JP3118845B2 - フォーカスインジケータを有する光学装置 - Google Patents
フォーカスインジケータを有する光学装置Info
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- JP3118845B2 JP3118845B2 JP03015534A JP1553491A JP3118845B2 JP 3118845 B2 JP3118845 B2 JP 3118845B2 JP 03015534 A JP03015534 A JP 03015534A JP 1553491 A JP1553491 A JP 1553491A JP 3118845 B2 JP3118845 B2 JP 3118845B2
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- Japan
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- optical system
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は測定用顕微鏡等のフォー
カスインジケータを有する光学装置に関するものであ
る。
カスインジケータを有する光学装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、測定用顕微鏡等でフォーカスによ
り高さ測定を行なう場合には、対物レンズの焦点深度を
利用する為、焦点深度の浅い高倍対物レンズを使ってい
た。
り高さ測定を行なう場合には、対物レンズの焦点深度を
利用する為、焦点深度の浅い高倍対物レンズを使ってい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、例えば測定用
顕微鏡においては３倍程度の低い倍率の対物レンズを基
準対物レンズとしている場合が多く、数十μｍ程度の焦
点深度を利用するだけでは、高さ測定を正確に行なうの
は困難であった。そこで本発明はこの様な低倍率の対物
レンズを使用しても正確に高さ測定が出来る装置を提供
することを目的とする。
顕微鏡においては３倍程度の低い倍率の対物レンズを基
準対物レンズとしている場合が多く、数十μｍ程度の焦
点深度を利用するだけでは、高さ測定を正確に行なうの
は困難であった。そこで本発明はこの様な低倍率の対物
レンズを使用しても正確に高さ測定が出来る装置を提供
することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的の為に対物レン
ズを介して被検物体を観察する観察光学系を有する光学
装置において、指標を設けた標板と、該標板を照明する
ための照明手段と、前記標板上の指標を前記被検物体上
に投影するための投影レンズとを有する指標投影光学系
を、該指標光学系の光軸が前記観察光学系の光軸と前記
被検物体上でほぼ交差するごとく配置したことを特徴と
するフォーカスインジケータを有する光学装置。
ズを介して被検物体を観察する観察光学系を有する光学
装置において、指標を設けた標板と、該標板を照明する
ための照明手段と、前記標板上の指標を前記被検物体上
に投影するための投影レンズとを有する指標投影光学系
を、該指標光学系の光軸が前記観察光学系の光軸と前記
被検物体上でほぼ交差するごとく配置したことを特徴と
するフォーカスインジケータを有する光学装置。
【０００５】
【作 用】本発明は、観察光学系で被検物体面に焦点を
合わせた後、指標投影光学系により指標の投影像を被検
物体面上に結像させる。このとき観察光学系の焦点板上
の十字線等に対して所定の関係に指標像が結像するよう
指標投影光学系の全体もしくはその一部を調整する。以
後の測定は各被検物体面に対して、上記十字線等と指標
像が同一の関係になる様、観察光学系本体と指標投影光
学系とを一体に、被検物体面に対して相対的に上下させ
その移動量を読み取ることにより高さ測定が出来ること
になる。
合わせた後、指標投影光学系により指標の投影像を被検
物体面上に結像させる。このとき観察光学系の焦点板上
の十字線等に対して所定の関係に指標像が結像するよう
指標投影光学系の全体もしくはその一部を調整する。以
後の測定は各被検物体面に対して、上記十字線等と指標
像が同一の関係になる様、観察光学系本体と指標投影光
学系とを一体に、被検物体面に対して相対的に上下させ
その移動量を読み取ることにより高さ測定が出来ること
になる。
【０００６】
【実施例】図１は本発明の実施例を示す構成図である。
光源１とコンデンサレンズ２で照明される指標を有する
標板３と投影レンズ４、５で構成される指標投影光学系
と、対物レンズ７と焦点板８と接眼レンズ９によって構
成される観察光学系（以下測定顕微鏡という。）から成
る。投影レンズ４，５により標板３に設けられた指標が
被検物体面６に投影され、被検物体面６に投影された指
標の像は測定顕微鏡対物レンズ７により焦点板８上に結
像され、接眼レンズ９を通して観察される。また指標
は、測定顕微鏡と指標投影光学系の両光軸を含む平面に
対して直交するパターンである。そして、第１図に示す
ように測定顕微鏡対物レンズ７の光軸に対して、指標投
影光学系の投影光軸を傾けてあるので、被検物体面６に
対して６’、６”のように高さの異なる被測定面では指
標の投影像は左右に変位することになる。
光源１とコンデンサレンズ２で照明される指標を有する
標板３と投影レンズ４、５で構成される指標投影光学系
と、対物レンズ７と焦点板８と接眼レンズ９によって構
成される観察光学系（以下測定顕微鏡という。）から成
る。投影レンズ４，５により標板３に設けられた指標が
被検物体面６に投影され、被検物体面６に投影された指
標の像は測定顕微鏡対物レンズ７により焦点板８上に結
像され、接眼レンズ９を通して観察される。また指標
は、測定顕微鏡と指標投影光学系の両光軸を含む平面に
対して直交するパターンである。そして、第１図に示す
ように測定顕微鏡対物レンズ７の光軸に対して、指標投
影光学系の投影光軸を傾けてあるので、被検物体面６に
対して６’、６”のように高さの異なる被測定面では指
標の投影像は左右に変位することになる。
【０００７】図２、図３、図４は本実施例の視野図であ
り、指標像３ａと十字線８ａの関係を示している。指標
像３ａは測定顕微鏡と指標投影光学系の両光軸を含む平
面に対して直交するパターンの像であり、十字線８ａは
焦点板８に設けられた十字線を表す。指標像３ａは、被
検物体面６位置に応じて視野図の十字線８ａの交点を中
心に図中水平に変位する。
り、指標像３ａと十字線８ａの関係を示している。指標
像３ａは測定顕微鏡と指標投影光学系の両光軸を含む平
面に対して直交するパターンの像であり、十字線８ａは
焦点板８に設けられた十字線を表す。指標像３ａは、被
検物体面６位置に応じて視野図の十字線８ａの交点を中
心に図中水平に変位する。
【０００８】図２は、図１に示す被検物体面が６の焦点
位置にある場合の視野図であり、指標像３ａは交点位置
に示される。図３は、図１に示す被検物体面が図２の焦
点位置よりも高い６’の位置にある場合の視野図であ
り、指標像３ａは交点から水平線上を右に変位する。図
４は、図１に示す被検物体面が図２の焦点位置よりも低
い６”の位置にある場合の視野図であり、指標像３ａは
交点から水平線上を左に変位する。
位置にある場合の視野図であり、指標像３ａは交点位置
に示される。図３は、図１に示す被検物体面が図２の焦
点位置よりも高い６’の位置にある場合の視野図であ
り、指標像３ａは交点から水平線上を右に変位する。図
４は、図１に示す被検物体面が図２の焦点位置よりも低
い６”の位置にある場合の視野図であり、指標像３ａは
交点から水平線上を左に変位する。
【０００９】被検物体面６に対してこの様な関係になる
位置に指標投影光学系を設定すれば、高さの異なる被検
物体面６’、６”に対しても同様の関係になる如く観察
光学系本体と指標投影光学系とを一体に、被検物体面に
対して相対的に上下させその移動量を読み取ることによ
り高さ測定が可能になる。尚、指標投影光学系は測定顕
微鏡に対して着脱可能に設けられている。
位置に指標投影光学系を設定すれば、高さの異なる被検
物体面６’、６”に対しても同様の関係になる如く観察
光学系本体と指標投影光学系とを一体に、被検物体面に
対して相対的に上下させその移動量を読み取ることによ
り高さ測定が可能になる。尚、指標投影光学系は測定顕
微鏡に対して着脱可能に設けられている。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、対物レンズの焦点深度
を利用することなく、高さ測定が容易に出来るので、焦
点深度の深い低倍率の対物レンズを使用しても、高さ測
定が容易、かつ正確に出来る効果がある。
を利用することなく、高さ測定が容易に出来るので、焦
点深度の深い低倍率の対物レンズを使用しても、高さ測
定が容易、かつ正確に出来る効果がある。
【図１】本発明の実施例を示す構成図
【図２】実施例の観察視野図
【図３】実施例の観察視野図
【図４】実施例の観察視野図
１…光源 ２…コンデンサレンズ ３…標板 ４、５…投影レンズ ６、６’、６”…被検物体面 ７…測定顕微鏡対物レンズ ８…焦点板 ９…接眼レンズ
Claims (3)
- 【請求項１】対物レンズを介して被検物体を観察する観
察光学系を有する光学装置において、指標を設けた標板
と、該標板を照明するための照明手段と、前記標板上の
指標を前記被検物体上に投影するための投影レンズとを
有する指標投影光学系を、該指標光学系の光軸が前記観
察光学系の光軸と前記被検物体上でほぼ交差するごとく
配置し、該指標の投影像を被検物体面上に結像させ、観
察光学系の焦点板上の十字線手段に対して所定の関係に
指標像が結像するよう指標投影光学系の全体もしくはそ
の一部を調整し、以後の測定は各被検物体面に対して、
該十字線手段と同一の関係になる様、観察光学系本体と
指標投影光学系とを一体に、被検物体面に対して相対的
に上下させその移動量を読み取ることにより高さ測定が
出来るようにしたことを特徴とするフォーカスインジケ
ータを有する光学装置。 - 【請求項２】前記指標は、前記観察光学系と前記指標投
影光学系の両光軸を含む平面に対して直交するパターン
を有することを特徴とする請求項１記載のフォーカスイ
ンジケータを有する光学装置。 - 【請求項３】前記指標投影光学系は前記観察光学系に対
して着脱可能に設けられたことを特徴とする請求項１乃
至２記載のフォーカスインジケータを有する光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03015534A JP3118845B2 (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | フォーカスインジケータを有する光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03015534A JP3118845B2 (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | フォーカスインジケータを有する光学装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04254702A JPH04254702A (ja) | 1992-09-10 |
| JP3118845B2 true JP3118845B2 (ja) | 2000-12-18 |
Family
ID=11891477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03015534A Expired - Fee Related JP3118845B2 (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | フォーカスインジケータを有する光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3118845B2 (ja) |
-
1991
- 1991-02-06 JP JP03015534A patent/JP3118845B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04254702A (ja) | 1992-09-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |