JPH11201894A - 観察光学系用照明装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 移動ステージにかかる負荷を軽減させ、電源
供給ラインおよび制御信号ラインの引きずりや断線の可
能性を排除し、観察光学系への光源の熱による影響を減
少させ、複数の照明方式の使い分けを簡単な構成により
実現する。 【解決手段】 光源は移動ステージによって移動されな
い位置に固定されており、照明光学系は光源からの照明
光を前記移動ステージの移動位置にかかわらず前記観察
光学系の視野に導くための光路変更手段３４、３５、３
６を具備する。また、照明光学系は、光源からの光を複
数方向に分岐する分岐手段３７を備え、分岐された各光
によりそれぞれ異なる方式で前記視野を照明するもので
ある。さらに、観察光学系の視野を照明する照明光の色
情報に基づいて光源の分光出力特性を調整する手段を有
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は顕微鏡ないしは画像
解析装置等に使用される観察光学系用の照明装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、外観検査装置に代表される画像解
析装置において、観察対象物の映像を取り込むために使
用される観察用光学系は、一般に、図１２に示すよう
に、その構成要素の一部として、明視野照明装置７また
は／および暗視野照明装置３または／および拡散照明装
置を具備しており、これらの照明装置は観察用光学系に
対して相対的に固定された構造となっている。図１２に
示すように、光学ヘッド２は移動ステージ２０の上に固
定されており、観察対象物５ないしは観察対象物の置か
れる試料台６に対して相対的に移動可能となっていて、
撮像装置を移動しながら順次観察対象の画像を取り込ん
でゆくが、画像を取り込むに当たっては明視野照明装置
７または／および暗視野照明装置３または／および拡散
照明装置によって検査対象に照明光を当てて反射光を撮
像アレイ１で捕らえる。 ここで、明視野照明装置７は、例えば実開平７−２９６
５７号公報に示されるように、発光源として蛍光灯、白
熱ランプ、水銀ランプ、ＬＥＤあるいはレーザ等の光源
を用いている。例えば図１２に示すように、ランプ４よ
り出射された照明光ないしは図１０に示すような１個以
上のＬＥＤ１０１等によって構成される点光源の集合体
より出射された照明光は、反射ミラー１１および光学部
材を介した後にハーフミラー１４によって反射されて検
査対象物５を照明する。また、暗視野照明装置３および
拡散照明は、例えば特開昭５７−１５５７４３号公報、
特開平５−１２１５１２号公報、特開平７−１５１９１
９号公報、特開平７−１９０９４８号公報等に示され従
来例によれば、図６に示すごとく、蛍光管６１、６２、
６３を検査対象物の斜上方に設置したり、あるいは図７
ないしは図８に示すごとく、照射角度を調整したＬＥＤ
７０〜７３または８０〜８３によって斜上方より観察対
象物を照明している。但し、上記の例においては明視野
照明、暗視野照明および拡散照明の違いにかかわらず、
照明のために用いられている光源はその点灯タイミング
や照明出力を制御するための制御信号伝達ラインと光源
部とを接続するための電源供給ラインによって外部の図
示しない制御部ないしは電源部と接続されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では次に示すような欠点がある。第１に、照明装置
７は光学ヘッド２の内部に構成されているために電源供
給ラインおよび制御信号伝達ラインを外部から接続する
必要があり、かつ光学ヘッド２は移動ステージ２０によ
って観察対象物５に対して相対的に移動しながら画像を
取り込む構造となっているために、前記電源供給ライン
および制御信号伝達ラインを引きずったままで移動を行
う結果となり、移動動作時に移動ステージ２０にかかる
力学的負荷が増大するとともに、ラインの摩擦ならびに
屈曲によってライン自体に疲労が発生して断線の可能性
も高くなっている。

【０００４】第２に、照明装置７は一般に発熱性を有す
る光源４を有しているために、周辺の部材の膨張や光路
内の空気の揺らぎ等を招いて、取り込み画像に歪みを発
生させる原因となり得るとともに、仮に熱の影響を回避
するために撮像部と光源部との距離を大きく取ったり、
冷却用の装置を追加した場合には照明装置自体の占有容
量や重量が増大することとなる。

