中心と呼ぶ。
この場合、図12(1)に示すように、半球体について頂部から両端部にかけて一定幅の領域を取り除いたような構造のドームユニット3であると、各ドーム片31の内面は、半球面に沿ったままとなる。この場合、光源から放射された光Lが一方のドーム片31中で散乱又は拡散しながら透過し、内面の一点から撮像中心に向けて出射したとする。この光Lが撮像中心に達し、撮像中心で正常反射すると、この光Lは他方の側のドーム片31の内面に達する。この光の一部はドーム片31の内面で反射して戻ってくるが、この光Lは、ドーム片31の内面が撮像中心を中心とする球面の一部であるため、撮像中心に再び達することになる。つまり、本実施形態のドームユニット3は、撮像中心を照射する光が相対的に多くなる構造となっている。各ドーム片31の内面は幾何学的に完全な球面という訳ではなく、また各ドーム片31の配置も、内面の中心が撮像中心に完全に一致するという訳ではないから、撮像中心を含むある程度の領域(即ち、撮像エリア)に光が入射し易い構造であると言うことができる。
この場合、図12(1)に示すように、半球体について頂部から両端部にかけて一定幅の領域を取り除いたような構造のドームユニット3であると、各ドーム片31の内面は、半球面に沿ったままとなる。この場合、光源から放射された光Lが一方のドーム片31中で散乱又は拡散しながら透過し、内面の一点から撮像中心に向けて出射したとする。この光Lが撮像中心に達し、撮像中心で正常反射すると、この光Lは他方の側のドーム片31の内面に達する。この光の一部はドーム片31の内面で反射して戻ってくるが、この光Lは、ドーム片31の内面が撮像中心を中心とする球面の一部であるため、撮像中心に再び達することになる。つまり、本実施形態のドームユニット3は、撮像中心を照射する光が相対的に多くなる構造となっている。各ドーム片31の内面は幾何学的に完全な球面という訳ではなく、また各ドーム片31の配置も、内面の中心が撮像中心に完全に一致するという訳ではないから、撮像中心を含むある程度の領域(即ち、撮像エリア)に光が入射し易い構造であると言うことができる。
一方、図12(2)に示すような構造であると、一方のドーム片31の内面から出てたまたま撮像中心に達した光Lが撮像中心で正常反射して他方のドーム片31の内面に達した場合、他方のドーム片31の内面は撮像中心に対して同心ではないため、撮像中心に戻ってくることはない。つまり、図12(2)の構造に比べると、撮像エリアに光が集まりにくくなっていると言える。図12(1)の構造の場合、撮像エリアに照射される光線の量が多いため、外観欠陥が存在してそこで異常反射する光線の量も多くなる。したがって、外観欠陥の検出がより容易になる。
尚、前述したように。本実施形態では複数の光源41,42がドームユニット3の外側に均等に配置されている。このため、被検査物Sがより均一に照明され、部分的に照明不足になるような箇所がない。部分的に照明不足の箇所があると、その箇所に被検査物Sの外観欠陥がたまたま位置していた場合、見逃されてしまうことがあり得るが、本実施形態ではそのような問題はない。
以上の外観検査装置の説明において、被検査物Sは表面が平坦なものであることを前提にした。本願発明の外観検査装置は、このような被検査物以外の物についても対象とすることができ、そのために最適化された構成を採用することもできる。以下、この点について説明する。
図13は、本願発明の第二の実施形態の外観検査装置の正面概略図である。第二の実施形態の装置は、照射機構1については第一の実施形態と同様である。第二の実施形態の装置では、移動機構62は設けられておらず、その代わりに回転機構が設けられている。
図13は、本願発明の第二の実施形態の外観検査装置の正面概略図である。第二の実施形態の装置は、照射機構1については第一の実施形態と同様である。第二の実施形態の装置では、移動機構62は設けられておらず、その代わりに回転機構が設けられている。
回転機構は、被検査物Sを基準方向と平行な回転軸の回りに回転させる機構である。本実施形態では、回転機構としてロボット63が用いられている。ロボット63は、各種工作機械などで用いられているものと同様のもので、多関節アームを備え、アームの先端のハンド631において被検査物Sを保持するものである。尚、この実施形態ではステージ61は設けられていない。
ロボット63は、ドームユニット3に対して所定位置に被検査物Sを配置し、その位置で被検査物Sを回転させるようティーチングされている。所定位置とは、ドームユニット3の中心軸C上の位置であり、例えば一対のドーム片31の下端が属する水平面と中心軸Cが交わる位置である。ロボット63は、この位置に被検査物Sにおいて外観検査すべき箇所の表面を位置させる。
ロボット63は、ドームユニット3に対して所定位置に被検査物Sを配置し、その位置で被検査物Sを回転させるようティーチングされている。所定位置とは、ドームユニット3の中心軸C上の位置であり、例えば一対のドーム片31の下端が属する水平面と中心軸Cが交わる位置である。ロボット63は、この位置に被検査物Sにおいて外観検査すべき箇所の表面を位置させる。
この実施形態では、被検査物Sとしては、例えば車のバンパーのように、表面が曲面となっている物が想定されている。照射機構1が動作している状態で、ロボット63は被検査物Sを保持し、所定位置で回転させる。被検査物Sの表面には、各ドーム片31からの光が照射され、ラインカメラ2が被検査物Sの表面を撮像する。ラインカメラ2の各画素には、回転する被検査物Sの表面からの光が入射し得る状態となる。このため、表面に外観欠陥が存在して光が異常反射すると、その光が捉えられ、外観欠陥が検出されることになる。
第二の実施形態においても、ドーム間隙30が狭いものである点は、一対のドーム片31の角度範囲を可能な限り広くして様々外観欠陥について漏れなく検出できるようにする意義があり、ドーム間隙30の方向に撮像部21が沿っているラインカメラ2を使用することは、効率や解像度の点で優れた撮像を可能にする意義がある。この第二の実施形態では、狭いドーム間隙30を通して狭い視野で撮像を行うことは、さらに別の意義も有する。以下、この点について、図14を使用して説明する。図14は、図13に示す第二の実施形態の装置において視野を狭くすることの意義について示した正面概略図である。
図14(1)に示すように、ドーム間隙30を広くし、視野の広いエリアカメラを使用しても外観検査は可能である。しかしながら、表面が曲面である被検査物Sに対して広い視野で撮像を行ってしまうと、図14(1)に示すように、正常反射した光線Lがエリアカメラ200に入射してしまうことになり、不正常光線のコントラストが低下する。一方、図14(2)に示すように、ラインカメラ2を用いて視野を狭くし、狭い撮像エリアで撮影するようにすると、その狭い撮像エリアの幅内では、被検査物Sの表面は平坦面とみなすことができる。正常反射した光線がラインカメラ2に入射することがないので、不正常光線のコントラストが低下することはなく、外観欠陥を容易に検出することができる。
この第二の実施形態において、ロボット63による被検査物Sの回転速度は、水平移動の場合と同様、画像信号の読み出し同期との関係で最適化される。即ち、1フレームの画像信号の読み出しが終わった際、そのタイミングで当該1フレーム分の撮像エリアの幅分だけ回転が進んでいる状態とする。このようにすれば、被検査物Sの表面について過不足なく連続して撮像を行って外観欠陥の検出を行うことができる。重複部分ができて良いのであれば、読み出し周期よりも遅い速度で回転させても良い。
また、本願発明の実施において、被検査物Sについて水平移動と回転移動とを組み合わせた移動を行わせる機構が採用されることもある。例えば円筒状のような表面が単純な曲面である被検査物Sの場合には回転だけで足りる場合もあるが、曲面の部分があったり平坦面の部分があったりする複雑な表面形状の被検査物Sの場合、被検査物Sを回転させたり水平移動させたりしながら照射機構1により光照射して外観検査する構成が採用される。このような機構としては、例えばロボット63であれば、アームを水平に移動させながらある箇所でアームを止めてハンドを回転させるといった動きをティーチングすることで達成できる。別の構成として、水平移動する架台上に回転機構を搭載し、被検査物Sに対し水平移動と回転とを組み合わせた動きをするよう各機構を制御しても良い。
いずれにしても、被検査物Sの表面が平坦面であると見なせる程度に狭い撮像エリアを設定して撮像を行い、その撮像エリアに被検査物Sの表面が順次位置するように被検査物Sの移動ないし回転を行うようにすることで、色々な表面形状の被検査物Sについて容易に外観検査が行えることになる。
いずれにしても、被検査物Sの表面が平坦面であると見なせる程度に狭い撮像エリアを設定して撮像を行い、その撮像エリアに被検査物Sの表面が順次位置するように被検査物Sの移動ないし回転を行うようにすることで、色々な表面形状の被検査物Sについて容易に外観検査が行えることになる。
また、上記各実施形態の装置において、ドーム間隙30は、一対のドーム片31の頂部から下端部まで延びている。つまり、ドームユニット3は、離間して配置された一対のドーム片31によって形成されている。この点も、撮像エリアにおいて不正常光線のコントラストを高くし、外観欠陥の検出をより容易にする意義を有している。以下、この点について図15を参照して説明する。図15は、各実施形態の装置におけるドーム間隙30の形状の意義を説明するための比較例を示した側面断面概略図であり、図1とは90度異なる方向での断面概略図である。
図15に示すように、この比較例では、ドーム間隙30は頂部から両側に延びてはいるものの、下端までは達していない。このような構造であっても、ドーム間隙30を通してラインカメラ2は撮像エリアを見通すことができるので、被検査物Sの表面の外観欠陥の検出は可能である。
しかしながら、ドーム間隙30が途中の高さで途切れた箇所から下の部位(以下、裾部という)33は、他の部位と同様に内面から光が出射する部位である。したがって、この裾部33から出た光Lが、図15(1)に示すように、被検査物Sの表面(又はステージ6の表面)に正常反射してラインカメラ2に向かう場合が出てくる。ラインカメラ2の基準方向の視野の大きさにもよるが、この光Lが視野内であれば、ラインカメラ2によって捉えられることになる。この結果、不正常光線を捉えた際のコントラストが低下し、外観欠陥の検出がしにくくなる。
しかしながら、ドーム間隙30が途中の高さで途切れた箇所から下の部位(以下、裾部という)33は、他の部位と同様に内面から光が出射する部位である。したがって、この裾部33から出た光Lが、図15(1)に示すように、被検査物Sの表面(又はステージ6の表面)に正常反射してラインカメラ2に向かう場合が出てくる。ラインカメラ2の基準方向の視野の大きさにもよるが、この光Lが視野内であれば、ラインカメラ2によって捉えられることになる。この結果、不正常光線を捉えた際のコントラストが低下し、外観欠陥の検出がしにくくなる。
図15(1)は被検査物Sの表面が平坦面である場合を想定しているが、この問題は、被検査物Sの表面が曲面である場合、より顕在化し易い。即ち、図15(2)に示すように、被検査物Sの表面が曲面であると、ドーム間隙30をより長くしても、裾部33から出た光Lが曲面に反射し、ラインカメラ2に向かって進む場合が出てくる。
一方、前述した各実施形態のように、ドーム間隙30が下端まで達していると、図15(1)(2)に示すような裾部33は存在しないので、不正常光線のコントラストが低下することはなく、撮像エリアの各点において外観欠陥を容易に検出することができる。
上記各実施形態の装置において、光源41,42としてはLEDが用いられたが、LED以外の光源(蛍光灯やフィラメントランプ等)を用いても良い。また、特許文献2のように、ドームユニット3を半積分球の構成とし、被検査物の側から光を導入するようにしても良い。このように被検査物側から光を導入する場合、一対のドーム片31は散乱性又は拡散性の材質で形成されたものではなく、遮光性であって内面が散乱面又は拡散面になっている構造のものであっても良い。内面が反射面である一対のドーム片31を使用して半積分球とし、被検査物側から光を導入してステージや被検査物を介した多重反射によって均一な照明を行うようにすることも可能である。但し、各実施形態のように外側に複数の光源41,42を均等配置して各ドーム片での光透過・散乱(拡散)作用を利用して照明する方が、より強力で均一な照明が行える。
一方、前述した各実施形態のように、ドーム間隙30が下端まで達していると、図15(1)(2)に示すような裾部33は存在しないので、不正常光線のコントラストが低下することはなく、撮像エリアの各点において外観欠陥を容易に検出することができる。
上記各実施形態の装置において、光源41,42としてはLEDが用いられたが、LED以外の光源(蛍光灯やフィラメントランプ等)を用いても良い。また、特許文献2のように、ドームユニット3を半積分球の構成とし、被検査物の側から光を導入するようにしても良い。このように被検査物側から光を導入する場合、一対のドーム片31は散乱性又は拡散性の材質で形成されたものではなく、遮光性であって内面が散乱面又は拡散面になっている構造のものであっても良い。内面が反射面である一対のドーム片31を使用して半積分球とし、被検査物側から光を導入してステージや被検査物を介した多重反射によって均一な照明を行うようにすることも可能である。但し、各実施形態のように外側に複数の光源41,42を均等配置して各ドーム片での光透過・散乱(拡散)作用を利用して照明する方が、より強力で均一な照明が行える。
また、一対のドーム片31として導光性と拡散性を備えたものを採用し、端面から光を導入する構造とすることも可能である。即ち、一対のドーム片31の外面を反射面とし、内面を拡散面とし、下端面から光を導入する構造であっても良い。もしくは、面状の光源装置を採用し、前述した実施形態のようにほぼ1/4球面状又は1/4球面状の光出射面としても良い。これらの構造の場合、ドーム間隙30を形成する一対のドーム片31の端面は、遮光面(光が出射しない面)とすることが好ましい。ラインカメラ2への直射光の入射を防止するためである。
上述した各実施形態では、ドームユニット3は、一対のドーム片31がほぼ半球状を成す構造のものであったが、他の構造のものも採用し得る。例えば、回転楕円面を半分にした形状のドームであっても良いし、断面が半円又は半楕円であって一方向に長い形状(いわゆる樋状)のドームを形成していても良い。但し、ドームユニットがほぼ半球状を成す構造の方が、中央に配置された被検査物Sに対して光が集まり易く、効率良く照明することができるし、不正常光線のコントラストを高くする効果の点でも優れている。このため、透明体や黒色体の被検査物を検査する場合や、微小な外観欠陥を検出する場合には有利である。
上述したように、各実施形態の装置はラインカメラ2を備えているが、ラインカメラ2は、ラインセンサカメラの名称で販売されている場合もある。また、ラインカメラ2と言った場合、通常はレンズを備えていて被検査物Sを拡大ないし縮小しながら撮像することが可能になっているが、本願発明において被検査物Sを拡大ないし縮小しながら撮像することは必ずしも必須の要素ではなく、レンズを備えていないものもラインカメラの概念に含まれる。
ラインカメラ2がレンズを備えている場合、前述したように縮小しながら撮像を行う場合の他、拡大しながら撮像を行う場合もある。即ち、被検査物S自体が小さい場合に拡大して外観検査を行ったり、被検査物Sの特定の部位を拡大して検査を行ったりする場合もある。
ラインカメラ2がレンズを備えている場合、前述したように縮小しながら撮像を行う場合の他、拡大しながら撮像を行う場合もある。即ち、被検査物S自体が小さい場合に拡大して外観検査を行ったり、被検査物Sの特定の部位を拡大して検査を行ったりする場合もある。
また、各実施形態では、ラインカメラ2は、多数の画素が一列のみに配列されたものであったが、複数列の画素配列を有するラインカメラ2も市販されており、それが使用されることもある。このようなラインカメラ2は、各列の出力信号を列間で平均化して出力し、あくまでも一列分のみの画素データを出力信号とするものが多いが、そのようなものをラインカメラ2として使用することもできる。尚、ラインカメラ2としては、画素にCCDを採用したものの他、CMOSを画素としたものであっても良い。また、カラー画像を撮像するラインカメラも市販されており、色の観点での外観欠陥を検出する際など、カラーのラインカメラが使用されることもある。尚、カラーのラインカメラが使用される場合、各色(RGB)毎に画素が配列されるため、当然ながら撮像部は複数列の画素を有するものということになる。
尚、外観欠陥といった場合、欠陥が表面に存在する場合の他、内部に存在する場合もあり得る。例えば透明な物体の場合、内部に気泡のような欠陥が生じ得る場合があり、それを検出する場合にも、各実施形態の装置を使用することができる。
上述した第一の実施形態では、照射機構1及びラインカメラ2の位置は固定であり、被検査物Sが移動機構62により移動したが、移動は相対的であれば足りるので、被検査物Sの位置が固定され、照射機構1及びラインカメラ2が一体に移動しても良いことは勿論である。また、相対性は第二の実施形態における回転機構についても同様であり、被検査物Sの姿勢が固定され、照射機構1及びラインカメラ2が一体に回転しても良い。
上述した第一の実施形態では、照射機構1及びラインカメラ2の位置は固定であり、被検査物Sが移動機構62により移動したが、移動は相対的であれば足りるので、被検査物Sの位置が固定され、照射機構1及びラインカメラ2が一体に移動しても良いことは勿論である。また、相対性は第二の実施形態における回転機構についても同様であり、被検査物Sの姿勢が固定され、照射機構1及びラインカメラ2が一体に回転しても良い。
また、上記各実施形態では、ドームユニット3は被検査物Sを上側で覆うものであり、ラインカメラ2はその上方に位置したが、これは必ずしも必須要件ではない。被検査物Sの表面が鉛直な状態とされ、被検査物Sをその側方においてドームユニット3が覆う場合もある。この場合、ラインカメラ2は、一対のドーム片31の頂部の側方に位置することになる。いずれの場合も、ラインカメラ2は、被検査物Sの配置位置から見た際、一対のドーム片21の頂部のその先(先方)に位置しているということができる。
1 照射機構
2 ラインカメラ
21 撮像部
22 画素
3 ドームユニット
30 ドーム間隙
31 ドーム片
41 光源
42 光源
5 遮光カバー
51 スリット
6 保持機構
61 ステージ
62 移動機構
63 ロボット
7 制御部
S 被検査物
I 撮像エリア
2 ラインカメラ
21 撮像部
22 画素
3 ドームユニット
30 ドーム間隙
31 ドーム片
41 光源
42 光源
5 遮光カバー
51 スリット
