JPH04242145A - 赤外線顕微分光測定装置 - Google Patents
赤外線顕微分光測定装置Info
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- JPH04242145A JPH04242145A JP3015767A JP1576791A JPH04242145A JP H04242145 A JPH04242145 A JP H04242145A JP 3015767 A JP3015767 A JP 3015767A JP 1576791 A JP1576791 A JP 1576791A JP H04242145 A JPH04242145 A JP H04242145A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/55—Specular reflectivity
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、赤外線顕微分光測定装
置に関する。
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は従来の一般的な赤外線顕微分光測
定装置を示し、光源１からの赤外線をカセグレン対物鏡
などのコンデンサ鏡２を介して試料３に照射し、その透
過光をカセグレン対物鏡などの対物鏡４で拡大結像させ
、その後、分光測定系５および表示装置６により分光ス
ペクトルを得て、解析を行う。
定装置を示し、光源１からの赤外線をカセグレン対物鏡
などのコンデンサ鏡２を介して試料３に照射し、その透
過光をカセグレン対物鏡などの対物鏡４で拡大結像させ
、その後、分光測定系５および表示装置６により分光ス
ペクトルを得て、解析を行う。
【０００３】他方、赤外分光法の一つに、吸収が極端に
強くて透過スペクトルの得にくい物質や、透過スペクト
ルを測定できるような状態に試料を調整することが困難
な場合などに用いられるＡＴＲ（Ａｔｔｅｎｕａｔｅｄ
Ｔｏｔａｌ Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ ）分析があ
る。
強くて透過スペクトルの得にくい物質や、透過スペクト
ルを測定できるような状態に試料を調整することが困難
な場合などに用いられるＡＴＲ（Ａｔｔｅｎｕａｔｅｄ
Ｔｏｔａｌ Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ ）分析があ
る。
【０００４】図７は前記ＡＴＲ分析を行う赤外線分光測
定装置の一部を概略的に示すもので、この図において、
７，８は集光ミラー、９，１０は平面ミラーである。そ
して、平面ミラー９，１０の間に形成される光路中には
、反射用の高屈折率媒質としての光学媒体、例えばＫＲ
Ｓ−５，ゲルマニウム，シリコンなどの高屈折率材料か
らなるＡＴＲ結晶１１が設けてあり、このＡＴＲ結晶１
１の一面には試料１２がＡＴＲ結晶１１に接するように
設けられている。
定装置の一部を概略的に示すもので、この図において、
７，８は集光ミラー、９，１０は平面ミラーである。そ
して、平面ミラー９，１０の間に形成される光路中には
、反射用の高屈折率媒質としての光学媒体、例えばＫＲ
Ｓ−５，ゲルマニウム，シリコンなどの高屈折率材料か
らなるＡＴＲ結晶１１が設けてあり、このＡＴＲ結晶１
１の一面には試料１２がＡＴＲ結晶１１に接するように
設けられている。
【０００５】而して、上記構成のＡＴＲ法赤外線分光測
定装置において、図外の光源からの赤外線を集光ミラー
７および平面ミラー９を介してＡＴＲ結晶１１に入射さ
せると、この赤外線が試料１２との接触面で全反射する
際、特定波長の赤外線が試料１２中の測定成分により、
その測定成分の感応基の種類に対応して吸収される。そ
して、ＡＴＲ結晶１１を全反射しながら試料１２内を通
過した赤外線を、ミラー１０および集光ミラー８を介し
て図外の分光測定器に入射させ、測定成分に対応する分
光スペクトルを得るのである。
定装置において、図外の光源からの赤外線を集光ミラー
７および平面ミラー９を介してＡＴＲ結晶１１に入射さ
せると、この赤外線が試料１２との接触面で全反射する
際、特定波長の赤外線が試料１２中の測定成分により、
その測定成分の感応基の種類に対応して吸収される。そ
して、ＡＴＲ結晶１１を全反射しながら試料１２内を通
過した赤外線を、ミラー１０および集光ミラー８を介し
て図外の分光測定器に入射させ、測定成分に対応する分
光スペクトルを得るのである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ここで、上記二つの装
置における光学系に着目した場合、赤外線顕微分光測定
装置では、図６から明らかなように、光源１からの赤外
線をコンデンサ鏡２で試料３に集光照射して、その透過
光を対物鏡４で拡大結像させるため、必然的にコンデン
サ鏡２と対物鏡４とを同軸上に配置しなければならない
。
置における光学系に着目した場合、赤外線顕微分光測定
装置では、図６から明らかなように、光源１からの赤外
線をコンデンサ鏡２で試料３に集光照射して、その透過
光を対物鏡４で拡大結像させるため、必然的にコンデン
サ鏡２と対物鏡４とを同軸上に配置しなければならない
。
【０００７】一方、ＡＴＲ法赤外線分光測定装置では、
図７から明らかなように、ＡＴＲ結晶１１に入射する赤
外線の光軸と全反射しながら出射する赤外線の光軸は同
軸にはならず、このため、従来においては、赤外線顕微
分光測定装置によってＡＴＲ分析が行われることはなか
った。このため、測定する試料によって装置を使い分け
る必要があり、効率が非常に悪かった。
図７から明らかなように、ＡＴＲ結晶１１に入射する赤
外線の光軸と全反射しながら出射する赤外線の光軸は同
軸にはならず、このため、従来においては、赤外線顕微
分光測定装置によってＡＴＲ分析が行われることはなか
った。このため、測定する試料によって装置を使い分け
る必要があり、効率が非常に悪かった。
【０００８】上述のように、従来、赤外線顕微分光測定
とＡＴＲ分析は別々の装置によって行われていたが、図
８に示すように、赤外分光光度計にＡＴＲ結晶１１を組
み込んでＡＴＲ分析を行なえるようにしたものがある。 なお、この図において、１３， １４は集光ミラー、１
５， １６， １７， １８は平面ミラーである。
とＡＴＲ分析は別々の装置によって行われていたが、図
８に示すように、赤外分光光度計にＡＴＲ結晶１１を組
み込んでＡＴＲ分析を行なえるようにしたものがある。 なお、この図において、１３， １４は集光ミラー、１
５， １６， １７， １８は平面ミラーである。
【０００９】しかしながら、前記図８に示した手段によ
れば、赤外線のＡＴＲ結晶１１への入射角度を変更する
度、あるいは、試料１２の交換を行う度に、集光ミラー
１３， １４や平面ミラー１５， １６， １７， １
８の位置を調整する必要があった。
れば、赤外線のＡＴＲ結晶１１への入射角度を変更する
度、あるいは、試料１２の交換を行う度に、集光ミラー
１３， １４や平面ミラー１５， １６， １７， １
８の位置を調整する必要があった。
【００１０】本発明は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、簡単な操作によって
ＡＴＲ分析をも行え、しかも、光軸調整が簡便で、光学
ロスを大幅に低減できる、有用な赤外線顕微分光測定装
置を提供することにある。
もので、その目的とするところは、簡単な操作によって
ＡＴＲ分析をも行え、しかも、光軸調整が簡便で、光学
ロスを大幅に低減できる、有用な赤外線顕微分光測定装
置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
、本発明においては、光源とこの光源から照射される赤
外線を集光するコンデンサ鏡とからなる集光素子部と、
前記コンデンサ鏡によって集光された赤外線を試料に照
射し、この試料からの透過光あるいは反射光を拡大結像
する対物鏡と前記透過光あるいは反射光を分析する分光
測定系とからなる拡大結像素子部とを備えた赤外線顕微
分光測定装置において、前記集光素子部と拡大結像素子
部の一方が他方に対して光軸と直交する方向に位置変更
できる移動機構を設けると共に、前記両素子部間にＡＴ
Ｒ結晶を、その光入射側端部または光出射側端部の何れ
かを中心として回転できるように介装してＡＴＲ分析が
行なえるようにしている。
、本発明においては、光源とこの光源から照射される赤
外線を集光するコンデンサ鏡とからなる集光素子部と、
前記コンデンサ鏡によって集光された赤外線を試料に照
射し、この試料からの透過光あるいは反射光を拡大結像
する対物鏡と前記透過光あるいは反射光を分析する分光
測定系とからなる拡大結像素子部とを備えた赤外線顕微
分光測定装置において、前記集光素子部と拡大結像素子
部の一方が他方に対して光軸と直交する方向に位置変更
できる移動機構を設けると共に、前記両素子部間にＡＴ
Ｒ結晶を、その光入射側端部または光出射側端部の何れ
かを中心として回転できるように介装してＡＴＲ分析が
行なえるようにしている。
【００１２】
【作用】上記特徴的構成によれば、集光素子部あるいは
拡大結像素子部の一方が他方に対して光軸と直交する方
向に移動できるため、ＡＴＲ分析を赤外線顕微分光測定
装置によって行うことができ、装置を効率よく使用する
ことができる。そして、ＡＴＲ結晶を、その光入射側端
部または光出射側端部の何れかを中心として回転できる
ように介装してあるので、光軸調整が極めて容易であり
、光学的ロスを大幅に低減できる。
拡大結像素子部の一方が他方に対して光軸と直交する方
向に移動できるため、ＡＴＲ分析を赤外線顕微分光測定
装置によって行うことができ、装置を効率よく使用する
ことができる。そして、ＡＴＲ結晶を、その光入射側端
部または光出射側端部の何れかを中心として回転できる
ように介装してあるので、光軸調整が極めて容易であり
、光学的ロスを大幅に低減できる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。なお、以下の図において、図６〜図８に示し
た符号と同一のものは同一物または相当物を示す。
説明する。なお、以下の図において、図６〜図８に示し
た符号と同一のものは同一物または相当物を示す。
【００１４】図１および図２は本発明に係る赤外線顕微
分光測定装置の一例を示し、これらの図において、Ａは
光源１とコンデンサ鏡２とからなる集光素子部であり、
Ｂは対物鏡４、分光測定系５、接眼レンズ１９、光路切
換え用ミラー２０などからなる拡大結像素子部であり、
ここまでの構成は従来の赤外線顕微分光測定装置と変わ
るところはない。
分光測定装置の一例を示し、これらの図において、Ａは
光源１とコンデンサ鏡２とからなる集光素子部であり、
Ｂは対物鏡４、分光測定系５、接眼レンズ１９、光路切
換え用ミラー２０などからなる拡大結像素子部であり、