【０００５】第３に、照明装置７を光学ヘッド２内に構
成するために、光学ヘッド２の容量および重量が大きく
なり、従って光学ヘッド２を移動させるための移動ステ
ージ２０はその容量および重量に対応するのに十分な出
力と剛性を待たなければならない。

【０００６】第４に、照明装置７は光学ヘッド２の一部
として構成されているために、例えば炭酸ガスレーザの
ような大型の光源を取り付けたり、または複数の光源を
同時に構成して切り替え方式で光源の選択する構造をな
すことは、光学ヘッド２が大きくなりすぎるために、実
現が非常に困難である。

【０００７】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点に鑑み、観察光学系用照明装置において、第１に、
移動ステージにかかる負荷を軽減させることにある。第
２に、電源供給ラインおよび制御信号ラインの引きずり
や断線の可能性を排除することにある。第３に、観察光
学系への光源の熱による影響を減少させることにある。
第４に、複数の照明方式の使い分けを簡単な構成により
実現することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明では、観察対象に対して相対的に移動可能な移動
ステージ上に固定された観察光学系の視野内を照明する
ための照明光を発する光源と、前記照明光を前記観察光
学系の視野に導き、視野内を照明する照明光学系とを備
えた観察光学系用照明装置において、前記光源は前記移
動ステージによって移動されない位置に固定されてお
り、前記照明光学系は前記光源からの照明光を前記移動
ステージの移動位置にかかわらず前記観察光学系の視野
に導くための光路変更手段を具備することを特徴とす
る。 これによれば、光源が観察光学系と分離されるため、観
察光学系が小型・軽量化され、移動ステージにかかる負
荷の軽減が図られる。また、電源供給ラインおよび制御
信号伝達ラインは、固定された光源に接続すればよく、
移動部に接続する必要が無くなるため、電源供給ライン
および制御信号ラインの引きずりや断線の可能性が排除
される。さらに、観察光学系への光源の熱による影響の
減少が図られる。

【０００９】また、本発明の別の態様においては、光源
と、光源からの光で観察光学系の視野を照明する照明光
学系とを備えた観察光学系用照明装置において、前記照
明光学系は、前記光源からの光を複数方向に分岐する分
岐手段を備え、分岐された各光によりそれぞれ異なる方
式で前記視野を照明するものであることを特徴とする。

【００１０】これによれば、光源からの光が分岐され、
分岐された各光によりそれぞれ異なる方式で観察光学系
の視野が照明されるため、複数の照明方式の使い分けが
簡単な構成により実現される。したがって、簡単な構成
により、拡散照明、透過照明等の任意の方式を組み合わ
せて自由に選択することが可能となる。

【００１１】また、本発明の他の態様においては、光源
と、光源からの光で観察光学系の視野を照明する照明光
学系とを備えた観察光学系用照明装置において、前記観
察光学系の視野を照明する照明光の色情報に基づいて前
記光源の分光出力特性を調整する手段を有することを特
徴とする。 これによれば、照明方式に応じて光源の分光出力特性の
適正化が図られる。特に、照明を行う直前で照明光の色
情報をモニタしながら照明光の分光特性の調整を光源側
で行うことが可能となるため、１つの照明光束を分岐さ
せてそれぞれを複数の照明方式で使い分ける上述のよう
な場合に適している。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施形態におい
ては、上述の各発明は組み合わせて照明装置に適用され
る。その場合、光源としては、異なる波長の光を発する
複数の光源を有し、照明光学系はこれらの波長の光を合
成し、合成した光により観察光学系の視野を照明するも
のが好ましい。

【００１３】光路変更手段は、例えば、移動ステージに
よって移動されない位置に固定され、光源からの照明光
を移動ステージの移動方向に沿った光路上に導く第１の
ミラーと、これによって移動ステージの移動方向に沿っ
た光路上に導かれる照明光を観察光学系の視野に導くた
めの、移動ステージに固定された第２のミラーとを有す
る。

【００１４】さらに、移動ステージは第１の方向に移動
可能な第１のステージと、この上に設けられ、第２の方
向に移動可能な第２のステージと、この上に設けられ、
第３の方向に移動可能な第３のステージとを有する。そ
の場合、光路変更手段は、第１ステージによって移動さ
れない位置に固定され、光源からの照明光を第１ステー
ジの移動方向に沿った光路上に導く第１のミラーと、こ
れによって第１ステージの移動方向に沿った光路上に導
かれる照明光を第２ステージの移動方向に沿った光路上
に導く、第１ステージに固定された第２のミラーと、こ
れによって第２ステージの移動方向に沿った光路上に導
かれる照明光を第３ステージの移動方向に沿った光路上
に導く、第２ステージに固定された第３のミラーとを有
する。

【００１５】また、照明光学系は、分岐された照明光に
より観察光学系の視野内を、明視野落射照明、暗視野落
射照明、拡散照明、透過照明のうちの１つ以上により照
明することができる。

【００１６】

【実施例】（第１の実施例）図１は、本発明の第１の実
施例に係る観察光学系用照明装置を示す斜視図であり、
本発明の特徴を最も良く表す図である。同図において、
１は観察される画像を撮像し、撮像データとして取り込
むための撮像アレイ、２は撮像アレイ１上に観察像を結
像するための光学ヘッド、２１、２２および２３は光学
ヘッド２をそれぞれＺ、Ｘ、Ｙ方向へ移動させるための
移動ステージ、３３ａ〜３３c 、３４、３５および３６
は照明光の進行方向を変えるための光路変更ミラー、３
２ａ〜３２cは光源からの照明光の形状を整えるための
調光ユニット、そして３１a〜３１c は光源である。こ
こで、光学ヘッド２は移動ステージ２３、２２、２１に
よってＸ、Ｙ、Ｚ方向に自由に移動可能であるが、光路
変更ミラー３３ａ〜３３ｃおよび３４、調光ユニット３
２ａ〜３２ｃ並びに光源３１ａ〜３１ｃは図示しない基
準面に固定されているものとする。また、光路変更ミラ
ー３５はＺ移動ステージ２１上に固定されていてＺ方向
の移動に連動し、光路変更ミラー３６はＸ移動ステージ
２２上に固定されていてＸ方向の移動に連動している。

【００１７】ここで説明を簡略化するために、例えばＺ
方向についての移動が無い場合について図３によって考
えると、光源３１より出射された光は移動しない光路変
更ミラー３５によって光路を変えられて光路変更ミラー
３６の方向へ向かうが、このとき光路変更ミラー３６は
Ｘ移動ステージ２２の上に固定されているために、Ｘ移
動ステージ２２がＸ方向へ移動したとしても、ステージ
の移動方向と光の移動方向とが一致して、図中の光路長
Ｄ_Xが変化するだけで、光は光路変更ミラー３６上で常
に同じ点に当たることになる。光路変更ミラー３６上の
この点で光はさらに反射して光学ヘッド２の方向へ進行
する。続いて光学ヘッド２はＹ移動ステージ２３によっ
てＹ方向に移動するが、この場合も光の進行方向と光学
ヘッド２の移動方向が一致しているために光路長Ｄ_Yが
変化するだけで、光は常に光学ヘッド２上の同一点に当
たることとなる。但しこのとき、光路長の変化によって
光の口径が変化してしまうことがないように、光源３１
から出射された光は平行光束であることと、光源３１か
らの光の出射方向ならびに光路変更ミラー３４、３５、
３６の角度が移動ステージ２１、２２、２３の移動方向
と十分に一致していることが必要条件である。

【００１８】さて、ここで、図１に示されるように、光
源３１は、複数の光源３１ａ〜３１ｃによって構成され
ているが、例えばそれぞれがＲ・Ｇ・Ｂの三原色の光線
を発生させることができる光源となっているものとす
る。光源３１ａ〜３１ｃから出射された光は、それぞれ
の光源に対して設けられた、コンデンサレンズ、ＮＤフ
ィルタ、シャッタ装置等によって構成される調光ユニッ
ト３２ａ〜３２ｃによって、それぞれ所定の口径・角度
・強度分布に整形され、光路変更ミラー３３ａ〜３３ｃ
によって１つの光束にまとめられて、光路変更ミラー３
４の方向へと導かれる。

【００１９】図９は調光ユニット３２の構成例を示す。
この場合、光源としてレーザ光源９１を使用しており、
光源９１より出射した光はシリンドリカルレンズないし
はトーリックレンズ等の光学素子９２および９３によっ
て縦・横それぞれの方向に拡大あるいは縮小されて希望
する照明光線の新面形状に整形される。次いでレンズ系
９４によって平行光束に変換された後にレンズ系９５に
よって図示しないピンホール板を通過して不規則成分が
除去され、レンズ系９６によって再度平行光束とされ
る。その後は、光学ヘッド２に至るまでの光路長が変化
したとしても光束の形状が変化することはない。

