JP2003294578A - カラーフィルタ検査装置 - Google Patents
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- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 カラーフィルタの色のムラを精度よく検査す
る装置を提供する。 【解決手段】 カラーフィルタ検査装置１において、ガ
イドレール２３に沿って移動するカラーフィルタ９を上
方からラインセンサ１３０にて撮像する撮像部１３、お
よび、カラーフィルタ９の下方から照明光を照射する蛍
光ランプ１４を設け、撮像部１３に所定の波長帯域の光
を透過する光学フィルタ１３１を取り付ける。光学フィ
ルタ１３１の透過波長帯域は、カラーフィルタ９の１つ
の色成分フィルタの透過率が高く、他の色成分フィルタ
の透過率が低い波長帯域とされる。これにより、１つの
色成分に関してカラーフィルタ９の色のムラを精度よく
検査することが実現される。
る装置を提供する。 【解決手段】 カラーフィルタ検査装置１において、ガ
イドレール２３に沿って移動するカラーフィルタ９を上
方からラインセンサ１３０にて撮像する撮像部１３、お
よび、カラーフィルタ９の下方から照明光を照射する蛍
光ランプ１４を設け、撮像部１３に所定の波長帯域の光
を透過する光学フィルタ１３１を取り付ける。光学フィ
ルタ１３１の透過波長帯域は、カラーフィルタ９の１つ
の色成分フィルタの透過率が高く、他の色成分フィルタ
の透過率が低い波長帯域とされる。これにより、１つの
色成分に関してカラーフィルタ９の色のムラを精度よく
検査することが実現される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、表示装置に用いら
れるカラーフィルタの色のムラを検査するカラーフィル
タ検査装置に関する。
れるカラーフィルタの色のムラを検査するカラーフィル
タ検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置に代表されるフラットパネ
ルディスプレイ等の表示装置に利用されるカラーフィル
タを単体で検査する場合、通常、ナトリウムランプのオ
レンジ色の光やグリーンランプと呼ばれるランプからの
緑色の光がカラーフィルタに照射される。そして、光の
透過や反射の様子を目視にて確認することによりカラー
フィルタの色のムラが検査される。
ルディスプレイ等の表示装置に利用されるカラーフィル
タを単体で検査する場合、通常、ナトリウムランプのオ
レンジ色の光やグリーンランプと呼ばれるランプからの
緑色の光がカラーフィルタに照射される。そして、光の
透過や反射の様子を目視にて確認することによりカラー
フィルタの色のムラが検査される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、パター
ンが形成された状態のカラーフィルタに対して目視によ
り色のムラを検査することは非常に困難であり、実際に
パネルが製造された後に点灯検査が行われて初めてムラ
が発見されることがある。
ンが形成された状態のカラーフィルタに対して目視によ
り色のムラを検査することは非常に困難であり、実際に
パネルが製造された後に点灯検査が行われて初めてムラ
が発見されることがある。
【０００４】本発明は、上記課題に鑑みなされたもので
あり、透過照明を用いてカラーフィルタの色のムラを精
度よく検査することを目的としている。
あり、透過照明を用いてカラーフィルタの色のムラを精
度よく検査することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、表示装置に用いられるカラーフィルタの色のムラを
検査するカラーフィルタ検査装置であって、カラーフィ
ルタを支持する支持部と、カラーフィルタの一の主面に
向けて光を出射する光源と、カラーフィルタの他の主面
側にて前記カラーフィルタからの光のうち特定の波長帯
域の光を受光することにより前記カラーフィルタの２次
元画像を取得する撮像部とを備え、カラーフィルタが有
する一の色成分フィルタの前記特定の波長帯域における
透過率が、他の色成分フィルタの前記特定の波長帯域に
おける透過率の和よりも高い。
は、表示装置に用いられるカラーフィルタの色のムラを
検査するカラーフィルタ検査装置であって、カラーフィ
ルタを支持する支持部と、カラーフィルタの一の主面に
向けて光を出射する光源と、カラーフィルタの他の主面
側にて前記カラーフィルタからの光のうち特定の波長帯
域の光を受光することにより前記カラーフィルタの２次
元画像を取得する撮像部とを備え、カラーフィルタが有
する一の色成分フィルタの前記特定の波長帯域における
透過率が、他の色成分フィルタの前記特定の波長帯域に
おける透過率の和よりも高い。
【０００６】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
のカラーフィルタ検査装置であって、前記一の色成分フ
ィルタの前記特定の波長帯域における透過率が、前記他
の色成分フィルタの前記特定の波長帯域における透過率
の和の４倍以上である。
のカラーフィルタ検査装置であって、前記一の色成分フ
ィルタの前記特定の波長帯域における透過率が、前記他
の色成分フィルタの前記特定の波長帯域における透過率
の和の４倍以上である。
【０００７】請求項３に記載の発明は、請求項１または
２に記載のカラーフィルタ検査装置であって、前記光源
と前記撮像部との間に、前記特定の波長帯域以外の光を
実質的に取り除く光学フィルタをさらに備える。
２に記載のカラーフィルタ検査装置であって、前記光源
と前記撮像部との間に、前記特定の波長帯域以外の光を
実質的に取り除く光学フィルタをさらに備える。
【０００８】請求項４に記載の発明は、請求項１または
２に記載のカラーフィルタ検査装置であって、前記光源
と前記撮像部との間に光学フィルタをさらに備え、前記
光源が放電ランプである。
２に記載のカラーフィルタ検査装置であって、前記光源
と前記撮像部との間に光学フィルタをさらに備え、前記
光源が放電ランプである。
【０００９】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
のカラーフィルタ検査装置であって、前記光学フィルタ
が、所定の波長よりも長い波長または短い波長の光のみ
を透過する。
のカラーフィルタ検査装置であって、前記光学フィルタ
が、所定の波長よりも長い波長または短い波長の光のみ
を透過する。
【００１０】請求項６に記載の発明は、請求項１または
２に記載のカラーフィルタ検査装置であって、前記光源
が複数のＬＥＤを有する。
２に記載のカラーフィルタ検査装置であって、前記光源
が複数のＬＥＤを有する。
【００１１】請求項７に記載の発明は、請求項１ないし
６のいずれかに記載のカラーフィルタ検査装置であっ
て、前記撮像部の撮像方向が、前記支持部に支持された
カラーフィルタの主面の法線に対して傾いている。
６のいずれかに記載のカラーフィルタ検査装置であっ
て、前記撮像部の撮像方向が、前記支持部に支持された
カラーフィルタの主面の法線に対して傾いている。
【００１２】請求項８に記載の発明は、請求項１ないし
７のいずれかに記載のカラーフィルタ検査装置であっ
て、前記支持部をカラーフィルタの主面に沿って相対的
に移動させる移動機構をさらに備え、前記撮像部が、前
記支持部の移動と同期して撮像を行うラインセンサを有
する。
７のいずれかに記載のカラーフィルタ検査装置であっ
て、前記支持部をカラーフィルタの主面に沿って相対的
に移動させる移動機構をさらに備え、前記撮像部が、前
記支持部の移動と同期して撮像を行うラインセンサを有
する。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の第１の実施の形
態に係るカラーフィルタ検査装置１の構成を示す正面図
であり、図２は平面図である。なお、図１では構成を明
瞭に図示するために一部を想像線にて記載している。カ
ラーフィルタ検査装置１は、液晶表示装置等の表示装置
に使用されるカラーフィルタ９において、製造時のカラ
ーレジストの塗布量の変動や一部のノズルの異常により
カラーフィルタ９上に生じる色のムラを検査する装置で
ある。
態に係るカラーフィルタ検査装置１の構成を示す正面図
であり、図２は平面図である。なお、図１では構成を明
瞭に図示するために一部を想像線にて記載している。カ
ラーフィルタ検査装置１は、液晶表示装置等の表示装置
に使用されるカラーフィルタ９において、製造時のカラ
ーレジストの塗布量の変動や一部のノズルの異常により
カラーフィルタ９上に生じる色のムラを検査する装置で
ある。
【００１４】カラーフィルタ検査装置１では、ベース１
１上に開口１２１を有するステージ１２がＸ方向に移動
可能に配置され、カラーフィルタ９がステージ１２の開
口１２１上に支持される。ステージ１２の上方にはライ
ンセンサ１３０を有する撮像部１３が配置され、ステー
ジ１２の下方には蛍光ランプ１４が配置される。撮像部
１３は内部の光学系を介してＹ方向（紙面に垂直な方
向）に長い領域の撮像を行う。蛍光ランプ１４は撮像領
域に対応してＹ方向を向くように配置され、カラーフィ
ルタ９の下側の主面に向けて照明光を出射する。
１上に開口１２１を有するステージ１２がＸ方向に移動
可能に配置され、カラーフィルタ９がステージ１２の開
口１２１上に支持される。ステージ１２の上方にはライ
ンセンサ１３０を有する撮像部１３が配置され、ステー
ジ１２の下方には蛍光ランプ１４が配置される。撮像部
１３は内部の光学系を介してＹ方向（紙面に垂直な方
向）に長い領域の撮像を行う。蛍光ランプ１４は撮像領
域に対応してＹ方向を向くように配置され、カラーフィ
ルタ９の下側の主面に向けて照明光を出射する。
【００１５】ベース１１上には、図２に示すようにモー
タ２１に接続されたボールねじ機構２２、および、ステ
ージ１２の移動を案内するガイドレール２３が配置さ
れ、モータ２１が駆動されることによりステージ１２が
ガイドレール２３に沿ってＸ方向に移動する。これによ
り、カラーフィルタ９が主面に沿って移動する。また、
撮像部１３の先端には図１に示すように波長選択フィル
タである光学フィルタ１３１が取り付けられる。
タ２１に接続されたボールねじ機構２２、および、ステ
ージ１２の移動を案内するガイドレール２３が配置さ
れ、モータ２１が駆動されることによりステージ１２が
ガイドレール２３に沿ってＸ方向に移動する。これによ
り、カラーフィルタ９が主面に沿って移動する。また、
撮像部１３の先端には図１に示すように波長選択フィル
タである光学フィルタ１３１が取り付けられる。
【００１６】撮像部１３およびモータ２１は制御部３１
（図１に図示）に接続される。制御部３１は撮像部１３
による撮像とステージ１２の移動とを同期させ、撮像部
１３によるカラーフィルタの２次元画像の取得を実行す
る。撮像部１３からの出力は演算部３２へと送られ、演
算部３２にて色のムラが存在するか否かの検査が行われ
る。
（図１に図示）に接続される。制御部３１は撮像部１３
による撮像とステージ１２の移動とを同期させ、撮像部
１３によるカラーフィルタの２次元画像の取得を実行す
る。撮像部１３からの出力は演算部３２へと送られ、演
算部３２にて色のムラが存在するか否かの検査が行われ
る。
【００１７】なお、撮像および演算処理はカラーフィル
タ９のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３つの色成分の
フィルタ（すなわち、カラーレジスト）のそれぞれにつ
いて行われ、このとき、対応する光学フィルタ１３１が
撮像部１３に順次取り付けられる。
タ９のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３つの色成分の
フィルタ（すなわち、カラーレジスト）のそれぞれにつ
いて行われ、このとき、対応する光学フィルタ１３１が
撮像部１３に順次取り付けられる。
【００１８】また、図１に示すように撮像部１３の撮像
方向（光学系の光軸の方向）はステージ１２に支持され
たカラーフィルタ９の主面の法線に対して傾けられる。
傾ける角度は、例えば、１０°程度とされる。これによ
り、撮像部１３（特に、光学系の先端）がカラーフィル
タ９に映って撮像されてしまうことが防止され、適切な
画像が取得される。
方向（光学系の光軸の方向）はステージ１２に支持され
たカラーフィルタ９の主面の法線に対して傾けられる。
傾ける角度は、例えば、１０°程度とされる。これによ
り、撮像部１３（特に、光学系の先端）がカラーフィル
タ９に映って撮像されてしまうことが防止され、適切な
画像が取得される。
【００１９】次に、光学フィルタ１３１の特性について
説明する。図３中の曲線８１は、Ｒの色成分フィルタ
（すなわち、Ｒのカラーレジスト）の分光透過率を示
し、曲線８２，８３はそれぞれＧ，Ｂに関する分光透過
率を示す。図３に示すようにＲ，Ｇ，Ｂに関する透過率
は波長に対して完全には分離していない。したがって、
波長帯域の広い光を用いた場合、精度の高い検査を行う
ことができない。
説明する。図３中の曲線８１は、Ｒの色成分フィルタ
（すなわち、Ｒのカラーレジスト）の分光透過率を示
し、曲線８２，８３はそれぞれＧ，Ｂに関する分光透過
率を示す。図３に示すようにＲ，Ｇ，Ｂに関する透過率
は波長に対して完全には分離していない。したがって、
波長帯域の広い光を用いた場合、精度の高い検査を行う
ことができない。
【００２０】図４は、液晶表示装置の光源と同等の分光
特性を有する蛍光ランプ１４から出射される光の分光強
度（曲線８５にて図示）を示す図であり、説明の便宜
上、図３に示す曲線８１〜８３を縦軸のスケールを無視
して図示している。図４に示すように、蛍光ランプ１４
等の放電ランプでは出射される光が輝線成分を有し、強
度の高い波長帯域が限定されている。そこで、カラーフ
ィルタ検査装置１では、カラーフィルタ９のＲ成分（Ｒ
の色成分フィルタ）に対して検査が行われる際に、光学
フィルタ１３１として６００ｎｍ以上の波長の光を透過
するフィルタが用いられ、図４中のピーク８５１の波長
帯域の光のみが検査に利用される。これにより、カラー
フィルタのＧ成分およびＢ成分の透過率の影響を受ける
ことなく、Ｒ成分のムラの検査を適切に行うことができ
る。
特性を有する蛍光ランプ１４から出射される光の分光強
度（曲線８５にて図示）を示す図であり、説明の便宜
上、図３に示す曲線８１〜８３を縦軸のスケールを無視
して図示している。図４に示すように、蛍光ランプ１４
等の放電ランプでは出射される光が輝線成分を有し、強
度の高い波長帯域が限定されている。そこで、カラーフ
ィルタ検査装置１では、カラーフィルタ９のＲ成分（Ｒ
の色成分フィルタ）に対して検査が行われる際に、光学
フィルタ１３１として６００ｎｍ以上の波長の光を透過
するフィルタが用いられ、図４中のピーク８５１の波長
帯域の光のみが検査に利用される。これにより、カラー
フィルタのＧ成分およびＢ成分の透過率の影響を受ける
ことなく、Ｒ成分のムラの検査を適切に行うことができ
る。
【００２１】Ｇ成分のムラの検査が行われる場合には、
ピーク８５２近傍の波長帯域の光のみが利用される。す
なわち、５００〜５３０ｎｍ以上、５５０〜５７０ｎｍ
以下の波長帯域の光のみを透過する光学フィルタ１３１
が用いられる。Ｂ成分のムラの検査が行われる場合に
は、ピーク８５３近傍の波長帯域の光が利用され、４４
０〜４８０ｎｍ以下の波長帯域の光のみを透過する光学
フィルタ１３１が用いられる。
ピーク８５２近傍の波長帯域の光のみが利用される。す
なわち、５００〜５３０ｎｍ以上、５５０〜５７０ｎｍ
以下の波長帯域の光のみを透過する光学フィルタ１３１
が用いられる。Ｂ成分のムラの検査が行われる場合に
は、ピーク８５３近傍の波長帯域の光が利用され、４４
０〜４８０ｎｍ以下の波長帯域の光のみを透過する光学
フィルタ１３１が用いられる。
【００２２】以上のように、カラーフィルタ検査装置１
では、１つの色成分フィルタに対して透過率が高く、他
のいずれの色成分フィルタに対しても透過率が低い波長
帯域の光を撮像部１３が受光することにより、カラーフ
ィルタ９における特定の色成分フィルタの透過率分布に
相当する２次元画像を取得することができる。その結
果、各色成分フィルタのムラの検査を精度よく行うこと
ができ、製造プロセスに対する有益な情報を得ることが
できる。
では、１つの色成分フィルタに対して透過率が高く、他
のいずれの色成分フィルタに対しても透過率が低い波長
帯域の光を撮像部１３が受光することにより、カラーフ
ィルタ９における特定の色成分フィルタの透過率分布に
相当する２次元画像を取得することができる。その結
果、各色成分フィルタのムラの検査を精度よく行うこと
ができ、製造プロセスに対する有益な情報を得ることが
できる。
【００２３】また、光源として蛍光ランプ１４（他の例
としては、キセノンランプ、メタルハライドランプ）等
の放電ランプを用いることにより、光学フィルタ１３１
が特定の波長帯域のみを正確に透過するものでなくても
放電ランプからの光の輝線成分を利用することにより、
容易に精度の高い検査を行うことができる。特に、Ｒ成
分およびＢ成分のフィルタについて検査を行う場合に
は、輝線成分の波長帯域を考慮して所定の波長よりも長
いまたは短い波長の光のみを透過する光学フィルタ１３
１（例えば、色ガラスフィルタ）を設けるだけで精度の
高い検査を行うことができる。
としては、キセノンランプ、メタルハライドランプ）等
の放電ランプを用いることにより、光学フィルタ１３１
が特定の波長帯域のみを正確に透過するものでなくても
放電ランプからの光の輝線成分を利用することにより、
容易に精度の高い検査を行うことができる。特に、Ｒ成
分およびＢ成分のフィルタについて検査を行う場合に
は、輝線成分の波長帯域を考慮して所定の波長よりも長
いまたは短い波長の光のみを透過する光学フィルタ１３
１（例えば、色ガラスフィルタ）を設けるだけで精度の
高い検査を行うことができる。
【００２４】さらに、ラインセンサ１３０を有する撮像
部１３を用いることにより、大型のカラーフィルタ９で
あっても撮像部１３の光学系が肥大化してしまうことが
抑制され、容易に検査を行うことができる。
部１３を用いることにより、大型のカラーフィルタ９で
あっても撮像部１３の光学系が肥大化してしまうことが
抑制され、容易に検査を行うことができる。
【００２５】ところで、図３に示すように一般的には２
つの色成分フィルタの分光透過率が共に０となることは
ない。したがって、どのような波長帯域の光を１つの色
成分（以下、「特定色成分」という。）フィルタの検査
に使用したとしても、完全には他の色成分フィルタのム
ラの影響を取り除くことはできない。しかしながら、特
定色成分フィルタの透過率が他の色成分フィルタの透過
率の和よりも高い場合には、取得される画像において特
定色成分フィルタの影響が支配的となることから、検査
が可能となる。
つの色成分フィルタの分光透過率が共に０となることは
ない。したがって、どのような波長帯域の光を１つの色
成分（以下、「特定色成分」という。）フィルタの検査
に使用したとしても、完全には他の色成分フィルタのム
ラの影響を取り除くことはできない。しかしながら、特
定色成分フィルタの透過率が他の色成分フィルタの透過
率の和よりも高い場合には、取得される画像において特
定色成分フィルタの影響が支配的となることから、検査
が可能となる。
【００２６】なお、より精度の高い検査を行うために
は、特定色成分フィルタの透過率が他の色成分フィルタ
の透過率の和の４倍以上であることが好ましい。
は、特定色成分フィルタの透過率が他の色成分フィルタ
の透過率の和の４倍以上であることが好ましい。
【００２７】図５は本発明の第２の実施の形態に係るカ
ラーフィルタ検査装置１の正面図であり、図６は左側面
