JP2575981B2 - 赤外顕微鏡 - Google Patents
赤外顕微鏡Info
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- JP2575981B2 JP2575981B2 JP3358486A JP35848691A JP2575981B2 JP 2575981 B2 JP2575981 B2 JP 2575981B2 JP 3358486 A JP3358486 A JP 3358486A JP 35848691 A JP35848691 A JP 35848691A JP 2575981 B2 JP2575981 B2 JP 2575981B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、顕微赤外測定装置等に
用いられる赤外顕微鏡に関する。
用いられる赤外顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】顕微赤外測定装置の一般的構造を図８に
示す。干渉計からの赤外単色光は、透過測定か反射測定
かによって、透過／反射切替ミラー８０で、透過照明光
学系か反射照明光学系かに光路を切替え、コンデンサー
２若しくは対物光学系３によって集光され、試料を照射
する。試料を透過（反射）した赤外干渉光は対物光学系
３で集められ、ＭＴＣ検出器８５に導かれている。分析
に当たっては、試料像を可視光で観察しながら、試料中
の分析領域を決める。分析を行う場合、分析領域外の光
が測定系に入らないようにするために、可変型マスキン
グアパーチャー９を使用して分析領域の大きさに合わせ
てマスキングする必要があるが、試料のマスキングアパ
ーチャーでマスクされた部分は見えないため、分析領域
にアパーチャーの大きさを合わせることが難しく、アパ
ーチャーが分析領域内に侵入した状態、つまりアパーチ
ャーを狭く設定し過ぎると言う問題があった。そこで、
マスキングアパーチャーの前で光路を２つに分け、アパ
ーチャーを通った光と、通らない光をもう１度合成する
ことにより、視野全体とアパーチャーを同時に見ること
を可能とした実施例もあるが、この方法では、アパーチ
ャーでマスクされた試料の像と、アパーチャーでマスク
されない像を重ねているために、光路が複雑となること
に加え、試料の測定しようとする部分（マスクされない
部分）では、同じ像が２つ重ね合わせられることとなる
ため、わずかな光軸のずれにより測定しようとする部分
の像が著しく劣化し、目視観察に不便となると言う問題
があった。
示す。干渉計からの赤外単色光は、透過測定か反射測定
かによって、透過／反射切替ミラー８０で、透過照明光
学系か反射照明光学系かに光路を切替え、コンデンサー
２若しくは対物光学系３によって集光され、試料を照射
する。試料を透過（反射）した赤外干渉光は対物光学系
３で集められ、ＭＴＣ検出器８５に導かれている。分析
に当たっては、試料像を可視光で観察しながら、試料中
の分析領域を決める。分析を行う場合、分析領域外の光
が測定系に入らないようにするために、可変型マスキン
グアパーチャー９を使用して分析領域の大きさに合わせ
てマスキングする必要があるが、試料のマスキングアパ
ーチャーでマスクされた部分は見えないため、分析領域
にアパーチャーの大きさを合わせることが難しく、アパ
ーチャーが分析領域内に侵入した状態、つまりアパーチ
ャーを狭く設定し過ぎると言う問題があった。そこで、
マスキングアパーチャーの前で光路を２つに分け、アパ
ーチャーを通った光と、通らない光をもう１度合成する
ことにより、視野全体とアパーチャーを同時に見ること
を可能とした実施例もあるが、この方法では、アパーチ
ャーでマスクされた試料の像と、アパーチャーでマスク
されない像を重ねているために、光路が複雑となること
に加え、試料の測定しようとする部分（マスクされない
部分）では、同じ像が２つ重ね合わせられることとなる
ため、わずかな光軸のずれにより測定しようとする部分
の像が著しく劣化し、目視観察に不便となると言う問題
があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】構造が簡単で、かつ視
野全体とマスキングアパーチャーの位置とを同時観察が
でき、しかも、像の劣化が少ない赤外顕微鏡を提供する
ことを目的とする。
野全体とマスキングアパーチャーの位置とを同時観察が
でき、しかも、像の劣化が少ない赤外顕微鏡を提供する
ことを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】赤外顕微鏡において、試
料の分析領域を設定する可変のアパーチャーを照明する
手段と、上記アパーチャーを通らない試料顕微鏡像とア
パーチャー像を赤外測定時と同じ位置関係となるように
合成して可視観察用光学系に導入するミラー群とハーフ
ミラーとを設けた。
料の分析領域を設定する可変のアパーチャーを照明する
手段と、上記アパーチャーを通らない試料顕微鏡像とア
パーチャー像を赤外測定時と同じ位置関係となるように
合成して可視観察用光学系に導入するミラー群とハーフ
ミラーとを設けた。
【０００５】
【作用】アパーチャーを通らない試料の像とアパーチャ
ーだけの像とを、ハーフミラーを使って合成することに
より同時に見えるようにすることで、そのものの二重性
がなくなり、試料像においてアパーチャーがマキシング
している領域を正確に視認することができるようになっ
た。しかも、アパーチャーの像と試料の像とが独立して
いるため、図２に示すように、アパーチャー用照明の色
や光量，照射場所を変えたり、アパーチャーの縁や全
体，ｎ１の裏に着色したり、フィルターを入れる等の方
法により、試料の種類に合わせて観察用合成像を、測定
しようとする部分が一番はっきり見えるように容易に変
えることができる。
ーだけの像とを、ハーフミラーを使って合成することに
より同時に見えるようにすることで、そのものの二重性
がなくなり、試料像においてアパーチャーがマキシング
している領域を正確に視認することができるようになっ
た。しかも、アパーチャーの像と試料の像とが独立して
いるため、図２に示すように、アパーチャー用照明の色
や光量，照射場所を変えたり、アパーチャーの縁や全
体，ｎ１の裏に着色したり、フィルターを入れる等の方
法により、試料の種類に合わせて観察用合成像を、測定
しようとする部分が一番はっきり見えるように容易に変
えることができる。
【０００６】
【実施例】図１に本発明の一実施例における透過観察モ
ードの光学系配置図を示す。図１において、Ｓは試料、
１は可視光と赤外光を切換えて照射する光源で、図では
可視光を照射している。２はコンデンサーで光源１から
の光を試料Ｓに集光する。３は対物光学系で試料Ｓの像
をアパーチャー１０の位置に結像させる。試料Ｓを透過
した光は両面ミラー４，ミラー５，ハーフミラー６を介
して可視観察用光学系に送られる。光源８はアパーチャ
ー９の照明用光源で、光源８で照明されたアパーチャー
像がミラー７，ハーフミラー６を介して可視観察用光学
系に送られ、可視観察用光学系においてアパーチャー９
が試料像と重畳して観察できる。ミラー４とミラー７は
可動式で、必要に応じて光軸上に出入される。アパーチ
ャー９の照明は、試料照明と独立しているので、可視観
察用光学系において、アパーチャー像が試料像とより識
別されるように照明する方が良いので、図２に示すよう
に、照射場所を変えて、ミラー４で反射させてアパーチ
ャー９を照明しても良く。また、図３に示すように、フ
ィルターＦを介在させて、アパーチャー用照明の色を変
えたり、アパーチャーの縁や全体，ミラー４の裏に着色
して、アパーチャー像を着色しても良く、また、点線に
示すように、試料像側にフィルターＦを入れて、試料像
を着色しても良く、試料の種類に合わせて合成像を容易
に変えることができ、アパーチャー像と試料像とが識別
し易くなる。１０は反射測定及び反射観察モードで用い
られる反射光光源で、光源１０から照射される光は、コ
ンデンサー１１で集光され、切替ミラー１２で反射さ
れ、対物光学系３を介して試料Ｓの上表面に集光され
る。
ードの光学系配置図を示す。図１において、Ｓは試料、
１は可視光と赤外光を切換えて照射する光源で、図では
可視光を照射している。２はコンデンサーで光源１から
の光を試料Ｓに集光する。３は対物光学系で試料Ｓの像
をアパーチャー１０の位置に結像させる。試料Ｓを透過
した光は両面ミラー４，ミラー５，ハーフミラー６を介
して可視観察用光学系に送られる。光源８はアパーチャ
ー９の照明用光源で、光源８で照明されたアパーチャー
像がミラー７，ハーフミラー６を介して可視観察用光学
系に送られ、可視観察用光学系においてアパーチャー９
が試料像と重畳して観察できる。ミラー４とミラー７は
可動式で、必要に応じて光軸上に出入される。アパーチ
ャー９の照明は、試料照明と独立しているので、可視観
察用光学系において、アパーチャー像が試料像とより識
別されるように照明する方が良いので、図２に示すよう
に、照射場所を変えて、ミラー４で反射させてアパーチ
ャー９を照明しても良く。また、図３に示すように、フ
ィルターＦを介在させて、アパーチャー用照明の色を変
えたり、アパーチャーの縁や全体，ミラー４の裏に着色