【００２０】この構成によれば、光源３１ａ〜３１ｃは
移動ステージ上ではなく、図示しない基準面上に設置さ
れているため、各光源の点灯タイミングや照明出力を制
御するための制御信号伝達ラインや、光源３１部と図示
しない光源用電源部とを接続するための電源供給ライン
も移動ステージ上の光学ヘッド２に接続する必要がな
い。したがって、移動ステージの駆動範囲をカバーする
ために上記制御信号伝達ラインおよび電源供給ラインを
長めに設定したり、移動ステージの移動によって前記ラ
インにかかるストレスからラインを保護するための手段
を講ずる必要もない。

【００２１】特に、上記の構成例によれば、光学ヘッド
２と光源３１は分離して固定されているために、従来の
移動型の光学ヘッド２には搭載が困難であったガスレー
ザ光源や、Ｘ線光源のような大型の光源装置の接続を容
易に行うことができるとともに、光軸を一致させる作業
を行うことによって、図示しない別の光源装置と容易に
交換することが可能となっている。

【００２２】次に、光学ヘッド２に到達した後の照明光
について説明する。図２は光学ヘッド２内における照明
光の進行状態の例を示す図である。説明を分かりやすく
するため、同図においては移動ステージ上の光路変更ミ
ラーの図示を省略している。同図において、光源３１ａ
〜３１ｃは前記の説明と同様にそれぞれＲ・Ｇ・Ｂの光
線を発生させる光源であるが、これらの光源から射出さ
れる光は調光ユニット３２ａ〜３２ｃを通過した後に合
成され、光学ヘッド２内に入り、ハーフミラー３７に至
る。ハーフミラー３７は照明光を明視野落射照明用の照
明光と暗視野落射照明用の照明光または拡散照明用の照
明光とに分割する。明視野落射照明用の照明光は直進
し、光量調整手段１３およびレンズ系１２を経てハーフ
ミラー１４に至り、それによって反射され、対物レンズ
１５を通過して観察対象物５を照射する。一方、暗視野
落射照明光はハーフミラー３７で反射された後に光量調
整手段４２、ミラー３８を経て光導入部３９から光ファ
イバー４０に入り、発光部４１より観察対象物５に照射
される。

【００２３】なお、光量調整手段１３および４２は、た
とえばＮＤフィルタや透過型の液晶シャッタを用いて明
視野、暗視野それぞれの光路中の光量および光量分布を
個別に制御するものである。また、暗視野落射照明系の
発光部４１を例えば特開平７−１９０９２３号公報に示
すごとき形状に変更することによって拡散照明に変更す
ることが可能である。 照明光によって観察対象物５を照明する直前の位置にセ
ンサ４５が設けられており、照明光の分光強度をモニタ
している。つまり、上述のように光源としてＲ・Ｇ・Ｂ
のそれぞれの光線を発する光源３１ａ〜３１ｃを用いた
場合、それぞれの光源の強度が希望する割合の組合せに
なっていなければ照明光の性状も変化してしまうため、
合成された照明光の分光強度をモニタし、調整する必要
が有る。ここではセンサ４５を光学ヘッド２内に設置
し、それによって得られる分光出力を図示しない分光解
析装置で解析し、光源間の強度の割合が希望するものと
一致していない場合は、光量調整手段４３ａ〜４３ｃを
用い、各光源からの出力を調整している。この場合、セ
ンサ４５は光学ヘッド２よりも手前に設置しても良い
が、例えば、図２においてハーフミラー３７、光量調整
手段１３、レンズ系１２およびハーフミラー１４を介す
時に、これらの光学素子の光学特性によっては照明光の
分光特性が変化する可能性もあるため、センサ４５の位
置は観察対象物５にでき得る限り近い方が望ましい。

