JPH0738807Y2 - 投影検査機 - Google Patents
投影検査機Info
- Publication number
- JPH0738807Y2 JPH0738807Y2 JP12087089U JP12087089U JPH0738807Y2 JP H0738807 Y2 JPH0738807 Y2 JP H0738807Y2 JP 12087089 U JP12087089 U JP 12087089U JP 12087089 U JP12087089 U JP 12087089U JP H0738807 Y2 JPH0738807 Y2 JP H0738807Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- projection
- measured
- projection lens
- optical system
- lens mount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、被測定物の像をスクリーンに投影して観察検
査できると共に顕微鏡を用いて被測定物の像をより一層
正確に観察検査できる投影検査機に関するものである。
査できると共に顕微鏡を用いて被測定物の像をより一層
正確に観察検査できる投影検査機に関するものである。
（従来の技術） 従来から、２次元方向に移動可能で被測定物を載置する
載物台の上方に投影光学系の一部を構成する投影レンズ
を装着するための投影レンズマウント装着部が設けら
れ、照明光の照射に基づき投影光学系を介してスクリー
ンに被測定物の像を拡大投影して観察検査する投影検査
機が知られている。
載物台の上方に投影光学系の一部を構成する投影レンズ
を装着するための投影レンズマウント装着部が設けら
れ、照明光の照射に基づき投影光学系を介してスクリー
ンに被測定物の像を拡大投影して観察検査する投影検査
機が知られている。
（考案が解決しようとする課題） ところで、従来の投影検査機では、被測定物の像に基づ
き素早く、かつ正確に被測定物の観察検査を行なうかが
ポイントであるが、スクリーン上への像の投影精度をい
かに向上させるかに注力されている。ところが、被測定
物には像として映り難い表面の色、形状（例えば黒色の
もの、艶消しされたプラスチック段差、Ｒ面等）を有す
るものがあり、スクリーン上に映しだされる像の照度、
解像度、透過率には自ずから限界があり、このような被
測定物の検査の場合には従来の投影検査機に装備されて
いる高度の計測機能を十分に発揮することができないと
いう問題点がある。
き素早く、かつ正確に被測定物の観察検査を行なうかが
ポイントであるが、スクリーン上への像の投影精度をい
かに向上させるかに注力されている。ところが、被測定
物には像として映り難い表面の色、形状（例えば黒色の
もの、艶消しされたプラスチック段差、Ｒ面等）を有す
るものがあり、スクリーン上に映しだされる像の照度、
解像度、透過率には自ずから限界があり、このような被
測定物の検査の場合には従来の投影検査機に装備されて
いる高度の計測機能を十分に発揮することができないと
いう問題点がある。
そこで、本考案の目的は、被測定物の像をスクリーンに
投影して観察検査できると共に顕微鏡を用いて被測定物
の像をより一層正確に観察検査できるようにした投影検
査機を提供することにある。
投影して観察検査できると共に顕微鏡を用いて被測定物
の像をより一層正確に観察検査できるようにした投影検
査機を提供することにある。
（課題を解決するための手段） 本考案は、上記課題を解決するために、２次元方向に移
動可能で被測定物を載置する載物台の上方に投影光学系
の一部を構成する投影レンズを装着するための投影レン
ズマウント装着部を備え、照明光の照射に基づき前記投
影光学系を介してスクリーンに前記被測定物の像を投影
して観察検査する投影検査機において、投影レンズマウ
ントが接眼光学系を備えた顕微鏡マウントと交換可能に
着脱可能とされ、前記接眼光学系の視野内には基準指標
が設けられ、前記載物台には移動量を表示する移動量表
示部が設けられていることを特徴とする。
動可能で被測定物を載置する載物台の上方に投影光学系
の一部を構成する投影レンズを装着するための投影レン
ズマウント装着部を備え、照明光の照射に基づき前記投
影光学系を介してスクリーンに前記被測定物の像を投影
して観察検査する投影検査機において、投影レンズマウ
ントが接眼光学系を備えた顕微鏡マウントと交換可能に
着脱可能とされ、前記接眼光学系の視野内には基準指標
が設けられ、前記載物台には移動量を表示する移動量表
示部が設けられていることを特徴とする。
（作用） 本考案によれば、顕微鏡を用いて観察検査したい場合に
は投影レンズマウントを外し、投影レンズマウント装着
部に顕微鏡マウントを装着して接眼観察することができ
る。また、顕微鏡内の基準指標を用いて被測定物を観察
しつつ載物台を移動させ、その移動量を移動量表示部に
表示させることにより信頼性の高い測定が可能となる。
は投影レンズマウントを外し、投影レンズマウント装着
部に顕微鏡マウントを装着して接眼観察することができ
る。また、顕微鏡内の基準指標を用いて被測定物を観察
しつつ載物台を移動させ、その移動量を移動量表示部に
表示させることにより信頼性の高い測定が可能となる。
（実施例） 以下に、本考案に係わる投影検査機について、図面を参
照しつつ説明する。
照しつつ説明する。
第１図〜第４図は本考案に係わる投影検査機の第１実施
例を示す図であって、第１図〜第３図において、１は投
影検査機本体で、投影検査機本体１は、架台部２、支柱
部３、スクリーン部４より大略構成されている。架台部
２には被測定物を載置する載物台としてのX-Yテーブル
５が設けられている。X-Yテーブル５は合焦機構６に連
結されている。合焦機構６はラック７とピニオン８とか
ら大略構成され、X-Yテーブル５は移動ハンドル９を操
作することにより２次元方向に移動されると共にピニオ
ン８と連結の合焦ハンドル10を操作することにより上下
方向に移動される。
例を示す図であって、第１図〜第３図において、１は投
影検査機本体で、投影検査機本体１は、架台部２、支柱
部３、スクリーン部４より大略構成されている。架台部
２には被測定物を載置する載物台としてのX-Yテーブル
５が設けられている。X-Yテーブル５は合焦機構６に連
結されている。合焦機構６はラック７とピニオン８とか
ら大略構成され、X-Yテーブル５は移動ハンドル９を操
作することにより２次元方向に移動されると共にピニオ
ン８と連結の合焦ハンドル10を操作することにより上下
方向に移動される。
架台部２は、透過照明光学系11を有し、透過照明光学系
11はランプ12、集光レンズ13、ズームレンズ14、ミラー
15、コリメートレンズ16から大略構成され、X-Yテーブ
ル５の下方からX-Yテーブル５に載置された被測定物
（図示を略す）を照明するものとなっている。ズームレ
ンズ14は後述する接眼光学系の観察倍率を変更すること
によって変動する観察範囲に応じて透過照明光の照明範
囲を可変するために設けられている。
11はランプ12、集光レンズ13、ズームレンズ14、ミラー
15、コリメートレンズ16から大略構成され、X-Yテーブ
ル５の下方からX-Yテーブル５に載置された被測定物
（図示を略す）を照明するものとなっている。ズームレ
ンズ14は後述する接眼光学系の観察倍率を変更すること
によって変動する観察範囲に応じて透過照明光の照明範
囲を可変するために設けられている。
X-Yテーブル５の上方であってスクリーン部４の下部に
は投影レンズマウント装着部17が設けられている。投影
レンズマウント装着部17には後述する投影光学系の一部
としての投影レンズマウント18が螺着されている。投影
レンズマウント18は投影レンズ19、ハーフミラー20、集
光レンズ21から大略構成されている。ハーフミラー20は
反射照明光学系22に共用されるもので、反射照明光学系
22は集光レンズ23、24、ランプ25から大略構成されてい
る。集光レンズ24、ランプ25は支柱部３に設けられ、集
光レンズ23は投影レンズマウント18に設けられている。
ランプ25からの照明光は集光レンズ24、23、ハーフミラ
ー20、投影レンズ19を介してX-Yテーブル５に照射され
る。この照明光はX-Yテーブル５に載置された被測定物
により反射されて反射照明光となり、反射照明光は投影
レンズマウント18内を通ってスクリーン部４に導かれ
る。スクリーン部４にはミラー26、27が設けられ、投影
レンズマウント18と共に投影光学系を構成し、被測定物
の像は投影光学系を介してマットスクリーン28に形成さ
れるものである。なお、マットスクリーン28はスクリー
ン部４の正面に設けられ、マットスクリーン28には十字
の基準指標28aが形成され、基準指標28aの交点28bに相
当する箇所に光電素子としてのエッジセンサー（図示を
略す）が設けられ、このエッジセンサーは被測定物のエ
ッジを検出し、測長の際のX,Y座標の零点調整に用いら
れる。投影レンズマウント18は投影レンズマウント装着
部17に対して取り外し可能で、取り外した状態で顕微鏡
マウント29が螺着可能である。顕微鏡マウント29は対物
レンズ30、プリズム31、照準板32、接眼レンズ33から大
略構成され、照準板32には十字の基準指標34が設けら
れ、顕微鏡マウント29は接眼光学系を大略構成してい
る。被測定物を接眼観察したい場合には顕微鏡マウント
29を投影レンズマウント装着部17に螺着させた状態で照
準板32に結像された像を観察するものである。なお、35
はX-Yテーブル５の移動量を表示する移動量表示部、36
は移動量表示部35の表示をリセットするリセットボタ
ン、37は遮光板である。
は投影レンズマウント装着部17が設けられている。投影
レンズマウント装着部17には後述する投影光学系の一部
としての投影レンズマウント18が螺着されている。投影
レンズマウント18は投影レンズ19、ハーフミラー20、集
光レンズ21から大略構成されている。ハーフミラー20は
反射照明光学系22に共用されるもので、反射照明光学系
