JPH0618410A - 赤外顕微測定装置 - Google Patents
赤外顕微測定装置Info
- Publication number
- JPH0618410A JPH0618410A JP4172392A JP17239292A JPH0618410A JP H0618410 A JPH0618410 A JP H0618410A JP 4172392 A JP4172392 A JP 4172392A JP 17239292 A JP17239292 A JP 17239292A JP H0618410 A JPH0618410 A JP H0618410A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- graduations
- eyepiece
- infrared
- aperture
- Prior art date
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- Pending
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 接眼レンズあるいはカメラのいずれによる試
料像の観察にも測定領域測長用目盛を見ることができる
赤外顕微測定装置を提供する。 【構成】 赤外顕微鏡の反射対物鏡の焦点位置に目盛手
段を設置した赤外顕微測定装置である。
料像の観察にも測定領域測長用目盛を見ることができる
赤外顕微測定装置を提供する。 【構成】 赤外顕微鏡の反射対物鏡の焦点位置に目盛手
段を設置した赤外顕微測定装置である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料の微小部分の赤外
分光分析を行う赤外顕微測定装置に関する。
分光分析を行う赤外顕微測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】試料の微小部分の赤外線吸収などの測定
においては、通常、試料を赤外光で照明し、赤外顕微鏡
の反射対物鏡の焦点位置に視野制限マスク（可変アパー
チャ）を設置して試料像面で測定したい部分以外の部分
を覆い、測定しようとする部分からの赤外光のみを取り
出して測定するようになっているが、この測定する領域
を確認するため可視光による試料像を形成し、可視光像
の上でアパーチャ開孔の位置決めを行っていた。このと
き、測定領域測長のための目盛は接眼レンズ部に挿入さ
れていた。
においては、通常、試料を赤外光で照明し、赤外顕微鏡
の反射対物鏡の焦点位置に視野制限マスク（可変アパー
チャ）を設置して試料像面で測定したい部分以外の部分
を覆い、測定しようとする部分からの赤外光のみを取り
出して測定するようになっているが、この測定する領域
を確認するため可視光による試料像を形成し、可視光像
の上でアパーチャ開孔の位置決めを行っていた。このと
き、測定領域測長のための目盛は接眼レンズ部に挿入さ
れていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】したがって、接眼レン
ズ部が通常の三眼鏡塔であって、光を接眼レンズまたは
ＣＣＤカメラのマウント方向へと切り換え可能である場
合において、カメラで試料像（測定領域）を観察すると
きには目盛が見えないという問題点があった。
ズ部が通常の三眼鏡塔であって、光を接眼レンズまたは
ＣＣＤカメラのマウント方向へと切り換え可能である場
合において、カメラで試料像（測定領域）を観察すると
きには目盛が見えないという問題点があった。
【０００４】本発明は、接眼レンズを使用しないとき、
特にカメラ使用時にも測定領域測長のための目盛が見え
るようにした赤外顕微測定装置を提供することを目的と
している。
特にカメラ使用時にも測定領域測長のための目盛が見え
るようにした赤外顕微測定装置を提供することを目的と
している。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の赤外顕微測定装置においては、赤外顕微鏡
の反射対物鏡の焦点位置に目盛手段を設置したものであ
る。
に、本発明の赤外顕微測定装置においては、赤外顕微鏡
の反射対物鏡の焦点位置に目盛手段を設置したものであ
る。
【０００６】目盛手段を設置する位置は、反射対物鏡の
焦点位置であれば任意であるが、特に可変アパーチャ自
体に目盛を記入することが効果的である。
焦点位置であれば任意であるが、特に可変アパーチャ自
体に目盛を記入することが効果的である。
【０００７】
【作用】上記のように構成された赤外顕微測定装置の試
料上における反射対物鏡の像は可変アパーチャの位置で
一度焦点を結び、焦点位置に設置された目盛手段の目盛
とともに接眼レンズ部、すなわち接眼レンズまたはＣＣ
Ｄカメラのマウント方向へ導かれる。
料上における反射対物鏡の像は可変アパーチャの位置で
一度焦点を結び、焦点位置に設置された目盛手段の目盛
とともに接眼レンズ部、すなわち接眼レンズまたはＣＣ
Ｄカメラのマウント方向へ導かれる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明すると、第１図において、１は分光された赤外光
を出射する光源で、たとえばフーリエ変換型赤外分光光
度計（図示せず）などが用いられ、図面紙面に対して垂
直方向から赤外光が入射される。この位置には図示して
いないが、反射測定、透過測定切換用の可動平面鏡が設
けられており、光源１からの入射光束に対して４５°傾
斜して入射光を図中上方に反射させ、あるいは可動平面
鏡を９０°回転して入射光を下方に反射させることがで
きる。
て説明すると、第１図において、１は分光された赤外光
を出射する光源で、たとえばフーリエ変換型赤外分光光
度計（図示せず）などが用いられ、図面紙面に対して垂
