JPH0797078B2 - 赤外線顕微分光測定装置 - Google Patents
赤外線顕微分光測定装置Info
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- JPH0797078B2 JPH0797078B2 JP1576791A JP1576791A JPH0797078B2 JP H0797078 B2 JPH0797078 B2 JP H0797078B2 JP 1576791 A JP1576791 A JP 1576791A JP 1576791 A JP1576791 A JP 1576791A JP H0797078 B2 JPH0797078 B2 JP H0797078B2
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N21/552—Attenuated total reflection
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0096—Microscopes with photometer devices
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/18—Arrangements with more than one light path, e.g. for comparing two specimens
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/063—Illuminating optical parts
- G01N2201/0636—Reflectors
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、赤外線顕微分光測定装
置に関する。
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は従来の一般的な赤外線顕微分光測
定装置を示し、光源１からの赤外線をカセグレン対物鏡
などのコンデンサ鏡２を介して試料３に照射し、その透
過光をカセグレン対物鏡などの対物鏡４で拡大結像さ
せ、その後、分光測定系５および表示装置６により分光
スペクトルを得て、解析を行う。
定装置を示し、光源１からの赤外線をカセグレン対物鏡
などのコンデンサ鏡２を介して試料３に照射し、その透
過光をカセグレン対物鏡などの対物鏡４で拡大結像さ
せ、その後、分光測定系５および表示装置６により分光
スペクトルを得て、解析を行う。
【０００３】他方、赤外分光法の一つに、吸収が極端に
強くて透過スペクトルの得にくい物質や、透過スペクト
ルを測定できるような状態に試料を調整することが困難
な場合などに用いられるＡＴＲ（Attenuated Total R
eflection ）分析がある。
強くて透過スペクトルの得にくい物質や、透過スペクト
ルを測定できるような状態に試料を調整することが困難
な場合などに用いられるＡＴＲ（Attenuated Total R
eflection ）分析がある。
【０００４】図７は前記ＡＴＲ分析を行う赤外線分光測
定装置の一部を概略的に示すもので、この図において、
７，８は集光ミラー、９，10は平面ミラーである。そし
て、平面ミラー９，10の間に形成される光路中には、反
射用の高屈折率媒質としての光学媒体、例えばＫＲＳ−
５，ゲルマニウム，シリコンなどの高屈折率材料からな
るＡＴＲ結晶11が設けてあり、このＡＴＲ結晶11の一面
には試料12がＡＴＲ結晶11に接するように設けられてい
る。
定装置の一部を概略的に示すもので、この図において、
７，８は集光ミラー、９，10は平面ミラーである。そし
て、平面ミラー９，10の間に形成される光路中には、反
射用の高屈折率媒質としての光学媒体、例えばＫＲＳ−
５，ゲルマニウム，シリコンなどの高屈折率材料からな
るＡＴＲ結晶11が設けてあり、このＡＴＲ結晶11の一面
には試料12がＡＴＲ結晶11に接するように設けられてい
る。
【０００５】而して、上記構成のＡＴＲ法赤外線分光測
定装置において、図外の光源からの赤外線を集光ミラー
７および平面ミラー９を介してＡＴＲ結晶11に入射させ
ると、この赤外線が試料12との接触面で全反射する際、
特定波長の赤外線が試料12中の測定成分により、その測
定成分の感応基の種類に対応して吸収される。そして、
ＡＴＲ結晶11を全反射しながら試料12内を通過した赤外
線を、ミラー10および集光ミラー８を介して図外の分光
測定器に入射させ、測定成分に対応する分光スペクトル
を得るのである。
定装置において、図外の光源からの赤外線を集光ミラー
７および平面ミラー９を介してＡＴＲ結晶11に入射させ
ると、この赤外線が試料12との接触面で全反射する際、
特定波長の赤外線が試料12中の測定成分により、その測
定成分の感応基の種類に対応して吸収される。そして、
ＡＴＲ結晶11を全反射しながら試料12内を通過した赤外
線を、ミラー10および集光ミラー８を介して図外の分光
測定器に入射させ、測定成分に対応する分光スペクトル
を得るのである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ここで、上記二つの装
