JPH04294253A - 赤外顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は試料の微小部分の赤外光
による観察とか赤外分光分析等を行う赤外顕微鏡に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】赤外顕微鏡は赤外光による観察測定と、
試料の分析点の選択とか目視観察のため、赤外光と可視
光の両方の光学系が必要である。即ち赤外顕微鏡では赤
外光光源と可視光光源と、それらの光源の光を一つの顕
微鏡の光軸上に導き、試料に集光させるための赤外光用
と可視光用の夫々の光学系が必要であった。図３に従来
の赤外顕微鏡の一例を示す。この従来例は試料透過光の
測定も試料反射光の測定もできる装置である。Ｇは分光
された赤外光を送出する光源で、フーリェ変換型赤外分
光器等が用いられ図の紙面に垂直の方向に赤外光を入射
させる。１は反射測定，透過測定切替用の可動平面鏡で
、光源Ｇからの入射光束に対し４５度傾いており、入射
光束を図で上方に反射させ、或は９０°回転させること
により下方に反射させる。上方に反射させたときは、入
射光は平面鏡２，凹面鏡３，光路の半分まで挿入された
平面鏡４を経て顕微鏡光学系の鏡筒Ｃを下方に向かい、
対物鏡５により反射されて試料ステージ上の試料６上に
集光される。入射光束を下方に反射させたときは平面鏡
２’，凹面鏡３’平面鏡４’を経て鏡筒筒軸に沿い上方
に向かって、集光鏡５’により試料６に集光せしめられ
る。可視光観察時には、この光路で凹面鏡３’と平面鏡
４’との間に平面鏡１２を挿入することができるように
なっており、これを介して試料６に白熱電球１３から放
射される可視光を集光せしめ得るようになっている。試
料６から反射され或は試料６を透過した光は対物鏡５に
よって視野制限マスク７の位置に試料の像を形成せしめ
られる。マスク７を通った光は平面鏡８，９，凹面鏡１
０を経て測光素子１１に入射せしめられ、赤外光測定が
行われる。可視光観察時にはマスク７と平面鏡８との間
に４５°の傾きで平面鏡１４が挿入される。この平面鏡
１４で上左方に反射された光は目視用接眼光学系Ｉに送
られ、試料の顕微鏡像が目視観察できるようにしてある
。平面鏡１４と接眼光学系Ｉとの間の光路上に半透明鏡
１２’が挿入してある。１３’は白熱電球で、半透明鏡
１２’，１４，対物鏡５により、試料６上に上方から可
視光を集光照射するものである。このような構成により
、平面鏡１２，１４を光路外に出しておくことにより赤
外光による試料の透過像，反射像の両方を観測すること
ができ、平面鏡１２，１４を光路内に挿入し、電球１３
を点灯することにより、透過光による可視光像の観察が
でき、電球１３’を点灯することによって試料反射光に
よる目視観察ができるのである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
赤外顕微鏡では赤外光と可視光の光学系の共通部分が少
なく可視光と赤外光の集光条件が異なるため、保守，据
付時の可視光による光学系の調整が適正であっても、赤
外光についての調整が適正であるとは限らなくて、調整
には多大の時間と熟練を要すると云う問題があり、また
透過，反射両方の観察を可能にしようとすると可視光用
の集光系および光路切換機構が２組必要となって装置全
体が複雑高価になると云う問題がある。本発明はこれら
の問題を解決しようとするものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】赤外顕微鏡の赤外光光源
から顕微鏡本体に光を入射させる光路上にこの光路に対
して傾斜した切換用鏡を出入自在に設け、この鏡を上記
光路上に進出させたとき、可視光光源の光がこの鏡によ
り上記赤外光光路と同じ方向に反射されて顕微鏡本体に
入射する位置に可視光光源を配置し、可視光光源と上記
切換用鏡までの可視光光学系を、顕微鏡本体に入射する
可視光束が顕微鏡本体に入射する赤外光束と同種の光束
を形成する光学系とした。こゝで同種光束とは平行なら
平行，収束なら同じ点に収束し、発散なら同じ点から発
散する光束と云うことである。

【０００５】

【作用】顕微鏡に試料照明光を入射させる部分において
、赤外光と可視光とを同じ光路，同種光束で入射させる
のである。赤外光と可視光の切換は出入自在な斜鏡によ
って行われ、同種光束の形で顕微鏡本体部に入射するか
ら、顕微鏡本体内では赤外光も可視光も共通の光学系に
より全く同じ挙動をする。従って可視光で調整すれば赤
外光についても全く同じように調整される。また可視光
源は一つでよく、可視赤外切換は一つの切換用鏡の出入
だけでよく、装置構成も簡単となる。

【０００６】

【実施例】図１に本発明の一実施例の要部を示す。この
実施例では顕微鏡の本体部は図３に示した従来例と基本
的に同じで、図２の電球１３，１３’がなく、鏡１２，
１２’および、電球１３，１３’と鏡１２，１２’との
間の可視光集光用レンズ系１５，１５’がない。そして
これらの部分がないことが本発明の特徴である。図１は
上述した顕微鏡の本体部を図３で右側から見た状態で、
顕微鏡本体部はＭで示してある。１は可動平面鏡で試料
を透過光で調べるか反射光で調べるかの切換を行い、図
は入射光を上方に反射させて試料を反射光で観測する状
態になっている。可動鏡１を９０°回わして鎖線位置に
切りかえると、入射光は下方に反射されて試料を下から
照明し、試料を透過光で観測する状態になる。Ｇは赤外
光光源でこの実施例ではフーリェ変換型赤外分光光度計
が用いられている。Ｖは可視光光源で、Ｃは可視赤外切
換用鏡である。

【０００７】図２は顕微鏡本体Ｍ，二種の光源Ｇ，Ｖお
よび切換用鏡Ｃの配置を示す平面図である。赤外光光源
Ｇは平行光束を出射して顕微鏡本体Ｍに直接入射させる
ようになっている。この赤外光光源からの顕微鏡本体Ｍ
への入射光路Ｌ上に出入自在に切換用鏡Ｃが設けられて
いる。この鏡は光路Ｌに対して４５°傾けてあり、可視
光光源Ｖはその光軸が上記光路Ｌと直交するように配置
され、切換用鏡Ｃはこの光軸と光路Ｌとの交点に進出す
るようになっている。可視光光源Ｖは赤外光光源Ｇと同
様に平行光束を出射するようになっている。切換用鏡Ｃ
が光路Ｌから後退しているときは、赤外光が顕微鏡本体
に入射する。切換用鏡Ｃが光路Ｌ上に進出させてあると
きは可視光が顕微鏡本体に入射せしめられる。

【０００８】可視光光源は白熱電球Ｗと集光レンズＡと
その集光点に置かれた絞りと光拡散板Ｄとこの拡散板で
拡散された光を平行光束にするレンズＢとよりなってい
る。光拡散板Ｄは電球のフイラメント像による試料面の
照射むらを消すため、レンズＡによるフィラメントの像
の位置より少しずれた位置に置かれている。

【０００９】上述実施例では顕微鏡本体に入射させる光
束は平行光束であるが、集束光を用いるようにしてもよ
い。この場合、可視，赤外夫々の光源の出射光束の集光
点が一致するようにして、その点に切換用鏡を進退させ
るようにすると、両光源の配置方向が多少狂っていても
、両光源からの光束は顕微鏡本体内では全く同じ挙動を
することになるので都合がよい。

【００１０】上述実施例では切換用鏡は可動鏡であるが
、レーザーを併用した干渉計の場合、中心部等に赤外光
を透過しない部分を有するビームスプリッタが用いられ
ているので、レーザー干渉計を赤外光光源とするときは
、その出射光束の部分は空になっているから、切換用鏡
はこの赤外線に対する無効部分に適合する大きさの鏡と
して赤外光束の中心部に固定的に配置しておいてよい。 また切換用鏡は平面鏡であるが、これを凹面鏡等にして
、可視光光源との共同作用で反射光が顕微鏡本体に入射
する赤外光光束と同種光束になるようにしてもよい。

【００１１】

【発明の効果】本発明によれば顕微鏡本体内では可視光
も赤外光も全く同じ光学系なっており、両種の光は同種
光束で同じ方向で顕微鏡本体に入射せしめられるから、
可視光で調整しておけば赤外光でも同様に調整されるこ
とになり、保守調整が容易となる。また試料透過光と反
射光の何れでも観察できる場合、可視光光源は一つでよ
く装置が安価にできる。更に赤外光源にフーリェ変換型
分光光度計が用いられる場合、赤外光と平行に可視レー
ザー光を通すようになっており、フーリェ変換型分光光
度計の出射光を入射させたまま可視像観察をすると、レ
ーザー光は眼に有害であるが、目視観察の場合、切換用
鏡の進出により自動的にこの有害なレーザー光も除去さ
れ、別に眼を保護する保護板を出入させるような手間も
省ける。

【図面の簡単な説明】

【図１】　　本発明の一実施例の背面図

【図２】　　同
じく平面図

【図３】　　従来例の側面図

【符号の説明】

１　　　　　　可動鏡 Ｍ　　　　　　顕微鏡本体 Ｇ　　　　　　赤外光光源 Ｖ　　　　　　可視光光源 Ｃ　　　　　　切換用鏡 Ｗ　　　　　　白熱電球 Ａ，Ｂ　　レンズ Ｄ　　　　　　光拡散板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 赤外光光源から顕微鏡本体部に赤外光を入射させる光路
   上に、光軸がこの光路と交わるように可視光光源を配置
   し、上記光路と光軸との交点に可視光赤外光切換用の鏡
   を置いて、可視光が赤外光と同一光路同種光束によって
   顕微鏡本体に入射するようにしたことを特徴とする赤外
   顕微鏡。