ここまでの構成は従来の赤外線顕微分光測定装置と変わ
るところはない。
【００１５】本発明に係る赤外線顕微分光測定装置が従
来のものと大きく異なる点は、集光素子部Ａを、光軸と
直交する方向にスライド移動させる移動機構Ｃを設けた
こと、並びに、両素子部Ａ，Ｂ間にＡＴＲ結晶１１を、
その光入射側端部または光出射側端部の何れかを中心と
して回転できるように介装したことである。
来のものと大きく異なる点は、集光素子部Ａを、光軸と
直交する方向にスライド移動させる移動機構Ｃを設けた
こと、並びに、両素子部Ａ，Ｂ間にＡＴＲ結晶１１を、
その光入射側端部または光出射側端部の何れかを中心と
して回転できるように介装したことである。
【００１６】すなわち、前記移動機構Ｃは両矢印２１で
示す方向に集光素子部Ａを、手動または自動的にスライ
ド移動させることができ、集光素子部Ａと拡大結像素子
部Ｂとの光軸間距離を任意に変えることができるように
してある。そして、この移動機構Ｃには、通常の赤外線
顕微分光測定のための集光素子部Ａの位置とＡＴＲ分析
のための集光素子部Ａの位置に目印を設けるか、あるい
は、モータなどで移動させる場合には、リミットスイッ
チを設けて再現性を向上できるようにしてある。
示す方向に集光素子部Ａを、手動または自動的にスライ
ド移動させることができ、集光素子部Ａと拡大結像素子
部Ｂとの光軸間距離を任意に変えることができるように
してある。そして、この移動機構Ｃには、通常の赤外線
顕微分光測定のための集光素子部Ａの位置とＡＴＲ分析
のための集光素子部Ａの位置に目印を設けるか、あるい
は、モータなどで移動させる場合には、リミットスイッ
チを設けて再現性を向上できるようにしてある。
【００１７】また、ＡＴＲ結晶１１は図３および図４に
示した保持装置２２によって保持されるようにしてある
。すなわち、この保持装置２２は集光素子部Ａと拡大結
像素子部Ｂとの間に設けられるステージ（図外）に載置
されるもので、次のように構成されている。
示した保持装置２２によって保持されるようにしてある
。すなわち、この保持装置２２は集光素子部Ａと拡大結
像素子部Ｂとの間に設けられるステージ（図外）に載置
されるもので、次のように構成されている。
【００１８】すなわち、図３および図４において、２３
はその平面中央に光源１からの光を入射させる光入射孔
２４を備えたベース板で、その一側部には側板２５が立
設されている。２６は例えばアルミニウムよりなる試料
ホルダーで、側板２５の下方側（ベース板側）に設けら
れた軸（後述する）を中心にして回動するように構成さ
れており（その取付け構造については後述する）、その
下方側（ベース板側）には光入射孔２４に臨むように保
持用開口２７が開設されている。
はその平面中央に光源１からの光を入射させる光入射孔
２４を備えたベース板で、その一側部には側板２５が立
設されている。２６は例えばアルミニウムよりなる試料
ホルダーで、側板２５の下方側（ベース板側）に設けら
れた軸（後述する）を中心にして回動するように構成さ
れており（その取付け構造については後述する）、その
下方側（ベース板側）には光入射孔２４に臨むように保
持用開口２７が開設されている。
【００１９】この実施例で用いるＡＴＲ結晶１１は例え
ば１ｍｍ厚×１０ｍｍ長×５ｍｍ幅に形成してあり、そ
して、試料１２は例えば ５００μｍ角である。２８は
試料ホルダー２６に螺着される結晶止めねじ、２９，
３０は例えばアルミニウムよりなる板状の試料押さえ部
材で、一方の試料押さえ部材２９は板状に形成してあり
、結晶止めねじ２８の頭部および押さえ部材止めねじ３
１をそれぞれ挿通させる貫通孔（図外）が形成してある
。また、他方の試料押さえ部材３０には試料ホルダー２
６の厚みのほぼ半分程度の高さの突出部（図外）形成し
てあると共に、押さえ部材止めねじ３１と螺合するねじ
孔（図外）が形成してある。
ば１ｍｍ厚×１０ｍｍ長×５ｍｍ幅に形成してあり、そ
して、試料１２は例えば ５００μｍ角である。２８は
試料ホルダー２６に螺着される結晶止めねじ、２９，
３０は例えばアルミニウムよりなる板状の試料押さえ部
材で、一方の試料押さえ部材２９は板状に形成してあり
、結晶止めねじ２８の頭部および押さえ部材止めねじ３
１をそれぞれ挿通させる貫通孔（図外）が形成してある
。また、他方の試料押さえ部材３０には試料ホルダー２
６の厚みのほぼ半分程度の高さの突出部（図外）形成し
てあると共に、押さえ部材止めねじ３１と螺合するねじ
孔（図外）が形成してある。
【００２０】ＡＴＲ結晶１１および試料１２は次のよう
にして試料ホルダー２６にセットされる。先ず、ＡＴＲ
結晶１１を保持用開口２７に挿入セットして結晶止めね
じ２８によって試料ホルダー２６に固定する。次いで、
試料１２をＡＴＲ結晶１１の厚み方向の両面であって前
記光入射孔２４に近い所に密着保持させ、試料ホルダー
２６の両面側から試料押さえ部材２９， ３０を当てが
って、ＡＴＲ結晶１１と試料押さえ部材２９， ３０と
によって試料１２を挟持し、試料押さえ部材２９側から
挿通した押さえ部材止めねじ３１を締めつけて試料１２
を固定するのである。試料押さえ部材３０には突出部が
形成してあるので、試料１２はＡＴＲ結晶１１に密着し
た状態で固定される。
にして試料ホルダー２６にセットされる。先ず、ＡＴＲ
結晶１１を保持用開口２７に挿入セットして結晶止めね
じ２８によって試料ホルダー２６に固定する。次いで、
試料１２をＡＴＲ結晶１１の厚み方向の両面であって前
記光入射孔２４に近い所に密着保持させ、試料ホルダー
２６の両面側から試料押さえ部材２９， ３０を当てが
って、ＡＴＲ結晶１１と試料押さえ部材２９， ３０と
によって試料１２を挟持し、試料押さえ部材２９側から
挿通した押さえ部材止めねじ３１を締めつけて試料１２
を固定するのである。試料押さえ部材３０には突出部が
形成してあるので、試料１２はＡＴＲ結晶１１に密着し
た状態で固定される。
【００２１】次に、上記試料ホルダー２６を回動するよ
うに保持する構造について説明すると、試料ホルダー２
６の一端側にはブロック部３３が形成してあり、このブ
ロック部３２は側板２５の下部に設けられた水平な軸３
３に枢支されている。また、側板２５の上部側には軸３
３を中心とする円弧状のガイド溝（図外）が開設してあ
ると共に、ブロック部３２の側板２５側にはガイド溝に
臨むようにしてねじ孔（図外）が螺設してある。そして
、試料ホルダー２６は側板２５の外側からガイド溝を挿
通し、ねじ孔に螺合するホルダー固定ねじ３４を締め付
けることにより位置固定され、ＡＴＲ結晶１１への入射
角を変えるときには、ホルダー固定ねじ３４を緩めるこ
とにより軸３３を中心にして例えば３０°〜６０°回動
することができるようにしてある。なお、３５は側板２
５の上部側の内側に付されたＡＴＲ結晶１１への赤外光
の入射角を表す入射角表示目盛、３６はブロック部３１
の上端に立設された入射角表示ピンである。
うに保持する構造について説明すると、試料ホルダー２
６の一端側にはブロック部３３が形成してあり、このブ
ロック部３２は側板２５の下部に設けられた水平な軸３
３に枢支されている。また、側板２５の上部側には軸３
３を中心とする円弧状のガイド溝（図外）が開設してあ
ると共に、ブロック部３２の側板２５側にはガイド溝に
臨むようにしてねじ孔（図外）が螺設してある。そして
、試料ホルダー２６は側板２５の外側からガイド溝を挿
通し、ねじ孔に螺合するホルダー固定ねじ３４を締め付
けることにより位置固定され、ＡＴＲ結晶１１への入射
角を変えるときには、ホルダー固定ねじ３４を緩めるこ
とにより軸３３を中心にして例えば３０°〜６０°回動
することができるようにしてある。なお、３５は側板２
５の上部側の内側に付されたＡＴＲ結晶１１への赤外光
の入射角を表す入射角表示目盛、３６はブロック部３１
の上端に立設された入射角表示ピンである。
【００２２】なお、コンデンサ鏡２および対物鏡４の焦
点位置は、ステージの上下動あるいはコンデンサ鏡２の
上下動で、顕微鏡の可視照明光を基準にしてＡＴＲ結晶
１１の端面と合うように調整する。
点位置は、ステージの上下動あるいはコンデンサ鏡２の
上下動で、顕微鏡の可視照明光を基準にしてＡＴＲ結晶
１１の端面と合うように調整する。
【００２３】而して、上記構成の赤外線顕微分光測定装
置による測定について説明すると、図１において、光路
切換え用ミラー２０を光路から外して、光源１からの可
視光を対物鏡４で拡大結像させ、接眼レンズ１９により
試料３の像を観察する。
置による測定について説明すると、図１において、光路
切換え用ミラー２０を光路から外して、光源１からの可
視光を対物鏡４で拡大結像させ、接眼レンズ１９により
試料３の像を観察する。
【００２４】ここで、分光測定する場合は、図１に示す
ように、光源１を赤外線に切換えると共に、光路切換え
用ミラー２０を対物鏡４と接眼レンズ１９との間に介装
した状態で、光源１からの赤外線をコンデンサ鏡２を介
して試料３に照射し、その透過光を対物鏡４で拡大結像
させた後、分光測定系５に導き、この分光測定系５内の
分光器により分光スペクトルを得て、表示装置６により
分光スペクトルを表示するのである。
ように、光源１を赤外線に切換えると共に、光路切換え
用ミラー２０を対物鏡４と接眼レンズ１９との間に介装
した状態で、光源１からの赤外線をコンデンサ鏡２を介
して試料３に照射し、その透過光を対物鏡４で拡大結像
させた後、分光測定系５に導き、この分光測定系５内の
分光器により分光スペクトルを得て、表示装置６により
分光スペクトルを表示するのである。
【００２５】一方、ＡＴＲ分析を行う場合は、ＡＴＲ結
晶１１で生ずる入射赤外線および出射赤外線の光軸のズ
レに相当する分を、スライド機構Ｃにより集光素子部Ａ
を移動して補正して行う。すなわち、図２において、光
路切換え用ミラー２０を光路から外して、図３に示した
保持装置２２によって試料１２と共に保持されたＡＴＲ
結晶１１の端面に、コンデンサ鏡２で集光された光源１
からの可視光を入射し、ＡＴＲ結晶１１内で全反射しな
がら出射した光を対物鏡４で拡大結像させ、接眼レンズ
１９によりＡＴＲ結晶１１の端面を観察しながら、ＡＴ
Ｒ結晶１１を通る光の光軸調整を行う。この場合、ホル
ダー固定ねじ３４を緩めると、試料ホルダー２６は軸３
３を中心に回動するので、入射角表示目盛３５を正面か
ら見て入射角表示ピン３６の位置が入射させたい角度に
なるように合わせるようにすればよい。
晶１１で生ずる入射赤外線および出射赤外線の光軸のズ
レに相当する分を、スライド機構Ｃにより集光素子部Ａ
を移動して補正して行う。すなわち、図２において、光
路切換え用ミラー２０を光路から外して、図３に示した
保持装置２２によって試料１２と共に保持されたＡＴＲ
結晶１１の端面に、コンデンサ鏡２で集光された光源１
からの可視光を入射し、ＡＴＲ結晶１１内で全反射しな
がら出射した光を対物鏡４で拡大結像させ、接眼レンズ
１９によりＡＴＲ結晶１１の端面を観察しながら、ＡＴ
Ｒ結晶１１を通る光の光軸調整を行う。この場合、ホル
ダー固定ねじ３４を緩めると、試料ホルダー２６は軸３
３を中心に回動するので、入射角表示目盛３５を正面か
ら見て入射角表示ピン３６の位置が入射させたい角度に
なるように合わせるようにすればよい。
【００２６】そして、上述のようにして光軸調整を行っ
た後、光源１を赤外線に切換えると共に、光路切換え用
ミラー２０を対物鏡４と接眼レンズ１９との間に介装し
、光源１からの赤外線をコンデンサ鏡２を介してＡＴＲ
結晶１１の端面から入射させ、ＡＴＲ結晶１１内で全反
射しながら出射した光を光路切換え用ミラー２０によっ
て分光測定系５に導き、解析を行うのである。
た後、光源１を赤外線に切換えると共に、光路切換え用
ミラー２０を対物鏡４と接眼レンズ１９との間に介装し
、光源１からの赤外線をコンデンサ鏡２を介してＡＴＲ
結晶１１の端面から入射させ、ＡＴＲ結晶１１内で全反
射しながら出射した光を光路切換え用ミラー２０によっ
て分光測定系５に導き、解析を行うのである。
【００２７】上述の説明から明らかなように、ＡＴＲ結
晶１１を保持する試料ホルダー２６は、光源１からの光
が入射する端部を中心にして回動するので、ＡＴＲ結晶
１１の角度を連続的に変えることができ、どの角度を選
んだときにも出射側の端面の位置を光軸のズレ距離で調
整することができる。このため、ＡＴＲ結晶１１を保持
する試料ホルダー２６と対物鏡４を、それらの間の距離
を一定の位置を保ちながら、同時に動かすことができる
。また、入射角度の違いにより生ずる光軸ズレの違いは
、移動機構Ｃによって集光素子部Ａを光軸と直交する方
向に移動することにより、修正することができる。
晶１１を保持する試料ホルダー２６は、光源１からの光
が入射する端部を中心にして回動するので、ＡＴＲ結晶
１１の角度を連続的に変えることができ、どの角度を選
んだときにも出射側の端面の位置を光軸のズレ距離で調
整することができる。このため、ＡＴＲ結晶１１を保持
する試料ホルダー２６と対物鏡４を、それらの間の距離
を一定の位置を保ちながら、同時に動かすことができる
。また、入射角度の違いにより生ずる光軸ズレの違いは
、移動機構Ｃによって集光素子部Ａを光軸と直交する方
向に移動することにより、修正することができる。
【００２８】本発明は上記実施例に限られるものでなく
、種々に変形して実施することができる。図５に示す実
施例は、試料ホルダー２６を側板２５から分離できるよ
うに構成したもので、側板２５に前記実施例におけるブ
ロック部３２と同様に回動するホルダー装着部３７を枢
着し、このホルダー装着部３７内に、試料ホルダー２６
の一端部３８を挿入して試料ホルダー２６をホルダー装
着部３７によって着脱自在に保持させるようにしている
。この場合、ホルダー装着部３７にボールプランジャー
を使用すれば、試料１２の交換時において、光軸や角度
のズレを生ずることなく、再現性よく装着することがで
きる。
、種々に変形して実施することができる。図５に示す実
施例は、試料ホルダー２６を側板２５から分離できるよ
うに構成したもので、側板２５に前記実施例におけるブ
ロック部３２と同様に回動するホルダー装着部３７を枢
着し、このホルダー装着部３７内に、試料ホルダー２６
の一端部３８を挿入して試料ホルダー２６をホルダー装
着部３７によって着脱自在に保持させるようにしている
。この場合、ホルダー装着部３７にボールプランジャー
を使用すれば、試料１２の交換時において、光軸や角度
のズレを生ずることなく、再現性よく装着することがで
きる。
【００２９】上記実施例においては、集光素子部Ａと拡
大結像素子部Ｂとの間に介装されるＡＴＲ結晶１１は、
光入射側端部を中心にして回動させるるようにしていた
が、これに代えて、光出射側端部を中心にして回動させ
るようにしてもよく、また、集光素子部Ａをスライド移
動させるのに代えて、拡大結像素子部Ｂをスライド移動
させるようにしてもよい。そして、試料１２は前記大き
さのものに限られることはなく、ＡＴＲ結晶１１とほぼ
同じ大きさのものであってもよく、さらに、試料１２は
ＡＴＲ結晶１１の両面に密着するように保持してもよい
。さらにまた、上記実施例は透過式赤外線顕微分光測定
装置であったが、本発明は反射式赤外線顕微分光測定装
置にも適用できることはいうまでもない。
大結像素子部Ｂとの間に介装されるＡＴＲ結晶１１は、
光入射側端部を中心にして回動させるるようにしていた
が、これに代えて、光出射側端部を中心にして回動させ
るようにしてもよく、また、集光素子部Ａをスライド移
動させるのに代えて、拡大結像素子部Ｂをスライド移動
させるようにしてもよい。そして、試料１２は前記大き
さのものに限られることはなく、ＡＴＲ結晶１１とほぼ
同じ大きさのものであってもよく、さらに、試料１２は
ＡＴＲ結晶１１の両面に密着するように保持してもよい
。さらにまた、上記実施例は透過式赤外線顕微分光測定
装置であったが、本発明は反射式赤外線顕微分光測定装
置にも適用できることはいうまでもない。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明においては
、集光素子部あるいは拡大結像素子部の一方が他方に対
して光軸と直交する方向に移動できるため、ＡＴＲ分析
を赤外線顕微分光測定装置によって行うことができ、装
置を効率よく使用することができる。そして、ＡＴＲ結
晶を、その光入射側端部または光出射側端部の何れかを
中心として回転できるように介装してあるので、ＡＴＲ
結晶への光の入射角度または出射角度の調整が容易で、
調整代も最小に抑えることができる。従って、光軸調整
が極めて容易であり、ＡＴＲ結晶の端面に対する焦点位
置を確実に合わせることができるので、光学的ロスを大
幅に低減できる。
、集光素子部あるいは拡大結像素子部の一方が他方に対
して光軸と直交する方向に移動できるため、ＡＴＲ分析
を赤外線顕微分光測定装置によって行うことができ、装
置を効率よく使用することができる。そして、ＡＴＲ結
晶を、その光入射側端部または光出射側端部の何れかを
中心として回転できるように介装してあるので、ＡＴＲ
結晶への光の入射角度または出射角度の調整が容易で、
調整代も最小に抑えることができる。従って、光軸調整
が極めて容易であり、ＡＴＲ結晶の端面に対する焦点位
置を確実に合わせることができるので、光学的ロスを大
幅に低減できる。
【図１】透過式赤外線顕微分光測定用の光学配置図であ
る。
る。
【図２】ＡＴＲ分析用の光学配置図である。
【図３】ＡＴＲ結晶の保持装置の一例を示す斜視図であ
る。
る。
【図４】前記保持装置の縦断面図である。
【図５】ＡＴＲ結晶の保持装置の他の実施例を示す斜視
図である。
図である。
【図６】従来の透過式赤外線顕微分光測定装置の構成図
である。
である。
【図７】従来のＡＴＲ分析を行う装置の要部を示す構成
図である。
図である。
【図８】赤外分光光度計を用いてＡＴＲ分析を行う場合
の構成図である。
の構成図である。
１…光源、２…コンデンサ鏡、３，１２…試料、４…対
物鏡、５…分光測定系、１１…ＡＴＲ結晶、Ａ…集光素
子部、Ｂ…拡大結像素子部、Ｃ…移動機構。
物鏡、５…分光測定系、１１…ＡＴＲ結晶、Ａ…集光素
子部、Ｂ…拡大結像素子部、Ｃ…移動機構。
Claims (1)
- 【請求項１】 光源とこの光源から照射される赤外線
を集光するコンデンサ鏡とからなる集光素子部と、前記
コンデンサ鏡によって集光された赤外線を試料に照射し
、この試料からの透過光あるいは反射光を拡大結像する
対物鏡と前記透過光あるいは反射光を分析する分光測定
系とからなる拡大結像素子部とを備えた赤外線顕微分光
測定装置において、前記集光素子部と拡大結像素子部の
一方が他方に対して光軸と直交する方向に位置変更でき
る移動機構を設けると共に、前記両素子部間にＡＴＲ結
晶を、その光入射側端部または光出射側端部の何れかを
中心として回転できるように介装してＡＴＲ分析が行な
えるようにしたことを特徴とする赤外線顕微分光測定装
置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1576791A JPH0797078B2 (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 赤外線顕微分光測定装置 |
| US07/821,746 US5278413A (en) | 1991-01-16 | 1992-01-13 | Infrared microscopic spectrometer |
| DE19924200869 DE4200869C2 (de) | 1991-01-16 | 1992-01-15 | Infrarot Mikroskop-Spektrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1576791A JPH0797078B2 (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 赤外線顕微分光測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04242145A true JPH04242145A (ja) | 1992-08-28 |
| JPH0797078B2 JPH0797078B2 (ja) | 1995-10-18 |
Family
ID=11897952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1576791A Expired - Lifetime JPH0797078B2 (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 赤外線顕微分光測定装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5278413A (ja) |
| JP (1) | JPH0797078B2 (ja) |
| DE (1) | DE4200869C2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008145109A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Pola Chem Ind Inc | 角層細胞の評価装置 |
| JP2009534684A (ja) * | 2006-04-26 | 2009-09-24 | パーキンエルマー・シンガポール・ピーティーイー・リミテッド | 減衰全反射（ａｔｒ）分光法用の付属品 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5506416A (en) * | 1994-05-25 | 1996-04-09 | Rizvi; Syed A. | Microscopic internal reflection infrared spectroscopy to examine the surface of a trace amount of material |