置における光学系に着目した場合、赤外線顕微分光測定
装置では、図６から明らかなように、光源１からの赤外
線をコンデンサ鏡２で試料３に集光照射して、その透過
光を対物鏡４で拡大結像させるため、必然的にコンデン
サ鏡２と対物鏡４とを同軸上に配置しなければならな
い。
置における光学系に着目した場合、赤外線顕微分光測定
装置では、図６から明らかなように、光源１からの赤外
線をコンデンサ鏡２で試料３に集光照射して、その透過
光を対物鏡４で拡大結像させるため、必然的にコンデン
サ鏡２と対物鏡４とを同軸上に配置しなければならな
い。
【０００７】一方、ＡＴＲ法赤外線分光測定装置では、
図７から明らかなように、ＡＴＲ結晶11に入射する赤外
線の光軸と全反射しながら出射する赤外線の光軸は同軸
にはならず、このため、従来においては、赤外線顕微分
光測定装置によってＡＴＲ分析が行われることはなかっ
た。このため、測定する試料によって装置を使い分ける
必要があり、効率が非常に悪かった。
図７から明らかなように、ＡＴＲ結晶11に入射する赤外
線の光軸と全反射しながら出射する赤外線の光軸は同軸
にはならず、このため、従来においては、赤外線顕微分
光測定装置によってＡＴＲ分析が行われることはなかっ
た。このため、測定する試料によって装置を使い分ける
必要があり、効率が非常に悪かった。
【０００８】上述のように、従来、赤外線顕微分光測定
とＡＴＲ分析は別々の装置によって行われていたが、図
８に示すように、赤外分光光度計にＡＴＲ結晶11を組み
込んでＡＴＲ分析を行なえるようにしたものがある。な
お、この図において、13, 14は集光ミラー、15, 16, 1
7, 18は平面ミラーである。
とＡＴＲ分析は別々の装置によって行われていたが、図
８に示すように、赤外分光光度計にＡＴＲ結晶11を組み
込んでＡＴＲ分析を行なえるようにしたものがある。な
お、この図において、13, 14は集光ミラー、15, 16, 1
7, 18は平面ミラーである。
【０００９】しかしながら、前記図８に示した手段によ
れば、赤外線のＡＴＲ結晶11への入射角度を変更する
度、あるいは、試料12の交換を行う度に、集光ミラー1
3, 14や平面ミラー15, 16, 17, 18の位置を調整する必
要があった。
れば、赤外線のＡＴＲ結晶11への入射角度を変更する
度、あるいは、試料12の交換を行う度に、集光ミラー1
3, 14や平面ミラー15, 16, 17, 18の位置を調整する必
要があった。
【００１０】本発明は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、簡単な操作によって
ＡＴＲ分析をも行え、しかも、光軸調整が簡便で、光学
ロスを大幅に低減できる、有用な赤外線顕微分光測定装
置を提供することにある。
もので、その目的とするところは、簡単な操作によって
ＡＴＲ分析をも行え、しかも、光軸調整が簡便で、光学
ロスを大幅に低減できる、有用な赤外線顕微分光測定装
置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明においては、光源とこの光源から照射される
赤外線を集光するコンデンサ鏡とからなる集光素子部
と、前記コンデンサ鏡によって集光された赤外線を試料
に照射し、この試料からの透過光あるいは反射光を拡大
結像する対物鏡と前記透過光あるいは反射光を分析する
分光測定系とからなる拡大結像素子部とを備えた赤外線
顕微分光測定装置において、前記集光素子部と拡大結像
素子部の一方が他方に対して光軸と直交する方向に位置
変更できる移動機構を設けると共に、前記両素子部間に
ＡＴＲ結晶を、その光入射側端部または光出射側端部の
何れかを中心として回転できるように介装してＡＴＲ分
析が行なえるようにしている。
め、本発明においては、光源とこの光源から照射される
赤外線を集光するコンデンサ鏡とからなる集光素子部
と、前記コンデンサ鏡によって集光された赤外線を試料
に照射し、この試料からの透過光あるいは反射光を拡大
結像する対物鏡と前記透過光あるいは反射光を分析する
分光測定系とからなる拡大結像素子部とを備えた赤外線
顕微分光測定装置において、前記集光素子部と拡大結像
素子部の一方が他方に対して光軸と直交する方向に位置
変更できる移動機構を設けると共に、前記両素子部間に
ＡＴＲ結晶を、その光入射側端部または光出射側端部の
何れかを中心として回転できるように介装してＡＴＲ分
析が行なえるようにしている。
【００１２】
【作用】上記特徴的構成によれば、集光素子部あるいは
拡大結像素子部の一方が他方に対して光軸と直交する方
向に移動できるため、ＡＴＲ分析を赤外線顕微分光測定
装置によって行うことができ、装置を効率よく使用する
ことができる。そして、ＡＴＲ結晶を、その光入射側端
部または光出射側端部の何れかを中心として回転できる
ように介装してあるので、光軸調整が極めて容易であ
り、光学的ロスを大幅に低減できる。
拡大結像素子部の一方が他方に対して光軸と直交する方
向に移動できるため、ＡＴＲ分析を赤外線顕微分光測定
装置によって行うことができ、装置を効率よく使用する
ことができる。そして、ＡＴＲ結晶を、その光入射側端
部または光出射側端部の何れかを中心として回転できる
ように介装してあるので、光軸調整が極めて容易であ
