JPH11242002A

JPH11242002A - 観測装置

Info

Publication number: JPH11242002A
Application number: JP6066798A
Authority: JP
Inventors: Hideji Kurokawa; 秀二黒川; Kenji Kobayashi; 賢治小林
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 1998-02-25
Filing date: 1998-02-25
Publication date: 1999-09-07

Abstract

(57)【要約】【課題】対物レンズを通さずに大きな入射角で観測対
象を照明する場合において、コントラストの高い最適な
照明を得る。【解決手段】発光部１９からの光を対物レンズ１１を
通さずに観測対象３ａに照射し、観測対象３ａからの反
射光を受光部で受光して観測対象３ａを観測する。発光
部１９は第１の発光体４１と第２の発光体４２とを有
し、各発光体の光軸ｅ，ｆは同一平面上またはその近傍
に配置されている。第１の発光体の光軸ｅは観測対象３
ａの配列方向ｄに対してほぼ垂直に配置され、第２の発
光体４２の光軸ｆは観測対象３ａの配列方向ｄに対して
角β（＝４５゜）で傾斜している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、観測装置に関し、
特に、半導体ウェハ、ガラス、セラミックなど絶縁体基
板の表面または表面付近に形成された回路や文字などの
パターンを観測するための観測装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体集積回路等の製造工程
において、半導体ウェハ（以下単に「ウェハ」とい
う）、液晶基板、ガラス、セラミック、または樹脂など
の対象物の表面に付された数字、文字や回路等のパター
ンを、目視やカメラ、顕微鏡等で観測することが行われ
ている。たとえば、製造工程の中で、ウェハに付された
識別符号を読み取り、この識別符号に応じて予め決めら
れた加工が施される。

【０００３】観測装置においては、従来より、蛍光灯や
ファイバー照明などの光源またはレンズ等を利用した平
行光源を観測対象に照射して観測するものが知られてい
る。

【０００４】本発明者は、先に、発光部から光学素子を
通して対象物に光を照射する照明装置において、発光部
を光学素子に対して移動可能にすることにより、対象物
に照射される光の入射角を調整できるようにし、これに
より、コントラストの大きい像の得られる照明装置を提
案した（特開平８−３２７５５４号）。

【０００５】種々の観測対象はそれぞれ異なった光学条
件を有するため、上記装置を用いてこれらを観測するた
めには観測対象に照射すべき光の照射角は小さな角度か
ら大きな角度まで広い範囲から選択する必要がある。こ
のとき、光の入射角を大きくしていくと暗視野照明にな
るが、入射角をさらに大きくしていくと、対物レンズを
通した光は観測対象に照射されなくなる。そのため、入
射角のある程度大きな照明光については対物レンズを通
さずに観測対象に光を照射することが必要になってく
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】そこで、上記のように
対物レンズを通さずに大きな入射角で観測対象を照明す
る場合においても、コントラストの高い像を得る照明を
実現できる装置が望まれていた。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明においては、発光部からの光を対物レンズを
通さずに観測対象に照射し、前記観測対象からの反射光
を受光部で受光して前記観測対象を観測する観測装置に
おいて、前記発光部は複数の発光体から成る第１発光部
を備え、第１発光部は、その照明が暗視野照明となるよ
うに配置されるとともに、各発光体の光軸は、前記観測
対象の配列方向を一辺とする、光学的な同一平面内また
はその近傍に配置され、各光軸の前記観測対象を含む平
面に対する射影が前記観測対象の配列方向に対してほぼ
同一方向に傾斜させるようにした。前記傾斜の角度は、
例えば、４５゜の奇数倍に設定することができる。

【０００８】また、本発明においては、対物レンズを通
さずに観測対象に光を照射する、複数の発光体から成る
第１発光部を備え、第１発光部は、その照明が暗視野照
明となるように配置されるとともに、各発光体の光軸
は、前記観測対象の配列方向を一辺とする、光学的な同
一平面内またはその近傍に配置され、各光軸の前記観測
対象を含む平面に対する射影が前記観測対象の配列方向
に対してほぼ同一方向に傾斜しているとともに、前記対
物レンズを通さずに前記観測対象の配列方向に対してほ
ぼ垂直に光を照射する第２発光部、前記対物レンズを通
さずに前記観測対象の配列方向に対してほぼ平行に光を
照射する第３発光部および前記対物レンズを通して光を
前記観察対象に照射する第４発光部のうちいずれか１つ
または複数を備え、前記観測対象からの反射光を受光部
で受光して前記観測対象を観測するように構成した。