して、アパーチャー像を着色しても良く、また、点線に
示すように、試料像側にフィルターＦを入れて、試料像
を着色しても良く、試料の種類に合わせて合成像を容易
に変えることができ、アパーチャー像と試料像とが識別
し易くなる。１０は反射測定及び反射観察モードで用い
られる反射光光源で、光源１０から照射される光は、コ
ンデンサー１１で集光され、切替ミラー１２で反射さ
れ、対物光学系３を介して試料Ｓの上表面に集光され
る。
【０００７】図４は透過測定モードの光学系配置図で、
ミラー４，７と切替ミラー１２を光軸上から外し、試料
像が赤外検出用光学系に導入されるように配置してあ
る。光源１からは赤外光が照射され、コンデンサー２で
試料Ｓに集光され、試料Ｓを透過した光即ち試料透過像
が、対物光学系３でアパーチャー９の配置してある対物
焦点面に結像され、アパーチャー９で視野が制限された
後、赤外検出用光学系に導かれる。
ミラー４，７と切替ミラー１２を光軸上から外し、試料
像が赤外検出用光学系に導入されるように配置してあ
る。光源１からは赤外光が照射され、コンデンサー２で
試料Ｓに集光され、試料Ｓを透過した光即ち試料透過像
が、対物光学系３でアパーチャー９の配置してある対物
焦点面に結像され、アパーチャー９で視野が制限された
後、赤外検出用光学系に導かれる。
【０００８】図５は反射観察モードの光学系配置図で、
切替ミラー１２をハーフミラーに切替え、光源１の代わ
りに光源１０から照明し、光源１０からの光はコンデン
サー１１を介し、ミラー１２の鏡面部１２Ａで反射さ
れ、対物光学系３で試料Ｓに集光される。試料Ｓからの
反射光は、対物光学系３を通り、ミラー１２の切欠部１
２Ｂを通過して、ミラー４，ミラー５，ハーフミラー６
を介して可視観察用光学系に送られる。アパーチャー９
側では、光源８からミラー４に投光され、その反射光が
アパーチャー９を照明し、アパーチャー像をミラー７，
ハーフミラー６を介して可視観察用光学系に送られてい
る。
切替ミラー１２をハーフミラーに切替え、光源１の代わ
りに光源１０から照明し、光源１０からの光はコンデン
サー１１を介し、ミラー１２の鏡面部１２Ａで反射さ
れ、対物光学系３で試料Ｓに集光される。試料Ｓからの
反射光は、対物光学系３を通り、ミラー１２の切欠部１
２Ｂを通過して、ミラー４，ミラー５，ハーフミラー６
を介して可視観察用光学系に送られる。アパーチャー９
側では、光源８からミラー４に投光され、その反射光が
アパーチャー９を照明し、アパーチャー像をミラー７，
ハーフミラー６を介して可視観察用光学系に送られてい
る。
【０００９】図６は反射測定モードの光学系配置図で、
ミラー４，７を光軸上から外し、切替ミラー１２を図７
に示すような半円鏡の切欠ミラーに切替え、試料像が赤
外検出用光学系に導入されるように配置してある。光源
１０から赤外光が照射され、光源１０からの光はコンデ
ンサー１１を介し、ミラー１２の鏡面部１２Ａで反射さ
れ、対物光学系３で試料Ｓに集光される。試料Ｓからの
反射光即ち試料反射像は、対物光学系３を通り、ミラー
１２の切欠部１２Ｂを通過してアパーチャー９の配置し
てある対物焦点面に結像され、アパーチャー９で視野が
制限された後、赤外検出用光学系に導かれる。
ミラー４，７を光軸上から外し、切替ミラー１２を図７
に示すような半円鏡の切欠ミラーに切替え、試料像が赤
外検出用光学系に導入されるように配置してある。光源
１０から赤外光が照射され、光源１０からの光はコンデ
ンサー１１を介し、ミラー１２の鏡面部１２Ａで反射さ
れ、対物光学系３で試料Ｓに集光される。試料Ｓからの
反射光即ち試料反射像は、対物光学系３を通り、ミラー
１２の切欠部１２Ｂを通過してアパーチャー９の配置し
てある対物焦点面に結像され、アパーチャー９で視野が
制限された後、赤外検出用光学系に導かれる。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、アパーチャーを通らな
い試料の像とアパーチャーの像とを、赤外測定時と同じ
位置関係となるように合成することにより、マキシング
アパーチャーを試料の大きさに合わせることや、視野全
体に対する測定部分の位置を知ることが容易に行える。
しかも、構造が簡単で、わずかな光軸のずれによる試料
の像の劣化もない。更に、フィルター等を用いることに
より、試料の像とアパーチャーの像を独立して変化さ
せ、試料ごとに最も観察しやすい合成像を得ることがで
きる。
い試料の像とアパーチャーの像とを、赤外測定時と同じ
位置関係となるように合成することにより、マキシング
アパーチャーを試料の大きさに合わせることや、視野全
体に対する測定部分の位置を知ることが容易に行える。