22は集光レンズ23、24、ランプ25から大略構成されてい
る。集光レンズ24、ランプ25は支柱部３に設けられ、集
光レンズ23は投影レンズマウント18に設けられている。
ランプ25からの照明光は集光レンズ24、23、ハーフミラ
ー20、投影レンズ19を介してX-Yテーブル５に照射され
る。この照明光はX-Yテーブル５に載置された被測定物
により反射されて反射照明光となり、反射照明光は投影
レンズマウント18内を通ってスクリーン部４に導かれ
る。スクリーン部４にはミラー26、27が設けられ、投影
レンズマウント18と共に投影光学系を構成し、被測定物
の像は投影光学系を介してマットスクリーン28に形成さ
れるものである。なお、マットスクリーン28はスクリー
ン部４の正面に設けられ、マットスクリーン28には十字
の基準指標28aが形成され、基準指標28aの交点28bに相
当する箇所に光電素子としてのエッジセンサー（図示を
略す）が設けられ、このエッジセンサーは被測定物のエ
ッジを検出し、測長の際のX,Y座標の零点調整に用いら
れる。投影レンズマウント18は投影レンズマウント装着
部17に対して取り外し可能で、取り外した状態で顕微鏡
マウント29が螺着可能である。顕微鏡マウント29は対物
レンズ30、プリズム31、照準板32、接眼レンズ33から大
略構成され、照準板32には十字の基準指標34が設けら
れ、顕微鏡マウント29は接眼光学系を大略構成してい
る。被測定物を接眼観察したい場合には顕微鏡マウント
29を投影レンズマウント装着部17に螺着させた状態で照
準板32に結像された像を観察するものである。なお、35
はX-Yテーブル５の移動量を表示する移動量表示部、36
は移動量表示部35の表示をリセットするリセットボタ
ン、37は遮光板である。
マットスクリーン28に投影された像を見て、被測定物の
寸法等を正確に検査し難たい場合は顕微鏡マウント29を
用いて観察を行なうもので、X-Yテーブル５上に載置さ
れた被測定物の基準となる測点に、第４図に示すように
照準板32に形成された基準指標34の交点34aが位置する
ようにX-Yテーブル５を移動ハンドル９によりＸ方向あ
るいはＹ方向に移動させる。そして、測点に交点34aが
一致したときにリセットボタン36により移動量表示部35
のX,Y座標を（0,0）にリセットしてこれを原点として被
測定物の測長を行なう。測定結果は移動量表示部35に表
示される。なお、照準板32上の交点34aに該当する部分
に例えばエッジセンサーのような光電素子（図示を略
す）を配置することで被測定物のエッジを検知してX,Y
座標の零点調整を行い、被測定物の測長を行なうことも
できる。
寸法等を正確に検査し難たい場合は顕微鏡マウント29を
用いて観察を行なうもので、X-Yテーブル５上に載置さ
れた被測定物の基準となる測点に、第４図に示すように
照準板32に形成された基準指標34の交点34aが位置する
ようにX-Yテーブル５を移動ハンドル９によりＸ方向あ
るいはＹ方向に移動させる。そして、測点に交点34aが
一致したときにリセットボタン36により移動量表示部35
のX,Y座標を（0,0）にリセットしてこれを原点として被
測定物の測長を行なう。測定結果は移動量表示部35に表
示される。なお、照準板32上の交点34aに該当する部分
に例えばエッジセンサーのような光電素子（図示を略
す）を配置することで被測定物のエッジを検知してX,Y
座標の零点調整を行い、被測定物の測長を行なうことも
できる。
第５図は本考案に係わる投影検査機の第２実施例を示す
図であって、スクリーン部４の下部にはターレット板38
が回転可能に設けられ、ターレット板38には２個の投影
レンズマウント装着部が設けられ、その投影レンズマウ
ント装着部には倍率の異なる投影レンズマウント18が装
着され、接眼観察したい場合にはいずれか一方の投影レ
ンズマウント18を取り外してその投影レンズマウント18
が取り外された投影レンズマウント装着部に双眼式の顕
微鏡マウント29aを装着すれば、投影観察検査と接眼観
察検査とを速やかに切替えることができて便利である。
なお、39は照明光源のケースで、ケース39には反射照明
光学系を構成する光学要素（図示を略す）が内蔵されて
いる。照明光源からの照明光は光学繊維部材40を介して
X-Yテーブル５の上方からX-Yテーブル５に照射されるも
ので、光学繊維部材40の先端部は顕微鏡マウント29aの
外周部に止め具（図示を略す）によって着脱可能に固定
されている。
図であって、スクリーン部４の下部にはターレット板38
が回転可能に設けられ、ターレット板38には２個の投影
レンズマウント装着部が設けられ、その投影レンズマウ
ント装着部には倍率の異なる投影レンズマウント18が装
着され、接眼観察したい場合にはいずれか一方の投影レ
ンズマウント18を取り外してその投影レンズマウント18
が取り外された投影レンズマウント装着部に双眼式の顕
微鏡マウント29aを装着すれば、投影観察検査と接眼観
察検査とを速やかに切替えることができて便利である。
なお、39は照明光源のケースで、ケース39には反射照明
光学系を構成する光学要素（図示を略す）が内蔵されて
いる。照明光源からの照明光は光学繊維部材40を介して
X-Yテーブル５の上方からX-Yテーブル５に照射されるも
ので、光学繊維部材40の先端部は顕微鏡マウント29aの
外周部に止め具（図示を略す）によって着脱可能に固定
されている。
（考案の効果） 以上説明したように、本考案に係わる投影検査機によれ
ば、被測定物の像をスクリーンに投影して観察検査でき
ると共に顕微鏡を用いて被測定物の像をより一層正確に
観察検査することができるという効果を奏するものであ
る。
ば、被測定物の像をスクリーンに投影して観察検査でき
ると共に顕微鏡を用いて被測定物の像をより一層正確に
観察検査することができるという効果を奏するものであ
る。
第１図は本考案に係わる投影検査機の第１実施例を示す
縦断面図、 第２図は本考案に係わる投影検査機の第１実施例を示す
図であって、投影レンズマウント装着部に投影レンズマ
ウントが装着されている状態を示す斜視図、 第３図は第２図の投影レンズマウントの代わりに顕微鏡
マウントが装着されている状態を示す斜視図、 第４図は接眼光学系の視野を示す図、 第５図は本考案に係わる投影検査機の第２実施例を示す
斜視図である。 ５……X-Yテーブル、 17……投影レンズマウント装着部 18……投影レンズマウント 28……マットスクリーン 29……顕微鏡マウント 34……基準指標 35……移動量表示部
縦断面図、 第２図は本考案に係わる投影検査機の第１実施例を示す
図であって、投影レンズマウント装着部に投影レンズマ
ウントが装着されている状態を示す斜視図、 第３図は第２図の投影レンズマウントの代わりに顕微鏡
マウントが装着されている状態を示す斜視図、 第４図は接眼光学系の視野を示す図、 第５図は本考案に係わる投影検査機の第２実施例を示す
斜視図である。 ５……X-Yテーブル、 17……投影レンズマウント装着部 18……投影レンズマウント 28……マットスクリーン 29……顕微鏡マウント 34……基準指標 35……移動量表示部
Claims (1)
- 【請求項１】２次元方向に移動可能で被測定物を載置す
る載物台の上方に投影光学系の一部を構成する投影レン
ズを装着するための投影レンズマウント装着部を備え、
照明光の照射に基づき前記投影光学系を介してスクリー
ンに前記被測定物の像を投影して観察検査する投影検査
機において、投影レンズマウントが接眼光学系を備えた
顕微鏡マウントと交換可能に着脱可能とされ、前記接眼
光学系の視野内には基準指標が設けられ、前記載物台に
は移動量を表示する移動量表示部が設けられていること
を特徴とする投影検査機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12087089U JPH0738807Y2 (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | 投影検査機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12087089U JPH0738807Y2 (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | 投影検査機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0360004U JPH0360004U (ja) | 1991-06-13 |
| JPH0738807Y2 true JPH0738807Y2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=31668923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12087089U Expired - Lifetime JPH0738807Y2 (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | 投影検査機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0738807Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010181254A (ja) * | 2009-02-05 | 2010-08-19 | Ushio Inc | スクリーン製版の検査装置 |
| KR101698900B1 (ko) * | 2016-11-07 | 2017-01-23 | 이관보 | 헤어 액세서리 |
-
1989
- 1989-10-16 JP JP12087089U patent/JPH0738807Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0360004U (ja) | 1991-06-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |