JP3099417B2 - 照明装置及び検査装置 - Google Patents
照明装置及び検査装置Info
- Publication number
- JP3099417B2 JP3099417B2 JP03131047A JP13104791A JP3099417B2 JP 3099417 B2 JP3099417 B2 JP 3099417B2 JP 03131047 A JP03131047 A JP 03131047A JP 13104791 A JP13104791 A JP 13104791A JP 3099417 B2 JP3099417 B2 JP 3099417B2
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば基板に実装さ
れる検査対象物に光を照射し、検査対象物で反射した光
をカメラで撮像して、基板実装部品及び実装部品のハン
ダ付け等の良否を外観検査する際に使用される照明装置
及び検査装置に関する。
れる検査対象物に光を照射し、検査対象物で反射した光
をカメラで撮像して、基板実装部品及び実装部品のハン
ダ付け等の良否を外観検査する際に使用される照明装置
及び検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来の照明装置を示す要部説明
図である。この照明装置は、３本の光源（リング状蛍光
灯）１、１ａ、１ｂと、各蛍光灯１、１ａ、１ｂに配備
された遮光板２１付きフィルタ２２、２３、２４とから
成る。上側の蛍光灯１には赤色フィルタ２２が配備さ
れ、中間の蛍光灯１ａには緑色フィルタ２３が、更に下
側の蛍光灯１ｂには青色フィルタ２４がそれぞれ配備し
てある。各蛍光灯１、１ａ、１ｂは、それぞれ個別に安
定化電源４、４ａ、４ｂにより点灯されるようになって
いる。
図である。この照明装置は、３本の光源（リング状蛍光
灯）１、１ａ、１ｂと、各蛍光灯１、１ａ、１ｂに配備
された遮光板２１付きフィルタ２２、２３、２４とから
成る。上側の蛍光灯１には赤色フィルタ２２が配備さ
れ、中間の蛍光灯１ａには緑色フィルタ２３が、更に下
側の蛍光灯１ｂには青色フィルタ２４がそれぞれ配備し
てある。各蛍光灯１、１ａ、１ｂは、それぞれ個別に安
定化電源４、４ａ、４ｂにより点灯されるようになって
いる。
【０００３】各蛍光灯１、１ａ、１ｂの投光は、それぞ
れＲＧＢフィルタ（赤、緑、青色フィルタ）２２、２
３、２４を通過して３色に分光され、検査対象物体Ａに
対しそれぞれ異なる角度で照射する。つまり、３色同時
照明する。そして、検査対象物体Ａにより反射した光
を、カラーカメラ５が撮像する。カメラ５が撮像した映
像は、モニタ（ＣＲＴディスプレイ）に映し出される。
検査者は、モニタの映像を目視して検査対象物体（実装
部品及びハンダ付け状況）の外観検査を実行する。
れＲＧＢフィルタ（赤、緑、青色フィルタ）２２、２
３、２４を通過して３色に分光され、検査対象物体Ａに
対しそれぞれ異なる角度で照射する。つまり、３色同時
照明する。そして、検査対象物体Ａにより反射した光
を、カラーカメラ５が撮像する。カメラ５が撮像した映
像は、モニタ（ＣＲＴディスプレイ）に映し出される。
検査者は、モニタの映像を目視して検査対象物体（実装
部品及びハンダ付け状況）の外観検査を実行する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記、従来の照明装置
では、光源（リング蛍光灯）が３本使用されており、各
蛍光灯の輝度を安定にするため安定化電源も３つ使用し
ている。このため、部品点数が多くなる許かりでなく、
装置自体が複雑となり、明るさ調整や蛍光灯交換の保守
が困難である等の不利があった。
では、光源（リング蛍光灯）が３本使用されており、各
蛍光灯の輝度を安定にするため安定化電源も３つ使用し
ている。このため、部品点数が多くなる許かりでなく、
装置自体が複雑となり、明るさ調整や蛍光灯交換の保守
が困難である等の不利があった。
【０００５】この発明は、以上のような課題を解消さ
せ、単一の光源とすることで安定化電源の数が１個で済
み、明るさ調整や光源交換等の保守性の簡易な照明装置
を提供することを目的とする。
せ、単一の光源とすることで安定化電源の数が１個で済
み、明るさ調整や光源交換等の保守性の簡易な照明装置
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び作用】この目的を達成
させるために、この出願の特許請求の範囲の請求項１に
係る照明装置は、単一の光源と、この単一の光源から投
光された光を複数の異なる波長の光線に分光するフィル
タと、このフィルタにより分光された複数の異なる波長
の光を対象物に対し、それぞれ異なる角度をもって照射
させる集光手段とから成ることを特徴としている。
させるために、この出願の特許請求の範囲の請求項１に
係る照明装置は、単一の光源と、この単一の光源から投
光された光を複数の異なる波長の光線に分光するフィル
タと、このフィルタにより分光された複数の異なる波長
の光を対象物に対し、それぞれ異なる角度をもって照射
させる集光手段とから成ることを特徴としている。
【０００７】このような構成を有する照明装置では、単
一の光源、例えば単一のリング状蛍光灯から出た光は、
フィルタにより複数の異なる波長の光線に分光される。
分光された複数の異なる波長の光は、それぞれ異なる角
度で対象物に照射される。つまり、複数の異なる波長の
光で同時照明する。
一の光源、例えば単一のリング状蛍光灯から出た光は、
フィルタにより複数の異なる波長の光線に分光される。
分光された複数の異なる波長の光は、それぞれ異なる角
度で対象物に照射される。つまり、複数の異なる波長の
光で同時照明する。
【０００８】かくして、光源が単一であるから安定化電
源も単一で済み、部品点数が減少し装置自体の構成が簡
単となる。また、光源（蛍光灯）が一つであるから、寿
命の短い（５０００時間）蛍光灯交換の保守が簡便とな
る許かりでなく、明るさ調整も簡単となる。
源も単一で済み、部品点数が減少し装置自体の構成が簡
単となる。また、光源（蛍光灯）が一つであるから、寿
命の短い（５０００時間）蛍光灯交換の保守が簡便とな
る許かりでなく、明るさ調整も簡単となる。
【０００９】また、請求項２に係る検査装置は、請求項
１に係る上記構成の照明装置を備えたものである。
１に係る上記構成の照明装置を備えたものである。
【００１０】
【実施例】図１は、この発明の照明装置の具体的な一実
施例を示す要部説明図である。
施例を示す要部説明図である。
【００１１】照明装置は、単一の光源１と、光源１から
投光する光を分光するＲＧＢフィルタ２と、フィルタ２
により分光された光を検査対象物体Ａに集光する集光手
段３とから成る。単一の光源１は、実施例ではリング状
蛍光灯が使用されている（図では便宜上、半円分だけ示
している。）。この蛍光灯１は、単一の安定化電源４に
接続されており点灯する。上記ＲＧＢフィルタ２は、図
２で示すように、円板状の遮光板部２１と、遮光板部２
１に配備された３つのフィルタ部２２、２３、２４とか
ら成る。遮光板部２１の面内には、３つのリング状孔２
５が開口してあり、この各リング状孔２５にそれぞれ赤
色、緑色、青色のフィルタ２２、２３、２４が配備して
ある。
投光する光を分光するＲＧＢフィルタ２と、フィルタ２
により分光された光を検査対象物体Ａに集光する集光手
段３とから成る。単一の光源１は、実施例ではリング状
蛍光灯が使用されている（図では便宜上、半円分だけ示
している。）。この蛍光灯１は、単一の安定化電源４に
接続されており点灯する。上記ＲＧＢフィルタ２は、図
２で示すように、円板状の遮光板部２１と、遮光板部２
１に配備された３つのフィルタ部２２、２３、２４とか
ら成る。遮光板部２１の面内には、３つのリング状孔２
５が開口してあり、この各リング状孔２５にそれぞれ赤
色、緑色、青色のフィルタ２２、２３、２４が配備して
ある。
【００１２】前記集光手段３は、図１で示すように、実
施例では２つのリング状（円錐状）ミラー３１、３２が
使用されている。ミラー３１、３２は、ＲＧＢフィルタ
２と検査対象物体Ａとの間に配備されている。フィルタ
２により分光された３つの光は、一つの光（赤色光）が
直接、検査対象物体Ａに照射し、他の二つの光（緑色
光、青色光）は、それぞれミラー３１、３２で反射して
検査対象物体Ａに照射するようになっている。つまり、
ＲＧＢフィルタ２で分光された３色の光は、それぞれ異
なった角度で検査対象物体Ａに対し３色同時照明する。
施例では２つのリング状（円錐状）ミラー３１、３２が
使用されている。ミラー３１、３２は、ＲＧＢフィルタ
２と検査対象物体Ａとの間に配備されている。フィルタ
２により分光された３つの光は、一つの光（赤色光）が
直接、検査対象物体Ａに照射し、他の二つの光（緑色
光、青色光）は、それぞれミラー３１、３２で反射して
検査対象物体Ａに照射するようになっている。つまり、
ＲＧＢフィルタ２で分光された３色の光は、それぞれ異
なった角度で検査対象物体Ａに対し３色同時照明する。
【００１３】また、検査対象物体Ａで反射した光をカラ
ーカメラ５で撮像し、モニタに映し出される。検査者
は、モニタの映像を目視して、基板の検査対象物体（部
品実装状況及び実装部品ハンダ付け状況）の良否を外観
検査する。
ーカメラ５で撮像し、モニタに映し出される。検査者
は、モニタの映像を目視して、基板の検査対象物体（部
品実装状況及び実装部品ハンダ付け状況）の良否を外観
検査する。
【００１４】図３は、照明装置の他の実施例を示す要部
説明図である。先の実施例では、光源にリング状蛍光灯
１を使用した例を示したが、この実施例ではタングステ
ンランプ１を光源とし、ファイバを使用したファイバ照
明装置を示している。ランプ１が投光した光は、束状の
ファイバ６でリング状照明ブロック７に導かれる（ここ
でも、照明ブロック７は半円分のみ図示している。）。
そして、照射角度範囲の広い照明ブロック７から照射す
る光は、ＲＧＢフィルタ２によって３色の光に分光され
る。分光された光の内の一つの光は、検査対象物体Ａに
直接、照射し、他の二つの光はそれぞれミラー３１、３
２を介して検査対象物体Ａに照射するようになってい
る。光源にタングステンランプ１を使用することで、蛍
光灯がもつ種々の不利、つまり蛍光灯の輝度が周辺温度
によって変動する点、電極部によって照明できない角度
が生じる点等の不利を解消できる。
説明図である。先の実施例では、光源にリング状蛍光灯
１を使用した例を示したが、この実施例ではタングステ
ンランプ１を光源とし、ファイバを使用したファイバ照
明装置を示している。ランプ１が投光した光は、束状の
ファイバ６でリング状照明ブロック７に導かれる（ここ
でも、照明ブロック７は半円分のみ図示している。）。
そして、照射角度範囲の広い照明ブロック７から照射す
る光は、ＲＧＢフィルタ２によって３色の光に分光され
る。分光された光の内の一つの光は、検査対象物体Ａに
直接、照射し、他の二つの光はそれぞれミラー３１、３
２を介して検査対象物体Ａに照射するようになってい
る。光源にタングステンランプ１を使用することで、蛍
光灯がもつ種々の不利、つまり蛍光灯の輝度が周辺温度
によって変動する点、電極部によって照明できない角度
が生じる点等の不利を解消できる。
【００１５】図４は、照明装置の更に他の実施例を示す
要部説明図である。この実施例の照明装置は、単一の光
源（タングステンランプ）１から投光する光を、ＲＧＢ
フィルタ２、つまり赤色フィルタ２２、緑色フィルタ２
３、青色フィルタ２４で分光し、分光した光はそれぞれ
対応するそれぞれが束状の３本のファイバ６１、６２、
６３により、それぞれリング状照明ブロック７１、７
２、７３に導かれる。この照明ブロック７１、７２、７
３により分光し導かれた３色光は、それぞれ異なる角度
で検査対象物体Ａに照射する。つまり、この実施例では
３本のファイバ６１、６２、６３と、３つの照明ブロッ
ク７１、７２、７３とで集光手段３が構成してある。
要部説明図である。この実施例の照明装置は、単一の光
源（タングステンランプ）１から投光する光を、ＲＧＢ
フィルタ２、つまり赤色フィルタ２２、緑色フィルタ２
３、青色フィルタ２４で分光し、分光した光はそれぞれ
対応するそれぞれが束状の３本のファイバ６１、６２、
６３により、それぞれリング状照明ブロック７１、７
２、７３に導かれる。この照明ブロック７１、７２、７
３により分光し導かれた３色光は、それぞれ異なる角度
で検査対象物体Ａに照射する。つまり、この実施例では
３本のファイバ６１、６２、６３と、３つの照明ブロッ
ク７１、７２、７３とで集光手段３が構成してある。
【００１６】このような構成を有する照明装置では、光
源１を単一としたから、安定化電源４も単一で済む。従
って、部品点数が減少し装置自体の構造が簡単となる。
また、光源１が単一であるため、明るさの調整が簡単と
なる許かりでなく、光源交換の保守性が簡便となる。
源１を単一としたから、安定化電源４も単一で済む。従
って、部品点数が減少し装置自体の構造が簡単となる。
また、光源１が単一であるため、明るさの調整が簡単と
なる許かりでなく、光源交換の保守性が簡便となる。
【００１７】
【発明の効果】この発明では、以上のように、単一の光
源から投光する光をフィルタによって複数の異なる波長
の光線に分光し、分光された複数の異なる波長の光を集
光手段によりそれぞれ異なる角度で対象物に対し照射さ
せることとしたから、光源が単一である結果、安定化電
源も単一で済み、部品点数が減少し、装置自体の構造が