| DE4418180C2 (de) * | 1994-06-27 | 1997-05-15 | Emmrich Roland | Sondenanordnung zur Messung der spektralen Absorption in Flüssigkeiten, Gasen oder Feststoffen |
| US5581085A (en) * | 1995-03-06 | 1996-12-03 | Spectra-Tech, Inc. | Infrared microspectrometer accessory |
| US5818046A (en) * | 1996-08-30 | 1998-10-06 | Rizvi; Syed A. | Mid-infrared analysis system |
| US5841139A (en) * | 1997-02-28 | 1998-11-24 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Optical instrument providing combined infrared and Ramen analysis of samples |
| US6693280B2 (en) | 2001-08-03 | 2004-02-17 | Sensir Technologies, L.L.C. | Mid-infrared spectrometer attachment to light microscopes |
| DE10214780A1 (de) * | 2002-04-03 | 2003-10-30 | Univ Jw Goethe Frankfurt Main | Infrarotmeßvorrichtung, insbesondere für die Spektrometrie wässriger Systeme |
| WO2003083458A2 (de) * | 2002-04-03 | 2003-10-09 | Johann Wolfgang Goethe-Universität Frankfurt am Main | Infrarotmessvorrichtung, insbesondere für die spektrometrie wässriger systeme, vorzugsweise von mehrkomponentensystemen |
| TW588156B (en) * | 2002-12-24 | 2004-05-21 | Ind Tech Res Inst | Real time infrared chemical imaging spectrometry |
| US20070170362A1 (en) * | 2006-01-25 | 2007-07-26 | The Regents Of The University Of California | Method and apparatus for internal reflection imaging |
| AU2012203826B2 (en) * | 2006-04-26 | 2013-08-01 | Perkinelmer Singapore Pte Ltd | Accessory for attenuated total internal reflectance (ATR) spectroscopy |
| US7377172B2 (en) * | 2006-07-31 | 2008-05-27 | General Electric Company | Method and system for impact detection of an imaging system |
| DE102009026889B4 (de) * | 2008-11-18 | 2012-03-29 | Bst-Bio Sensor Technology Gmbh | Analyseeinrichtung, Probenhalter und Analyseeinheit zur Analyse von Proben |
| ES2461015B2 (es) * | 2013-10-10 | 2015-05-22 | Universidad De Cantabria | Microscopio para la caracterización espectroscópica de una muestra |
| CN105300910B (zh) * | 2014-06-27 | 2018-08-28 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 用于红外测试中的承载装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE116321C (ja) * | ||||
| US3645631A (en) * | 1970-05-05 | 1972-02-29 | Gte Sylvania Inc | Apparatus and method for measuring the carrier concentration of semiconductor materials |
