JP6949538B2 - 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び、バルーンカテーテルの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び、バルーンカテーテルの製造方法に関する。

光学系を用いて、欠陥の有無の検査対象である被検査物を検査する欠陥検査装置が知られている。

特許文献１の光学部材検査装置では、光軸に沿って、光源に近い側から順に、拡散板と、照明側偏光フィルタと、カメラ側偏光フィルタと、撮像装置とが互いに離間して配置されている。拡散板は、光軸に直交する線であるナイフエッジによって、黒色塗料で着色された遮光領域と、透光領域とに分けられている。レンズである被検査物は、光軸と同軸となるように、照明側偏光フィルタと、カメラ側偏光フィルタとの間に配置される。

被検査物の検査を行う際、拡散板、照明側偏光フィルタ、およびカメラ側偏光フィルタを、それらの相互の回転位相差が一定となるように一定角度（例えば２２．５度）づつ回転させる。照明側偏光フィルタの直線偏光方向と、カメラ側偏光フィルタの直線偏光方向とは互いに平行となる回転位相差とする。

そして、両偏光フィルタに挟まれた被検査物に複屈折の異常が生じている場合、その部分を透過する光の光量が低下するため、撮像装置にて撮像された画像上において、当該複屈折率が生じている部分は暗くなる。特許文献１によると、これにより、被検査物の異常を検査できるとされている。

特開平９−２２２３８２号公報 特開２００２‐３６５２２１号公報

被検査物には、凹凸の程度が比較的大きい欠陥、または、凹凸の程度は比較的大きくないものの、製造過程において異物が析出してしまったような欠陥など、さまざまな種類の欠陥が含まれる。このため、それぞれの欠陥の種類に適した光を被検査物に出射しないと、欠陥を精度よく検出できない場合がある。

本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、被検査物に含まれるさまざまな種類の欠陥の検出が容易な欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び、バルーンカテーテルの製造方法を提供することである。

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る欠陥検査装置は、光を透過する被検査物に含まれる欠陥を検査する欠陥検査装置であって、第１偏光発光領域および面発光領域を有する光源部と、上記第１偏光発光領域からの出射された第１方向へ偏光された光を第２方向へ偏光する第２偏光部とを備え、上記光源部と第２偏光部との間に上記被検査物を挿入するための空間が設けられていることを特徴とする。

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る欠陥検査方法は、光を透過する被検査物に含まれる欠陥を検査する欠陥検査方法であって、光源部における第１偏光発光領域から第１方向へ偏光された光を出射し、上記光源部における面発光領域から偏光されていない光を出射する出射ステップと、上記光源部との間に上記被検査物を挿入するための空間を設けて配置された第２偏光部を用いて、上記出射ステップにて出射された光のうち第１方向へ偏光された光を第２方向へ偏光する第２偏光ステップとを含むことを特徴とする。

本発明の一態様によれば、被検査物に含まれるさまざまな種類の欠陥の検出が容易であるという効果を奏する。

本発明の実施形態１に係る欠陥検査装置の構成を表す斜視図である。 本発明の実施形態１に係る欠陥検査装置の構成を表す側面図である。 本発明の実施形態２に係る欠陥検査装置の構成を表す斜視図である。 本発明の実施形態２に係る欠陥検査装置の構成を表す側面図である。 本発明の実施形態２に係る欠陥検査装置の光源部の構成の一例を表す斜視図である。 本発明の実施形態３に係る欠陥検査装置の構成を表す斜視図である。 本発明の実施形態３に係る欠陥検査装置の構成を表す側面図である。 本発明の実施形態４に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。 本発明の実施形態５に係る欠陥検査装置の構成を表す斜視図である。 本発明の実施形態６に係る欠陥検査装置の構成を表す斜視図である。 本発明の実施形態７に係る欠陥検査装置の構成を表す斜視図である。 本発明の実施形態７における変形例に係る欠陥検査装置の構成を表す斜視図である。 本発明の実施形態８に係る欠陥検査装置の構成を表す斜視図である。 上記実施形態３の欠陥検査装置における光源部から出射した光が被検査物を透過し撮像部に入射している様子を表す図である。 上記実施形態３の欠陥検査装置の撮像部で被検査物を撮影した様子を表す図であり、（ａ）は上記撮像部で上記被検査物における各光学領域と重なる領域を撮影した撮影画像を表す図であり、（ｂ）は（ａ）に示す撮影画像のうち第１偏光発光領域と重なる領域を拡大した図であり、（ｃ）は（ａ）に示す撮影画像のうち非発光領域と重なる領域を拡大した図であり、（ｄ）は（ａ）に示す撮影画像のうち面発光領域と重なる領域を拡大した図である。 本発明の実施形態５の変形例１に係る欠陥検査装置の構成を表す斜視図である。 本発明の実施形態５の変形例２に係る欠陥検査装置の構成を表す側面図である。

〔実施形態１〕
本発明の一態様に係る実施形態１について、図１および図２を用いて説明する。

（欠陥検査装置１の構成）
図１は、本発明の実施形態１に係る欠陥検査装置１の構成を表す斜視図である。図２は、本発明の実施形態１に係る欠陥検査装置１の構成を表す側面図である。

欠陥検査装置１は、光源部３と、第２偏光部４と、撮像部４０とがこの順に並んで配置された構成を有する。欠陥検査装置１にて検査をする際、検査対象である被検査物２は、光源部３と、第２偏光部４との間に配置される。光源部３から出射した光Ａは、被検査物２を透過して撮像部４０に入射する。これにより、欠陥検査装置１は、光源部３が出射した光Ａを透過する被検査物２に含まれる欠陥の検査が可能である。

光源部３の光Ａの出射面に平行な平面をＸＹ軸平面と称し、光源部３の光Ａの出射面（ＸＹ軸平面）に対する法線に平行な軸（軸方向）をＺ軸（Ｚ軸方向）と称する。また、ＸＹ軸平面に含まれ互いに直交し、さらにＺ軸に対しても直交する軸（軸方向）をそれぞれ、Ｘ軸（Ｘ軸方向）およびＹ軸（Ｙ軸方向）と称する。光源部３の光軸はＺ軸と平行である。

被検査物２は、透明又は半透明の物体である。被検査物２は板状であってもよいし、凹凸を含む立体的な形状を有する物体であってもよい。本実施形態においては、一例として被検査物２は、曲面を有する立体的形状（円筒形状）であるバルーンカテーテルであるものとして説明する。

バルーンカテーテルは、熱を加えつつ樹脂から構成される筒状部材を膨らませることでバルーンを作製する。このため、バルーンカテーテルの作製時に、様々な種類の欠陥が発生する場合がある。このバルーンカテーテルの作製時に検出すべき代表的な欠陥として、ヒシ（菱）状の凹凸、ゲル状異物等などを挙げることができる。

ヒシ（菱）状の凹凸は、バルーンを作製する工程において、当該バルーンに形成される、バルーンの中心に核を持つ深い欠陥であり、比較的凹凸が大きい欠陥である。

ゲル状異物による欠陥は、バルーンを作製する工程において、ゲル状の異物が析出した欠陥であり、比較的、ヒシ状の凹凸よりも小さく、色付いている。

ヒシ状の凹凸およびゲル状異物は、異なる種類の欠陥であり、同じ種類の光を出射すると発見しにくい欠陥である。しかし、バルーンカテーテルのうち、ヒシ状の凹凸またはゲル状異物が形成されている部分は構造が脆弱である。このため、ヒシ状の凹凸またはゲル状異物は、欠陥検査工程において検出すべき欠陥である。バルーンカテーテルは、種々の大きさのものが使用されているが、一例として、バルーンの外径は１ｍｍ〜３０ｍｍ程度である。

光源部３は、第１偏光発光領域７と、面発光領域５とを備えている。光源部３から出射された光Ａは、第１偏光発光領域７から出射された光Ａ７と、面発光領域５から出射された光Ａ５とを含む。

第１偏光発光領域７が出射する光Ａ７の偏光は、直線偏光であってもよいし、円偏光であってもよいし、楕円偏光であってもよい。本実施形態では、第１偏光発光領域７は光Ａ７として、Ｙ軸に平行な直線偏光を出射するものとする。第１偏光発光領域７は偏光された光Ａ７を出射することができる構成であればよい。例えば、第１偏光発光領域７は、面光源の出射面に偏光板を貼り合せることで構成することができる。

面発光領域５は、面光源である。面発光領域５は、偏光されていない面状の光Ａ５を出射する。

第１偏光発光領域７と面発光領域５とは横並びに配置されている。第１偏光発光領域７と面発光領域５とは一体として構成されていてもよいし、別々の光源を並べた構成であってもよい。第１偏光発光領域７と面発光領域５とは、接していてもよいし、離れていてもよい。

第１偏光発光領域７と面発光領域５と一体として構成する場合は、例えば、面光源の出射面の一部に偏光板を貼り合せることで、この偏光板を貼り合せた領域を第１偏光発光領域７として構成し、残りの領域を面発光領域５として構成することができる。

また、第１偏光発光領域７と面発光領域５とを別々の光源から構成する場合は、面発光領域５とは異なる面光源の出射面に偏光板を貼り合せることで第１偏光発光領域７を構成し、別途用意した面光源を面発光領域５とすることができる。

このように光源部３は、複数の種類が異なる光学領域を有する。すなわち、光源部３は、偏光された光Ａ７を出射する光学領域である第１偏光発光領域７と、偏光されていない光Ａ５を出射する光学領域である面発光領域５とを有する。

第２偏光部４と、光源部３とは互いに平行であってもよく、一方が他方に対し傾斜するように配置されていてもよい。第２偏光部４と、光源部３とが互いに平行である場合には、光量のロスを少なくすることができる。

本実施形態においては、第２偏光部４は、光源部３の出射面に対する法線方向から見た場合、光源部３のうち、第１偏光発光領域７と重なり、面発光領域５とは重ならないように配置されている。

第２偏光部４は、少なくとも第１偏光発光領域７の一部と重なっていればよい。第２偏光部４は、第１偏光発光領域７から出射した偏光を含む光Ａ７が、被検査物２および第２偏光部４を透過して、撮像部４０または検査者の視野などに入射するように構成されていればよい。 異なる実施形態においては、第２偏光部４は、第１偏光発光領域７の全部、面発光領域５の一部または全部と重なっていてもよい。

第２偏光部４は、第１偏光発光領域７と一対となる偏光板である。光源部３と、第２偏光部４とは、間に被検査物２が配置できる程度に空間を設けて離間している。第１偏光発光領域７と、第２偏光部４とは、それぞれ、透過光を直線方向に偏光（直線偏光）する構成であってもよいし、円方向に偏光（円偏光）する構成であってもよいし、楕円方向に偏光（楕円偏光）する構成であってもよい。本実施形態では、第２偏光部４は偏光軸がＸ軸に平行となっている。すなわち、第１偏光発光領域７と、第２偏光部４とは、偏光軸が直交する、いわゆるクロスニコルの関係になるように、互いに平行に配置されている。なお、第１偏光発光領域７と第２偏光部４との配置は、クロスニコルの関係に限定されるものではなく、第１偏光発光領域７の偏光軸と、第２偏光部４の偏光軸とが平行となるように配置されていてもよい。

撮像部４０は、レンズ部４１とカメラ部４２とを備えている。撮像部４０は、第２偏光部４に対して、光源部３とは逆側、すなわち、第２偏光部４の上方に配置されている。撮像部４０は、レンズ部４１の受光面を光源部３側に向けて配置されている。カメラ部４２は、レンズ部４１を通過した光を電気信号に変換する撮像素子を含んでいる。さらに、カメラ部４２は、撮像素子から出力される電気信号から撮影画像を画像生成部、当該画像生成部が生成した撮影画像に欠陥が含まれているか否かを判定する欠陥判定部とを含む。なお、画像生成部、欠陥判定部等は、カメラ部４２の外部に設けてもよい。カメラ部４２は、エリアカメラとラインカメラとの何れであってもよい。

撮像部４０は、被検査物２がセットされると、光源部３から出射して被検査物２を透過した光Ａを撮像する電子機器である。そして、撮像部４０は、画像処理により、撮像した画像に、欠陥が含まれているか否かの判定を行う。これにより、作業者が目視で被検査物２の欠陥の有無を検査する場合と比べて、容易に欠陥の有無や種類の判別の自動化を行うことができる。

なお、欠陥検査装置１は、撮像部４０を省略した構成とし、被検査物２の欠陥の有無を作業者が目視確認する構成であってもよい。実施形態２以降に示す各欠陥検査装置においても同様である。

（欠陥検査装置１による作用効果）
このように、欠陥検査装置１は、第１偏光発光領域７および面発光領域５を有する光源部３と、第１偏光発光領域７から出射されたＹ軸方向（第１方向）へ偏光された光Ａ７をＸ軸方向（第２方向）へ偏光する第２偏光部４とを備える。そして、光源部３と第２偏光部４との間に被検査物２を挿入するための空間が設けられている。

このように、欠陥検査装置１は、光源部３における第１偏光発光領域７からＹ軸方向（第１方向）へ偏光された光Ａ７を出射し、光源部３における面発光領域５から偏光されていない光Ａ５を出射する出射ステップと、光源部３との間に被検査物２を挿入するための空間を設けて配置された第２偏光部４を用いて、上記出射ステップにて出射された光ＡのうちＹ軸方向（第１方向）へ偏光された光Ａ７をＸ軸方向（第２方向）へ偏光する第２偏光ステップとを含む。

この欠陥検査装置１によると、被検査物２に含まれる欠陥を検査する際、作業者、または、ロボットにより、光源部３と第２偏光部４との間の空間に被検査物２が配置される。

そして、光源部３のうち、第１偏光発光領域７から出射されたＹ軸方向（第１方向）へ偏光された光は、被検査物２を透過し、さらに第２偏光部４を透過することでＸ軸方向（第２方向）へ偏光される。

ここで、被検査物２に欠陥が含まれていると、被検査物２のうち、当該欠陥箇所は、他の箇所と比べて、透過した光の光量が異なったり、偏光状態が異なったりする。このため、光源部３の第１偏光発光領域７から出射され、被検査物２、及び、第２偏光部４を透過した光の光量及び偏光状態を確認することで、被検査物２に含まれる欠陥を検査することができる。

さらに、光源部３は、第１偏光発光領域７とは別に、面発光領域５を有する。面発光領域５から出射された光Ａ５は、第１偏光発光領域から出射された光Ａ７とは異なり、Ｘ軸方向へ偏光する偏光板等を透過せず、直接被検査物２を透過する。これにより、光源部３が第１偏光発光領域７のみから構成されている場合と比べて、被検査物２に対して十分な輝度の光を透過させることができる。これにより、被検査物２に含まれる欠陥を鮮明に確認することができる。このため、被検査物２に含まれる欠陥の検出漏れを低減させることができる。

また、被検査物２に含まれる欠陥は、凹凸の程度が比較的大きいヒシ状の凹凸が形成された欠陥、および、凹凸の程度は比較的大きくはないものの色付いて見えるゲル状異物に起因する欠陥など、さまざまな種類の欠陥が含まれる。

そこで、欠陥検査装置１においては、光源部３は、第１偏光発光領域７から出射され、被検査物２および第２偏光部４を透過した偏光を含む光Ａ７と、面発光領域５から出射され被検査物２を透過した偏光を含まない光Ａ５との異なる種類の光を出射する。

これにより、被検査物２に含まれるさまざまな種類の欠陥を効率よく検出することができる。

例えば、被検査物２のうち、偏光を含む光Ａ７が透過した領域は、凹凸の程度を把握しやすくなるため、ヒシ状の凹凸などの欠陥を見つけやすい。また、被検査物２のうち、偏光を含まない光Ａ５が透過した領域は、比較的輝度が高く欠陥の色を把握しやすいため、ゲル状異物に起因する欠陥などを見つけやすい。

また、本実施形態では、第２偏光部４は、光源部３の第１偏光発光領域７および面発光領域５のうち、第１偏光発光領域７のみと重なっている。このため、面発光領域５から出射し被検査物２を透過した光Ａ５はほぼ第２偏光部４を透過せず、撮像部４０に入射する。このため、光Ａ５の輝度が低下せず、より鮮明に欠陥を確認することができる。これにより、被検査物２に含まれる欠陥の検出漏れを低減させることができる。

また、第１偏光発光領域７の偏光軸と、第２偏光部４の偏光軸との互いの角度を変更することで、被検査物２に含まれる確認できなかった欠陥が、確認できるようになる場合がある。

例えば、第１偏光発光領域７の偏光方向（第１方向）と、第２偏光部４の偏光方向（第２方向）とが成す角は、０度以上９０度以下となるように、第１偏光発光領域７と、第２偏光部４との相対位置が変更されてもよい。

このように、第１方向と上記第２方向とが成す角を種々の方向へ変更することで、被検査物２において種々の位置に含まれる欠陥を検査することができる。

なお、第１偏光発光領域７と、第２偏光部４との相対位置の変更は、作業者が行ってもよいし、欠陥検査装置１に、第１偏光発光領域７と、第２偏光部４とを、互いの相対位置を変更可能に支持する偏光部支持部を設けてもよい。

また、第２偏光部４は、欠陥検査装置１にセットされた被検査物２の全てと重なる（覆う）のではなく、一部領域とだけ重なっている（覆っている）。第２偏光部４は、少なくとも被検査物２のうち検査したい領域にだけ重なるように配置されていればよい。これによると、第２偏光部４が小型化されることで、作業者が操作しやすい欠陥検査装置１を得ることができる。

〔実施形態２〕
本発明の一態様に係る実施形態２について、図３〜図５に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図３は、本発明の実施形態２に係る欠陥検査装置１Ａの構成を表す斜視図である。図４は、本発明の実施形態２に係る欠陥検査装置１Ａの構成を表す側面図である。図５は、本発明の実施形態２に係る欠陥検査装置１Ａの光源部３Ａの構成の一例を表す斜視図である。

欠陥検査装置１Ａは、欠陥検査装置１（図１、図２参照）の光源部３に換えて、光源部３Ａを備えている点で、欠陥検査装置１と異なる。欠陥検査装置１Ａの他の構成は欠陥検査装置１と同様である。

光源部３Ａは、光源部３に、発光しない非発光領域６を加えた構成である。すなわち、光源部３Ａは、第１偏光発光領域７と、非発光領域６と、面発光領域５とを有している。

第１偏光発光領域７と、非発光領域６と、面発光領域５とは横並びに配置されている。この第１偏光発光領域７、非発光領域６および面発光領域５の並び順は特に問わない。本実施形態では、非発光領域６が、第１偏光発光領域７と面発光領域５との間に配置されている。非発光領域６は、光源部３において発光しない領域として構成されていればよい。例えば、非発光領域６は、光源部３の光の出射面に黒色のフィルムを貼り付けることで構成してもよいし、第１偏光発光領域７や面発光領域５の一部の通電を遮断することで構成してもよいし、第１偏光発光領域７と、面発光領域５とを離間させて空間を設けることで構成してもよい。非発光領域６は、高さ方向において、光源部３の光の出射面と同じ位置に設けられてもよく、光源部３の光の出射面と被検査物２の間の位置に設けられてもよい。

光源部３Ａは、一例として図５に示す構成としてもよい。

図５に示すように、光源部３Ａは、第１偏光発光領域７と、面発光領域５と、非発光領域６に共通する面光源部９を有する。

第１偏光発光領域７は、面光源部９の一部領域である第１領域９ａと、第１領域９ａの出射面に配置された偏光板７ａとを有する。面発光領域５は、面光源部９のうち、第１領域９ａとは異なる他の一部領域であり、第１領域９ａから離間した領域（第２領域）である。非発光領域６は、面光源部９のうち、第１領域９ａと面発光領域５と間の領域である第３領域９ｂと、第３領域９ｂの出射面に配置された遮光フィルム６ａとを有する。

このような構成によって、光源部３Ａを構成することができる。なお、偏光板７ａおよび遮光フィルム６ａは、面光源部９から離間していてもよいし、面光源部９の出射面と接触していてもよい。

図３および図４に示すように、第１偏光発光領域７から出射した偏光を含む光Ａ７が、被検査物２および第２偏光部４を透過して、撮像部４０に入射する。また、面発光領域５は、被検査物２を透過して、撮像部４０に入射する。

非発光領域６からは光が発光されない。非発光領域６の上方においては、広がりをもつ光Ａ７および光Ａ５の一部が混ざることで間接光となり、当該間接光が被検査物２を透過し、撮像部４０に入射する。このように、被検査物２のうち、非発光領域６と重なる領域は、第１偏光発光領域７と重なる領域および面発光領域５と重なる領域とは、また違った光学状態の光が透過することになる。すなわち、光源部３Ａのうち、非発光領域６は、第１偏光発光領域７および面発光領域５とは異なる種類の光を、被検査物２を透過させるための光学領域であると表現することもできる。

このため、被検査物２のうち、非発光領域６と重なる領域は、第１偏光発光領域７と重なる領域および面発光領域５と重なる領域とは、違う種類の欠陥を検出しやすくなる。これにより、被検査物２に含まれるさまざまな種類の欠陥を、さらに効率よく検出することができる。

例えば、被検査物２に、被検査物２が擦れた時などについた、ヒシ状の凹凸よりも長さが長い傷が存在すると、この傷を間接光が透過すると、当該傷の部分は、他の領域よりも光る。そこで、被検査物２のうち、非発光領域６と重なる領域は、傷など、比較的長さが長く、ヒシ状の凹凸等よりは凹凸が小さい欠陥を検出するための領域とすることが好ましい。

また、本実施の形態では、非発光領域６は、第１偏光発光領域７と面発光領域５との間に配置されている。これにより、第１偏光発光領域７から出射した光Ａ７の一部と、面発光領域５から出射した光Ａ５の一部とが混ざり、間接光となって、被検査物２のうち非発光領域６と重なる領域を透過する。

ここで、面光源部９における他の領域（第１偏光発光領域７および面発光領域５）は「明視野」（背景が明るい）となるため、被検査物２における微細な欠陥は、被検査物２を透過した光によって見えなくなってしまう。

一方、非発光領域６は、「暗視野」（背景が暗く欠陥が輝点に見える）となるため、被検査物２における微細な傷を浮き上がらせることができる。このため、非発光領域６を設けることで、特に、被検査物２に含まれる欠陥のうち傷による欠陥を鮮明に確認することができる。

なお、遮光フィルム６ａが被検査物２に近いと間接光は弱くなり、逆に遠いと間接光は強くなる。この間接光が強すぎると、被検査物２における、目的外の細かい凹凸まで見えるようになってしまう。このため、検査する欠陥の凹凸の程度およびサイズに応じて、第３領域９ｂと、遮光フィルム６ａと、被検査物２とのそれぞれ間の距離を調整することが好ましい。

また、上記間接光は、光Ａ７および光Ａ５の一部が混ざることで構成されてもよいし、非発光領域６の両側に第１偏光発光領域７または面発光領域５が配置されることで、光Ａ７または光Ａ５の単光から構成されてもよい。

さらに、非発光領域６の上方において、上記間接光が被検査物２を透過してもよく、被検査物２を透過する光が存在しなくてもよく、光Ａ７および光Ａ５の一部が被検査物２を透過してもよい。

〔実施形態３〕
本発明の一態様に係る実施形態３について、図６、図７に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１、２にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図６は、本発明の実施形態３に係る欠陥検査装置１Ｂの構成を表す斜視図である。図７は、本発明の実施形態３に係る欠陥検査装置１Ｂの構成を表す側面図である。

欠陥検査装置１Ｂは、欠陥検査装置１Ａ（図３〜図５参照）の第２偏光部４に換えて、第２偏光部４Ｂを備えている点で、欠陥検査装置１Ａと異なる。欠陥検査装置１Ｂの他の構成は欠陥検査装置１Ａと同様である。

第２偏光部４Ｂは、光源部３Ａ全体と重なっている。すなわち、第２偏光部４Ｂは、光源部３Ａのうち、第１偏光発光領域７だけではなく、非発光領域６および面発光領域５とも重なっている。

第１偏光発光領域７から出射した偏光を含む光Ａ７は、被検査物２および第２偏光部４Ｂを透過して、撮像部４０に入射する。面発光領域５から出射した光Ａ５は、被検査物２および第２偏光部４Ｂを透過して撮像部４０に入射する。非発光領域６の上方の、広がった光Ａ７の一部および光Ａ５の一部が混ざった間接光は、被検査物２および第２偏光部４Ｂを透過して撮像部４０に入射する。

これにより、被検査物２において、欠陥検査装置１・１Ａとは違った偏光状態の光を被検査物２に透過させることができる。これにより、種々の位置および大きさの欠陥を検査することができる欠陥検査装置１Ｂを得ることができる。

第２偏光部４Ｂはレンズ部４１に含まれた構成であってもよい。すなわち、撮像部４０のレンズ部４１は、レンズよりも先端側（カメラ部４２とは逆側）に配置された偏光板である第２偏光部４Ｂを有する構成であってもよい。

第２偏光部４Ｂを、レンズ部４１とは別構成として設けた場合、第２偏光部４Ｂの透過光の偏光の向き変える場合、第２偏光部４Ｂを固定している固定部から取り外し、第２偏光部４Ｂの向きを変えて、再度、第２偏光部４Ｂを上記固定部に取り付けるといった作業を行う必要がある。

一方、レンズ部４１を、レンズよりも先端側（カメラ部４２とは逆側）に、偏光板または偏光フィルムなどの偏光フィルタである第２偏光部４Ｂが配置された構成とすることで、レンズ部４１の回転方向の角度を変更するだけで、第２偏光部４Ｂの透過光の偏光の変更の向きを変えることができる。よって、利便性が高い欠陥検査装置１Ｂを得ることができる。

また、偏光板または偏光フィルムなどの偏光フィルタは透過光を減衰させる。このため、例えば、偏光フィルタである第２偏光部４Ｂを、光源部３Ａのうち、面発光領域５は覆わず第１偏光発光領域７だけを覆うように配置した場合、面発光領域５からの光Ａ５は偏光フィルタを透過せず撮像部４０へ入射するが、第１偏光発光領域７からの光Ａ７は、第１偏光発光領域７に含まれる偏光フィルタにより減衰している上、さらに、第２偏光部４Ｂを透過することで減衰する。この場合、光Ａ５と光Ａ７との光量の差が大きくなる。

一方、本実施形態のように、第２偏光部４Ｂを、光源部３Ａのうち、第１偏光発光領域７および面発光領域５を覆うように配置した場合、第１偏光発光領域７からの光Ａ７だけでなく、面発光領域５からの光Ａ５も第２偏光部４Ｂを透過することになるため、光Ａ５と光Ａ７との減衰の差を小さくすることができる。すなわち、撮像部４０へ入射する光Ａ７と光Ａ５との光量の差を小さくすることができる。

この結果、面発光領域５と、第１偏光発光領域７とを、個別に光量調整する必要がなく、面発光領域５と、第１偏光発光領域７とを、共通する一面光源によって構成することができる。

〔実施形態４〕
本発明の一態様に係る実施形態４について、図８に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜３にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図８は、本発明の実施形態４に係る欠陥検査装置１Ａの構成を表す図である。欠陥検査装置１Ａは、図３および図４に示した欠陥検査装置１Ａと同様の構成である。

被検査物２に確認し難い欠陥が含まれている場合、被検査物２の向きを種々に変更することで、確認できなかった欠陥が確認できるようになる場合がある。この場合、作業者は、被検査物２の欠陥検査装置１Ａに対する相対的な向きや位置を変更する。

図８に示す例では、第１偏光発光領域７の偏光軸（第１方向への偏光）と、被検査物２の延伸方向（つまり、被検査物２の長手方向）とが成す角がθとなるように、作業者は、被検査物２の向きを変更する。θは０度以上９０度以下である。または、θは０度以上４５度以下であってもよい。

このように、被検査物２に対する光Ａの出射角度を種々に変更することで、被検査物２に含まれる種々の深さ位置に形成された欠陥を発見することができる。特に被検査物２が配向を持つ場合に有効である。

また、欠陥検査装置１Ａに、被検査物２を、向きや位置を変更可能に支持する被検査物支持部を設けてもよい。

〔実施形態５〕
本発明の一態様に係る実施形態５について、図９、図１６および図１７に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜４にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図９は、本発明の実施形態５に係る欠陥検査装置１Ｃの構成を表す斜視図である。欠陥検査装置１Ｃは、図３および図４に示した欠陥検査装置１Ａの構成に、反射部（照明部）６５を加えた構成である。欠陥検査装置１Ｃにおける他の構成は欠陥検査装置１Ａと同様である。

本実施形態においては、反射部６５は板状であるが、曲面状であってもよく、球状、リング状、ドーム状等種々の形状の反射板を用いることができる。また、反射部６５の材質も鏡、金属など種々のものを用いることができる。反射部６５を曲面状とすると、光を集光させて被検査物２に照射することができる。

反射部６５は第２偏光部４よりも下方（光源部３Ａに近く）であって、被検査物２の側方または上方に位置する。反射部６５は反射面を第１偏光発光領域７及び第２偏光部４に対して傾斜させて配置されている。

反射部６５は、光源部３Ａからの光を反射することで、当該反射光により、被検査物２の上方の位置から、被検査物２に対し光を照射する。そして、被検査物２の上側面に照明された光は被検査物２の表面で反射し、第２偏光板４を透過し撮像部４０に入射する。これにより、被検査物２からの反射光を検出して、欠陥の検査をすることができる。

第１偏光発光領域７から出射された光Ａ７は主として被検査物２および第２偏光部４を透過して撮像部４０へ入射する。面発光領域５から出射された光Ａ５は、主として被検査物２を透過して撮像部４０へ出射する。

第１偏光発光領域７から出射された光Ａ７のうち、広がって反射部６５の方向に向かう光Ａ７Ｃは、反射部６５で反射し、被検査物２の表面で反射する。そして、光Ａ７Ｃは、被検査物２の表面で反射すると、第２偏光部４を透過し、撮像部４０へ入射する。

面発光領域５から出射された光Ａ５のうち、広がって反射部６５の方向に向かう光Ａ５Ｃは、反射部６５で反射し、被検査物２の表面で反射し、撮像部４０へ入射する。

このように、欠陥検査装置１Ｃは、光源部３Ａと、反射部６５とを有する。そして、反射部６５は、光源部３Ａとは重ならないように、反射面が傾斜して配置されている。

このため、欠陥検査装置１Ｃによると、被検査物２に対し、種々の方向から光を照射することができる。これにより、被検査物２において種々の位置に含まれる欠陥を検査することができる。

反射部６５による反射光を被検査物２に照射することで、反射光を被検査物２に照射しない場合と比べて、被検査物２の表面の凹凸を検出しやすくすることができる。

なお、欠陥検査装置１Ｃは、反射部６５を２つ以上有していてもよい。すなわち、図９において、光源部３Ａよりも紙面奥側に配置された反射部６５とは別に、例えば、さらに、光源部３Ａよりも紙面手前側にも反射部６５が配置されていてもよい。この場合、紙面手前側の反射部６５は反射面を第１偏光発光領域７及び第２偏光部４に対して傾斜させて配置される。

また、反射部６５の配置位置は、被検査物２を下方から、被検査物２の下側面に反射光を照射する位置であってもよい。

また、反射部６５に換えて、反射ではなく自発光をする発光部を備えてもよい。

図１６は、本発明の実施形態５の変形例１に係る欠陥検査装置１Ｇの構成を表す斜視図である。欠陥検査装置１Ｇは、欠陥検査装置１Ｃ（図９参照）が備えていた反射部６５に換えて、自発光する発光部（照明部）５Ｇ１を備えた構成である。

発光部５Ｇ１は、自発光により、被検査物２の上方の位置から、被検査物２に対し光Ｇ１を照射する。そして、被検査物２の上側面に照明された光Ｇ１は被検査物２の表面で反射し、第２偏光板４を透過し撮像部４０に入射する。

また、自発光する発光部は複数備えていてもよい。

図１７は、本発明の実施形態５の変形例２に係る欠陥検査装置１Ｈの構成を表す側面図である。欠陥検査装置１Ｈは、欠陥検査装置１Ｇ（図１６参照）に、さらに、自発光する発光部（照明部）５Ｇ２を備えた構成である。

発光部５Ｇ２は、発光部５Ｇ１と同様に、自発光により、被検査物２の上方の位置から、被検査物２に対し光Ｇ２を照射する。そして、被検査物２の上側面に照明された光Ｇ２は被検査物２の表面で反射し、第２偏光板４を透過し撮像部４０に入射する。

なお、自発光する発光部の個数は１個、２個に限定されず、３個以上であってもよい。

発光部５Ｇ１・５Ｇ２などの発光部が発光する光は白色光であってもいが、他の任意の色の光を発光してもよい。発光部５Ｇ１・５Ｇ２は、面状光源であってもいし、スポット光源、ライン光源など種々の発光体を用いることができる。

発光部５Ｇ１・５Ｇ２の配置位置は、被検査物２を下方から、被検査物２の下側面に光５Ｇ１・５Ｇ２を照射する位置であってもよい。

〔実施形態６〕
本発明の一態様に係る実施形態６について、図１０に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜５にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図１０は、本発明の実施形態６に係る欠陥検査装置１Ｄの構成を表す図である。欠陥検査装置１Ｄは、図９に示した欠陥検査装置１Ｃにおける反射部６５に換えて、光源部３ＡＤを備えている点で欠陥検査装置１Ｃと相違する。すなわち、欠陥検査装置１Ｃは複数の光源部３Ａ・３ＡＤを備えている。

光源部３ＡＤは、光源部３Ａと同じ構造を有している。光源部３ＡＤから出射した光ＡＤは、被検査物２を透過して撮像部４０に入射する。光源部３ＡＤは、第１偏光発光領域７Ｄと、非発光領域６Ｄと、面発光領域５Ｄとを有している。第１偏光発光領域７Ｄ、非発光領域６Ｄおよび面発光領域５Ｄは、それぞれ、第１偏光発光領域７、非発光領域６、面発光領域５と同じ構成である。

光源部３Ａは、出射面が第２偏光部４と平行になるように配置されている。光源部３Ａから出射した光Ａは第２偏光部４に垂直に入射する。

光源部３ＡＤは、光源部３Ａに並んで配置されているが、第２偏光部４に対して出射面が非平行となるように傾斜して配置されている。第１偏光発光領域７Ｄから出射した光Ａ７Ｄは被検査物２および第２偏光部４を透過し、撮像部４０に入射する。面発光領域５Ｄから出射した光Ａ５Ｄは被検査物２を透過し、撮像部４０に入射する。

光源部３ＡＤは、光源部３Ａとは、被検査物２を別の角度から照明する。すなわち、欠陥検査装置１Ｄは、光Ａの光軸と光ＡＤの光軸とが互いに傾斜するように配置された光源部３Ａおよび光源部３ＡＤを有する。

こ欠陥検査装置１Ｃによると、被検査物２に対し、種々の方向から光を出射することができる。これにより、被検査物２において種々の位置に含まれる欠陥を検査することができる。

〔実施形態７〕
本発明の一態様に係る実施形態７について、図１１および図１２に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜６にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図１１は、本発明の実施形態７に係る欠陥検査装置の構成を表す斜視図である。欠陥検査装置１Ｅは、図３および図４に示した欠陥検査装置１Ａに、波長変換フィルタ５０を配置した点で欠陥検査装置１Ａと相違する。

波長変換フィルタ５０は、光源部３Ａの出射面と、被検査物２との間に配置されている。波長変換フィルタ５０は、光源部３Ａから出射された光Ａを、異なる波長に変換し透過するフィルタである。被検査物２は、波長変換フィルタ５０と、第２偏光部４との間に配置される。

光源部３Ａから出射した光Ａは、波長変換フィルタ５０を透過することで、波長変換フィルタ５０を透過する前とは異なる特定の波長成分を有する光Ａへ変換される。そして、波長変換フィルタ５０を透過した光Ａは、被検査物２および第２偏光部４を透過し、レンズ部４１へ入射する。

被検査物２に含まれる欠陥は、透過する光の波長によって見え方が異なる場合がある。

そこで、上述のように、欠陥検査装置１Ｅによると、波長変換フィルタ５０によって波長が変換された光Ａを被検査物２に出射することで、被検査物２において種々の位置に含まれる欠陥を検査したり、見えなかった欠陥を見やすくしたりすることができる。

図１２は、本発明の実施形態７における変形例に係る欠陥検査装置１Ｅの構成を表す斜視図である。図１２に示すように、波長変換フィルタ５０は、光源部３Ａと被検査物２との間ではなく、第２偏光部４と撮像部４０との間に配置してもよい。

光源部３Ａから出射した光Ａは、被検査物２および第２偏光部４を透過すると、次に、波長変換フィルタ５０を透過することで、波長変換フィルタ５０を透過する前とは異なる特定の波長成分を有する光Ａへ変換される。そして、波長変換フィルタ５０を透過した光Ａはレンズ部４１へ入射する。

被検査物２に含まれる欠陥は、透過する光の波長によって見え方が異なる場合がある。

そこで、図１２に示す欠陥検査装置１Ｅによっても、被検査物２を透過した光Ａを波長変換フィルタ５０によって波長を変換することで、被検査物２において種々の位置に含まれる欠陥を検査したり、見えなかった欠陥を見やすくしたりすることができる。

〔実施形態８〕
本発明の一態様に係る実施形態８について、図１３に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜７にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

欠陥検査装置１Ｆは、各実施形態にて説明した欠陥検査装置１・１Ａ〜１Ｅの何れかに、カメラ駆動機構（不図示）と、保持部８１と、回転機構８２と、駆動制御部（不図示）と、芯ブレ防止機構８５〜８８とを備えた構成を有する。

カメラ駆動機構は撮像部４０を移動可能に支持する。カメラ駆動機構によって撮像部４０は、被検査物２の長手方向に沿ってスライド移動したり、被検査物２に近づく方向に移動したり、逆に被検査物２から離れる方向へ移動したりする。カメラ駆動機構は、被検査物２の端近傍の表面が傾斜している部分では、撮像部４０の傾きも調整可能となっていることが好ましい。つまり、被検査物２の形状を認識し、撮像部４０の焦点距離を保つ構成が好ましい。

なお、撮像部４０と被検査物２とが相対移動可能となっていればよく、撮像部４０側ではなく被検査物２を保持する機構側に、被検査物２を撮像部４０に対して相対移動可能とする駆動機構が設けられていてもよい。

撮像部４０は、エリアカメラとラインカメラとの何れであってもよいが、エリアカメラの方が好ましい。これは、光源部３の各光学領域に対応する被検査物２の各領域を一度に撮影できるためである。

保持部８１は、被検査物２の両端または両端のうち一端から張力を加えながら被検査物２の両端を保持する。また保持部８１は、被検査物２の両端または両端のうち一端から被検査物２の内部へ空気を注入することでバルーンである被検査物２の表面のしわをなくす。

回転機構８２は、保持部８１を回転可能に支持する。回転機構８２は図示しない駆動制御部からの指示に基づいて、保持部８１を回転させる。これにより、保持部８１に保持されている被検査物２は、延伸方向に平行な軸を回転軸として回転する。

芯ブレ防止機構８５〜８８は、両保持部８１間に配置されており、被検査物２の中央部近傍を保持する。被検査物２のバルーンは長くなると、たわみ（偏心）が大きくなる。このため、一対の芯ブレ防止機構８５・８６は被検査物２を上下方向（Ｚ軸方向）から挟み、一対の芯ブレ防止機構８７・８８は被検査物２を上下方向（Ｚ軸方向）から挟む。これにより、被検査物２は上下方向（Ｚ軸方向）の動きおよびたわみを規制することができる。

芯ブレ防止機構８５〜８８は、センサ（不図示）により撮像部４０と被検査物２との距離を計測し、撮像部４０との距離を一定に保つように上下に移動してもよい。

また、芯ブレ防止機構８５〜８８は、被検査物２を上下方向に動きおよびたわみを規制するのではなく、被検査物２を前後方向（Ｙ軸方向）に動きおよびたわみを規制する構成であってもよい。この場合、一対の芯ブレ防止機構８５・８６は被検査物２を前後方向（Ｙ軸方向）から挟み、一対の芯ブレ防止機構８７・８８は被検査物２を前後方向（Ｙ軸方向）から挟む。

さらに、芯ブレ防止機構８５〜８８は、被検査物２を上下方向又は前後方向のどちらか１方向の動きおよびたわみを規制するだけでなく、被検査物２を、上下方向および前後方向の２方向の動きおよびたわみを規制する構成であってもよい。この場合、一対の芯ブレ防止機構８５・８６は被検査物２を上下方向および前後方向から挟み、一対の芯ブレ防止機構８・８８は被検査物２を上下方向および前後方向から挟む。

図１３に示すように、保持部８１に被検査物２がセットされると、撮像部４０がスライドし、被検査物２の一端から他方の端部にかけて順次撮影をしていく。また、この撮像部４０のスライド動作と同期するように、回転機構８２は、保持部８１を介して被検査物２を回転させる。

このように被検査物２を撮像部４０に対して相対的にスライドさせることで、被検査物２が延伸方向に長い場合、光源部３Ａの面積が小さい場合、又は、撮像部４０の撮影視野の面積が小さい場合等であっても、被検査物２を全体に渡って欠陥検査をすることができる。

特に、光源部３Ａのように、複数の光学領域を設けている場合、被検査物２を撮像部４０に対して相対的にスライドさせることが好ましい。これにより、被検査物２における、光学領域毎に見え方が異なる複数の領域を撮影画像に含めて被検査物２の撮影を行うことができる。このため、各種の欠陥を見つけやすく効率的に欠陥を検出することができる。

また、光源部３Ａが有する全ての種類の光を被検査物２に出射して撮影するために、光源部３Ａは、被検査物２に対して相対的にスライドおよび回転移動する撮像部４０と同期して移動することが好ましい。

さらに、この被検査物２を撮像部４０に対して相対的にスライドさせることに同期して被検査物２を回転させることで、被検査物２を螺旋状に連続的に撮影する（スキャンする）ことができ、これにより、漏れなく被検査物２の全体の欠陥検査を行うことができる。

さらに、欠陥検査装置１Ｆによると、以下の効果を得ることもできる。

（１）ヒシ及び傷等の欠陥は、見えやすい角度が欠陥毎に異なるため、被検査物２の角度を固定していると、欠陥を見逃しやすくなる。一方、欠陥検査装置１Ｆによると、被検査物２が回転しているため、ヒシ及び傷等の見えやすい角度が欠陥毎に異なる欠陥であっても見逃さず精度よく検出することができる。

また、欠陥検査装置１Ｆによると、被検査物２を撮像部４０に相対移動させつつ、回転させているため、目視で被検査物２の欠陥検査を行う方法に近い。すなわち、１スキャン（被検査物２の一端から他端までの撮影）により被検査物２の表面全体を漏れなく検査することができる。このため、作業者による欠陥の見逃しが少なくて済む。

（２）検出すべき欠陥のサイズに合わせて撮像部４０の解像度を設定することができる。つまり、被検査物２を回転させるため、撮像部４０の撮影視野内に被検査物２の幅の両端が入っていなくてもよく、被検査物２のサイズが異なっても同じ撮像部４０を用いることができる。このため、撮像部４０の画素数を抑えつつ高速に欠陥検査を行うことができる。

なお、撮像部４０で撮影するのではなく、目視確認で欠陥検査を行う場合においても、被検査物２を回転させることで、被検査物２が目視の視野に入っていない場合でも、被検査物２の全体を漏れなく検査することができる。

（３）定量的に欠陥を検出することができるため、欠陥検査を安定して実行することができる。加えて、欠陥の種類（菱状の凹凸、傷、ゲル状異物の析出等）の判別も可能である。また、欠陥の種類毎に欠陥であるか否かを判定する優先順位を設けて欠陥検査を行うこともできる。優先順位の高い方から低い方へ順に、菱状の凹凸、傷、ゲル状異物の析出である。

〔実施例１〕
本発明の実施例について、図１４および図１５に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜８にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

欠陥検査装置として、欠陥検査装置１Ｂ（図６参照）を用いて、被検査物２を撮影した。

図１４に示すように、光源部３Ａは、第１偏光発光領域７から出射した光Ａ７はある程度の広がりを持って被検査物２および第２偏光部４Ｂを透過し、撮像部４０に入射する。

面発光領域５から出射した光Ａ５はある程度の広がりを持って被検査物２を透過し、撮像部４０に入射する。

非発光領域６上では、広がった光Ａ７の一部と、広がった光Ａ５の一部とが混ざり、間接光Ａ６が被検査物２および第２偏光部４Ｂを透過し撮像部４０へ入射する。

図１５の（ａ）は、撮像部４０で、被検査物２のうち光源部３Ａと重なる領域を撮影した撮影画像を表す。図１５の（ａ）に示す撮影画像のうち「第１偏光」と記載された領域は、被検査物２における第１偏光発光領域７と重なる領域であり、「遮光」と記載された領域は、被検査物２における非発光領域６と重なる領域であり、「面発光」と記載された領域は、被検査物２における面発光領域５と重なる領域である。

図１５の（ｂ）に示すように、撮影画像において、被検査物２における第１偏光発光領域７と重なる領域では、ヒシ傷が鮮明に映っていた。図１５の（ｃ）に示すように、撮影画像において、被検査物２における非発光領域６と重なる領域では、傷が鮮明に映っていることが分かった。図１５の（ｄ）に示すように、撮影画像において、被検査物２における面発光領域５と重なる領域では、ゲル状異物・ヤケによる欠陥が鮮明に映っていることが分かった。

このように、被検査物２に透過させる光の偏光状態を変えることで、撮影画像に鮮明に映りやすい欠陥の種類が変わることが分かった。

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

〔まとめ〕
本発明の態様１に係る欠陥検査装置は、光を透過する被検査物に含まれる欠陥を検査する欠陥検査装置であって、第１偏光発光領域および面発光領域を有する光源部と、上記第１偏光発光領域からの出射された第１方向へ偏光された光を第２方向へ偏光する第２偏光部とを備え、上記光源部と第２偏光部との間に上記被検査物を挿入するための空間が設けられていることを特徴とする。

上記構成によると、上記被検査物に含まれる欠陥を検査する場合、上記光源部と上記第２偏光部との間の空間に、上記被検査物が配置される。そして、上記光源部のうち、上記第１偏光発光領域から出射された第１方向へ偏光された光は、上記被検査物を透過し、さらに上記第２偏光部を透過することで第２方向へ偏光される。

ここで、上記被検査物に欠陥が含まれていると、上記被検査物のうち、当該欠陥箇所は、他の箇所と比べて、透過した光の光量が異なったり、偏光状態が異なったりする。このため、上記光源部の上記第１偏光発光領域から出射され、上記被検査物、及び、上記第２偏光部を透過した光の光量及び偏光状態を確認することで、上記被検査物に含まれる欠陥を検査することができる。

さらに上記構成によると、上記光源部は上記面発光領域を有する。当該面発光領域から出射された光は、上記第１偏光発光領域から出射された光とは異なり、第１方向へ偏光する偏光板等を透過せず、直接上記被検査物を透過する。これにより、上記光源部が上記第１偏光発光領域のみから構成されている場合と比べて、上記被検査物に対して十分な輝度の光を透過させることができる。これにより、上記被検査物に含まれる欠陥を鮮明に確認することができる。このため、上記被検査物に含まれる欠陥の検出漏れを低減させることができる。

また、上記被検査物に含まれる欠陥は、凹凸の程度が比較的大きい欠陥、または、凹凸の程度は比較的大きくはないものの色付いて見える欠陥など、さまざまな種類の欠陥が含まれる。

そこで、上記構成によると、上記光源部のうち、上記第１偏光発光領域から出射され、上記被検査物および上記第２偏光部を透過した光の偏光状態と、上記面発光領域から出射され上記被検査物を透過した光の偏光状態とは異なる。これにより、上記被検査物に含まれるさまざまな種類の欠陥を効率よく検出することができる。

本発明の態様２に係る欠陥検査装置は、上記態様１において、上記光源部は、発光しない非発光領域を有してもよい。上記構成によると、上記被検査物のうち、上記非発光領域と重なる領域は、上記第１偏光発光領域と重なる領域および上記面発光領域と重なる領域とは、また違った光学状態の光が透過することになる。

このため、上記被検査物のうち、上記非発光領域と重なる領域は、上記第１偏光発光領域と重なる領域および上記面発光領域と重なる領域とは、違う種類の欠陥を検出しやすくなる。これにより、上記被検査物に含まれるさまざまな種類の欠陥を、さらに効率よく検出することができる。

本発明の態様３に係る欠陥検査装置は、上記態様１または２において、上記第２偏光部は、上記光源部のうち、少なくとも上記第１偏光発光領域の一部と重なっていることが好ましい。これにより、上記面発光領域から出射し、上記被検査物を透過した光は、ほぼ上記第２偏光部を透過しないため、より鮮明に欠陥を確認することができる。これにより、被検査物に含まれる欠陥の検出漏れを低減させることができる。

本発明の態様４に係る欠陥検査装置は、上記態様１〜３において、上記光源部は、上記第１偏光発光領域および上記面発光領域に共通する面光源部を有し、上記第１偏光発光領域は、上記面光源部の一部領域である第１領域と、当該第１領域の出射面に配置された偏光板とを有し、上記面発光領域は、上記面光源部のうち、上記第１領域とは異なる他の一部領域である第２領域を有してもよい。上記構成により上記光源部を構成することができる。

本発明の態様５に係る欠陥検査装置は、上記態様２において、上記非発光領域は、上記第１偏光発光領域および面発光領域に挟まれていてもよい。上記構成によると、上記第１偏光発光領域から出射した光の一部と、上記面発光領域から出射した光の一部とが混ざって、上記被検査物のうち上記非発光領域と重なる領域を透過する。これにより、被検査物に含まれる欠陥のうち傷による欠陥を検出しやすくすることができる。

本発明の態様６に係る欠陥検査装置は、上記態様１〜５において、上記第１方向への偏光及び上記第２方向への偏光は直線偏光であって、上記第１方向と上記第２方向とが成す角は、０度以上９０度以下であってもよい。

本発明の態様７に係る欠陥検査装置は、上記態様１〜６において、上記第１方向への偏光及び上記第２方向への偏光は直線偏光であって、上記第１方向と上記被検査物の延伸方向とが成す角は、０度以上４５度以下であってもよい。

このように、第１方向と上記第２方向とが成す角、および第１方向と被検査物の延伸方向とが成す角を種々の方向へ変更することで、上記被検査物において種々の位置に含まれる欠陥を検査することができる。

本発明の態様８に係る欠陥検査装置は、上記態様１〜７において、上記光源部からの出射光を上記被検査物へ反射するか、または、自発光によって光を上記被検査物へ照射する照明部をさらに備えていてもよい。上記構成によると、被検査物において種々の位置に含まれる欠陥を検査することができる。

本発明の態様９に係る欠陥検査装置は、上記態様１〜８において、上記光源部を複数備え、上記複数の光源部は、それぞれからの出射光の光軸が互いに傾斜するように配置されていてもよい。上記構成によると、被検査物において種々の位置に含まれる欠陥を検査することができる。

本発明の態様１０に係る欠陥検査装置は、上記態様１〜９において、上記光源部から出射され、上記被検査物及び上記第２偏光部を透過した透過光を撮像する撮像部を備えていてもよい。上記構成によると、作業者が目視で上記欠陥の有無を検査する場合と比べて、安定して上記欠陥の有無を検査することができる。また、上記構成に欠陥の判定部を加えることで、容易に欠陥の有無や種類の判別の自動化を行うことができる。

本発明の態様１１に係る欠陥検査装置は、上記態様１〜１０において、上記被検査物はバルーンカテーテルであってもよい。上記構成によると、いわゆるヒシ状欠陥、ゲル状欠陥等、発見し難い欠陥であっても容易に発見することができる。このため、欠陥がないバルーンカテーテルを容易に得ることができる。

本発明の態様１２に係る欠陥検査方法は、光を透過する被検査物に含まれる欠陥を検査する欠陥検査方法であって、光源部における第１偏光発光領域から第１方向へ偏光された光を出射し、上記光源部における面発光領域から偏光されていない光を出射する出射ステップと、上記光源部との間に上記被検査物を挿入するための空間を設けて配置された第２偏光部を用いて、上記出射ステップにて出射された光のうち第１方向へ偏光された光を第２方向へ偏光する第２偏光ステップとを含むことを特徴とする。上記構成によると、上記被検査物に含まれるさまざまな種類の欠陥を効率よく検出することができる。

本発明の態様１３に係る欠陥検査方法は、上記態様１２において、上記出射ステップにおいて、上記光源部における非発光領域からは光を出射しなくてもよい。これにより、上記被検査物に含まれるさまざまな種類の欠陥を、さらに効率よく検出することができる。

本発明の態様１４に係るバルーンカテーテルの製造方法は、上記欠陥検査方法によって欠陥の有無を検査する工程を含むことを特徴とする。上記構成によると、上記バルーンカテーテルに含まれる欠陥を容易に検出することができるため、上記欠陥検査方法によって欠陥の有無を検査する工程を含まない場合と比べて、欠陥がないバルーンカテーテルを容易に得ることができる。

１・１Ａ〜１Ｆ 欠陥検査装置
２ 被検査物
３、３Ａ、３ＡＤ、３Ｄ 光源部
４、４Ｂ 第２偏光部
５、５Ｄ 面発光領域
５Ｇ１・５Ｇ２ 発光部（照明部）
６、６Ｄ 非発光領域
６ａ 遮光フィルム
７、７Ｄ 第１偏光発光領域
７ａ 偏光板
９ 面光源部
９ａ 第１領域
９ｂ 第３領域
４０ 撮像部
４１ レンズ部
４２ カメラ部
６５ 反射部（照明部）
８１ 保持部
８２ 回転機構
８５、８５・８６、８７・８８ 芯ブレ防止機構

Claims (13)

1. 光を透過する被検査物に含まれる欠陥を検査する欠陥検査装置であって、第１偏光発光領域、面発光領域、および発光しない非発光領域を有する光源部と、上記第１偏光発光領域からの出射された第１方向へ偏光された光を第２方向へ偏光する第２偏光部とを備え、上記光源部と第２偏光部との間に上記被検査物を挿入するための空間が設けられていることを特徴とする欠陥検査装置。
2. 光を透過する被検査物に含まれる欠陥を検査する欠陥検査装置であって、第１偏光発光領域および面発光領域を有する複数の光源部と、上記第１偏光発光領域からの出射された第１方向へ偏光された光を第２方向へ偏光する第２偏光部とを備え、上記光源部と第２偏光部との間に上記被検査物を挿入するための空間が設けられ、
   上記複数の光源部は、それぞれからの出射光の光軸が互いに傾斜するように配置されていることを特徴とする欠陥検査装置。
3. 光を透過する被検査物に含まれる欠陥を検査する欠陥検査装置であって、第１偏光発光領域および面発光領域を有する複数の光源部と、上記第１偏光発光領域からの出射された第１方向へ偏光された光を第２方向へ偏光する第２偏光部とを備え、上記光源部と第２偏光部との間に上記被検査物を挿入するための空間が設けられ、
   上記被検査物はバルーンカテーテルであることを特徴とする欠陥検査装置。
4. 上記第２偏光部は、上記光源部のうち、少なくとも上記第１偏光発光領域の一部と重なっていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の欠陥検査装置。
5. 上記光源部は、上記第１偏光発光領域および上記面発光領域に共通する面光源部を有し、
   上記第１偏光発光領域は、上記面光源部の一部領域である第１領域と、当該第１領域の出射面に配置された偏光板とを有し、
   上記面発光領域は、上記面光源部のうち、上記第１領域とは異なる他の一部領域である第２領域を有することを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の欠陥検査装置。
6. 上記非発光領域は、上記第１偏光発光領域および面発光領域に挟まれていることを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。
7. 上記第１方向への偏光及び上記第２方向への偏光は直線偏光であって、上記第１方向と上記第２方向とが成す角は、０度以上９０度以下であることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の欠陥検査装置。
8. 上記第１方向への偏光及び上記第２方向への偏光は直線偏光であって、上記第１方向と上記被検査物の延伸方向とが成す角は、０度以上４５度以下であることを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載の欠陥検査装置。
9. 上記光源部からの出射光を上記被検査物へ反射するか、または、自発光によって光を上記被検査物へ照射する照明部をさらに備えていることを特徴とする請求項１〜８の何れか１項に記載の欠陥検査装置。
10. 上記光源部から出射され、上記被検査物及び上記第２偏光部を透過した透過光を撮像する撮像部を備えていることを特徴とする請求項１〜９の何れか１項に記載の欠陥検査装置。
11. 光を透過する被検査物に含まれる欠陥を検査する欠陥検査方法であって、光源部における第１偏光発光領域から第１方向へ偏光された光を出射し、上記光源部における面発光領域から偏光されていない光を出射する出射ステップと、
    上記光源部との間に上記被検査物を挿入するための空間を設けて配置された第２偏光部を用いて、上記出射ステップにて出射された光のうち第１方向へ偏光された光を第２方向へ偏光する第２偏光ステップとを含み、
    上記出射ステップにおいて、上記光源部における非発光領域からは光を出射しないことを特徴とする欠陥検査方法。
12. 光を透過する被検査物に含まれる欠陥を検査する欠陥検査方法であって、光源部における第１偏光発光領域から第１方向へ偏光された光を出射し、上記光源部における面発光領域から偏光されていない光を出射する出射ステップと、
    上記光源部との間に上記被検査物を挿入するための空間を設けて配置された第２偏光部を用いて、上記出射ステップにて出射された光のうち第１方向へ偏光された光を第２方向へ偏光する第２偏光ステップとを含み、
    上記被検査物はバルーンカテーテルであることを特徴とする欠陥検査方法。
13. 請求項１１または１２に記載の欠陥検査方法によって欠陥の有無を検査する工程を含むことを特徴とするバルーンカテーテルの製造方法。

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