り、光学的ロスを大幅に低減できる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。なお、以下の図において、図６〜図８に示し
た符号と同一のものは同一物または相当物を示す。
説明する。なお、以下の図において、図６〜図８に示し
た符号と同一のものは同一物または相当物を示す。
【００１４】図１および図２は本発明に係る赤外線顕微
分光測定装置の一例を示し、これらの図において、Ａは
光源１とコンデンサ鏡２とからなる集光素子部であり、
Ｂは対物鏡４、分光測定系５、接眼レンズ19、光路切換
え用ミラー20などからなる拡大結像素子部であり、ここ
までの構成は従来の赤外線顕微分光測定装置と変わると
ころはない。
分光測定装置の一例を示し、これらの図において、Ａは
光源１とコンデンサ鏡２とからなる集光素子部であり、
Ｂは対物鏡４、分光測定系５、接眼レンズ19、光路切換
え用ミラー20などからなる拡大結像素子部であり、ここ
までの構成は従来の赤外線顕微分光測定装置と変わると
ころはない。
【００１５】本発明に係る赤外線顕微分光測定装置が従
来のものと大きく異なる点は、集光素子部Ａを、光軸と
直交する方向にスライド移動させる移動機構Ｃを設けた
こと、並びに、両素子部Ａ，Ｂ間にＡＴＲ結晶11を、そ
の光入射側端部または光出射側端部の何れかを中心とし
て回転できるように介装したことである。
来のものと大きく異なる点は、集光素子部Ａを、光軸と
直交する方向にスライド移動させる移動機構Ｃを設けた
こと、並びに、両素子部Ａ，Ｂ間にＡＴＲ結晶11を、そ
の光入射側端部または光出射側端部の何れかを中心とし
て回転できるように介装したことである。
【００１６】すなわち、前記移動機構Ｃは両矢印21で示
す方向に集光素子部Ａを、手動または自動的にスライド
移動させることができ、集光素子部Ａと拡大結像素子部
Ｂとの光軸間距離を任意に変えることができるようにし
てある。そして、この移動機構Ｃには、通常の赤外線顕
微分光測定のための集光素子部Ａの位置とＡＴＲ分析の
ための集光素子部Ａの位置に目印を設けるか、あるい
は、モータなどで移動させる場合には、リミットスイッ
チを設けて再現性を向上できるようにしてある。
す方向に集光素子部Ａを、手動または自動的にスライド
移動させることができ、集光素子部Ａと拡大結像素子部
Ｂとの光軸間距離を任意に変えることができるようにし
てある。そして、この移動機構Ｃには、通常の赤外線顕
微分光測定のための集光素子部Ａの位置とＡＴＲ分析の
ための集光素子部Ａの位置に目印を設けるか、あるい
は、モータなどで移動させる場合には、リミットスイッ
チを設けて再現性を向上できるようにしてある。
【００１７】また、ＡＴＲ結晶11は図３および図４に示
した保持装置22によって保持されるようにしてある。す
なわち、この保持装置22は集光素子部Ａと拡大結像素子
部Ｂとの間に設けられるステージ（図外）に載置される
もので、次のように構成されている。
した保持装置22によって保持されるようにしてある。す
なわち、この保持装置22は集光素子部Ａと拡大結像素子
部Ｂとの間に設けられるステージ（図外）に載置される
もので、次のように構成されている。
【００１８】すなわち、図３および図４において、23は
その平面中央に光源１からの光を入射させる光入射孔24
を備えたベース板で、その一側部には側板25が立設され
ている。26は例えばアルミニウムよりなる試料ホルダー
で、側板25の下方側（ベース板側）に設けられた軸（後
述する）を中心にして回動するように構成されており
（その取付け構造については後述する）、その下方側
（ベース板側）には光入射孔24に臨むように保持用開口
27が開設されている。
その平面中央に光源１からの光を入射させる光入射孔24
を備えたベース板で、その一側部には側板25が立設され
ている。26は例えばアルミニウムよりなる試料ホルダー
で、側板25の下方側（ベース板側）に設けられた軸（後
述する）を中心にして回動するように構成されており
（その取付け構造については後述する）、その下方側
（ベース板側）には光入射孔24に臨むように保持用開口
27が開設されている。
【００１９】この実施例で用いるＡＴＲ結晶11は例えば
１mm厚×10mm長×５mm幅に形成してあり、そして、試料
12は例えば 500μｍ角である。28は試料ホルダー26に螺
着される結晶止めねじ、29, 30は例えばアルミニウムよ
りなる板状の試料押さえ部材で、一方の試料押さえ部材
29は板状に形成してあり、結晶止めねじ28の頭部および
押さえ部材止めねじ31をそれぞれ挿通させる貫通孔（図
外）が形成してある。また、他方の試料押さえ部材30に
は試料ホルダー26の厚みのほぼ半分程度の高さの突出部
（図外）形成してあると共に、押さえ部材止めねじ31と
螺合するねじ孔（図外）が形成してある。
１mm厚×10mm長×５mm幅に形成してあり、そして、試料
12は例えば 500μｍ角である。28は試料ホルダー26に螺
着される結晶止めねじ、29, 30は例えばアルミニウムよ
りなる板状の試料押さえ部材で、一方の試料押さえ部材
29は板状に形成してあり、結晶止めねじ28の頭部および
押さえ部材止めねじ31をそれぞれ挿通させる貫通孔（図
外）が形成してある。また、他方の試料押さえ部材30に
は試料ホルダー26の厚みのほぼ半分程度の高さの突出部
（図外）形成してあると共に、押さえ部材止めねじ31と
螺合するねじ孔（図外）が形成してある。
【００２０】ＡＴＲ結晶11および試料12は次のようにし
て試料ホルダー26にセットされる。先ず、ＡＴＲ結晶11
を保持用開口27に挿入セットして結晶止めねじ28によっ
て試料ホルダー26に固定する。次いで、試料12をＡＴＲ
結晶11の厚み方向の両面であって前記光入射孔24に近い
所に密着保持させ、試料ホルダー26の両面側から試料押
さえ部材29, 30を当てがって、ＡＴＲ結晶11と試料押さ
え部材29, 30とによって試料12を挟持し、試料押さえ部
材29側から挿通した押さえ部材止めねじ31を締めつけて
試料12を固定するのである。試料押さえ部材30には突出
部が形成してあるので、試料12はＡＴＲ結晶11に密着し
た状態で固定される。
て試料ホルダー26にセットされる。先ず、ＡＴＲ結晶11
を保持用開口27に挿入セットして結晶止めねじ28によっ
て試料ホルダー26に固定する。次いで、試料12をＡＴＲ
結晶11の厚み方向の両面であって前記光入射孔24に近い
所に密着保持させ、試料ホルダー26の両面側から試料押
さえ部材29, 30を当てがって、ＡＴＲ結晶11と試料押さ
え部材29, 30とによって試料12を挟持し、試料押さえ部
材29側から挿通した押さえ部材止めねじ31を締めつけて
試料12を固定するのである。試料押さえ部材30には突出
部が形成してあるので、試料12はＡＴＲ結晶11に密着し
た状態で固定される。
【００２１】次に、上記試料ホルダー26を回動するよう
に保持する構造について説明すると、試料ホルダー26の
一端側にはブロック部33が形成してあり、このブロック
部32は側板25の下部に設けられた水平な軸33に枢支され
ている。また、側板25の上部側には軸33を中心とする円
弧状のガイド溝（図外）が開設してあると共に、ブロッ
ク部32の側板25側にはガイド溝に臨むようにしてねじ孔
（図外）が螺設してある。そして、試料ホルダー26は側
板25の外側からガイド溝を挿通し、ねじ孔に螺合するホ
ルダー固定ねじ34を締め付けることにより位置固定さ
れ、ＡＴＲ結晶11への入射角を変えるときには、ホルダ
ー固定ねじ34を緩めることにより軸33を中心にして例え
ば30°〜60°回動することができるようにしてある。な
お、35は側板25の上部側の内側に付されたＡＴＲ結晶11
への赤外光の入射角を表す入射角表示目盛、36はブロッ
ク部31の上端に立設された入射角表示ピンである。
に保持する構造について説明すると、試料ホルダー26の
一端側にはブロック部33が形成してあり、このブロック
部32は側板25の下部に設けられた水平な軸33に枢支され
ている。また、側板25の上部側には軸33を中心とする円
弧状のガイド溝（図外）が開設してあると共に、ブロッ
ク部32の側板25側にはガイド溝に臨むようにしてねじ孔
（図外）が螺設してある。そして、試料ホルダー26は側
板25の外側からガイド溝を挿通し、ねじ孔に螺合するホ
ルダー固定ねじ34を締め付けることにより位置固定さ
れ、ＡＴＲ結晶11への入射角を変えるときには、ホルダ
ー固定ねじ34を緩めることにより軸33を中心にして例え
ば30°〜60°回動することができるようにしてある。な
お、35は側板25の上部側の内側に付されたＡＴＲ結晶11
への赤外光の入射角を表す入射角表示目盛、36はブロッ
ク部31の上端に立設された入射角表示ピンである。
【００２２】なお、コンデンサ鏡２および対物鏡４の焦
点位置は、ステージの上下動あるいはコンデンサ鏡２の
上下動で、顕微鏡の可視照明光を基準にしてＡＴＲ結晶
11の端面と合うように調整する。
点位置は、ステージの上下動あるいはコンデンサ鏡２の
上下動で、顕微鏡の可視照明光を基準にしてＡＴＲ結晶
11の端面と合うように調整する。
【００２３】而して、上記構成の赤外線顕微分光測定装
置による測定について説明すると、図１において、光路
切換え用ミラー20を光路から外して、光源１からの可視
光を対物鏡４で拡大結像させ、接眼レンズ19により試料
３の像を観察する。
置による測定について説明すると、図１において、光路
切換え用ミラー20を光路から外して、光源１からの可視
光を対物鏡４で拡大結像させ、接眼レンズ19により試料
３の像を観察する。
【００２４】ここで、分光測定する場合は、図１に示す
ように、光源１を赤外線に切換えると共に、光路切換え
用ミラー20を対物鏡４と接眼レンズ19との間に介装した
状態で、光源１からの赤外線をコンデンサ鏡２を介して
試料３に照射し、その透過光を対物鏡４で拡大結像させ
た後、分光測定系５に導き、この分光測定系５内の分光
器により分光スペクトルを得て、表示装置６により分光
スペクトルを表示するのである。
ように、光源１を赤外線に切換えると共に、光路切換え
用ミラー20を対物鏡４と接眼レンズ19との間に介装した
状態で、光源１からの赤外線をコンデンサ鏡２を介して
試料３に照射し、その透過光を対物鏡４で拡大結像させ
た後、分光測定系５に導き、この分光測定系５内の分光
器により分光スペクトルを得て、表示装置６により分光
スペクトルを表示するのである。
【００２５】一方、ＡＴＲ分析を行う場合は、ＡＴＲ結
晶11で生ずる入射赤外線および出射赤外線の光軸のズレ
に相当する分を、スライド機構Ｃにより集光素子部Ａを
移動して補正して行う。すなわち、図２において、光路
切換え用ミラー20を光路から外して、図３に示した保持
装置22によって試料12と共に保持されたＡＴＲ結晶11の
端面に、コンデンサ鏡２で集光された光源１からの可視
光を入射し、ＡＴＲ結晶11内で全反射しながら出射した
光を対物鏡４で拡大結像させ、接眼レンズ19によりＡＴ
Ｒ結晶11の端面を観察しながら、ＡＴＲ結晶11を通る光
の光軸調整を行う。この場合、ホルダー固定ねじ34を緩
めると、試料ホルダー26は軸33を中心に回動するので、
入射角表示目盛35を正面から見て入射角表示ピン36の位
置が入射させたい角度になるように合わせるようにすれ
ばよい。
晶11で生ずる入射赤外線および出射赤外線の光軸のズレ
に相当する分を、スライド機構Ｃにより集光素子部Ａを
移動して補正して行う。すなわち、図２において、光路
切換え用ミラー20を光路から外して、図３に示した保持
装置22によって試料12と共に保持されたＡＴＲ結晶11の
端面に、コンデンサ鏡２で集光された光源１からの可視
光を入射し、ＡＴＲ結晶11内で全反射しながら出射した
光を対物鏡４で拡大結像させ、接眼レンズ19によりＡＴ
Ｒ結晶11の端面を観察しながら、ＡＴＲ結晶11を通る光
の光軸調整を行う。この場合、ホルダー固定ねじ34を緩
めると、試料ホルダー26は軸33を中心に回動するので、
入射角表示目盛35を正面から見て入射角表示ピン36の位
置が入射させたい角度になるように合わせるようにすれ
ばよい。
【００２６】そして、上述のようにして光軸調整を行っ
た後、光源１を赤外線に切換えると共に、光路切換え用
ミラー20を対物鏡４と接眼レンズ19との間に介装し、光
源１からの赤外線をコンデンサ鏡２を介してＡＴＲ結晶
11の端面から入射させ、ＡＴＲ結晶11内で全反射しなが
ら出射した光を光路切換え用ミラー20によって分光測定
系５に導き、解析を行うのである。
た後、光源１を赤外線に切換えると共に、光路切換え用
ミラー20を対物鏡４と接眼レンズ19との間に介装し、光
源１からの赤外線をコンデンサ鏡２を介してＡＴＲ結晶
11の端面から入射させ、ＡＴＲ結晶11内で全反射しなが
ら出射した光を光路切換え用ミラー20によって分光測定
系５に導き、解析を行うのである。
【００２７】上述の説明から明らかなように、ＡＴＲ結
晶11を保持する試料ホルダー26は、光源１からの光が入
射する端部を中心にして回動するので、ＡＴＲ結晶11の
角度を連続的に変えることができ、どの角度を選んだと
きにも出射側の端面の位置を光軸のズレ距離で調整する
ことができる。このため、ＡＴＲ結晶11を保持する試料
ホルダー26と対物鏡４を、それらの間の距離を一定の位
置を保ちながら、同時に動かすことができる。また、入
射角度の違いにより生ずる光軸ズレの違いは、移動機構
Ｃによって集光素子部Ａを光軸と直交する方向に移動す
ることにより、修正することができる。
晶11を保持する試料ホルダー26は、光源１からの光が入
射する端部を中心にして回動するので、ＡＴＲ結晶11の
角度を連続的に変えることができ、どの角度を選んだと
きにも出射側の端面の位置を光軸のズレ距離で調整する
ことができる。このため、ＡＴＲ結晶11を保持する試料
ホルダー26と対物鏡４を、それらの間の距離を一定の位
置を保ちながら、同時に動かすことができる。また、入
射角度の違いにより生ずる光軸ズレの違いは、移動機構
Ｃによって集光素子部Ａを光軸と直交する方向に移動す
ることにより、修正することができる。
【００２８】本発明は上記実施例に限られるものでな
く、種々に変形して実施することができる。図５に示す
実施例は、試料ホルダー26を側板25から分離できるよう
に構成したもので、側板25に前記実施例におけるブロッ
ク部32と同様に回動するホルダー装着部37を枢着し、こ
のホルダー装着部37内に、試料ホルダー26の一端部38を
挿入して試料ホルダー26をホルダー装着部37によって着
脱自在に保持させるようにしている。この場合、ホルダ
ー装着部37にボールプランジャーを使用すれば、試料12
の交換時において、光軸や角度のズレを生ずることな
く、再現性よく装着することができる。
く、種々に変形して実施することができる。図５に示す
実施例は、試料ホルダー26を側板25から分離できるよう
に構成したもので、側板25に前記実施例におけるブロッ
ク部32と同様に回動するホルダー装着部37を枢着し、こ
のホルダー装着部37内に、試料ホルダー26の一端部38を
挿入して試料ホルダー26をホルダー装着部37によって着
脱自在に保持させるようにしている。この場合、ホルダ
ー装着部37にボールプランジャーを使用すれば、試料12
の交換時において、光軸や角度のズレを生ずることな
く、再現性よく装着することができる。
【００２９】上記実施例においては、集光素子部Ａと拡
大結像素子部Ｂとの間に介装されるＡＴＲ結晶11は、光
入射側端部を中心にして回動させるるようにしていた
が、これに代えて、光出射側端部を中心にして回動させ
るようにしてもよく、また、集光素子部Ａをスライド移
動させるのに代えて、拡大結像素子部Ｂをスライド移動