図である。第２の実施の形態に係るカラーフィルタ検査
装置１では、ベース１１内にライトボックス４１が設け
られ、ライトボックス４１上に光拡散板４２が取り付け
られる。さらに、光拡散板４２上には２つの支持ガイド
１２ａが配置され、支持ガイド１２ａ上にカラーフィル
タ９が載置される。
ラーフィルタ検査装置１の正面図であり、図６は左側面
図である。第２の実施の形態に係るカラーフィルタ検査
装置１では、ベース１１内にライトボックス４１が設け
られ、ライトボックス４１上に光拡散板４２が取り付け
られる。さらに、光拡散板４２上には２つの支持ガイド
１２ａが配置され、支持ガイド１２ａ上にカラーフィル
タ９が載置される。
【００２８】撮像部１３ａは２次元撮像デバイス１３０
ａを有し、カラーフィルタ９を移動させることなくカラ
ーフィルタ９の２次元画像を取得する。カラーフィルタ
９と撮像部１３ａとの間には光学フィルタ１３１を各色
成分用のものに切り替える切替機構４３が配置される。
切替機構４３はモータ４３１（図５参照）により３つの
光学フィルタ１３１が取り付けられたディスク４３２を
回転し、各光学フィルタ１３１を撮像部１３ａの前方に
順次位置させる。また、第１の実施の形態と同様に撮像
部１３ａの撮像方向はカラーフィルタ９の法線方向から
傾斜した方向とされ、不要な映り込みが防止される。
ａを有し、カラーフィルタ９を移動させることなくカラ
ーフィルタ９の２次元画像を取得する。カラーフィルタ
９と撮像部１３ａとの間には光学フィルタ１３１を各色
成分用のものに切り替える切替機構４３が配置される。
切替機構４３はモータ４３１（図５参照）により３つの
光学フィルタ１３１が取り付けられたディスク４３２を
回転し、各光学フィルタ１３１を撮像部１３ａの前方に
順次位置させる。また、第１の実施の形態と同様に撮像
部１３ａの撮像方向はカラーフィルタ９の法線方向から
傾斜した方向とされ、不要な映り込みが防止される。
【００２９】ライトボックス４１内の光源としては第１
の実施の形態と同様に蛍光ランプが光源として利用され
もよく、フィラメントを有する光源が利用されてもよ
い。輝線成分を有しない光が出射される場合は、図３に
示す各色成分フィルタの特性を考慮した光学フィルタ１
３１が準備される。例えば、波長帯の中心が６２０ｎ
ｍ、５４５ｎｍ、４４０ｎｍであって半値幅１０ｎｍ程
度の３つの光学フィルタ１３１が、それぞれＲ成分用、
Ｇ成分用、Ｂ成分用としてディスク４３２に取り付けら
れる。
の実施の形態と同様に蛍光ランプが光源として利用され
もよく、フィラメントを有する光源が利用されてもよ
い。輝線成分を有しない光が出射される場合は、図３に
示す各色成分フィルタの特性を考慮した光学フィルタ１
３１が準備される。例えば、波長帯の中心が６２０ｎ
ｍ、５４５ｎｍ、４４０ｎｍであって半値幅１０ｎｍ程
度の３つの光学フィルタ１３１が、それぞれＲ成分用、
Ｇ成分用、Ｂ成分用としてディスク４３２に取り付けら
れる。
【００３０】もちろん、光学フィルタ１３１の特性は、
撮像部１３ａの感度特性、各色成分フィルタの分光透過
率、光源の分光強度等に応じて適宜変更されてよく、こ
れらの特性に応じて特定の波長帯域以外の光を実質的に
取り除くことができるのであるならば、光学フィルタ１
３１は特定の波長帯域の光のみを厳密に透過するもので
ある必要はない。
撮像部１３ａの感度特性、各色成分フィルタの分光透過
率、光源の分光強度等に応じて適宜変更されてよく、こ
れらの特性に応じて特定の波長帯域以外の光を実質的に
取り除くことができるのであるならば、光学フィルタ１
３１は特定の波長帯域の光のみを厳密に透過するもので
ある必要はない。
【００３１】以上のように、カラーフィルタ検査装置１
は２次元撮像デバイス１３０ａを利用することも可能で
あり、この場合、カラーフィルタ９を移動させる機構が
不要となる。
は２次元撮像デバイス１３０ａを利用することも可能で
あり、この場合、カラーフィルタ９を移動させる機構が
不要となる。
【００３２】図７は他のカラーフィルタ検査装置の構成
の一部を示す図である。図７に示すカラーフィルタ検査
装置は、光学フィルタ１３１aが蛍光ランプ１４とカラ
ーフィルタ９との間に位置するという点を除いて第１の
実施の形態と同様となっている。このように、光学フィ
ルタは撮像部と光源との間であれば任意に配置されてよ
い。
の一部を示す図である。図７に示すカラーフィルタ検査
装置は、光学フィルタ１３１aが蛍光ランプ１４とカラ
ーフィルタ９との間に位置するという点を除いて第１の
実施の形態と同様となっている。このように、光学フィ
ルタは撮像部と光源との間であれば任意に配置されてよ
い。
【００３３】図８はさらに他のカラーフィルタ検査装置
の構成の一部を示す図である。図８に示すカラーフィル
タ検査装置は、紙面に垂直な方向に配列された複数のＬ
ＥＤ（発光ダイオード）であるＬＥＤアレイ１４ａが光
源として使用され、さらに、光学フィルタ１３１が配置
されないという点で第１の実施の形態と相違する。ＬＥ
Ｄアレイ１４ａとカラーフィルタ９との間には、均一な
線状照明をカラーフィルタ９に与えるために光拡散板１
４１が配置される。
の構成の一部を示す図である。図８に示すカラーフィル
タ検査装置は、紙面に垂直な方向に配列された複数のＬ
ＥＤ（発光ダイオード）であるＬＥＤアレイ１４ａが光
源として使用され、さらに、光学フィルタ１３１が配置
されないという点で第１の実施の形態と相違する。ＬＥ
Ｄアレイ１４ａとカラーフィルタ９との間には、均一な
線状照明をカラーフィルタ９に与えるために光拡散板１
４１が配置される。
【００３４】ＬＥＤを光源として使用する場合、照明光
は単一の輝線成分を有するものとなるため、光学フィル
タ１３１は不要となり、装置構造が簡素化される。ま
た、光源の長寿命化も実現される。なお、ＬＥＤアレイ
１４ａは各色成分フィルタの特性に応じた光を出射する
３種類が準備され、順次交換される。
は単一の輝線成分を有するものとなるため、光学フィル
タ１３１は不要となり、装置構造が簡素化される。ま
た、光源の長寿命化も実現される。なお、ＬＥＤアレイ
１４ａは各色成分フィルタの特性に応じた光を出射する
３種類が準備され、順次交換される。
【００３５】以上、本発明の実施の形態について説明し
てきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるもので
はなく様々な変形が可能である。
てきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるもので
はなく様々な変形が可能である。
【００３６】例えば、ラインセンサ１３０の走査方向
（図１および図２におけるＸ方向）に垂直な線状照明を
行う光源として、光ファイバアレイや石英ロッドと光源
とを組み合わせたものが利用されてもよい。
（図１および図２におけるＸ方向）に垂直な線状照明を
行う光源として、光ファイバアレイや石英ロッドと光源
とを組み合わせたものが利用されてもよい。
【００３７】また、大型のカラーフィルタ９のように周
縁部のみで支持することが困難な場合には、カラーフィ
ルタ９の中央を支持するための梁が図２に示すステージ
１２の開口１２１や図６に示す２つの支持ガイド１２ａ
の間に設けられてよい。
縁部のみで支持することが困難な場合には、カラーフィ
ルタ９の中央を支持するための梁が図２に示すステージ
１２の開口１２１や図６に示す２つの支持ガイド１２ａ
の間に設けられてよい。
【００３８】ラインセンサ１３０を有する撮像部１３が
使用される場合、上記実施の形態では光学フィルタ１３
１を作業者が交換しつつ３つの色成分に関するムラの検
査が繰り返されると説明したが、ラインセンサ１３０を
有する撮像部１３、蛍光ランプ１４（光源）、光学フィ
ルタ１３１の組み合わせ（あるいは、撮像部１３とＬＥ
Ｄアレイ１４ａとの組み合わせ）が３つの色成分に対応
して３組配列されてもよい。これにより、カラーフィル
タ９を１回走査するのみで各色成分フィルタの検査を行
うことができる。
使用される場合、上記実施の形態では光学フィルタ１３
１を作業者が交換しつつ３つの色成分に関するムラの検
査が繰り返されると説明したが、ラインセンサ１３０を
有する撮像部１３、蛍光ランプ１４（光源）、光学フィ
ルタ１３１の組み合わせ（あるいは、撮像部１３とＬＥ
Ｄアレイ１４ａとの組み合わせ）が３つの色成分に対応
して３組配列されてもよい。これにより、カラーフィル
タ９を１回走査するのみで各色成分フィルタの検査を行
うことができる。
【００３９】また、ラインセンサ１３０を有する撮像部
１３に対するカラーフィルタ９の移動は相対的なもので
よく、カラーフィルタ９に対して撮像部１３が移動して
もよい。
１３に対するカラーフィルタ９の移動は相対的なもので
よく、カラーフィルタ９に対して撮像部１３が移動して
もよい。
【００４０】
【発明の効果】本発明によれば、カラーフィルタの色の
ムラを精度よく検査することができる。
ムラを精度よく検査することができる。
【００４１】また、請求項４および５の発明では、光源
として放電ランプを使用することにより容易に精度の高
い検査を行うことができ、請求項６の発明では、装置の
簡素化および光源の長寿命化が実現される。
として放電ランプを使用することにより容易に精度の高
い検査を行うことができ、請求項６の発明では、装置の
簡素化および光源の長寿命化が実現される。
【００４２】また、請求項７の発明では、撮像部の映り
込みを防止することができ、請求項８の発明では、大型
のカラーフィルタであっても容易に検査を行うことがで
きる。
込みを防止することができ、請求項８の発明では、大型
のカラーフィルタであっても容易に検査を行うことがで
きる。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るカラーフィル
タ検査装置の構成を示す正面図である。
タ検査装置の構成を示す正面図である。
【図２】カラーフィルタ検査装置の構成を示す平面図で
ある。
ある。
【図３】各色成分フィルタの分光透過率を示す図であ
る。
る。
【図４】蛍光ランプから出射される光の分光強度を示す
図である。
図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係るカラーフィル
タ検査装置の正面図である。
タ検査装置の正面図である。
【図６】カラーフィルタ検査装置の左側面図である。
【図７】他のカラーフィルタ検査装置の構成の一部を示
す図である。
す図である。
【図８】さらに他のカラーフィルタ検査装置の構成の一
部を示す図である。
部を示す図である。
１ カラーフィルタ検査装置
９ カラーフィルタ
１２ ステージ
１２ａ 支持ガイド
１３，１３ａ 撮像部
１４ 蛍光ランプ
１４ａ ＬＥＤアレイ
２１ モータ
２２ ボールねじ機構
３１ 制御部
４１ ライトボックス
１３０ ラインセンサ
１３１ 光学フィルタ
Claims (8)
- 【請求項１】 表示装置に用いられるカラーフィルタの
色のムラを検査するカラーフィルタ検査装置であって、 カラーフィルタを支持する支持部と、 カラーフィルタの一の主面に向けて光を出射する光源
と、 カラーフィルタの他の主面側にて前記カラーフィルタか
らの光のうち特定の波長帯域の光を受光することにより
前記カラーフィルタの２次元画像を取得する撮像部と、
を備え、 カラーフィルタが有する一の色成分フィルタの前記特定
の波長帯域における透過率が、他の色成分フィルタの前
記特定の波長帯域における透過率の和よりも高いことを
特徴とするカラーフィルタ検査装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載のカラーフィルタ検査装
置であって、 前記一の色成分フィルタの前記特定の波長帯域における
透過率が、前記他の色成分フィルタの前記特定の波長帯
域における透過率の和の４倍以上であることを特徴とす
るカラーフィルタ検査装置。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載のカラーフィル
タ検査装置であって、 前記光源と前記撮像部との間に、前記特定の波長帯域以
外の光を実質的に取り除く光学フィルタをさらに備える
ことを特徴とするカラーフィルタ検査装置。 - 【請求項４】 請求項１または２に記載のカラーフィル
タ検査装置であって、 前記光源と前記撮像部との間に光学フィルタをさらに備
え、 前記光源が放電ランプであることを特徴とするカラーフ
ィルタ検査装置。 - 【請求項５】 請求項４に記載のカラーフィルタ検査装
置であって、 前記光学フィルタが、所定の波長よりも長い波長または
短い波長の光のみを透過することを特徴とするカラーフ
ィルタ検査装置。 - 【請求項６】 請求項１または２に記載のカラーフィル
タ検査装置であって、 前記光源が複数のＬＥＤを有することを特徴とするカラ
ーフィルタ検査装置。 - 【請求項７】 請求項１ないし６のいずれかに記載のカ
ラーフィルタ検査装置であって、 前記撮像部の撮像方向が、前記支持部に支持されたカラ
ーフィルタの主面の法線に対して傾いていることを特徴
とするカラーフィルタ検査装置。 - 【請求項８】 請求項１ないし７のいずれかに記載のカ
ラーフィルタ検査装置であって、 前記支持部をカラーフィルタの主面に沿って相対的に移
動させる移動機構をさらに備え、 前記撮像部が、前記支持部の移動と同期して撮像を行う
ラインセンサを有することを特徴とするカラーフィルタ
検査装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002093562A JP2003294578A (ja) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | カラーフィルタ検査装置 |
| US10/372,949 US6842240B2 (en) | 2002-03-29 | 2003-02-26 | Color filter inspection apparatus |
| KR10-2003-0014694A KR20030078648A (ko) | 2002-03-29 | 2003-03-10 | 컬러필터 검사장치 |
| TW092106015A TWI231861B (en) | 2002-03-29 | 2003-03-19 | Color filter inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002093562A JP2003294578A (ja) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | カラーフィルタ検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003294578A true JP2003294578A (ja) | 2003-10-15 |
Family