【０００９】さらに、本発明においては、発光部からの
光を対物レンズを通さずに観測対象に照射し、前記観測
対象からの反射光を対物レンズを介して受光部で受光し
て前記観測対象を観測する観測装置において、前記発光
部はその照明が暗視野照明となるように配置されるとと
もに、前記発光部を移動させる移動手段を設けるように
した。前記移動手段は、前記発光部を前記対物レンズの
光軸方向に移動させるようにしてもよい。

【００１０】

【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の形態の一例
を示す観測装置の全体構成図、図２は観測装置の底面
図、図３は第１および２発光部の構成を示す図である。

【００１１】観測装置１は、ウェハ３に形成された文字
やパターンを観測する装置であり、特に、英数字などの
文字コード等の一定の配列方向を有する観測対象３ａを
観測するのに好適な装置である。観測装置の各構成部分
はボックス５内に収容され、ボックス５の上方から下方
に向けて、画像検出手段としてのＣＣＤカメラ７、ハー
フミラー９、カメラに対する対物レンズ１１が配置され
ている。

【００１２】図２に示すように、対物レンズ１１の周り
には、第１発光部４１、第２発光部４２、第３発光部２
１が配置され、各発光部は複数の発光体（ＬＥＤ等）か
ら構成される。各発光体からの光は、直接観察対象３ａ
へ出射してもよいがディフューザ２５（図１）を介して
観測対象３ａへ照射してもよい。第１ないし第３発光部
４１，４２，２１は、対物レンズ１１を通さずに観測対
象３ａに光を照射し、その照明が暗視野照明となるよう
に配置されている。そして、第１ないし第３発光部４
１，４２，２１は、暗視野照明において対物レンズ１１
を通せないような大きな入射角での照明を行うときに使
用する。第１ないし第３発光部の詳細な構成については
後述する。

【００１３】対物レンズ１１の前焦点位置には第４発光
部１３が配置され、第４発光部１３からの光はハーフミ
ラー９で下方に反射され対物レンズ１１で集光され観測
対象３ａへ照射される。第４発光部は複数の発光体（Ｌ
ＥＤ等）を備え、第４発光部１３の前にはディフューザ
３３が配置されている。対物レンズ１１は、第４発光部
１３から発光された光を集光する集光レンズと、第１な
いし第４発光部から観測対象３ａに照射され反射した光
を結合用レンズ１７を通してカメラの受光部７ａに像を
結像させるための対物レンズとの両方の機能を有してい
る。なお、対物レンズ１１の光軸を１１ｂ、対物レンズ
１１のハーフミラー９で反射された光軸を１１ａとす
る。

【００１４】カメラ７は、絞り１５および結像レンズ１
７を備え、観測対象３ａからの反射光はハーフミラー９
を通過し、結像レンズ１７、絞り１５を経てカメラ７の
受光部７ａ（ＣＣＤ素子等）上に結像する。

【００１５】第１ないし第４発光部４１，４２，２１，
１３の発光体は、発光コントローラ３５によって制御さ
れる。発光コントローラ３５は、ドライバ３５ａとグル
ープ制御部３５ｂとで構成され、ドライバ３５ａは、個
々の発光体のＯＮ、ＯＦＦおよび発光強度の制御を行
う。グループ制御部３５ｂは、各発光体をグループ分け
し、観測対象に応じて発光すべき発光体グループを指定
する。発光コントローラ３５は制御装置（コンピュータ
等）３７によって制御される。制御装置３７はＯＣＲシ
ステムやパターン検査システム等も備えている。カメラ
７からの映像信号３８はモニタ３９によって表示される
とともに、制御装置３７へ出力され、制御装置３７にお
いて画像認識される。

【００１６】図３は、第１および第２発光部４１，４２
の光軸の向きを説明する図である。観測対象３ａの配列
されている方向を基準方向として配列方向および基準方
向に平行で観測対象平面上にある線分を辺ｄで示し、光
学系の光軸１１ｂと観測対象３ａのある面との交点を
Ｏ、点Ｏを通り基準方向に伸びる直線をＸ0軸、観測対
象３ａを含む平面内で点Ｏを通りＸ0軸に直交する直線
をＹ0軸とする。辺ｄは観測対象平面（Ｘ0，Ｙ0平面）
内にある。第１発光部４１、第２発光部４２およびそれ
らの光軸ｅ，ｆはいずれも辺ｄを含む平面内またはその
近傍にそれぞれ３個配置されている。

