JPH05297281A - 観察、撮像装置などの照明装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 観察対象としての被験体試料の被観察部表面
が、比較的微細な凹凸を有する形状であっても、当該被
観察部表面の個々の観察目的に対応した照明を行ない得
るようにする。 【構成】 被験体試料の被観察部表面に対し、落射光を
主体とする明視野照明、ならびに側射光を主体とする暗
視野照明による個々の各照明像の観察と、これらの各明
視野照明、および暗視野照明が合成された態様での照明
像の観察とのそれぞれを併せて、簡略化された同一の装
置構成内で切り換えて行ない得るように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、各種の被験体試料
（以下、単に被験体試料と呼ぶ）の表面像を観察、もし
くは撮像するために適用する観察、撮像装置などの照明
装置に関し、さらに詳しくは、観察対象としての被験体
試料の被観察部表面の照明を、必要に応じて、落射明視
野、側射暗視野の双方、もしくは何れか一方によって行
ない得るようにした照明装置の改良に係るものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、この種の観察対象としての被験
体試料における被観察部の表面に対面させた状態で、例
えば、それぞれに投光手段を内蔵する照明ヘッド、もし
くは、撮像ヘッドを臨ませて配置し、当該被観察部を照
明することによって、その表面像、ないしは、拡大され
た表面像を直接的に観察する観察装置、もしくは、モニ
タテレビの画面上に表示させて間接的に観察する撮像装
置などにあっては、従来から、被験体試料の被観察部表
面に対して、これに正対する平面側から垂直方向に向う
平行光線のみを照射する照明、いわゆる落射光を主体と
する照明を行なうようにするか、あるいは、当該被観察
部表面に対して、これに斜行する側面側から斜め方向に
向う斜行光線のみを照射する照明、いわゆる側射光を主
体とする照明を行うようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の落射光を主体とする照明手法、ないしは、側射光を
主体とする照明手法においては、例えば、観察対象とな
る被験体試料の平面部が比較的微細な凹凸のある形状で
ある場合には、これらの各照明手法を個別に実行して
も、当該表面部の微細な凹凸形状を必ずしも精緻には観
察できないという不利があり、また、これらの各照明手
法を同時に実行する方法も考えられるが、装置自体の構
成が徒らに複雑化するという問題点があった。

【０００４】この発明は、従来のこのような問題点を解
消するためになされたもので、その目的とするところ
は、観察対象としての被験体試料における被観察部表面
が、たとえ、比較的微細な凹凸を有する平面形状であっ
ても、当該被観察部表面の個々の観察目的に対応して、
落射光を主体とする明視野照明、ならびに側射光を主体
とする暗視野照明による個々の各照明像の観察と、これ
らの各明視野照明、および暗視野照明が合成された態様
での立体観をもった照明像の観察とのそれぞれを併せ
て、簡略化された同一構成内で有効かつ適切に行ない得
るようにした、この種の観察、撮像装置などの照明装置
を提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、この発明に係る観察、撮像装置などの照明装置
は、それぞれ次のように構成したものである

【０００６】すなわち、この発明は、少なくとも筒状胴
部の内部中心光軸に沿う下端部に、被験体試料の被観察
部表面に対面させる対物開口面を形成させ、当該筒状胴
部の内部下方に光軸を中心とする導光筒体を設け、前記
対物開口面での中心部範囲内に明視野エリア、中心部範
囲外の周囲部範囲内に暗視野エリアをそれぞれに設定区
分させた本体鏡筒を有しており、前記筒状胴部の上方に
は、光量調整された明視野照明光を導入する明視野光導
入開口を形成させ、かつ当該明視野光導入開口に対応し
た内部の中心光軸上に、導入される明視野照明光を反射
して前記導光筒体の内部から明視野エリアに落射投光さ
せ、被観察部表面を平面的に照明する半透明反射鏡を設
け、前記筒状胴部の下方には、光量調整された暗視野照
明光を導入する暗視野光導入開口を形成させ、かつ当該
暗視野光導入開口に対応した内部の前記導光筒体の外周
面上に、導入される暗視野照明光を反射して前記導光筒
体と筒状胴部間の内部から暗視野エリアに落射させる第
１の反射鏡、および当該筒状胴部の下端内周面に前記落
射される暗視野照明光を反射して明視野エリア側に側射
投光させ、被観察部表面を側面的に照明する第２の反射
鏡を設け、観察された反射光を外部の観察部側に取り出
し得るように構成し、必要に応じて、任意に光量調整さ
れた明視野照明光と暗視野照明光とによる照明、明視野
照明光のみによる照明、暗視野照明光のみによる照明の
何れかを選択利用し得るようにしたことを特徴とする観
察、撮像装置などの照明装置である。

【０００７】また、この発明は、前記観察、撮像装置な
どの照明装置において、前記明視野照明光と暗視野照明
光との光源を各別に設けると共に、これらの各光源から
発光する各照明光をそれぞれに光量調整スリットを通し
て光量調整し得るようにしたこと、前記明視野照明光と
暗視野照明光とに同一の光源を用い、当該同一光源から
発光する照明光を適宜に分岐して、それぞれの各照明光
とすると共に、これらの分岐された各照明光をそれぞれ
に光量調整スリットを通して光量調整し得るようにした
こと、および前記明視野照明光と暗視野照明光との光源
を各別に設けると共に、これらの各光源への供給電圧を
調整して、当該各光源から発光する各照明光を光量調整
し得るようにしたことを特徴としている。

【０００８】

【作用】従って、この発明においては、被験体試料の被
観察部表面に本体鏡筒の対物開口面を正対的に対面させ
た状態で、明視野光源と暗視野視野光源とを点灯し、共
に光量調整された明視野照明光と暗視野照明光とを出力
させることにより、明視野光導入開口から導入される前
者の明視野照明光が、半透明反射鏡によって下方に反射
され、いわゆる、落射光として導光筒体の内部を明視野
エリアに直進し、被験体試料の被観察部表面を、この落
射光によって、これに正対する平面側から照明して、こ
ゝでは、さらに適度の光量調整の下に平面的な表面部の
照明像を観察でき、また、暗視野光導入開口から導入さ
れる暗視野照明光が、第１の反射鏡によって下方に反射
され、一旦、落射光として筒状胴部の内部と導光筒体の
外部との間を暗視野エリアに直進し、かつ第２の反射鏡
によって側方に再反射され、いわゆる、側射光として明
視野エリアに直進し、被験体試料の被観察部表面を、こ
の側射光によって側面側から照明して、こゝでは、さら
に適度の光量調整の下に側面的な表面部の照明像を観察
できるのであり、結果的に、これらの落射光を主体とす
る明視野照明、および側射光を主体とする暗視野照明に
よる個々の各照明像の観察と、これらの各明視野照明、
および暗視野照明が合成された態様での立体観をもった
照明像の観察とをそれぞれに行ない得るのである。

【０００９】

【実施例】以下、この発明に係る観察、撮像装置などの
照明装置の各別の実施例につき、図１ないし図３、図
４、および図５を参照して詳細に説明する。

【００１０】最初に、図１ないし図３に示す第１実施例
装置について述べる。

【００１１】図１はこの発明の第１実施例を適用した観
察、撮像装置などの照明装置の概要構成を第１の照明形
態で使用する場合の模式的に示した断面図であり、ま
た、図２、図３は同上照明装置の概要構成を第２、第３
の照明形態で使用する場合の模式的に示したそれぞれに
断面図である。

【００１２】これらの図１ないし図３に示す第１実施例
装置の構成において、照明装置の本体鏡筒１１は、筒状
胴部１２における中心光軸Ａ上の下部側に、観察対象と
しての被験体試料Ｂの被観察部表面に対面させる対物開
口面１３を形成させ、また、上部側に、当該被験体試料
Ｂの被観察部表面を後述する明視野照明光Ｌａ、および
／または暗視野照明光Ｌｂで照射した結果の観察された
反射光Ｌｃを図示しない観察部に導くための導光開口面
１４を形成させると共に、こゝでは、前記対物開口面１
３の開口範囲にあって、光軸Ａを中心とする中心部範囲
内における明視野エリアａと、当該中心部範囲外の周囲
部範囲内における暗視野エリアｂとをそれぞれに設定し
てある。

【００１３】一方、前記筒状胴部１２の上方一側部に
は、明視野照明のための比較的狭い開口範囲による明視
野光導入開口２１、その下方同側部には、暗視野照明の
ための比較的広い範囲の暗視野光導入開口３１がそれぞ
れに形成され、かつ当該暗視野光導入開口３１に対応す
る内部での中心光軸Ａ上にあって、前記設定された中心
部範囲内の明視野エリアａと周囲部範囲内の暗視野エリ
アｂとを区分する導光筒体４１が設けられており、この
導光筒体４１については、内部側で後述する明視野照明
光Ｌａを、当該設定された中心部範囲内の明視野エリア
ａに導き、当該筒状胴部１２との間の外部側で後述する
暗視野照明光Ｌｂを、当該設定された周囲部範囲内の暗
視野エリアｂに導き得るようになっている。

【００１４】しかして、前記明視野光導入開口２１の外
側対応の外部には、明視野照明のためのハロゲンラン
プ、ＵＶランプなどを用いた明視野光源５１と、当該光
源５１を点灯したときに発光される光量、つまり、光照
射量を、例えば、総発光量の０％（消灯に相当）から１
００％の範囲において調整し、かつ必要に応じて、こゝ
での明視野光導入開口２１に向けて光照射方向を特定し
得る明視野光量調整スリット５２が対向するように配置
されると共に、適宜に平行光束を得るためのレンズ（図
示省略）が配置されており、また、前記筒体胴部１２の
内側対応の内部には、前記中心光軸Ａに沿い、当該明視
野光導入開口２１から入射される明視野照明光Ｌａを、
対物開口面１３の開口範囲における前記設定された中心
部範囲内の明視野エリアａに向け、落射光として導き、
かつ後に述べる被験体試料Ｂの被観察部表面からの反射
光Ｌｃを取り出すための、いわゆるハーフミラー、つま
り、半透明反射鏡２２が、これらの各要件を満たすよう
に設けられており、さらに、前記導光筒体４１内の下部
位置には、当該半透明反射鏡２２で反射された明視野照
明光Ｌａの落射による照射（落射）範囲を限定的に絞る
ことで解像力を向上させるための固定、ないしは可変任
意の絞り部材２３が設けられている。

【００１５】同様に、前記暗視野光導入開口３１の外側
対応の外部には、同様に、暗視野照明のためのハロゲン
ランプ、ＵＶランプなどを用いた暗視野光源６１と、当
該光源６１を点灯したときに発光される光量、つまり、
光照射量を、例えば、総発光量の０％（消灯に相当）か
ら１００％の範囲で調整し、かつ必要に応じて、こゝで
の暗視野光導入開口３１に向けて光照射方向を特定し得
る暗視野光量調整スリット６２が対向するように配置さ
れると共に、適宜に濃淡むらを解消するための拡散フィ
ルター（図示省略）が配置されており、また、前記筒体
胴部１２の内側対応の内部には、前記中心光軸Ａに平行
して、当該暗視野光導入開口３１から入射される暗視野
照明光Ｌｂを、対物開口面１３の開口範囲における前記
設定された周囲部範囲内の暗視野エリアｂに向け、落射
光として導くための第１の反射鏡３２が、前記導光筒体
４１の外周面部分に当該要件を満たすように設けられる
と共に、この第１の反射鏡３２の下方で対向するよう
に、前記対物開口面１３の開口縁内周面部分にあって、
当該第１の反射鏡３２で反射、かつ落射された暗視野照
明光Ｌｂを再反射し、当該周囲部範囲内の暗視野エリア
ｂから、前記中心部範囲内の明視野エリアａに向け、側
射光として導くための第２の反射鏡３３が設けられてい
る。

【００１６】従って、上記構成による第１実施例装置に
おいては、図１に示す第１の照明形態、こゝでは、明視
野照明と暗視野照明との照明によって被験体試料Ｂを観
察する場合、次のように作用する。

【００１７】すなわち、まず、観察対象である被験体試
料Ｂの被観察部表面に対して、本体鏡筒１１の対物開口
面１３を正対的に対面させた観察状態にしておき、かつ
明視野光源５１と暗視野光源６１とをそれぞれに点灯し
て共に発光させたまゝで、明視野光量調整スリット５２
による明視野照明光Ｌａと、暗視野光量調整スリット６
２による暗視野照明光Ｌｂとのそれぞれの各光照射量
を、任意、かつ選択的に調整しておく。

【００１８】ついで、前記観察状態において、前者の光
量設定された明視野照明光Ｌａについては、明視野光導
入開口２１から中心光軸Ａに直交して本体鏡筒１１内に
導入させると共に、予め、設定された中心部範囲内に該
当して設けられている半透明反射鏡２２によって、当該
中心部範囲内で中心光軸Ａに平行する下方に向けて反射
させ、いわゆる、落射光として導光筒体４１の内部を中
心部範囲内の明視野エリアａに向けて直進させ、かつ絞
り部材２３によって、その照射範囲が絞られた後に、こ
ゝでは、結果的に観察対象である被験体試料Ｂの被観察
部表面を、当該落射光によって、これに正対する平面側
から、主に、平面的（平面２次元的）に観察可能なよう
に表面部の全体を照明することになり、このようにして
得られる当該平面的な表面部の照明像（観察像）は、反
射光として、再度、前記導光筒体４１の内部を経た上
で、半透明反射鏡２２を再透過して導光開口面１４から
観察部側に取り出され、こゝでの被験体試料Ｂの平面的
な表面部の照明像を所期通りに観察でき、かつまた、こ
の明視野照明光Ｌａの光照射量を調整することで、さら
に良好な観察を行ない得るのである。

【００１９】そして、後者の光量設定された暗視野照明
光Ｌｂについては、暗視野光導入開口３１から中心光軸
Ａに直交して本体鏡筒１１内に導入された後、こゝで
も、予め、設定された周囲部範囲内に該当して設けられ
ている第１の反射鏡３２によって、当該周囲部範囲内で
中心光軸Ａに平行する下方に向けて反射され、一旦は、
いわゆる、落射光として筒状胴部１２の内部で、かつ導
光筒体４１の外部の間を周囲部範囲内の暗視野エリアｂ
に向けて直進させ、さらに、当該暗視野エリアｂにおけ
る第２の反射鏡３３に至って再反射されることにより、
こゝでは、いわゆる、側射光として前記中心部範囲内の
明視野エリアａに向けて直進され、こゝでは、結果的に
観察対象である被験体試料Ｂの被観察部表面を、当該側
射光によって、これに平行する側面側から、主に、側面
的（側面２次元的）に観察可能なように表面部の全体を
照明することになり、このようにして得られる当該側面
的な表面部の照明像（観察像）は、反射光として、前記
した前者の場合と同様に、前記導光筒体４１の内部を経
た上で、半透明反射鏡２２を透過して導光開口面１４か
ら観察部側に取り出され、こゝでの側面的な表面部の照
明像を所期通りに観察でき、かつまた、こゝでの暗視野
照明光Ｌｂの光照射量を調整することで、さらに良好な
観察を行ない得るのである。

【００２０】すなわち、これを要するに、こゝでの図１
に示す第１の照明形態による場合には、被験体試料Ｂの
被観察部表面に対し、前者の明視野照明光Ｌａによって
は、予め、設定された中心部範囲内の明視野エリアａに
おいて当該被観察部の表面に正対する平面側からの落射
光による照明が独立的に行なわれて、こゝでは、主とし
て平面２次元的な表面部の照明像が得られると共に、こ
れに併せて、後者の暗視野照明光Ｌｂによっては、予
め、設定された周囲部範囲内の暗視野エリアｂから中心
部範囲内の明視野エリアａへの側射光による照明、ひい
ては、当該被観察部の側面に平行する側面側からの側射
光による照明が独立的に行なわれ、こゝでは、主として
側面２次元的な表面部の照明像が得られるもので、結
局、これらの落射光を主体とする照明と、側射光を主体
とする照明とによる照明像、換言すると、３次元的な立
体観をもった照明像（観察像）を容易に観察できるので
あり、また一方では、当該照明像の観察中に、これらの
前者の明視野照明光Ｌａと後者の暗視野照明光Ｌｂとの
各光照射量をそれぞれに調整することで、観察不可能な
暗い影の部分が一掃されるなどの利点も発揮され、より
一層、それぞれの目的に相応した効果的な観察が可能に
なるのである。

【００２１】また、図２に示す第２の照明形態、こゝで
は、明視野照明によってのみ使用する場合には、上記第
１の照明形態の場合と同様に、被験体試料Ｂの被観察部
表面に対し、本体鏡筒１１の対物開口面１３を正対的に
対面させておき、ついで、明視野光源５１と暗視野光源
６１とをそれぞれに点灯して共に発光させたまゝとした
上で、暗視野光量調整スリット６２による暗視野照明光
Ｌｂの光照射量を０％に絞って実質的に消灯させたのと
同様にしておくか、あるいは、暗視野光源６１を消灯さ
せ、かつ明視野光源５１のみを点灯させると共に、明視
野光量調整スリット５２による明視野照明光Ｌａの光照
射量を、任意、かつ選択的に調整しておくことにより、
当該明視野照明光Ｌａによる落射光のみを用い、上記し
たように被験体試料Ｂの被観察部表面を、当該落射光に
よって、これに正対する平面側から、主に、平面的（平
面２次元的）に観察可能なように表面部の全体を照明す
ることで、当該平面的な表面部の照明像（観察像）を所
期通りに観察できるのであり、かつまた、こゝでの明視
野照明光Ｌａの光照射量を調整することで、一層、良好
かつ効果的な観察が可能になって、当該明視野照明光Ｌ
ａのみの照明による利点を有効に活用し得る。

【００２２】さらに、図３に示す第３の照明形態、こゝ
では、暗視野照明によってのみ使用する場合には、上記
第２の照明形態の場合とは逆に、被験体試料Ｂの被観察
部表面に対し、本体鏡筒１１の対物開口面１３を正対的
に対面させておき、ついで、明視野光源５１と暗視野光
源６１とをそれぞれに点灯して共に発光させたまゝとし
た上で、明視野光量調整スリット５２による明視野照明
光Ｌａの光照射量を０％に絞って実質的に消灯させたの
と同様にしておくか、あるいは、明視野光源５１を消灯
させ、かつ暗視野光源６１のみを点灯させると共に、暗
視野光量調整スリット６２による暗視野照明光Ｌｂの光
照射量を、任意、かつ選択的に調整しておくことによ
り、当該暗視野照明光Ｌｂによる側射光のみを用い、上
記したように被験体試料Ｂの被観察部表面を、当該側射
光によって、これに平行する側面側から、主に、側面的
（側面２次元的）に観察可能なように表面部の全体を照
明することで、こゝでも同様に、当該側面的な表面部の
照明像（観察像）を所期通りに観察できるのであり、ま
た、こゝでの暗視野照明光Ｌｂの光照射量を調整するこ
とで、一層、良好かつ効果的な観察が可能になって、当
該暗視野照明光Ｌｂのみの照明による利点を有効に活用
し得る。

【００２３】次に、図４に示す第２実施例装置について
述べる。

【００２４】図４はこの発明の第２実施例を適用した観
察、撮像装置などの照明装置の概要構成を第１の照明形
態で使用する場合の模式的に示した断面図であり、この
第２実施例装置では、上記第１実施例装置の構成におい
て、明視野照明光Ｌａと暗視野照明光Ｌｂとのそれぞれ
に、こゝでも同様に、ハロゲンランプ、ＵＶランプなど
による同一の光源７１を共通に用いて、当該共通光源７
１から発光する照明光Ｌｄを適宜に、例えば、光ファイ
バーなどにより明視野側と暗視野側とに導き、一方の明
視野側の照明光については、明視野光量調整スリット５
２を通して光量調整された明視野照明光Ｌａを出力さ
せ、他方の暗視野側の照明光についても、暗視野光量調
整スリット６２を通して光量調整された暗視野照明光Ｌ
ｂを出力させることで、上記図１に示す第１実施例にお
ける第１の照明形態の場合と全く同様に使用可能であ
り、同様な作用、効果が得られるほか、この第２実施例
装置の構成では、照明光の光源を１つで済ませ得る。

【００２５】そしてまた、明視野側については、明視野
光量調整スリット５２を通して光量調整された明視野照
明光Ｌａを出力させ、かつ暗視野側についてのみ、暗視
野光量調整スリット６２を０％まで絞って暗視野照明光
Ｌｂを遮断させることで、上記図２に示す第１実施例に
おける第２の照明形態の場合と全く同様な使用が可能に
なり、これとは逆に、明視野光量調整スリット５２を０
％まで絞って明視野照明光Ｌａを遮断させ、暗視野光量
調整スリット６２を通して光量調整された暗視野照明光
Ｌｂのみを出力させることで、上記図３に示す第１実施
例における第３の照明形態の場合と全く同様な使用が可
能になって、それぞれに同様な作用、効果が得られるの
である。

【００２６】次に、図５に示す第３実施例装置について
述べる。

【００２７】図５はこの発明の第３実施例を適用した観
察、撮像装置などの照明装置の概要構成を第１の照明形
態で使用する場合の模式的に示した断面図であり、この
第３実施例装置では、上記第１実施例装置での明視野照
明光Ｌａの光源５１と暗視野照明光Ｌｂの光源６１とを
各別に用いる構成において、明視野側、および暗視野側
のそれぞれの各光量調整スリット５２、６２を省略し、
当該各光量調整スリット５２、６２で調整していた各光
量を、これらの各光源５１、６１への供給電圧を調整す
ることで、当該各光源５１、６１から発光する明視野
側、および暗視野側の各照明光Ｌａ、Ｌｂをそれぞれに
光量調整し得るようにしたもので、こゝでもまた、上記
図１に示す第１実施例における第１の照明形態の場合と
全く同様に使用可能であり、同様な作用、効果が得られ
るほか、この第３実施例装置の構成では、このように明
視野側、および暗視野側のそれぞれの各光量調整スリッ
ト５２、６２を省略できて、構成の簡略化を図り得る。

【００２８】そしてさらに、明視野側についてのみ、明
視野光源５１への供給電圧を制御して光量調整された明
視野照明光Ｌａを出力させ、かつ暗視野側については、
暗視野光源６１への電力供給を絶って暗視野照明光Ｌｂ
を不発光にさせることで、上記図２に示す第１実施例に
おける第２の照明形態の場合と全く同様な使用が可能に
なり、これとは逆に、明視野光源５１への電力供給を絶
って明視野照明光Ｌａを不発光にさせ、暗視野光源６１
への供給電圧を制御して光量調整された暗視野照明光Ｌ
ｂを出力させることで、上記図３に示す第１実施例にお
ける第３の照明形態の場合と全く同様に使用できて、そ
れぞれに同様な作用、効果が得られるのである。

【００２９】

【発明の効果】以上、各実施例、および各使用形態例に
よって詳述したように、この発明によれば、被験体試料
の被観察部表面に本体鏡筒の対物開口面を正対的に対面
させた状態で、明視野光源と暗視野視野光源とを点灯
し、共に光量調整された明視野照明光と暗視野照明光と
を出力させることによって、前者の明視野照明光によっ
ては、予め、設定された中心部範囲内の明視野エリアに
おいて当該被観察部の表面に正対する平面側からの落射
光による明視野照明を行ない得て、主に、平面的な表面
部の照明像を、また、後者の暗視野照明光によっては、
同様に、予め、設定された周囲部範囲内の暗視野エリア
から中心部範囲内の明視野エリアへの側射光による暗視
野照明、つまり、当該被観察部の側面に平行する側面側
からの側射光による暗視野照明を行ない得て、主に、側
面的な表面部の照明像を、それぞれに同一の装置構成内
で個々に切り換えて容易に観察できると共に、併せて、
これらの明視野照明、および暗視野照明を合成した態様
での照明像、すなわち、立体観をもった照明像について
も容易に観察できるのであり、しかも、これらの各照明
像の観察中に、明視野照明光、および暗視野照明光の各
光量をそれぞれ任意に選択調整することで、より一層、
それぞれの目的に相応した効果的な観察が可能になるほ
か、当該装置構成自体も比較的簡単で容易に実施し得る
などの優れた特長がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施例を適用した観察、撮像装
置などの照明装置の概要構成を第１の照明形態で使用す
る場合の模式的に示した断面図である。

【図２】同上第１実施例による照明装置の概要構成を第
２の照明形態で使用する場合の模式的に示した断面図で
ある。

【図３】同上第１実施例による照明装置の概要構成を第
３の照明形態で使用する場合の模式的に示した断面図で
ある。

【図４】この発明の第２実施例を適用した観察、撮像装
置などの照明装置の概要構成を第１の照明形態で使用す
る場合の模式的に示した断面図である。

【図５】この発明の第３実施例を適用した観察、撮像装
置などの照明装置の概要構成を第１の照明形態で使用す
る場合の模式的に示した断面図である。

【符号の説明】

１１ 本体鏡筒 １２ 筒状胴部 １３ 対物開口面 １４ 導光開口面 ２１ 明視野光導入開口 ２２ 半透明反射鏡 ２３ 絞り部材 ３１ 暗視野光導入開口 ３２ 第１の反射鏡 ３３ 第２の反射鏡 ４１ 導光筒体 ５１ 明視野光源 ５２ 明視野光量調整スリット ６１ 暗視野光源 ６２ 暗視野光量調整スリット ７１ 明視野、暗視野共通光源 Ａ 筒状胴部の中心光軸 Ｂ 被験体試料 Ｌａ 明視野照明光 Ｌｂ 暗視野照明光 Ｌｃ 照明像の反射光 ａ 光軸中心による中心部範囲内の明視野エリア ｂ 中心部範囲外での周囲部範囲内の暗視野エリア

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも筒状胴部の内部中心光軸に沿
   う下端部に、被験体試料の被観察部表面に対面させる対
   物開口面を形成させ、当該筒状胴部の内部下方に光軸を
   中心とする導光筒体を設け、前記対物開口面での中心部
   範囲内に明視野エリア、中心部範囲外の周囲部範囲内に
   暗視野エリアをそれぞれに設定区分させた本体鏡筒を有
   しており、 前記筒状胴部の上方には、光量調整された明視野照明光
   を導入する明視野光導入開口を形成させ、かつ当該明視
   野光導入開口に対応した内部の中心光軸上に、導入され
   る明視野照明光を反射して前記導光筒体の内部から明視
   野エリアに落射投光させ、被観察部表面を平面的に照明
   する半透明反射鏡を設けると共に、 前記筒状胴部の下方には、光量調整された暗視野照明光
   を導入する暗視野光導入開口を形成させ、かつ当該暗視
   野光導入開口に対応した内部の前記導光筒体の外周面上
   に、導入される暗視野照明光を反射して前記導光筒体と
   筒状胴部間の内部から暗視野エリアに落射させる第１の
   反射鏡、および当該筒状胴部の下端内周面に前記落射さ
   れる暗視野照明光を反射して明視野エリア側に側射投光
   させ、被観察部表面を側面的に照明する第２の反射鏡を
   設け、観察された反射光を外部の観察部側に取り出し得
   るように構成し、 必要に応じて、任意に光量調整された明視野照明光と暗
   視野照明光とによる照明、明視野照明光のみによる照
   明、暗視野照明光のみによる照明の何れかを選択利用し
   得るようにしたことを特徴とする観察、撮像装置などの
   照明装置。
2. 【請求項２】 前記明視野照明光と暗視野照明光との光
   源を各別に設けると共に、これらの各光源から発光する
   各照明光をそれぞれに光量調整スリットを通して光量調
   整し得るようにしたことを特徴とする請求項１、２記載
   の観察、撮像装置などの照明装置。
3. 【請求項３】 前記明視野照明光と暗視野照明光とに同
   一の光源を用い、当該同一光源から発光する照明光を適
   宜に分岐して、それぞれの各照明光とすると共に、これ
   らの分岐された各照明光をそれぞれに光量調整スリット
   を通して光量調整し得るようにしたことを特徴とする請
   求項１、２記載の観察、撮像装置などの照明装置。
4. 【請求項４】 前記明視野照明光と暗視野照明光との光
   源を各別に設けると共に、これらの各光源への供給電圧
   を調整して、当該各光源から発光する各照明光を光量調
   整し得るようにしたことを特徴とする請求項１記載の観
   察、撮像装置などの照明装置。