6 保持機構
61 ステージ
62 移動機構
63 ロボット
7 制御部
S 被検査物
I 撮像エリア
Claims (8)
- 被検査物に光を照射する照射機構と、ラインカメラとを備えており、
照射機構は、被検査物の配置位置を覆うドームユニットを備えており、ドームユニットは、内面の各点から光を出射させて被検査物の表面に照射するものであり、
ドームユニットは、一対のドーム片より成るものであって、各ドーム片は、向かい合う端面が離間した状態で配置されており、互いの向かい合う端面は、ドーム片の頂部から両側に伸びて下端に達していて、一対のドーム片によって頂部から両側の下端まで隙間が形成されており、この隙間は、平面視において直線状に延びており、
ラインカメラは、被検査物の配置位置から見て一対のドーム片の頂部の先方の位置であって、一対のドーム片が成す間隙を通して被検査物を見通せる位置に配置されており、ラインカメラの一列の画素が延びる方向は、前記平面視において直線状に延びる隙間の方向に一致していることを特徴とする外観検査装置。 - 前記照射機構及び前記ラインカメラに対して前記被検査物を相対的に移動させる移動機構が設けられており、この移動機構は、前記被検査物の表面に沿った方向であって、前記平面視において直線状に延びる間隙の方向に垂直な方向に、前記被検査物を相対的に移動させる機構であることを特徴とする請求項1記載の外観検査装置。
- 前記照射機構及び前記ラインカメラに対して前記被検査物を相対的に回転させる回転機構が設けられており、この回転機構は、前記平面視において直線状に延びる間隙の方向に平行な軸の回りに前記被検査物を相対的に回転させる機構であることを特徴とする請求項1又は2記載の外観検査装置。
- 前記ドーム片は、1/4球体状又はほぼ1/4球体状を成しており、前記ドームユニットは、ほぼ半球状を成して前記被検査物を覆うものであることを特徴とする請求項1、2又は3記載の外観検査装置。
- 前記間隙の幅が前記ラインカメラの各画素の幅以上となるよう前記一対のドーム片を保持する部材が設けられていることを特徴とする請求項1乃至4いずれかに記載の外観検査装置。
- 前記一対のドーム片は、光を透過しつつ内面から光を散乱又は拡散させる材質で形成されており、前記一対のドーム片の外側には、前記被検査物の配置位置に対して均等な位置に複数の光源が配置されていることを特徴とする請求項1乃至5いずれかに記載の外観検査装置。
- 前記複数の光源を内部に配置しつつ前記一対のドーム片を覆う遮光カバーが設けられており、遮光カバーにはスリットが形成されており、このスリットが延びる方向は、前記平面視において直線状に延びる間隙の方向に一致しており、
前記ラインカメラは、このスリット及び前記間隙を通して被検査物を見通せる位置に配置されていることを特徴とする請求項6に記載の外観検査装置。 - 前記ラインカメラは、多数の画素が一列のみ配置されたものであるか、又は多数の画素が複数列配置されていて各列の読み出し信号を平均して一列のみの画素の信号として出力するものであることを特徴とする請求項1乃至7いずれかに記載の外観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=50788407
Family Applications (1)
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CN109297986A (zh) * | 2018-11-05 | 2019-02-01 | 西安工业大学 | 激光陀螺高反射镜表面疵病参数表征装置和检测方法 |
CN112198162A (zh) * | 2019-07-08 | 2021-01-08 | 西进商事株式会社 | 外观检查装置 |
JP2021047047A (ja) * | 2019-09-17 | 2021-03-25 | 株式会社Screenホールディングス | 撮像装置、画像取得方法および検査装置 |
WO2024042933A1 (ja) * | 2022-08-24 | 2024-02-29 | 株式会社サキコーポレーション | 検査装置 |
-
2012
- 2012-10-23 JP JP2012234224A patent/JP2014085220A/ja active Pending
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CN109297986B (zh) * | 2018-11-05 | 2023-02-24 | 西安工业大学 | 激光陀螺高反射镜表面疵病参数表征装置和检测方法 |
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