ID=28449663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002093562A Abandoned JP2003294578A (ja) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | カラーフィルタ検査装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6842240B2 (ja) |
| JP (1) | JP2003294578A (ja) |
| KR (1) | KR20030078648A (ja) |
| TW (1) | TWI231861B (ja) |
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| JP2006208150A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Opto One Kk | 液晶基板目視検査装置 |
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| JP2008001642A (ja) * | 2006-06-22 | 2008-01-10 | Nitto Denko Corp | 薬物含有貼付剤 |
| JP2008165349A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Alps Electric Co Ltd | 赤外線除去フィルタ認識装置 |
| JP2013195387A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Panasonic Corp | 表示パネルの製造方法、その検査装置及び検査方法 |
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| JP2007003364A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | カラーフィルタの検査装置、および検査方法 |
| US7385690B2 (en) * | 2006-04-24 | 2008-06-10 | Icf Technology Limited. | Inspecting system for color filters |
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| US9927369B2 (en) | 2015-06-03 | 2018-03-27 | Materion Corporation | Automated defect detection and mapping for optical filters |
| KR101880398B1 (ko) * | 2017-08-10 | 2018-07-20 | 주식회사 이오비스 | 기판의 얼룩 검사 장치 및 검사 방법 |
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| JPH10142101A (ja) | 1996-11-11 | 1998-05-29 | Dainippon Printing Co Ltd | 着色膜の検査方法 |
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2002
- 2002-03-29 JP JP2002093562A patent/JP2003294578A/ja not_active Abandoned
-
2003
- 2003-02-26 US US10/372,949 patent/US6842240B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-03-10 KR KR10-2003-0014694A patent/KR20030078648A/ko not_active Application Discontinuation
- 2003-03-19 TW TW092106015A patent/TWI231861B/zh not_active IP Right Cessation
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6842240B2 (en) | 2005-01-11 |
| TWI231861B (en) | 2005-05-01 |
| US20030184741A1 (en) | 2003-10-02 |
| KR20030078648A (ko) | 2003-10-08 |
| TW200305012A (en) | 2003-10-16 |
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