【００１７】第１および第２発光部４１，４２からの光
は、図４（Ａ）に示すように直接観察対象３ａに照射し
てもよいが、図４（Ｂ）に示すようにミラー４０を介し
て観察対象３ａに照射してもよい。つまり、図４（Ｂ）
のように発光部４１，４２の発光体と観測対象３ａとの
間にミラー４０を入れて光軸を反射するようにしてもよ
い。この場合、ミラー４０が平面であれば、光軸の直進
性や平面性はミラー４０を境とする各平面上で維持され
る。このような平面を光学的な同一平面という。本発明
においては、少なくとも第１発光部４１を構成する各発
光体の光軸は、観測対象３ａの配列方向ｄを一辺とす
る、光学的な同一平面内またはその近傍に配置されてい
ればよい。

【００１８】また、第１発光部４１、第２発光部４２
は、別々の光学的な同一平面内に配置されていてもよ
い。さらに第１発光部４１は、光学的な同一平面内であ
れば各発光体を直線的に配置せずに、例えばジグザグ状
に配置してもよい。

【００１９】次に、各光軸ｅ，ｆの対物レンズの光軸１
１ｂとのなす角をφとすると光軸１１ｂと観測対象３ａ
の法線とが一致するものとすれば、観察対象３ａへの入
射角はφである。また、第２発光部４２の光軸ｆはいず
れも観測対象３ａの配列方向ｄに対して垂直に配置さ
れ、第１発光部４１の光軸ｅはいずれも平行で観測対象
平面への射影は観測対象３ａの配列方向ｄに対して角β
で傾斜している。図３の例では角β＝４５゜である。

【００２０】本発明者による多種類の観測対象を用いた
実験によれば、観測対象の配列方向に対し４５゜の照射
角（角β）で照明をした場合にコントラストが良好にな
る場合が多く、反対に９０゜の照射角での照明では背景
である回路パターン等が強く反射しコントラストが悪く
なった。この傾向は連続的であり、例えば３０゜程度の
照射角であっても９０゜の照射角よりも良好なコントラ
ストが得られる観測対象が多かった。

【００２１】また、対称の角度での傾向も同様であり、
同じ観測対象では１３５゜、２２５゜、３１５゜の近傍
でコントラストが良好であり、１８０゜、２７０゜、３
６０゜の近傍ではコントラストが劣る結果となった。

【００２２】この傾向はウェハ等に形成された回路素子
のパターンが互いに直交する方向で形成されているた
め、９０゜、１８０゜等の方向から照射される光には強
く散乱するためと考えられる。

【００２３】また、ウェハ上に書き込まれた溝（凹部）
が文字に正対して４５゜傾斜しているタイトラ文字を観
測する場合、角βが＝４５゜、１３５゜、２２５゜、３
１５゜のいずれかのみが観測上有効であって、その他の
光源からの照明は有効ではないばかりでなく、レジスト
ノイズ等の画像ノイズの原因になることがある。

【００２４】第３発光部２１は、図２に示すように、複
数の発光体（ＬＥＤ等）により構成され、観測対象３ａ
の配列方向に対してほぼ平行に光を照射する。

【００２５】上記のような観測装置を使用すれば、第１
発光部が複数の発光体で構成され、各発光体の光軸が光
学的な同一平面内またはその近傍に配置されるので、観
測対象の配列方向に最適な角度で光を照射することがで
きるため、コントラストの高い像で観測することができ
る。本観測装置は、特に英数字などの文字コードの配列
を観測するのに適している。これらの観測対象は一列に
配列されるので、発光体１個では照度不足となったり、
観察対象の配列方向全体にわたって均一に照明すること
ができない。また、発光体を複数使用したとしても各発
光体の光軸が同一平面内にないと、複数の発光体からの
光の中には例えばコントラストを悪くするような方向の
光も含まれるため、コントラストの良好な像を得ること
はできない。これに対して、上記の構成によれば、第１
発光部４１からの光が観測対象の配列方向に対して複数
の発光体からほぼ同一方向に傾斜して照射されるので、
観測対象の配列方向全体にわたって照明され、かつ、各
発光体がコントラストを高くするような同一の角度で観
測対象を照射することができる。これにより、コントラ
ストの高い像を得ることが可能となる。