【００２４】図４は、さらに透過照明をも可能とした場
合を示している。この場合、暗視野落射照明のときと同
様にハーフミラー５０によって分割された照明光は、光
量調整手段５１を通過した後に光路変更ミラー５２、５
３によって観察対象物５の下方へ導かれ、上方へ向かっ
て観察対象物５に照射される。この場合も他の経路によ
る照明の場合と同様に、光量調整手段５１はＮＤフィル
タないしは透過型の液晶シャッタ等によって構成されて
おり、照明光量および照明光の口径および口径内の照度
分布を任意に変更することを可能としている。

【００２５】なお、以上の説明は、もちろん光源の数や
構成を何ら制限するものではなく、光源についても例え
ば水銀ランプやレーザ光源およびＸ線等の種類を制限す
るものではないことは言うまでもない。

【００２６】（第２の実施例）図５は本発明の第２の実
施例に係る観察光学系用照明装置を示す図である。第１
の実施例においては、図２ないしは図４に示すように明
視野落射照明用と暗視野落射照明用とに光路を分岐して
いるが、本実施例では、図５に示すように、一般の金属
顕微鏡等の光学装置で用いられている照明切換えの方法
と同様に、明視野落射照明と同じ光路を通る光線を折曲
げミラー５４を用いて暗視野落射照明用の光源として用
いている。

【００２７】（第３の実施例）図１１は本発明の第３の
実施例に係る観察光学系用照明装置を示す図である。同
図に示すように、本実施例では、ポリゴンミラー５５な
いしはガルバノミラーとｆ・θレンズ５６を用い、スポ
ット形状ないしはスリット形状等の照明光を観察対象物
５の上で走査して画像を取り込む方式の観察光学系に本
発明を適用している。このように、本発明による観察光
学系用照明装置は、図２に示すような、視野内の全域を
照明するための用途に必ずしも限定されるものではな
い。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光源を移動ステージによって移動されない位置に固定
し、照明光を移動ステージの移動位置にかかわらず観察
光学系の視野に導くための光路変更手段を設けるように
したため、移動ステージにより移動する光学ヘッド部分
を小型・軽量化するとともに、移動する光学ヘッド部に
接続する電源供給ラインおよび制御信号ラインの数を減
少させ、さらに光学ヘッドから熱源を減少させることが
できる。したがって、移動ステージにかかる負荷を軽減
し、電源供給ラインおよび制御信号ラインの引きずりや
断線の可能性を排除し、かつ観察光学系への光源の熱に
よる影響を減少させることができる。

【００２９】また、光源からの光を複数方向に分岐する
分岐手段を備え、分岐された各光によりそれぞれ異なる
方式で観察光学系の視野を照明するようにしたため、複
数の照明条件の使い分けを簡単な構成により実現するこ
とができる。

【００３０】また、観察光学系の視野を照明する照明光
の色情報に基づいて光源の分光出力特性を調整する手段
を設けるようにしたため、光源からの光を複数の照明方
式で共通して用いる場合でも、照明方式に応じて、光源
の分光出力特性を調整することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施例に係る観察光学系用照
明装置の構成を示す模式的な斜視図である。

【図２】 図１の装置における光路を示す説明図であ
る。

【図３】 図１の装置における光路をわかりやすく示す
説明図である。

【図４】 図１の装置において、観察光学系の視野内
を、明視野落射照明、暗視野落射照明、拡散照明、およ
び透過照明により照明する場合の構成および光路を示す
説明図である。

【図５】 本発明の第２の実施例に係る観察光学系用照
明装置の構成を示す模式図である。

【図６】 従来例に係る暗視野照明装置を示す模式図で
ある。

【図７】 従来例に係る暗視野照明装置の例を示す模式
図である。

【図８】 従来例に係る他の暗視野照明装置を示す模式
図である。

【図９】 図１の装置における光源部の例を示す模式図
である。

【図１０】 照明装置の光源部の例を示す模式図であ
る。

【図１１】 本発明の第３の実施例に係る観察光学系用
照明装置の構成を示す模式図である。

【図１２】 従来例に係る観察光学系用照明装置の構成
を示す模式図である。

【符号の説明】

１：撮像アレイ、２：光学ヘッド、３：暗視野照明、
４：照明用光源、５：観察対象物、６：資料台、２０：
駆動ステージ、２１：Ｚ軸移動ステージ、２２：Ｘ軸移
動ステージ、２３：Ｙ軸移動ステージ、３１（３１ａ〜
３１ｃ）：光源装置、３２（３２ａ〜３２ｃ）：調光ユ
ニット、３３（３３ａ〜３３ｃ），３４，３５，３８，
５２，５３：光路変更ミラー、３７，５０：ハーフミラ
ー、３９：光導入部、４０：光ファイバ、４１：発光
部、４２：光量調整装置、４３（４３ａ〜４３ｃ）：光
量調整装置、４５：センサ、５４：折曲げミラー、５
５：ポリゴンミラー、５６：ｆ・θレンズ、９１：レー
ザ光源、９２：光学素子、９３：光学素子、９４：レン
ズ系、９５：レンズ系、９６：レンズ系、１０１：ＬＥ
Ｄ、１０２：絞り板。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 観察対象に対して相対的に移動可能な移
   動ステージ上に固定された観察光学系の視野内を照明す
   るための照明光を発する光源と、前記照明光を前記観察
   光学系の視野に導き、視野内を照明する照明光学系とを
   備えた観察光学系用照明装置において、前記光源は前記
   移動ステージによって移動されない位置に固定されてお
   り、前記照明光学系は前記光源からの照明光を前記移動
   ステージの移動位置にかかわらず前記観察光学系の視野
   に導くための光路変更手段を具備することを特徴とする
   観察光学系用照明装置。
2. 【請求項２】 前記光路変更手段は、前記移動ステージ
   によって移動されない位置に固定されかつ前記光源から
   の照明光を前記移動ステージの移動方向に沿った光路上
   に導く第１のミラーと、これによって前記移動ステージ
   の移動方向に沿った光路上に導かれる照明光を前記観察
   光学系の視野に導くための、前記移動ステージに固定さ
   れた第２のミラーとを有することを特徴とする請求項１
   に記載の観察光学系用照明装置。
3. 【請求項３】 前記移動ステージは第１の方向に移動可
   能な第１のステージと、この上に設けられ、第２の方向
   に移動可能な第２のステージと、この上に設けられ、第
   ３の方向に移動可能な第３のステージとを有し、前記光
   路変更手段は、前記第１ステージによって移動されない
   位置に固定されかつ前記光源からの照明光を前記第１ス
   テージの移動方向に沿った光路上に導く第１のミラー
   と、これによって前記第１ステージの移動方向に沿った
   光路上に導かれる照明光を前記第２ステージの移動方向
   に沿った光路上に導く、前記第１ステージに固定された
   第２のミラーと、これによって前記第２ステージの移動
   方向に沿った光路上に導かれる照明光を前記第３ステー
   ジの移動方向に沿った光路上に導く、前記第２ステージ
   に固定された第３のミラーとを有することを特徴とする
   請求項１に記載の観察光学系用照明装置。
4. 【請求項４】 前記照明光学系は、前記光源からの照明
   光を複数方向に分岐する分岐手段を備え、これら分岐さ
   れた照明光により前記観察光学系の視野内を、明視野落
   射照明、暗視野落射照明、拡散照明、透過照明のうちの
   １つ以上により照明するものであることを特徴とする請
   求項１〜３のいずれか１項に記載の観察光学系用照明装
   置。
5. 【請求項５】 前記観察光学系の視野を照明する照明光
   の色情報に基づいて前記光源の分光出力特性を調整する
   手段を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか
   １項に記載の観察光学系用照明装置。
6. 【請求項６】 光源と、光源からの光で観察光学系の視
   野を照明する照明光学系とを備えた観察光学系用照明装
   置において、前記照明光学系は、前記光源からの光を複
   数方向に分岐する分岐手段を備え、分岐された各光によ
   りそれぞれ異なる方式で前記視野を照明するものである
   ことを特徴とする観察光学系用照明装置。
7. 【請求項７】 光源と、光源からの光で観察光学系の視
   野を照明する照明光学系とを備えた観察光学系用照明装
   置において、前記観察光学系の視野を照明する照明光の
   色情報に基づいて前記光源の分光出力特性を調整する手
   段を有することを特徴とする観察光学系用照明装置。
8. 【請求項８】 前記光源は、異なる波長の光を発する複
   数の光源を有し、前記照明光学系はこれらの波長の光を
   合成し、合成した光により前記視野を照明するものであ
   ることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載
   の観察光学系用照明装置。