JPH05297281A - 観察、撮像装置などの照明装置 - Google Patents

観察、撮像装置などの照明装置

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JPH05297281A
JPH05297281A JP4129282A JP12928292A JPH05297281A JP H05297281 A JPH05297281 A JP H05297281A JP 4129282 A JP4129282 A JP 4129282A JP 12928292 A JP12928292 A JP 12928292A JP H05297281 A JPH05297281 A JP H05297281A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 観察対象としての被験体試料の被観察部表面
が、比較的微細な凹凸を有する形状であっても、当該被
観察部表面の個々の観察目的に対応した照明を行ない得
るようにする。 【構成】 被験体試料の被観察部表面に対し、落射光を
主体とする明視野照明、ならびに側射光を主体とする暗
視野照明による個々の各照明像の観察と、これらの各明
視野照明、および暗視野照明が合成された態様での照明
像の観察とのそれぞれを併せて、簡略化された同一の装
置構成内で切り換えて行ない得るように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、各種の被験体試料
(以下、単に被験体試料と呼ぶ)の表面像を観察、もし
くは撮像するために適用する観察、撮像装置などの照明
装置に関し、さらに詳しくは、観察対象としての被験体
試料の被観察部表面の照明を、必要に応じて、落射明視
野、側射暗視野の双方、もしくは何れか一方によって行
ない得るようにした照明装置の改良に係るものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、この種の観察対象としての被験
体試料における被観察部の表面に対面させた状態で、例
えば、それぞれに投光手段を内蔵する照明ヘッド、もし
くは、撮像ヘッドを臨ませて配置し、当該被観察部を照
明することによって、その表面像、ないしは、拡大され
た表面像を直接的に観察する観察装置、もしくは、モニ
タテレビの画面上に表示させて間接的に観察する撮像装
置などにあっては、従来から、被験体試料の被観察部表
面に対して、これに正対する平面側から垂直方向に向う
平行光線のみを照射する照明、いわゆる落射光を主体と
する照明を行なうようにするか、あるいは、当該被観察
部表面に対して、これに斜行する側面側から斜め方向に
向う斜行光線のみを照射する照明、いわゆる側射光を主
体とする照明を行うようにしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の落射光を主体とする照明手法、ないしは、側射光を
主体とする照明手法においては、例えば、観察対象とな
る被験体試料の平面部が比較的微細な凹凸のある形状で
ある場合には、これらの各照明手法を個別に実行して
も、当該表面部の微細な凹凸形状を必ずしも精緻には観
察できないという不利があり、また、これらの各照明手
法を同時に実行する方法も考えられるが、装置自体の構
成が徒らに複雑化するという問題点があった。
【0004】この発明は、従来のこのような問題点を解
消するためになされたもので、その目的とするところ
は、観察対象としての被験体試料における被観察部表面
が、たとえ、比較的微細な凹凸を有する平面形状であっ
ても、当該被観察部表面の個々の観察目的に対応して、
落射光を主体とする明視野照明、ならびに側射光を主体
とする暗視野照明による個々の各照明像の観察と、これ
らの各明視野照明、および暗視野照明が合成された態様
での立体観をもった照明像の観察とのそれぞれを併せ
て、簡略化された同一構成内で有効かつ適切に行ない得
るようにした、この種の観察、撮像装置などの照明装置
を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、この発明に係る観察、撮像装置などの照明装置
は、それぞれ次のように構成したものである
【0006】すなわち、この発明は、少なくとも筒状胴
部の内部中心光軸に沿う下端部に、被験体試料の被観察
部表面に対面させる対物開口面を形成させ、当該筒状胴
部の内部下方に光軸を中心とする導光筒体を設け、前記
対物開口面での中心部範囲内に明視野エリア、中心部範
囲外の周囲部範囲内に暗視野エリアをそれぞれに設定区
分させた本体鏡筒を有しており、前記筒状胴部の上方に
は、光量調整された明視野照明光を導入する明視野光導
入開口を形成させ、かつ当該明視野光導入開口に対応し
た内部の中心光軸上に、導入される明視野照明光を反射
して前記導光筒体の内部から明視野エリアに落射投光さ
せ、被観察部表面を平面的に照明する半透明反射鏡を設
け、前記筒状胴部の下方には、光量調整された暗視野照
明光を導入する暗視野光導入開口を形成させ、かつ当該
暗視野光導入開口に対応した内部の前記導光筒体の外周
面上に、導入される暗視野照明光を反射して前記導光筒
体と筒状胴部間の内部から暗視野エリアに落射させる第
1の反射鏡、および当該筒状胴部の下端内周面に前記落
射される暗視野照明光を反射して明視野エリア側に側射
投光させ、被観察部表面を側面的に照明する第2の反射
鏡を設け、観察された反射光を外部の観察部側に取り出
し得るように構成し、必要に応じて、任意に光量調整さ
れた明視野照明光と暗視野照明光とによる照明、明視野
照明光のみによる照明、暗視野照明光のみによる照明の
何れかを選択利用し得るようにしたことを特徴とする観
察、撮像装置などの照明装置である。
【0007】また、この発明は、前記観察、撮像装置な
どの照明装置において、前記明視野照明光と暗視野照明
光との光源を各別に設けると共に、これらの各光源から
発光する各照明光をそれぞれに光量調整スリットを通し
て光量調整し得るようにしたこと、前記明視野照明光と
暗視野照明光とに同一の光源を用い、当該同一光源から
発光する照明光を適宜に分岐して、それぞれの各照明光
とすると共に、これらの分岐された各照明光をそれぞれ
に光量調整スリットを通して光量調整し得るようにした
こと、および前記明視野照明光と暗視野照明光との光源
を各別に設けると共に、これらの各光源への供給電圧を
調整して、当該各光源から発光する各照明光を光量調整
し得るようにしたことを特徴としている。
【0008】
【作用】従って、この発明においては、被験体試料の被
観察部表面に本体鏡筒の対物開口面を正対的に対面させ
た状態で、明視野光源と暗視野視野光源とを点灯し、共
に光量調整された明視野照明光と暗視野照明光とを出力
させることにより、明視野光導入開口から導入される前
者の明視野照明光が、半透明反射鏡によって下方に反射
され、いわゆる、落射光として導光筒体の内部を明視野
エリアに直進し、被験体試料の被観察部表面を、この落
射光によって、これに正対する平面側から照明して、こ
ゝでは、さらに適度の光量調整の下に平面的な表面部の
照明像を観察でき、また、暗視野光導入開口から導入さ
れる暗視野照明光が、第1の反射鏡によって下方に反射
され、一旦、落射光として筒状胴部の内部と導光筒体の
外部との間を暗視野エリアに直進し、かつ第2の反射鏡
によって側方に再反射され、いわゆる、側射光として明
視野エリアに直進し、被験体試料の被観察部表面を、こ
の側射光によって側面側から照明して、こゝでは、さら
に適度の光量調整の下に側面的な表面部の照明像を観察
できるのであり、結果的に、これらの落射光を主体とす
る明視野照明、および側射光を主体とする暗視野照明に
よる個々の各照明像の観察と、これらの各明視野照明、
および暗視野照明が合成された態様での立体観をもった
照明像の観察とをそれぞれに行ない得るのである。
【0009】
【実施例】以下、この発明に係る観察、撮像装置などの
照明装置の各別の実施例につき、図1ないし図3、図
4、および図5を参照して詳細に説明する。
【0010】最初に、図1ないし図3に示す第1実施例
装置について述べる。
【0011】図1はこの発明の第1実施例を適用した観
察、撮像装置などの照明装置の概要構成を第1の照明形
態で使用する場合の模式的に示した断面図であり、ま
た、図2、図3は同上照明装置の概要構成を第2、第3
の照明形態で使用する場合の模式的に示したそれぞれに
断面図である。
【0012】これらの図1ないし図3に示す第1実施例
装置の構成において、照明装置の本体鏡筒11は、筒状
胴部12における中心光軸A上の下部側に、観察対象と
しての被験体試料Bの被観察部表面に対面させる対物開
口面13を形成させ、また、上部側に、当該被験体試料
Bの被観察部表面を後述する明視野照明光La、および
/または暗視野照明光Lbで照射した結果の観察された
反射光Lcを図示しない観察部に導くための導光開口面
14を形成させると共に、こゝでは、前記対物開口面1
3の開口範囲にあって、光軸Aを中心とする中心部範囲
内における明視野エリアaと、当該中心部範囲外の周囲
部範囲内における暗視野エリアbとをそれぞれに設定し
てある。
【0013】一方、前記筒状胴部12の上方一側部に
は、明視野照明のための比較的狭い開口範囲による明視
野光導入開口21、その下方同側部には、暗視野照明の
ための比較的広い範囲の暗視野光導入開口31がそれぞ
れに形成され、かつ当該暗視野光導入開口31に対応す
る内部での中心光軸A上にあって、前記設定された中心
部範囲内の明視野エリアaと周囲部範囲内の暗視野エリ
アbとを区分する導光筒体41が設けられており、この
導光筒体41については、内部側で後述する明視野照明
光Laを、当該設定された中心部範囲内の明視野エリア
aに導き、当該筒状胴部12との間の外部側で後述する
暗視野照明光Lbを、当該設定された周囲部範囲内の暗
視野エリアbに導き得るようになっている。
【0014】しかして、前記明視野光導入開口21の外
側対応の外部には、明視野照明のためのハロゲンラン
プ、UVランプなどを用いた明視野光源51と、当該光
源51を点灯したときに発光される光量、つまり、光照
射量を、例えば、総発光量の0%(消灯に相当)から1
00%の範囲において調整し、かつ必要に応じて、こゝ
での明視野光導入開口21に向けて光照射方向を特定し
得る明視野光量調整スリット52が対向するように配置
されると共に、適宜に平行光束を得るためのレンズ(図
示省略)が配置されており、また、前記筒体胴部12の
内側対応の内部には、前記中心光軸Aに沿い、当該明視
野光導入開口21から入射される明視野照明光Laを、
対物開口面13の開口範囲における前記設定された中心
部範囲内の明視野エリアaに向け、落射光として導き、
かつ後に述べる被験体試料Bの被観察部表面からの反射
光Lcを取り出すための、いわゆるハーフミラー、つま
り、半透明反射鏡22が、これらの各要件を満たすよう
に設けられており、さらに、前記導光筒体41内の下部
位置には、当該半透明反射鏡22で反射された明視野照
明光Laの落射による照射(落射)範囲を限定的に絞る
ことで解像力を向上させるための固定、ないしは可変任
意の絞り部材23が設けられている。
【0015】同様に、前記暗視野光導入開口31の外側
対応の外部には、同様に、暗視野照明のためのハロゲン
ランプ、UVランプなどを用いた暗視野光源61と、当
該光源61を点灯したときに発光される光量、つまり、
光照射量を、例えば、総発光量の0%(消灯に相当)か
ら100%の範囲で調整し、かつ必要に応じて、こゝで
の暗視野光導入開口31に向けて光照射方向を特定し得
る暗視野光量調整スリット62が対向するように配置さ
れると共に、適宜に濃淡むらを解消するための拡散フィ
ルター(図示省略)が配置されており、また、前記筒体
胴部12の内側対応の内部には、前記中心光軸Aに平行
して、当該暗視野光導入開口31から入射される暗視野
照明光Lbを、対物開口面13の開口範囲における前記
設定された周囲部範囲内の暗視野エリアbに向け、落射
光として導くための第1の反射鏡32が、前記導光筒体
41の外周面部分に当該要件を満たすように設けられる
と共に、この第1の反射鏡32の下方で対向するよう
に、前記対物開口面13の開口縁内周面部分にあって、
当該第1の反射鏡32で反射、かつ落射された暗視野照
明光Lbを再反射し、当該周囲部範囲内の暗視野エリア
bから、前記中心部範囲内の明視野エリアaに向け、側
射光として導くための第2の反射鏡33が設けられてい
る。
【0016】従って、上記構成による第1実施例装置に
おいては、図1に示す第1の照明形態、こゝでは、明視
野照明と暗視野照明との照明によって被験体試料Bを観
察する場合、次のように作用する。
【0017】すなわち、まず、観察対象である被験体試
料Bの被観察部表面に対して、本体鏡筒11の対物開口
面13を正対的に対面させた観察状態にしておき、かつ
明視野光源51と暗視野光源61とをそれぞれに点灯し
て共に発光させたまゝで、明視野光量調整スリット52
による明視野照明光Laと、暗視野光量調整スリット6
2による暗視野照明光Lbとのそれぞれの各光照射量
を、任意、かつ選択的に調整しておく。
【0018】ついで、前記観察状態において、前者の光
量設定された明視野照明光Laについては、明視野光導
入開口21から中心光軸Aに直交して本体鏡筒11内に
導入させると共に、予め、設定された中心部範囲内に該
当して設けられている半透明反射鏡22によって、当該
中心部範囲内で中心光軸Aに平行する下方に向けて反射
させ、いわゆる、落射光として導光筒体41の内部を中
心部範囲内の明視野エリアaに向けて直進させ、かつ絞
り部材23によって、その照射範囲が絞られた後に、こ
ゝでは、結果的に観察対象である被験体試料Bの被観察
部表面を、当該落射光によって、これに正対する平面側
から、主に、平面的(平面2次元的)に観察可能なよう
に表面部の全体を照明することになり、このようにして
得られる当該平面的な表面部の照明像(観察像)は、反
射光として、再度、前記導光筒体41の内部を経た上
で、半透明反射鏡22を再透過して導光開口面14から
観察部側に取り出され、こゝでの被験体試料Bの平面的
な表面部の照明像を所期通りに観察でき、かつまた、こ
の明視野照明光Laの光照射量を調整することで、さら
に良好な観察を行ない得るのである。
【0019】そして、後者の光量設定された暗視野照明
光Lbについては、暗視野光導入開口31から中心光軸
Aに直交して本体鏡筒11内に導入された後、こゝで
も、予め、設定された周囲部範囲内に該当して設けられ
ている第1の反射鏡32によって、当該周囲部範囲内で
中心光軸Aに平行する下方に向けて反射され、一旦は、
いわゆる、落射光として筒状胴部12の内部で、かつ導
光筒体41の外部の間を周囲部範囲内の暗視野エリアb
に向けて直進させ、さらに、当該暗視野エリアbにおけ
る第2の反射鏡33に至って再反射されることにより、
こゝでは、いわゆる、側射光として前記中心部範囲内の
明視野エリアaに向けて直進され、こゝでは、結果的に
観察対象である被験体試料Bの被観察部表面を、当該側
射光によって、これに平行する側面側から、主に、側面
的(側面2次元的)に観察可能なように表面部の全体を
照明することになり、このようにして得られる当該側面
的な表面部の照明像(観察像)は、反射光として、前記
した前者の場合と同様に、前記導光筒体41の内部を経
た上で、半透明反射鏡22を透過して導光開口面14か
ら観察部側に取り出され、こゝでの側面的な表面部の照
明像を所期通りに観察でき、かつまた、こゝでの暗視野
照明光Lbの光照射量を調整することで、さらに良好な
観察を行ない得るのである。
【0020】すなわち、これを要するに、こゝでの図1
に示す第1の照明形態による場合には、被験体試料Bの
被観察部表面に対し、前者の明視野照明光Laによって
は、予め、設定された中心部範囲内の明視野エリアaに
おいて当該被観察部の表面に正対する平面側からの落射
光による照明が独立的に行なわれて、こゝでは、主とし
て平面2次元的な表面部の照明像が得られると共に、こ
れに併せて、後者の暗視野照明光Lbによっては、予
め、設定された周囲部範囲内の暗視野エリアbから中心
部範囲内の明視野エリアaへの側射光による照明、ひい
ては、当該被観察部の側面に平行する側面側からの側射
光による照明が独立的に行なわれ、こゝでは、主として
側面2次元的な表面部の照明像が得られるもので、結
局、これらの落射光を主体とする照明と、側射光を主体
とする照明とによる照明像、換言すると、3次元的な立
体観をもった照明像(観察像)を容易に観察できるので
あり、また一方では、当該照明像の観察中に、これらの
前者の明視野照明光Laと後者の暗視野照明光Lbとの
各光照射量をそれぞれに調整することで、観察不可能な
暗い影の部分が一掃されるなどの利点も発揮され、より
一層、それぞれの目的に相応した効果的な観察が可能に
なるのである。
【0021】また、図2に示す第2の照明形態、こゝで
は、明視野照明によってのみ使用する場合には、上記第
1の照明形態の場合と同様に、被験体試料Bの被観察部
表面に対し、本体鏡筒11の対物開口面13を正対的に
対面させておき、ついで、明視野光源51と暗視野光源
61とをそれぞれに点灯して共に発光させたまゝとした
上で、暗視野光量調整スリット62による暗視野照明光
Lbの光照射量を0%に絞って実質的に消灯させたのと
同様にしておくか、あるいは、暗視野光源61を消灯さ
せ、かつ明視野光源51のみを点灯させると共に、明視
野光量調整スリット52による明視野照明光Laの光照
射量を、任意、かつ選択的に調整しておくことにより、
当該明視野照明光Laによる落射光のみを用い、上記し
たように被験体試料Bの被観察部表面を、当該落射光に
よって、これに正対する平面側から、主に、平面的(平
面2次元的)に観察可能なように表面部の全体を照明す
ることで、当該平面的な表面部の照明像(観察像)を所
期通りに観察できるのであり、かつまた、こゝでの明視
野照明光Laの光照射量を調整することで、一層、良好
かつ効果的な観察が可能になって、当該明視野照明光L
aのみの照明による利点を有効に活用し得る。
【0022】さらに、図3に示す第3の照明形態、こゝ
では、暗視野照明によってのみ使用する場合には、上記
第2の照明形態の場合とは逆に、被験体試料Bの被観察
部表面に対し、本体鏡筒11の対物開口面13を正対的
に対面させておき、ついで、明視野光源51と暗視野光
源61とをそれぞれに点灯して共に発光させたまゝとし
た上で、明視野光量調整スリット52による明視野照明
光Laの光照射量を0%に絞って実質的に消灯させたの
と同様にしておくか、あるいは、明視野光源51を消灯
させ、かつ暗視野光源61のみを点灯させると共に、暗
視野光量調整スリット62による暗視野照明光Lbの光
照射量を、任意、かつ選択的に調整しておくことによ
り、当該暗視野照明光Lbによる側射光のみを用い、上
記したように被験体試料Bの被観察部表面を、当該側射
光によって、これに平行する側面側から、主に、側面的
(側面2次元的)に観察可能なように表面部の全体を照
明することで、こゝでも同様に、当該側面的な表面部の
照明像(観察像)を所期通りに観察できるのであり、ま
た、こゝでの暗視野照明光Lbの光照射量を調整するこ
とで、一層、良好かつ効果的な観察が可能になって、当
該暗視野照明光Lbのみの照明による利点を有効に活用
し得る。
【0023】次に、図4に示す第2実施例装置について
述べる。
【0024】図4はこの発明の第2実施例を適用した観
察、撮像装置などの照明装置の概要構成を第1の照明形
態で使用する場合の模式的に示した断面図であり、この
第2実施例装置では、上記第1実施例装置の構成におい
て、明視野照明光Laと暗視野照明光Lbとのそれぞれ
に、こゝでも同様に、ハロゲンランプ、UVランプなど
による同一の光源71を共通に用いて、当該共通光源7
1から発光する照明光Ldを適宜に、例えば、光ファイ
バーなどにより明視野側と暗視野側とに導き、一方の明
視野側の照明光については、明視野光量調整スリット5
2を通して光量調整された明視野照明光Laを出力さ
せ、他方の暗視野側の照明光についても、暗視野光量調
整スリット62を通して光量調整された暗視野照明光L
bを出力させることで、上記図1に示す第1実施例にお
ける第1の照明形態の場合と全く同様に使用可能であ
り、同様な作用、効果が得られるほか、この第2実施例
装置の構成では、照明光の光源を1つで済ませ得る。
【0025】そしてまた、明視野側については、明視野
光量調整スリット52を通して光量調整された明視野照
明光Laを出力させ、かつ暗視野側についてのみ、暗視
野光量調整スリット62を0%まで絞って暗視野照明光
Lbを遮断させることで、上記図2に示す第1実施例に
おける第2の照明形態の場合と全く同様な使用が可能に
なり、これとは逆に、明視野光量調整スリット52を0
%まで絞って明視野照明光Laを遮断させ、暗視野光量
調整スリット62を通して光量調整された暗視野照明光
Lbのみを出力させることで、上記図3に示す第1実施
例における第3の照明形態の場合と全く同様な使用が可
能になって、それぞれに同様な作用、効果が得られるの
である。
【0026】次に、図5に示す第3実施例装置について
述べる。
【0027】図5はこの発明の第3実施例を適用した観
察、撮像装置などの照明装置の概要構成を第1の照明形
態で使用する場合の模式的に示した断面図であり、この
第3実施例装置では、上記第1実施例装置での明視野照
明光Laの光源51と暗視野照明光Lbの光源61とを
各別に用いる構成において、明視野側、および暗視野側
のそれぞれの各光量調整スリット52、62を省略し、
当該各光量調整スリット52、62で調整していた各光
量を、これらの各光源51、61への供給電圧を調整す
ることで、当該各光源51、61から発光する明視野
側、および暗視野側の各照明光La、Lbをそれぞれに
光量調整し得るようにしたもので、こゝでもまた、上記
図1に示す第1実施例における第1の照明形態の場合と
全く同様に使用可能であり、同様な作用、効果が得られ
るほか、この第3実施例装置の構成では、このように明
視野側、および暗視野側のそれぞれの各光量調整スリッ
ト52、62を省略できて、構成の簡略化を図り得る。
【0028】そしてさらに、明視野側についてのみ、明
視野光源51への供給電圧を制御して光量調整された明
視野照明光Laを出力させ、かつ暗視野側については、
暗視野光源61への電力供給を絶って暗視野照明光Lb
を不発光にさせることで、上記図2に示す第1実施例に
おける第2の照明形態の場合と全く同様な使用が可能に
なり、これとは逆に、明視野光源51への電力供給を絶
って明視野照明光Laを不発光にさせ、暗視野光源61
への供給電圧を制御して光量調整された暗視野照明光L
bを出力させることで、上記図3に示す第1実施例にお
ける第3の照明形態の場合と全く同様に使用できて、そ
れぞれに同様な作用、効果が得られるのである。
【0029】
【発明の効果】以上、各実施例、および各使用形態例に
よって詳述したように、この発明によれば、被験体試料
の被観察部表面に本体鏡筒の対物開口面を正対的に対面
させた状態で、明視野光源と暗視野視野光源とを点灯
し、共に光量調整された明視野照明光と暗視野照明光と
を出力させることによって、前者の明視野照明光によっ
ては、予め、設定された中心部範囲内の明視野エリアに
おいて当該被観察部の表面に正対する平面側からの落射
光による明視野照明を行ない得て、主に、平面的な表面
部の照明像を、また、後者の暗視野照明光によっては、
同様に、予め、設定された周囲部範囲内の暗視野エリア
から中心部範囲内の明視野エリアへの側射光による暗視
野照明、つまり、当該被観察部の側面に平行する側面側
からの側射光による暗視野照明を行ない得て、主に、側
面的な表面部の照明像を、それぞれに同一の装置構成内
で個々に切り換えて容易に観察できると共に、併せて、
これらの明視野照明、および暗視野照明を合成した態様
での照明像、すなわち、立体観をもった照明像について
も容易に観察できるのであり、しかも、これらの各照明
像の観察中に、明視野照明光、および暗視野照明光の各
光量をそれぞれ任意に選択調整することで、より一層、
それぞれの目的に相応した効果的な観察が可能になるほ
か、当該装置構成自体も比較的簡単で容易に実施し得る
などの優れた特長がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1実施例を適用した観察、撮像装
置などの照明装置の概要構成を第1の照明形態で使用す
る場合の模式的に示した断面図である。
【図2】同上第1実施例による照明装置の概要構成を第
2の照明形態で使用する場合の模式的に示した断面図で
ある。
【図3】同上第1実施例による照明装置の概要構成を第
3の照明形態で使用する場合の模式的に示した断面図で
ある。
【図4】この発明の第2実施例を適用した観察、撮像装
置などの照明装置の概要構成を第1の照明形態で使用す
る場合の模式的に示した断面図である。
【図5】この発明の第3実施例を適用した観察、撮像装
置などの照明装置の概要構成を第1の照明形態で使用す
る場合の模式的に示した断面図である。
【符号の説明】
11 本体鏡筒 12 筒状胴部 13 対物開口面 14 導光開口面 21 明視野光導入開口 22 半透明反射鏡 23 絞り部材 31 暗視野光導入開口 32 第1の反射鏡 33 第2の反射鏡 41 導光筒体 51 明視野光源 52 明視野光量調整スリット 61 暗視野光源 62 暗視野光量調整スリット 71 明視野、暗視野共通光源 A 筒状胴部の中心光軸 B 被験体試料 La 明視野照明光 Lb 暗視野照明光 Lc 照明像の反射光 a 光軸中心による中心部範囲内の明視野エリア b 中心部範囲外での周囲部範囲内の暗視野エリア

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも筒状胴部の内部中心光軸に沿
    う下端部に、被験体試料の被観察部表面に対面させる対
    物開口面を形成させ、当該筒状胴部の内部下方に光軸を
    中心とする導光筒体を設け、前記対物開口面での中心部
    範囲内に明視野エリア、中心部範囲外の周囲部範囲内に
    暗視野エリアをそれぞれに設定区分させた本体鏡筒を有
    しており、 前記筒状胴部の上方には、光量調整された明視野照明光
    を導入する明視野光導入開口を形成させ、かつ当該明視
    野光導入開口に対応した内部の中心光軸上に、導入され
    る明視野照明光を反射して前記導光筒体の内部から明視
    野エリアに落射投光させ、被観察部表面を平面的に照明
    する半透明反射鏡を設けると共に、 前記筒状胴部の下方には、光量調整された暗視野照明光
    を導入する暗視野光導入開口を形成させ、かつ当該暗視
    野光導入開口に対応した内部の前記導光筒体の外周面上
    に、導入される暗視野照明光を反射して前記導光筒体と
    筒状胴部間の内部から暗視野エリアに落射させる第1の
    反射鏡、および当該筒状胴部の下端内周面に前記落射さ
    れる暗視野照明光を反射して明視野エリア側に側射投光
    させ、被観察部表面を側面的に照明する第2の反射鏡を
    設け、観察された反射光を外部の観察部側に取り出し得
    るように構成し、 必要に応じて、任意に光量調整された明視野照明光と暗
    視野照明光とによる照明、明視野照明光のみによる照
    明、暗視野照明光のみによる照明の何れかを選択利用し
    得るようにしたことを特徴とする観察、撮像装置などの
    照明装置。
  2. 【請求項2】 前記明視野照明光と暗視野照明光との光
    源を各別に設けると共に、これらの各光源から発光する
    各照明光をそれぞれに光量調整スリットを通して光量調
    整し得るようにしたことを特徴とする請求項1、2記載
    の観察、撮像装置などの照明装置。
  3. 【請求項3】 前記明視野照明光と暗視野照明光とに同
    一の光源を用い、当該同一光源から発光する照明光を適
    宜に分岐して、それぞれの各照明光とすると共に、これ
    らの分岐された各照明光をそれぞれに光量調整スリット
    を通して光量調整し得るようにしたことを特徴とする請
    求項1、2記載の観察、撮像装置などの照明装置。
  4. 【請求項4】 前記明視野照明光と暗視野照明光との光
    源を各別に設けると共に、これらの各光源への供給電圧
    を調整して、当該各光源から発光する各照明光を光量調
    整し得るようにしたことを特徴とする請求項1記載の観
    察、撮像装置などの照明装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004295122A (ja) * 2003-03-13 2004-10-21 Olympus Corp 照明切換装置及びその方法

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5580162A (en) * 1994-09-30 1996-12-03 Mitsubishi Chemical Corporation Lighting device for an observation/image pickup apparatus
DE19632040C2 (de) * 1996-08-08 1999-11-18 Europ Lab Molekularbiolog Konfokales Mikroskop
DE102004034957A1 (de) * 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Anordnung zur mikroskopischen Beobachtung und/oder Detektion und Verwendung
DE102004034958A1 (de) * 2004-07-16 2006-02-09 Carl Zeiss Jena Gmbh Anordnung zur mikroskopischen Beobachtung und/oder Detektion in einem Lichtrastermikroskop mit linienförmiger Abtastung und Verwendung
TWM362998U (en) * 2009-01-20 2009-08-11 Nat Synchrotron Radiation Res Ct Illuminator for microscope
AU2020268435A1 (en) * 2019-05-08 2021-11-11 Apollo Medical Optics, Ltd. Optical system and detection method therof

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2097762A (en) * 1933-05-26 1937-11-02 Ernst Leitz Microscope
JPS59178421A (ja) * 1983-03-30 1984-10-09 Hitachi Ltd 光電顕微鏡用の照明方法及び照明装置
US4585315A (en) * 1984-11-13 1986-04-29 International Business Machines Corporation Brightfield/darkfield microscope illuminator
DE3841692C1 (ja) * 1988-06-22 1990-06-28 J.M. Voith Gmbh, 7920 Heidenheim, De
JPH0486614A (ja) * 1990-07-27 1992-03-19 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡用照明装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004295122A (ja) * 2003-03-13 2004-10-21 Olympus Corp 照明切換装置及びその方法
JP4563699B2 (ja) * 2003-03-13 2010-10-13 オリンパス株式会社 照明切換装置

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