簡単となる。また、光源が単一であるため、明るさの調
整が簡単となる許かりでなく、光源交換の保守性が簡便
となる。また、複数の異なる波長の光をそれぞれ異なる
角度で対象物に照射させるので、検査の場合、対象物の
性状を短時間で高精度に検出できる。
源から投光する光をフィルタによって複数の異なる波長
の光線に分光し、分光された複数の異なる波長の光を集
光手段によりそれぞれ異なる角度で対象物に対し照射さ
せることとしたから、光源が単一である結果、安定化電
源も単一で済み、部品点数が減少し、装置自体の構造が
簡単となる。また、光源が単一であるため、明るさの調
整が簡単となる許かりでなく、光源交換の保守性が簡便
となる。また、複数の異なる波長の光をそれぞれ異なる
角度で対象物に照射させるので、検査の場合、対象物の
性状を短時間で高精度に検出できる。
【図１】実施例照明装置を示す要部説明図である。
【図２】実施例照明装置のＲＧＢフィルタを示す説明図
である。
である。
【図３】照明装置の他の実施例を示す要部説明図であ
る。
る。
【図４】照明装置の他の実施例を示す要部説明図であ
る。
る。
【図５】従来の照明装置を示す要部説明図である。
１ 光源 ２ ＲＧＢフィルタ ３ 集光手段 ４ 安定化電源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/956 G01B 11/24 G01N 21/84 G02B 5/20 H05K 3/34 512
Claims (2)
- 【請求項１】単一の光源と、この単一の光源から投光さ
れた光を複数の異なる波長の光線に分光するフィルタ
と、このフィルタにより分光された複数の異なる波長の
光を対象物に対し、それぞれ異なる角度をもって照射さ
せる集光手段とから成る照明装置。 - 【請求項２】単一の光源と、この単一の光源から投光さ
れた光を複数の異なる波長の光線に分光するフィルタ
と、このフィルタにより分光された複数の異なる波長の
光を対象物に対し、それぞれ異なる角度をもって照射さ
せる集光手段とから成る照明装置を備えたこと特徴とす
る検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03131047A JP3099417B2 (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | 照明装置及び検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03131047A JP3099417B2 (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | 照明装置及び検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04355351A JPH04355351A (ja) | 1992-12-09 |
| JP3099417B2 true JP3099417B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=15048776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03131047A Expired - Fee Related JP3099417B2 (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | 照明装置及び検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3099417B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018004306A (ja) * | 2016-06-28 | 2018-01-11 | 株式会社ディスコ | 表面検査装置 |
| CN109996990B (zh) * | 2016-10-14 | 2021-12-28 | 科思创德国股份有限公司 | 用于减少彩色边纹的装置 |
-
1991
- 1991-06-03 JP JP03131047A patent/JP3099417B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04355351A (ja) | 1992-12-09 |
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