しかも、構造が簡単で、わずかな光軸のずれによる試料
の像の劣化もない。更に、フィルター等を用いることに
より、試料の像とアパーチャーの像を独立して変化さ
せ、試料ごとに最も観察しやすい合成像を得ることがで
きる。
【図１】本発明の一実施例の透過観察モードにおける光
学系配置図
学系配置図
【図２】上記実施例におけるアパーチャーの照明光源配
置図
置図
【図３】上記実施例におけるフィルターの配置図
【図４】本発明の一実施例の透過測定モードにおける光
学系配置図
学系配置図
【図５】本発明の一実施例の反射観察モードにおける光
学系配置図
学系配置図
【図６】本発明の一実施例の反射測定モードにおける光
学系配置図
学系配置図
【図７】上記実施例における切替ミラーの詳細説明図
【図８】従来例の構成図
Ｓ 試料 １ 光源 ２ コンデンサー ３ 対物光学系 ４ ミラー ５ ミラー ６ ハーフミラー ７ ミラー ８ 光源 ９ アパーチャー １０ 光源 １１ コンデンサー １２ 切替ミラー
Claims (1)
- 【請求項１】 赤外顕微鏡において、試料の分析領域を
設定する可変のアパーチャーを照明する手段と、上記ア
パーチャーを通らない試料顕微鏡像とアパーチャー像を
赤外測定時と同じ位置関係となるように合成して可視観
察用光学系に導入するミラー群とハーフミラーとを設け
たことを特徴とする赤外顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3358486A JP2575981B2 (ja) | 1991-12-28 | 1991-12-28 | 赤外顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3358486A JP2575981B2 (ja) | 1991-12-28 | 1991-12-28 | 赤外顕微鏡 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19213295A Division JPH0894518A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 赤外顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05181066A JPH05181066A (ja) | 1993-07-23 |
| JP2575981B2 true JP2575981B2 (ja) | 1997-01-29 |
Family
ID=18459567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3358486A Expired - Fee Related JP2575981B2 (ja) | 1991-12-28 | 1991-12-28 | 赤外顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2575981B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2797987B2 (ja) * | 1994-12-06 | 1998-09-17 | 株式会社島津製作所 | 赤外顕微鏡 |
| JP3246332B2 (ja) * | 1996-05-10 | 2002-01-15 | 株式会社島津製作所 | 赤外顕微鏡 |
| JP2001311877A (ja) * | 2000-04-27 | 2001-11-09 | Hamamatsu Photonics Kk | 撮像装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0524203Y2 (ja) * | 1986-11-14 | 1993-06-21 | ||
| JPH03235910A (ja) * | 1990-02-13 | 1991-10-21 | Hitachi Ltd | 赤外顕微鏡 |
-
1991
- 1991-12-28 JP JP3358486A patent/JP2575981B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05181066A (ja) | 1993-07-23 |
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| JPS60247614A (ja) | 内視鏡 |
Legal Events
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