【００２６】さらに、第２、第３、第４発光部を設け、
これらを選択的に観測対象に照射できるようにすれば、
第１発光部の照明だけではコントラストが高くなかった
観測対象であっても対応可能となる。

【００２７】また、図３の実施例では、第１および第２
発光部４１，４２を一枚の基板４３に取り付け、その光
軸ｅ，ｆを同一平面内に照射するよう配置したので、角
βの異なる発光体であっても観測対象３ａに対して正確
に照明できる。またこれにより角βがそれぞれ異なって
いても基板を角度調整すれば他の発光体の光軸は必ず観
測対象３ａの方向を向くから調整が簡単である。もちろ
ん、本発明においては、第１発光部４１と第２発光部４
２を別々の異なる基板に取り付けてもよい。

【００２８】なお、図５に示すように、第１、第２また
は第３発光部４１，４２，２１の発光体と観察対象３ａ
との間にシリンドリカルレンズ４４を配置すればレンズ
４４と発光体の位置関係によって光の収束及び発散を調
整することができる。シリンドリカルレンズ４４は光を
収束し、効率よく観測対象を照明するためのものであっ
て、反射光を結像用レンズ１７に結像するための対物レ
ンズ１１とは機能が異なる。

【００２９】上記観測装置の使用方法の一例を以下に述
べる。ウェハに形成された文字や符号の読取装置として
使用するときは、まず半導体製造工程の適当な位置に本
発明の観測装置を設置する。ウェハを手動または自動で
搬送し観測対象３ａが対物レンズ１１の直下に位置する
ように截置する。その後第１なし第４発光部４１，４
２，２１，１３のいずれか一方またはそれらを組合せて
駆動させ、観測対象３ａを照明してカメラ７で読み取
り、制御装置３７により文字を判読する。どの発光体を
駆動するかは発光コントローラ３５において設定してお
く。判読結果がエラーであったら、発光体を変えて又は
新たな発光体を加えて再度照明し、判読する。

【００３０】使用する発光体をデータに基づいて決めて
おくこともできる。例えば事前テストにおいてコントラ
ストが高くなるような発光部４１，４２，２１，１３の
特定の発光体を予め選んでおく。そして、その最適照明
が得られる１つ又は複数の発光部４１，４２，２１，１
３の発光体（すなわち光源の入射角φと角βの組み合わ
せ）をデータとして発光コントローラ３５に外部から入
力するか予め記憶させておく。前記データに優先順位を
つけて優先順位の高い照明から順に実行してもよい。も
ちろん、複数の発光体をグループ分けし、グループごと
に発光を行うことも可能である。また、前記グループ間
において発光の優先順位を予め設定しておき、良い画像
が得られない場合は優先順位にしたがって次のグループ
を発光させるようにしてもよい。

【００３１】上記装置において、図３に示す辺ｄは観測
対象３ａの中央部（Ｘ0軸）付近を通るようにしてもよ
いし、図３のように中央部（Ｘ0軸）から離れた位置に
してもよい。また異なる平面上に第１発光部４１と第２
発光部４２を各々配置するようにしてもよいが、その場
合、辺ｄは各平面に対応して異なるようにしてもよいし
一致させてもよい。要するに発光体からの光が観測対象
を適切に照射するようにすればよい。

【００３２】また、辺ｄを一辺とする２つの平面上に各
々第１発光部と第２発光部を配置してもよい。さらに辺
ｄを一辺とする３つ目の平面上にも第２発光部を配置し
てもよい。３つ目の平面上の第２発光部の光軸の観測対
象平面への射影が配列方向となす角は他の第２発光部の
光軸がなす角とは異なっていてもよい。

【００３３】次に、図６に本発明の第２の実施形態を示
す。上記例では各発光体の角βを変化させたが、ここで
は、発光体の光軸と対物レンズの光軸とのなす角、言い
換えれば観測対象の法線と対物レンズの光軸が一致する
とすれば発光体の光軸と観測対象の法線とのなす角、す
なわち入射角φを変化させる例について説明する。観測
対象に応じて入射角φを設定または変化させることによ
りコントラストの高い最適な画像を得ることができる。
図６に示すように、観測装置本体５３に、シリンダ５５
を取り付け、シリンダ５５のシリンダシャフト５７の先
端に移動型発光ユニット５９をロックネジ６１によって
取り付ける。移動型発光ユニット５９は、ボックス６３
内に複数の発光体６５を装着して成り、例えば、図２，
３の第１発光部４１および第２発光部４２または第３発
光部２１の組合せからなる配置を使用することができ
る。ボックス６３の前面はディフューザ６７で覆われて
いる。移動型発光ユニット５９の照射角度はロックネジ
６１を緩めることにより調整可能である。その他の構成
は図１と同様である。

【００３４】移動型発光ユニット５９は、不使用時には
シリンダが引っ込んだ位置すなわち図の実線で示す位置
（初期位置）にあり、使用時にはシリンダが突出した位
置すなわち図の鎖線で示す位置（動作位置）に移動す
る。初期位置と動作位置とはシリンダ５５に内蔵されて
いる前進限センサおよび後退限センサによって検出され
る。

【００３５】次に上記観測装置の使用方法の一例を述べ
る。ウェハに形成された文字や符号の読取装置として使
用するときは、まず半導体製造工程の適当な位置に観測
装置を設置する。このとき観測装置と観測対象との距離
は作動距離（ワーキングディスタンス）Ｗとなるように
設定する。また、ウェハ３を観測装置まで搬送する自動
搬送装置を使用する。はじめに、観測装置は、移動型発
光ユニット５９を自動搬送装置の動作の障害にならない
ように初期位置に退避させ、自動搬送装置に対して準備
終了信号を出力する。その信号を受けて、自動搬送装置
は、ウェハ３が観測位置にあればこれを搬出し、なけれ
ば次のウェハ３を観測位置まで搬入する。ウェハ３の搬
入後、シリンダ５５が駆動され、移動型発光ユニット５
９が動作位置まで移動し、移動型発光ユニット５９を構
成する発光体６５の一部または全部が発光する。

【００３６】以上のように、移動型発光ユニット５９が
移動するので、従来では得られなかった大きな入射角φ
によって観測対象３ａを照明することができる。特に、
移動型発光ユニット５９は、作動距離Ｗ内において対物
レンズ１１の光軸方向に移動するだけなので、装置が大
型化することなく装置をコンパクトに構成することが可
能となる。

【００３７】図７は移動手段の別の例を示す。この例で
は、移動型発光ユニット６９を、回路基板７１に複数の
発光体７３ａ，７３ｂ，７３ｃを取り付けて構成する。
回路基板７１の一端を固定ブロック７５に固定し、固定
ブロック７５を固定ネジ７７を用いてモータ７９の回転
軸７９ａに固定する。モータ７９は装置本体５３に取り
付ける。図７に示すように、発光体７３ａ，７３ｂ，７
３ｃはモータ７９の回転軸からの距離が異なるように配
置する。モータ７９を回転させると各発光体７３ａ，７
３ｂ，７３ｃは、作動距離Ｗ内に進入し、観測対象３ａ
を照明することができる。

【００３８】以上のようにすれば、発光体およびモータ
の回転角を選択設定すれば、入射角φの値を自由に調整
することができる。

【００３９】図８に移動型発光ユニットの別の例を示
す。この例では、移動型発光ユニット８１として、対物
レンズ１１の光軸１１ｂ方向に隔てて配置した複数の発
光体群８３ａ，８３ｂ，８３ｃを使用した。各発光体群
の各発光体の光軸は、観測対象３ａの辺ｄを一辺とする
３つの平面上またはその近傍に配置されている。各発光
体群中の発光体は、図３に示す第１発光部４１と第２発
光部４２で構成してもよいが、例えば発光体群８３ａを
第１発光部４１とし、発光体群８３ｂ及び８３ｃを第２
発光部としてもよい。移動型発光ユニット８１はボック
ス８５を有し、ボックス８５の前面はディフューザ８７
で覆っている。シリンダ８９のシャフトは折り返し型の
シャフト９１を使用し、シリンダ８９本体を防塵カバー
９３で覆う。シリンダ８９の動作によって移動型発光ユ
ニット８１が矢印で示すように光軸１１ｂ方向に上下動
する。

【００４０】上記装置によれば、発光体８３ａ，８３
ｂ，８３ｃを選択することにより、入射角を多段階に変
化させることができるとともに、シリンダ８９からの塵
芥等がウェハ３に付着するのを防止することができる。

【００４１】図９は、発光体の移動に伴って発生する塵
が観測対象上に落ちないように工夫した例を示す。すな
わち、装置本体５３全体を覆う筒状の防塵カバー９０
を、シリンダ９２のシャフト９３に連結する。防塵カバ
ー９０の下部には、移動型発光ユニット９４が配置され
ている。防塵カバー９０の底部は開口９０ａとなってお
り、この開口９０ａは移動型発光ユニット９４の光を通
すように透明ガラス９５によって覆われている。シリン
ダ９２を駆動させると、防塵カバー９０が下降し、発光
体９５も共に下降して大きな入射角φで照明されるとと
もに、透明ガラス９５によって覆われているので、ウェ
ハ３に塵芥等が落下するのを防止できる。

【００４２】上記例において、移動手段の例として主に
シリンダを挙げて説明したが、その他の手段例えばモー
タ及び直動機構を使用してもよい。また、パルスモータ
等の位置制御型のモータを使用すれば、移動すべき位置
が多数あっても容易に位置制御することができる。

【００４３】発光部が図２に示すように複数ある場合、
複数の発光部を連結して全部を同時に移動させることも
できる。図２の例でいえば、第１ないし第３発光部４
１，４２，２１を連結部材で連結して、これらの連結さ
れた発光部４１，４２，２１を適当な移動手段（シリン
ダ等）を用いて同時に移動させることができる。もちろ
ん各発光部４１，４２，２１の各々に移動手段を取り付
けてもよい。

【００４４】上記例においては受光部７ａ（図１）にＣ
ＣＤセンサを置いて観測したが、それに限らず他のセン
サや撮像管または肉眼等で観測するようにしてもよい。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光学素子を通さずに大きな入射角で観測対象を照明する
場合において、コントラストの高い最適な照明を行うこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の観測装置の一例の全体構成図

【図２】図１の観測装置の底面図

【図３】第１および第２発光部の光軸の向きを説明する
図

【図４】発光体の配置について説明する図

【図５】第１ないし第３発光部の別の構成例を示す図

【図６】移動型発光ユニットの別の例を示す図

【図７】移動型発光ユニットの別の例を示す図

【図８】移動型発光ユニットの別の例を示す図

【図９】移動型発光ユニットの別の例を示す図

【符号の説明】

３ａ観測対象１１対物レンズ１３第４発光部２１第３発光部４１第１発光部４２第２発光部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】発光部からの光を対物レンズを通さずに
観測対象に照射し、前記観測対象からの反射光を受光部
で受光して前記観測対象を観測する観測装置において、前記発光部は複数の発光体から成る第１発光部を備え、第１発光部は、その照明が暗視野照明となるように配置
されるとともに、各発光体の光軸は、前記観測対象の配
列方向を一辺とする、光学的な同一平面内またはその近
傍に配置され、各光軸の前記観測対象を含む平面に対す
る射影が前記観測対象の配列方向に対してほぼ同一方向
に傾斜していることを特徴とする観測装置。
【請求項２】前記傾斜の角度は、４５゜の奇数倍の近
傍である請求項１に記載の観測装置。
【請求項３】対物レンズを通さずに観測対象に光を照
射する、複数の発光体から成る第１発光部を備え、第１発光部は、その照明が暗視野照明となるように配置
されるとともに、各発光体の光軸は、前記観測対象の配
列方向を一辺とする、光学的な同一平面内またはその近
傍に配置され、各光軸の前記観測対象を含む平面に対す
る射影が前記観測対象の配列方向に対してほぼ同一方向
に傾斜しているとともに、前記対物レンズを通さずに前記観測対象の配列方向に対
してほぼ垂直に光を照射する第２発光部、前記対物レン
ズを通さずに前記観測対象の配列方向に対してほぼ平行
に光を照射する第３発光部および前記対物レンズを通し
て光を前記観察対象に照射する第４発光部のうちいずれ
か１つまたは複数を備え、前記観測対象からの反射光を受光部で受光して前記観測
対象を観測することを特徴とする観測装置。
【請求項４】発光部からの光を対物レンズを通さずに
観測対象に照射し、前記観測対象からの反射光を対物レ
ンズを介して受光部で受光して前記観測対象を観測する
観測装置において、前記発光部はその照明が暗視野照明
となるように配置されるとともに、前記発光部を移動さ
せる移動手段を設けたことを特徴とする観測装置。
【請求項５】前記移動手段は、前記発光部を前記対物
レンズの光軸方向に移動させる請求項４に記載の観測装
置。