| USRE32912E (en) * | 1981-08-10 | 1989-04-25 | Laser Precision Corporation | Parabolic focusing apparatus for optical spectroscopy |
| DE3303140A1 (de) * | 1983-01-31 | 1984-08-02 | Bruker Analytische Meßtechnik GmbH, 7512 Rheinstetten | Infrarot-spektrometer |
| US4547068A (en) * | 1983-03-04 | 1985-10-15 | Covey Joel P | Optical analytical instrument beam condenser |
| US4657390A (en) * | 1985-02-21 | 1987-04-14 | Laser Precision Corporation | Universal spectrometer system having modular sampling chamber |
| US4852955A (en) * | 1986-09-16 | 1989-08-01 | Laser Precision Corporation | Microscope for use in modular FTIR spectrometer system |
| US4843242A (en) * | 1986-10-20 | 1989-06-27 | Laser Precision Corporation | Infrared microscope employing a projected field stop |
-
1991
- 1991-01-16 JP JP1576791A patent/JPH0797078B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-01-13 US US07/821,746 patent/US5278413A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-01-15 DE DE19924200869 patent/DE4200869C2/de not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009534684A (ja) * | 2006-04-26 | 2009-09-24 | パーキンエルマー・シンガポール・ピーティーイー・リミテッド | 減衰全反射（ａｔｒ）分光法用の付属品 |
| JP2009534717A (ja) * | 2006-04-26 | 2009-09-24 | パーキンエルマー・シンガポール・ピーティーイー・リミテッド | 減衰全反射（ａｔｒ）分光法用の付属品 |
| JP2009534682A (ja) * | 2006-04-26 | 2009-09-24 | パーキンエルマー・シンガポール・ピーティーイー・リミテッド | 減衰全反射（ａｔｒ）分光法用の付属品 |
| JP2009534683A (ja) * | 2006-04-26 | 2009-09-24 | パーキンエルマー・シンガポール・ピーティーイー・リミテッド | 減衰全反射（ａｔｒ）分光法用の付属品 |
| US8223430B2 (en) | 2006-04-26 | 2012-07-17 | Perkinelmer Singapore Pte Ltd. | Accessory for attenuated total internal reflectance (ATR) spectroscopy |
| US8223429B2 (en) | 2006-04-26 | 2012-07-17 | Perkinelmer Singapore Pte Ltd. | Accessory for attenuated total internal reflective (ATR) spectroscopy |
| US8400711B2 (en) | 2006-04-26 | 2013-03-19 | Perkinelmer Singapore Pte Ltd. | Accessory for attenuated total internal reflectance (ATR) spectroscopy |
| US8743456B2 (en) | 2006-04-26 | 2014-06-03 | Perkinelmer Singapore Pte Ltd. | Systems and methods for attenuated total internal reflectance (ATR) spectroscopy |
| JP2008145109A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Pola Chem Ind Inc | 角層細胞の評価装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4200869A1 (de) | 1992-07-23 |
| DE4200869C2 (de) | 1994-02-03 |
| US5278413A (en) | 1994-01-11 |
| JPH0797078B2 (ja) | 1995-10-18 |
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