直方向から赤外光が入射される。この位置には図示して
いないが、反射測定、透過測定切換用の可動平面鏡が設
けられており、光源１からの入射光束に対して４５°傾
斜して入射光を図中上方に反射させ、あるいは可動平面
鏡を９０°回転して入射光を下方に反射させることがで
きる。
【０００９】図中上方に反射させたときは、入射光は平
面鏡２、凹面鏡３、光路の半分まで挿入された平面鏡４
を経て顕微鏡光学系の鏡筒５内を下方に向かって対物鏡
６により反射されて試料ステージ７上の試料に集光され
る。他方、入射光束を下方に反射させたときには、平面
鏡２´、凹面鏡３´、平面鏡４´を経て鏡筒筒軸に沿っ
て上方に向かい集光鏡６´により試料ステージ７上の試
料に集光される。この光路において、凹面鏡３´と平面
鏡４´との間に平面鏡８を挿入することができるように
なっており、これを介して試料に可視光源（白熱電球）
９からの可視光を下方より集光させることができる。
面鏡２、凹面鏡３、光路の半分まで挿入された平面鏡４
を経て顕微鏡光学系の鏡筒５内を下方に向かって対物鏡
６により反射されて試料ステージ７上の試料に集光され
る。他方、入射光束を下方に反射させたときには、平面
鏡２´、凹面鏡３´、平面鏡４´を経て鏡筒筒軸に沿っ
て上方に向かい集光鏡６´により試料ステージ７上の試
料に集光される。この光路において、凹面鏡３´と平面
鏡４´との間に平面鏡８を挿入することができるように
なっており、これを介して試料に可視光源（白熱電球）
９からの可視光を下方より集光させることができる。
【００１０】試料から反射され、あるいは試料を透過し
た光が対物鏡６によって結像される位置に可変アパーチ
ャ１０が設置されている。可変アパーチャ１０により試
料像が覆われ、同アパーチャの開孔を通った光は、平面
鏡１１、１２、凹面鏡１３を経て赤外検出器１４に入射
され、測光される。
た光が対物鏡６によって結像される位置に可変アパーチ
ャ１０が設置されている。可変アパーチャ１０により試
料像が覆われ、同アパーチャの開孔を通った光は、平面
鏡１１、１２、凹面鏡１３を経て赤外検出器１４に入射
され、測光される。
【００１１】可変アパーチャ１０と平面鏡１１との間に
は４５°の傾きで平面鏡１５を挿入することができ、こ
の平面鏡１５で図中左方向に反射された光は目視観察用
接眼レンズ部１６に導かれ、試料の顕微鏡像が観察でき
るようになっている。
は４５°の傾きで平面鏡１５を挿入することができ、こ
の平面鏡１５で図中左方向に反射された光は目視観察用
接眼レンズ部１６に導かれ、試料の顕微鏡像が観察でき
るようになっている。
【００１２】試料顕微鏡像の目視観察モードにおける可
視光による試料の照射は、上記した可視光源（白熱電
球）９からの可視光の下方よりの集光照射のほか、平面
鏡１５と接眼レンズ部（接眼光学系）１６との間の光路
上に挿入された半透明鏡８´、平面鏡１５、対物鏡６を
経由して可視光源９´により上方からも集光照射させる
ことができる。
視光による試料の照射は、上記した可視光源（白熱電
球）９からの可視光の下方よりの集光照射のほか、平面
鏡１５と接眼レンズ部（接眼光学系）１６との間の光路
上に挿入された半透明鏡８´、平面鏡１５、対物鏡６を
経由して可視光源９´により上方からも集光照射させる
ことができる。
【００１３】試料の赤外反射測定を行うときは、可視光
源９´を点灯し試料を上方より照明して反射光による試
料像を接眼レンズ部１６によって目視観察する。このと
き、可変アパーチャ１０を動かしてアパーチャ開孔を試
料像上の任意の場所に位置決めするが、第２図に示すよ
うに、つまみ１７、１８によって図中Ｘ、Ｙ方向に各独
立して移動させることができる２枚一組の計４枚の可動
板１９、２０には目盛１９´、２０´が刻まれているの
で、接眼レンズあるいはＣＣＤカメラのいずれによる目
視観察でも位置決めされる試料像、すなわち測定領域の
測長を行うことができる。他方、試料の赤外透過測定を
行うときは、可視光源９を点灯して試料を下方より照明
し、透過光の試料像を接眼レンズ部１６に導いて目視観
察する。なお、可変アパーチャ１０の目盛が暗くて見え
にくい場合には、その部分を照明するための別の光源を
配置してもよい。
源９´を点灯し試料を上方より照明して反射光による試
料像を接眼レンズ部１６によって目視観察する。このと
き、可変アパーチャ１０を動かしてアパーチャ開孔を試
料像上の任意の場所に位置決めするが、第２図に示すよ
うに、つまみ１７、１８によって図中Ｘ、Ｙ方向に各独
立して移動させることができる２枚一組の計４枚の可動
板１９、２０には目盛１９´、２０´が刻まれているの
で、接眼レンズあるいはＣＣＤカメラのいずれによる目
視観察でも位置決めされる試料像、すなわち測定領域の
測長を行うことができる。他方、試料の赤外透過測定を
行うときは、可視光源９を点灯して試料を下方より照明
し、透過光の試料像を接眼レンズ部１６に導いて目視観
察する。なお、可変アパーチャ１０の目盛が暗くて見え
にくい場合には、その部分を照明するための別の光源を
配置してもよい。
【００１４】目盛１９´、２０´は試料像の焦点位置に
配置すればよいので、上記実施例における可変アパーチ
ャ１０とは別個にセットすることもできる。たとえば、
焦点の前段で二分した光路２１の片方の焦点位置に目盛
１９´、２０´を設け、そのあと光学系上で一致させて
もよい。
配置すればよいので、上記実施例における可変アパーチ
ャ１０とは別個にセットすることもできる。たとえば、
焦点の前段で二分した光路２１の片方の焦点位置に目盛
１９´、２０´を設け、そのあと光学系上で一致させて
もよい。
【００１５】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、接眼レンズ部が通常の三眼鏡塔であって、