させるようにしてもよい。そして、試料12は前記大きさ
のものに限られることはなく、ＡＴＲ結晶11とほぼ同じ
大きさのものであってもよく、さらに、試料12はＡＴＲ
結晶11の両面に密着するように保持してもよい。さらに
また、上記実施例は透過式赤外線顕微分光測定装置であ
ったが、本発明は反射式赤外線顕微分光測定装置にも適
用できることはいうまでもない。
大結像素子部Ｂとの間に介装されるＡＴＲ結晶11は、光
入射側端部を中心にして回動させるるようにしていた
が、これに代えて、光出射側端部を中心にして回動させ
るようにしてもよく、また、集光素子部Ａをスライド移
動させるのに代えて、拡大結像素子部Ｂをスライド移動
させるようにしてもよい。そして、試料12は前記大きさ
のものに限られることはなく、ＡＴＲ結晶11とほぼ同じ
大きさのものであってもよく、さらに、試料12はＡＴＲ
結晶11の両面に密着するように保持してもよい。さらに
また、上記実施例は透過式赤外線顕微分光測定装置であ
ったが、本発明は反射式赤外線顕微分光測定装置にも適
用できることはいうまでもない。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、集光素子部あるいは拡大結像素子部の一方が他方に
対して光軸と直交する方向に移動できるため、ＡＴＲ分
析を赤外線顕微分光測定装置によって行うことができ、
装置を効率よく使用することができる。そして、ＡＴＲ
結晶を、その光入射側端部または光出射側端部の何れか
を中心として回転できるように介装してあるので、ＡＴ
Ｒ結晶への光の入射角度または出射角度の調整が容易
で、調整代も最小に抑えることができる。従って、光軸
調整が極めて容易であり、ＡＴＲ結晶の端面に対する焦
点位置を確実に合わせることができるので、光学的ロス
を大幅に低減できる。
は、集光素子部あるいは拡大結像素子部の一方が他方に
対して光軸と直交する方向に移動できるため、ＡＴＲ分
析を赤外線顕微分光測定装置によって行うことができ、
装置を効率よく使用することができる。そして、ＡＴＲ
結晶を、その光入射側端部または光出射側端部の何れか
を中心として回転できるように介装してあるので、ＡＴ
Ｒ結晶への光の入射角度または出射角度の調整が容易
で、調整代も最小に抑えることができる。従って、光軸
調整が極めて容易であり、ＡＴＲ結晶の端面に対する焦
点位置を確実に合わせることができるので、光学的ロス
を大幅に低減できる。
【図１】透過式赤外線顕微分光測定用の光学配置図であ
る。
る。
【図２】ＡＴＲ分析用の光学配置図である。
【図３】ＡＴＲ結晶の保持装置の一例を示す斜視図であ
る。
る。
【図４】前記保持装置の縦断面図である。
【図５】ＡＴＲ結晶の保持装置の他の実施例を示す斜視
図である。
図である。
【図６】従来の透過式赤外線顕微分光測定装置の構成図
である。
である。
【図７】従来のＡＴＲ分析を行う装置の要部を示す構成
図である。
図である。
【図８】赤外分光光度計を用いてＡＴＲ分析を行う場合
の構成図である。
の構成図である。
１…光源、２…コンデンサ鏡、３，12…試料、４…対物
鏡、５…分光測定系、11…ＡＴＲ結晶、Ａ…集光素子
部、Ｂ…拡大結像素子部、Ｃ…移動機構。
鏡、５…分光測定系、11…ＡＴＲ結晶、Ａ…集光素子
部、Ｂ…拡大結像素子部、Ｃ…移動機構。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−57947（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−82346（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−148043（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−348254（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−86546（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】 光源とこの光源から照射される赤外線を
集光するコンデンサ鏡とからなる集光素子部と、前記コ
ンデンサ鏡によって集光された赤外線を試料に照射し、
この試料からの透過光あるいは反射光を拡大結像する対
物鏡と前記透過光あるいは反射光を分析する分光測定系
とからなる拡大結像素子部とを備えた赤外線顕微分光測
定装置において、前記集光素子部と拡大結像素子部の一
方が他方に対して光軸と直交する方向に位置変更できる
移動機構を設けると共に、前記両素子部間にＡＴＲ結晶
を、その光入射側端部または光出射側端部の何れかを中
心として回転できるように介装してＡＴＲ分析が行なえ
るようにしたことを特徴とする赤外線顕微分光測定装
置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1576791A JPH0797078B2 (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 赤外線顕微分光測定装置 |
| US07/821,746 US5278413A (en) | 1991-01-16 | 1992-01-13 | Infrared microscopic spectrometer |
| DE19924200869 DE4200869C2 (de) | 1991-01-16 | 1992-01-15 | Infrarot Mikroskop-Spektrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1576791A JPH0797078B2 (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 赤外線顕微分光測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04242145A JPH04242145A (ja) | 1992-08-28 |
| JPH0797078B2 true JPH0797078B2 (ja) | 1995-10-18 |
Family
ID=11897952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1576791A Expired - Lifetime JPH0797078B2 (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 赤外線顕微分光測定装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5278413A (ja) |
| JP (1) | JPH0797078B2 (ja) |
| DE (1) | DE4200869C2 (ja) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5506416A (en) * | 1994-05-25 | 1996-04-09 | Rizvi; Syed A. | Microscopic internal reflection infrared spectroscopy to examine the surface of a trace amount of material |
| DE4418180C2 (de) * | 1994-06-27 | 1997-05-15 | Emmrich Roland | Sondenanordnung zur Messung der spektralen Absorption in Flüssigkeiten, Gasen oder Feststoffen |
| US5581085A (en) * | 1995-03-06 | 1996-12-03 | Spectra-Tech, Inc. | Infrared microspectrometer accessory |
| US5818046A (en) * | 1996-08-30 | 1998-10-06 | Rizvi; Syed A. | Mid-infrared analysis system |
| US5841139A (en) * | 1997-02-28 | 1998-11-24 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Optical instrument providing combined infrared and Ramen analysis of samples |
| US6693280B2 (en) * | 2001-08-03 | 2004-02-17 | Sensir Technologies, L.L.C. | Mid-infrared spectrometer attachment to light microscopes |
| JP4638153B2 (ja) * | 2002-04-03 | 2011-02-23 | ヨハン ヴォルフガング ゲーテ−ウニヴェルジテート フランクフルト アム マイン | 特に水性系、好ましくは多成分系の分光測定法のための赤外線測定装置 |
| DE10214780A1 (de) * | 2002-04-03 | 2003-10-30 | Univ Jw Goethe Frankfurt Main | Infrarotmeßvorrichtung, insbesondere für die Spektrometrie wässriger Systeme |
| TW588156B (en) * | 2002-12-24 | 2004-05-21 | Ind Tech Res Inst | Real time infrared chemical imaging spectrometry |
| US20070170362A1 (en) * | 2006-01-25 | 2007-07-26 | The Regents Of The University Of California | Method and apparatus for internal reflection imaging |
| GB0608258D0 (en) * | 2006-04-26 | 2006-06-07 | Perkinelmer Singapore Pte Ltd | Spectroscopy using attenuated total internal reflectance (ATR) |
| AU2012203826B2 (en) * | 2006-04-26 | 2013-08-01 | Perkinelmer Singapore Pte Ltd | Accessory for attenuated total internal reflectance (ATR) spectroscopy |
| US7377172B2 (en) * | 2006-07-31 | 2008-05-27 | General Electric Company | Method and system for impact detection of an imaging system |
| JP2008145109A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Pola Chem Ind Inc | 角層細胞の評価装置 |
| DE102009026889B4 (de) * | 2008-11-18 | 2012-03-29 | Bst-Bio Sensor Technology Gmbh | Analyseeinrichtung, Probenhalter und Analyseeinheit zur Analyse von Proben |
| ES2461015B2 (es) * | 2013-10-10 | 2015-05-22 | Universidad De Cantabria | Microscopio para la caracterización espectroscópica de una muestra |
| CN105300910B (zh) * | 2014-06-27 | 2018-08-28 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 用于红外测试中的承载装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE116321C (ja) * | ||||
| US3645631A (en) * | 1970-05-05 | 1972-02-29 | Gte Sylvania Inc | Apparatus and method for measuring the carrier concentration of semiconductor materials |
| USRE32912E (en) * | 1981-08-10 | 1989-04-25 | Laser Precision Corporation | Parabolic focusing apparatus for optical spectroscopy |
| DE3303140A1 (de) * | 1983-01-31 | 1984-08-02 | Bruker Analytische Meßtechnik GmbH, 7512 Rheinstetten | Infrarot-spektrometer |
| US4547068A (en) * | 1983-03-04 | 1985-10-15 | Covey Joel P | Optical analytical instrument beam condenser |
| US4657390A (en) * | 1985-02-21 | 1987-04-14 | Laser Precision Corporation | Universal spectrometer system having modular sampling chamber |
| US4852955A (en) * | 1986-09-16 | 1989-08-01 | Laser Precision Corporation | Microscope for use in modular FTIR spectrometer system |
| US4843242A (en) * | 1986-10-20 | 1989-06-27 | Laser Precision Corporation | Infrared microscope employing a projected field stop |
-
1991
- 1991-01-16 JP JP1576791A patent/JPH0797078B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-01-13 US US07/821,746 patent/US5278413A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-01-15 DE DE19924200869 patent/DE4200869C2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4200869A1 (de) | 1992-07-23 |
| DE4200869C2 (de) | 1994-02-03 |
| US5278413A (en) | 1994-01-11 |
| JPH04242145A (ja) | 1992-08-28 |
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