光を接眼レンズまたはＣＣＤカメラのマウント方向へと
切り換え可能である場合において、接眼レンズあるいは
カメラのいずれによる試料像の観察にも測定領域測長用
目盛を見ることができる。
ているので、接眼レンズ部が通常の三眼鏡塔であって、
光を接眼レンズまたはＣＣＤカメラのマウント方向へと
切り換え可能である場合において、接眼レンズあるいは
カメラのいずれによる試料像の観察にも測定領域測長用
目盛を見ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す縦断側面図である。
【図２】本発明の目盛手段の一実施例を示す斜視図であ
る。
る。
１ 光源 ６ 対物鏡 ７ 試料ステージ ９、９´ 可
視光源 １０ 可変アパーチャ １４ 赤外検
出器 １６ 接眼レンズ部 １９´、２０
´ 目盛
視光源 １０ 可変アパーチャ １４ 赤外検
出器 １６ 接眼レンズ部 １９´、２０
´ 目盛
Claims (1)
- 【請求項１】 赤外顕微鏡の反射対物鏡の焦点位置に目
盛手段を設置したことを特徴とする赤外顕微測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4172392A JPH0618410A (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | 赤外顕微測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4172392A JPH0618410A (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | 赤外顕微測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0618410A true JPH0618410A (ja) | 1994-01-25 |
Family
ID=15941084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4172392A Pending JPH0618410A (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | 赤外顕微測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0618410A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08159966A (ja) * | 1994-12-06 | 1996-06-21 | Shimadzu Corp | 赤外顕微鏡 |
| JPH11194276A (ja) * | 1997-12-29 | 1999-07-21 | Shimadzu Corp | 赤外顕微鏡 |
| EP2057582A2 (en) * | 2006-08-28 | 2009-05-13 | Thermo Electron Scientific Instruments LLC | Spectroscopic microscopy with image -driven analysis |
| US7808625B2 (en) | 2006-08-30 | 2010-10-05 | Otsuka Electronics Co., Ltd. | Aperture variable inspection optical system and color filter evaluation process |
-
1992
- 1992-06-30 JP JP4172392A patent/JPH0618410A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08159966A (ja) * | 1994-12-06 | 1996-06-21 | Shimadzu Corp | 赤外顕微鏡 |
| JPH11194276A (ja) * | 1997-12-29 | 1999-07-21 | Shimadzu Corp | 赤外顕微鏡 |
| EP2057582A2 (en) * | 2006-08-28 | 2009-05-13 | Thermo Electron Scientific Instruments LLC | Spectroscopic microscopy with image -driven analysis |
| JP2010502956A (ja) * | 2006-08-28 | 2010-01-28 | サーモ エレクトロン サイエンティフィック インストルメンツ リミテッド ライアビリティ カンパニー | 画像駆動分析による分光器顕微鏡法 |
| EP2057582A4 (en) * | 2006-08-28 | 2011-08-31 | Thermo Electron Scient Instr | SPECTROSCOPIC MICROSCOPY WITH IMAGE ANALYSIS |
| US7808625B2 (en) | 2006-08-30 | 2010-10-05 | Otsuka Electronics Co., Ltd. | Aperture variable inspection optical system and color filter evaluation process |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313122 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081112 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |